JPH06331694A

JPH06331694A - 恒温式測定装置

Info

Publication number: JPH06331694A
Application number: JP5139821A
Authority: JP
Inventors: Keiji Minagawa; 圭司皆川
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 1993-05-20
Filing date: 1993-05-20
Publication date: 1994-12-02
Anticipated expiration: 2016-06-11
Also published as: JP3174432B2

Abstract

(57)【要約】【目的】被測定物の恒温状態での電気特性の測定にお
いて、液体を用いず気中にて被測定物を恒温状態に保
ち、かつ高速に測定することを可能とする。【構成】室内の気体を一定温度に維持した恒温室２の
内部を複数個の測定ブロック１０に区画し、各測定ブロ
ック１０に恒温液体が循環する循環パイプを内部に有す
る良熱伝導性の恒温プレートを設け、該恒温プレート上
に良熱伝導性の被測定物載置ブロックを配設し、該被測
定物載置ブロックに被測定物としての電子部品１を載置
して電気特性の測定を行う構成である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、サーミスタ等の温度変
化に対して電気特性変化の大きい被測定物の電気特性測
定を行う際に、気中において被測定物を恒温状態に保ち
ながら高速に電気測定を行うための恒温式測定装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】温度変化に対して電気特性変化の大きい
ＮＴＣサーミスタ等の被測定物の電気特性測定を行う場
合、恒温式測定装置を用いてその被測定物のある一定の
温度における電気特性測定を行うようにしている。

【０００３】従来の恒温式測定装置では、被測定物の恒
温状態における電気特性の測定は、温度コントロールさ
れた液中（オイルバス等）に、被測定物を測定端子に固
定した状態で浸すことにより行われてきた。この従来の
恒温式測定装置では、測定を恒温状態の液中で行うた
め、被測定物の温度分布を気中に比べ短時間に均一にす
ることができ、高精度の測定が可能であった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
恒温式測定装置を用いた恒温測定では、液体を使用する
ため液漏れ等の問題があり、被測定物の測定装置中での
高速搬送の自動化には不向きであった。また、装置に対
する被測定物の出し入れの際においても、液体の除去乾
燥に手間がかかる等の問題がある。

【０００５】一方、気中において測定を行うことも考慮
されているが、気体（空気等）の熱伝導が低いため、被
測定物が温度平衡に達するのに長時間かかるという問題
点があった。

【０００６】本発明は、上記の点に鑑み、被測定物の恒
温状態での電気特性の測定において、液体を用いず気中
にて被測定物を恒温状態に保ち、かつ高速に測定するこ
とを可能とする恒温式測定装置を提供することを目的と
する。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の恒温式測定装置は、室内の気体を一定温度
に維持した恒温室の内部に、恒温液体が循環する循環パ
イプを内部に有する良熱伝導性の恒温プレートを設け、
該恒温プレート上に良熱伝導性の被測定物載置ブロック
を配設し、該被測定物載置ブロックに被測定物を載置す
る構成としている。

【０００８】また、前記恒温プレート上にカバーを配設
し、前記被測定物及び前記被測定物載置ブロックを内部
に収納する測定室を設ける構成としても良い。

【０００９】また、前記恒温プレートと前記被測定物載
置ブロックとの間に、良熱伝導性の導体パターンを両面
に形成し、スルーホールを介して前記両面の導体パター
ンを熱的に結合した絶縁基板を介在させる構成としても
良い。

【００１０】さらに、前記恒温室の内圧を外部より高め
に設定する構成としても良い。

【００１１】また、被測定物の供給部から被測定物を前
記被測定物載置ブロック上に移送する搬送手段を設ける
ことができる。

【００１２】

【作用】本発明の恒温式測定装置においては、被測定物
の電気特性の測定を行う上で、被測定物載置ブロック
が、被測定物を保持するとともに該被測定物の端子電極
に電気的に接続する測定電極としての役割を有し、ま
た、熱伝導性が良い材質で形成されているので、該被測
定物載置ブロックを介して一定温度に保たれた恒温プレ
ートから被測定物に熱を効果的に伝導させることができ
る。よって、単に被測定物を気中に配置して被測定物の
温度を平衡状態にする場合と比較して、被測定物の温度
平衡に達するまでの所要時間の短縮化を図ることができ
るとともに、被測定物の温度を恒温室内温度で規定され
た安定した平衡状態にすることができる。

