JP2009141028A - シャワーヘッド及びレジスト除去装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シャワーヘッド12は基板16の温度が90℃以下となるように基板16が格納された反応系の内圧が大気圧よりも低圧に制御されたもとでオゾンガスと不飽和炭化水素ガスを基板16に供給して基板16上のレジスト17を除去する。シャワーヘッド12は、オゾンガスを流通させる空間41と、不飽和炭化水素ガスを流通させる空間42と、空間41内のオゾンガスと空間42内の不飽和炭化水素ガスを個別に基板の表面に散気させる散気板31とを備える。
【選択図】図1
Description
2…チャンバ
3…真空ポンプ
4…ヒータ
6…ガスボンベ
8…オゾン発生装置
10…排気バルブ
12…シャワーヘッド、31…散気板、32…散気管、33…枠部、34…スペーサ、35…仕切り板、36…仕切り板枠、37…蓋、38,39…孔
13…熱電対
14…制御部
15…サセプタ
16…基板、17…レジスト
18…圧力計
Claims (6)
- 基板の温度が90℃以下となるように前記基板が格納された反応系の内圧が大気圧よりも低圧に制御されたもとでオゾンガスと不飽和炭化水素ガスを前記基板に供給して前記基板上のレジストを除去するシャワーヘッドであって、
オゾンガスを流通させるオゾンガス室と、
不飽和炭化水素ガスを流通させる不飽和炭化水素ガス室と、
前記オゾンガス室内のオゾンガスと前記不飽和炭化水素ガス室内の不飽和炭化水素ガスを個別に前記基板の表面に散気させる散気部材と
を備えたことを特徴とするシャワーヘッド。 - 前記オゾンガス室及び不飽和炭化水素ガス室は階層的に配置されたことを特徴とする請求項1に記載のシャワーヘッド。
- 前記散気部材には前記オゾンガスが吐出される孔と前記不飽和炭化水素ガスが吐出される孔とが複数形成されたことを特徴とする請求項2に記載のシャワーヘッド。
- 前記オゾンガスが吐出される孔と前記不飽和炭化水素ガスが吐出される孔は等間隔に配置されることを特徴とする請求項3に記載のシャワーヘッド。
- 前記オゾンガス室は前記不飽和炭化水素ガス室よりも上段または下段に配置され、
前記オゾンガス室及び前記不飽和炭化水素ガス室は仕切り板によって仕切られると共に
前記仕切り板には前記オゾンガスまたは不飽和炭化水素ガスが供される配管が接続され、
この配管の下端が前記散気部材のオゾンガスまたは不飽和炭化水素ガスが吐出される孔に接続されたこと
を特徴とする請求項3または4に記載のシャワーヘッド。 - 基板を加熱可能に格納すると共に前記基板の温度が90℃以下となるように内圧が大気圧よりも低圧に制御されるチャンバと、
オゾンガスと不飽和炭化水素ガスを前記チャンバ内の基板に供給して前記基板上のレジストを除去するシャワーヘッドと
を備え、
前記シャワーヘッドは、
前記オゾンガスを流通させるオゾンガス室と、
前記不飽和炭化水素ガスを流通させる不飽和炭化水素ガス室と、
前記オゾンガス室内のオゾンガスと前記不飽和炭化水素ガス室内の不飽和炭化水素ガスを個別に前記基板の表面に散気させる散気部材と
を備えたことを特徴とするレジスト除去装置。
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