JP2009139192A - バーンイン装置 - Google Patents
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Abstract
提供する。
【解決手段】 恒温プレート206と半導体レーザ素子100とが直接接触させて、恒温プレート206の温度を第1の温度センサ202および第1の温度制御器205によって検出し、この検出した温度に基づいて第1の温度制御器205が恒温プレート206の温度を制御する。またプレート部226と蓋部227とによってプレート部226に保持された半導体レーザ素子100の周囲に形成される閉鎖された空間の温度を、第2の温度センサ208および第2の温度制御器211によって検出し、この検出した温度に基づいて第2の温度制御器211が半導体レーザ素子100を取り巻く気体の温度を制御する。
【選択図】 図1
Description
前記保持部の温度を検出する第1の温度検出手段と、
前記第1の温度検出手段によって検出された温度に基づいて前記保持部の温度を制御する第1の温度制御手段と、
前記保持部に保持された前記被試験体の周囲に、前記保持部とともに閉鎖された空間を形成し、前記空間の温度調整が可能な蓋部と、
前記空間の温度を検出する第2の温度検出手段と、
前記第2の温度検出手段によって検出された温度に基づいて前記空間の温度を制御する第2の温度制御手段と、
前記被試験体の特性を測定可能な測定手段とを含むことを特徴とするバーンイン装置である。
前記保持部は、前記電子素子のリード端子を挿入可能な挿入部を備えることを特徴とする。
前記蓋部は、
第2のペルチェ素子と、
前記第2のペルチェ素子に設けられる吸放熱用フィンと、
前記空間の気体を循環させる気体循環用ファンとを含むことを特徴とする。
金属から成り、前記被試験体を保持可能な保持部本体と、
前記保持部本体のうち、前記被試験体が保持される部分、および前記ペルチェ素子が設けられる部分を除く残余の部分の外表面部を形成する第1の断熱カバー体とを含み、
前記蓋部は、
前記被試験体を保持部に押圧可能な押圧部を有する蓋部本体と、
前記蓋部本体、前記吸放熱用フィンおよび前記気体循環用ファンを、前記第2のペルチェ素子とともに覆う第2の断熱カバー体とを含むことを特徴とする。
また本発明は、前記保持部は、複数の半導体レーザ素子を保持可能であることを特徴とする。
200,270 バーンイン装置
201 第1のファン
202 第1の温度センサ
203 第1のペルチェ素子
204 第1の吸放熱用フィン
205 第1の温度制御器
206 恒温プレート
207 第2のファン
208 第2の温度センサ
209 第2のペルチェ素子
210 第2の吸放熱用フィン
211 第2の温度制御器
212 気体循環用ファン
213 フォトダイオード
214 第1の断熱カバー体
217 駆動回路
219 コンタクト部
220 第3の吸放熱用フィン
220 制御部
226 プレート部
227 蓋部
231 挿入孔
236 押圧部
244 第2の断熱カバー体
Claims (8)
- 被試験体を保持可能であって、温度の調整が可能な保持部と、
前記保持部の温度を検出する第1の温度検出手段と、
前記第1の温度検出手段によって検出された温度に基づいて前記保持部の温度を制御する第1の温度制御手段と、
前記保持部に保持された前記被試験体の周囲に、前記保持部とともに閉鎖された空間を形成し、前記空間の温度調整が可能な蓋部と、
前記空間の温度を検出する第2の温度検出手段と、
前記第2の温度検出手段によって検出された温度に基づいて前記空間の温度を制御する第2の温度制御手段と、
前記被試験体の特性を測定可能な測定手段とを含むことを特徴とするバーンイン装置。 - 前記測定手段によって測定された測定結果に基づいて前記被試験体の良否を判定する判定手段をさらに含むことを特徴とする請求項1記載のバーンイン装置。
- 前記被試験体は、リード端子を有する電子素子であり、
前記保持部は、前記電子素子のリード端子を挿入可能な挿入部を備えることを特徴とする請求項1または2に記載のバーンイン装置。 - 前記保持部は、第1のペルチェ素子を含み、
前記蓋部は、
第2のペルチェ素子と、
前記第2のペルチェ素子に設けられる吸放熱用フィンと、
前記空間の気体を循環させる気体循環用ファンとを含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載のバーンイン装置。 - 前記保持部は、
金属から成り、前記被試験体を保持可能な保持部本体と、
前記保持部本体のうち、前記被試験体が保持される部分、および前記ペルチェ素子が設けられる部分を除く残余の部分の外表面部を形成する第1の断熱カバー体とを含み、
前記蓋部は、
前記被試験体を保持部に押圧可能な押圧部を有する蓋部本体と、
前記蓋部本体、前記吸放熱用フィンおよび前記気体循環用ファンを、前記第2のペルチェ素子とともに覆う第2の断熱カバー体とを含むことを特徴とする請求項4に記載のバーンイン装置。 - 前記第1の温度制御手段および前記第2の温度制御手段は、前記保持部の温度と前記空間の温度とを独立して制御することを特徴とする請求項1〜5のいれずれか1つに記載のバーンイン装置。
- 前記被試験体は、半導体レーザ素子であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つに記載のバーンイン装置。
- 前記保持部は、複数の半導体レーザ素子を保持可能であることを特徴とする請求項7に記載のバーンイン装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007315145A JP4871852B2 (ja) | 2007-12-05 | 2007-12-05 | バーンイン装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007315145A JP4871852B2 (ja) | 2007-12-05 | 2007-12-05 | バーンイン装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2009139192A true JP2009139192A (ja) | 2009-06-25 |
JP4871852B2 JP4871852B2 (ja) | 2012-02-08 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
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