【００１３】また、本発明の恒温式測定装置では、気中
において被測定物の電気特性の測定を行うので、液中に
おいて被測定物の電気特性の測定を行う従来の恒温式測
定装置で問題になっていた液漏れの発生や被測定物搬
送、取出時の液体乾燥、除去といった不都合が解決され
るため、被測定物の電気特性測定の大幅な高速化が可能
になる。

【００１４】さらに、前記恒温プレート上にカバーを配
設し、前記被測定物及び前記被測定物載置ブロックを内
部に収納する実質的に密閉された測定室を構成したり、
恒温室の内圧を外部より高める構成とすることにより、
測定室あるいは恒温室の内部温度を安定して一定に維持
できるので、被測定物の温度の平衡状態をより安定化す
ることができる。

【００１５】

【実施例】以下、本発明に係る恒温式測定装置の実施例
を図面に従って説明する。

【００１６】図１乃至図３は本発明の恒温式測定装置の
実施例を示している。この恒温式測定装置は、被測定物
である電子部品１の電気特性の測定を一定の温度におい
て行うものであり、恒温室２、部品供給部３、部品選別
部４及び複数の測定ブロック１０を具備し、操作盤５で
測定に伴う操作を行うものである。

【００１７】電子部品１は温度変化に対して電気特性変
化の大きいＮＴＣサーミスタ等であり、チップ状に形成
されたものをここでは例示している。この電子部品１の
両端部には図２，図３のように電極部６Ａ，６Ｂが形成
されている。

【００１８】前記恒温室２は、例えば外壁が断熱材で構
成され、一定温度の空気が供給されて内圧が高められて
おり、内部に被測定物としての電子部品１を搬送するた
めのＸ−Ｚ駆動機構７及び吸着・装着装置８を備えた搬
送手段を有している。

【００１９】前記部品供給部３は複数の部品供給器３ａ
（テープを用いたり、振動や空気流を利用して部品を供
給する各種パーツフィーダ）を配列したものであり、複
数の電子部品１を恒温室２内の部品供給位置に供給す
る。この部品供給部３から電子部品１を恒温室内の部品
供給位置に供給するために形成された恒温室２の開口は
内部の温度を一定に維持するために極力小さくされてい
る。

【００２０】前記部品選別部４は、電子部品１を所定の
規格ごとに分別収納するためのＸ方向に一列に並んだ複
数の収納スペースを有する選別箱９と、該選別箱９をＸ
方向に移動自在に支持するガイドレール３０と、前記選
別箱９をＸ方向に駆動するための選別箱駆動軸３１と、
該選別箱駆動軸３１の軸端に設けられていて駆動軸３１
を回転駆動する選別箱駆動用モーター３２とを移動テー
ブル３３上に配置したものである。すなわち、移動テー
ブル３３上に固定のガイドレール３０で選別箱９はＸ方
向に移動自在に支持されており、移動テーブル３３に固
定のモーター３２で駆動軸３１を回転することで、選別
箱９のＸ方向位置を変え得るようになっている。また、
部品選別部４の移動テーブル３３は、部品供給部３の下
方に設けられた部品選別部ガイドレール３４に沿って、
Ｙ方向に移動自在で。図示しない駆動機構でＹ方向に移
動できる。

【００２１】前記Ｘ−Ｚ駆動機構７は、Ｘ方向に設けら
れたＸ駆動軸３５及びＺ駆動軸３６と、それぞれの軸端
に連結されたＸ駆動軸用モーター３７、Ｚ駆動軸用モー
ター３８とを有しており、Ｘ駆動軸３５は例えばボール
螺子軸であってモーター３７で回転駆動され、Ｚ駆動軸
３６は例えばスプライン軸であってモーター３８で回転
駆動されている。そして、吸着・装着装置８は、Ｘ駆動
軸３５の回転によりＸ方向に駆動され、Ｚ駆動軸３６の
回転により、吸着・装着装置８が有する複数本（部品供
給器３ａの個数に対応）の吸着ノズルが上下方向（Ｚ方
向）に昇降されるようになっている。なお、Ｘ駆動軸用
モーター３７及びＺ駆動軸用モーター３８といった発熱
体は、恒温室２内の温度に影響を与えないように恒温室
２外に配置する。

【００２２】前記吸着・装着装置８は、上述した複数の
部品供給器３ａから恒温室２内の部品供給位置に供給さ
れた複数の電子部品１を同時吸着するための複数の吸着
ノズルを有している。吸着・装着装置８はＸ−Ｚ駆動機
構７でＸ方向に移動されて前記部品供給位置上にて停止
された後、Ｘ−Ｚ駆動機構７で吸着ノズルを昇降駆動
（Ｚ方向に駆動）することで恒温室２内の部品供給位置
に送られてきた複数の電子部品１を吸着ノズル先端側で
吸着し、さらにＸ−Ｚ駆動機構７でＸ方向に駆動される
ことで各電子部品１の搬送を実行する。

【００２３】また、恒温室２内の部品供給部３先端と測
定ブロック１０の左端との間には、排出用仮置きステー
ション１１が配置されている。該排出用仮置きステーシ
ョン１１は、測定が終了した電子部品１を受け入れ、一
時的に載置するための部品載置部１１ａを複数個有して
いる。この部品載置部１１ａは、測定の結果に応じて電
子部品１を規格別に選別して、部品選別部４の選別箱９
の各収納スペース内に落下させるように、それぞれ個別
に底が開くようになっている。

【００２４】前記測定ブロック１０は、図２及び図３に
示すように、断熱材１３で隣接部分から熱的に隔離され
た恒温プレート１２及びカバー１４で囲まれてなる測定
室１５をそれぞれ有している。前記恒温プレート１２
は、銅等の熱伝導性の良い金属板で形成されており、内
部に循環パイプ１６が複数本通っており、該循環パイプ
１６の内部に所望の一定温度（恒温室内に供給された空
気と実質的に同じ温度）に保たれた恒温液体１７を循環
させることにより、当該恒温プレート１２を恒温室２内
の温度と同じ一定温度に保っている。そして、恒温プレ
ート１２上には、電子部品１を載置測定するために、測
定用部品載置ブロック１８Ａ，１８Ｂと、上面に銅箔配
線パターン１９、裏面に全面銅箔パターン２０がエッチ
ング等で形成されている絶縁樹脂基板２１からなる測定
基板２２とが設けられている。すなわち、恒温プレート
１２上に測定基板２２が配置固定され、該測定基板２２
上に測定用部品載置ブロック１８Ａ，１８Ｂが固定され
ており、測定基板２２の裏面の全面銅箔パターン２０は
恒温プレート１２に対接している。

【００２５】対をなす測定用部品載置ブロック１８Ａ，
１８Ｂは、銅等の導電性及び熱伝導性の良い金属で形成
され、電子部品１一個に対してＸ方向に間隔を空けて対
向する一対を１組とし、Ｙ方向（奥行き方向）に複数組
設けた列をＸ方向に複数列設けたものである。一対の測
定用部品載置ブロック１８Ａ，１８Ｂには、間隔を空け
て対向する両者の上面側に電子部品１を載置するための
被測定物載置凹部２３が形成されている。一対の測定用
部品載置ブロック１８Ａ，１８Ｂの底面は、測定基板２
２上面に固定されている。すなわち、ブロック１８Ａは
良導電性かつ良熱伝導性の銅箔配線パターン１９のうち
の銅箔パターン部１９Ａに接続固定され、ブロック１８
Ｂは銅箔パターン部１９Ｂに接続固定されている。そし
て、測定用部品載置ブロック１８Ａに接続の銅箔パター
ン部１９Ａは樹脂基板２１に設けられたスルーホール
（内部に良導電性かつ良熱伝導性の銅が設けられてい
る）２４を通して裏面側の全面銅箔パターン２０に接続
され、測定用部品載置ブロック１８Ｂに接続された銅箔
パターン部１９Ｂは図示しないスキャナ部（測定する電
子部品を順次切り換える手段）を介し電気抵抗等の電気
特性を計測するための測定機器の測定端子（非アース
側）に電気的に接続されている。前記スルーホール２４
を通じて一方の銅箔パターン部１９Ａと接続されている
全面銅箔パターン２０は、良導電性かつ良熱伝導性であ
り、対面する恒温プレート１２に接続固定され、測定機
器の測定端子（アース側）と電気的に接続されている。

【００２６】なお、測定用部品載置ブロック１８Ａ，１
８Ｂ、測定基板２２の銅箔パターン部１９Ａ，１９Ｂ、
全面銅箔パターン２０及びスルーホール２４は、被測定
物である電子部品１との電気的接続の役割だけでなく、
恒温プレート１２からの熱を測定用部品載置ブロック１
８Ａ，１８Ｂに迅速に伝え、ひいては電子部品１に効果
的に伝導する役割をもっている。

【００２７】また、前記断熱材１３は、断熱性の高い絶
縁性の材質で形成されており、恒温プレート１２の周囲
を取り囲むように設けられている。

【００２８】前記カバー１４は、絶縁樹脂等で形成さ
れ、図示しないカバー昇降駆動機構により上下方向に移
動自在になっており、開口面を恒温プレート１２と対接
させて前記測定基板２２上に覆いかぶさり、恒温プレー
ト１２との間に測定室１５を構成するものである。この
カバー１４により、測定室１５外部の温度変化、例えば
吸着・装着装置８の通過に伴う温度変化が生じても大き
な影響を受けることなく、測定室１５内部の温度を一定
温度に保持することができる。そして、カバー１４内側
の天井面には、電子部品１を上から押圧して固定するた
めの固定用スプリングピン２５が前記一対の測定用部品
載置ブロック１８Ａ，１８Ｂの組に対応して設けられて
おり、図３に示すように、測定基板２２上にカバー１４
をかぶせた状態で、一対の測定用部品載置ブロック１８
Ａ，１８Ｂに載置されている電子部品１を上から押し付
けるようになっている。

【００２９】以上の構成からなる測定ブロック１０は、
恒温室２内に複数設けられているが、それぞれ別個に電
子部品１の測定を行うことができる。

【００３０】なお、前記電子部品１の電気特性の測定
は、図３のように、当該電子部品１を測定基板２２の一
対の測定用部品載置ブロック１８Ａ，１８Ｂ上に載置
し、カバー１４を閉じて測定室１５内を一定温度に保っ
た状態で行われるが、このとき電子部品１は一対の測定
用部品載置ブロック１８Ａ，１８Ｂの被測定物載置凹部
２３に収納され、その両端の電極部６Ａ，６Ｂが一対の
測定用部品載置ブロック１８Ａ，１８Ｂのそれぞれに接
するように配置される。電子部品１の測定用部品載置ブ
ロック１８Ａ，１８Ｂへの供給、取り出しは、図２に示
すように、カバー１４が開いている状態で吸着・装着装
置８により、図中の矢印の如く搬送することで行われ、
各列同じように行われる。

【００３１】次に、以上説明してきた恒温式測定装置に
おける電子部品１の電気特性の測定の手順及び当該装置
の動作について説明する。被測定物である電子部品１の
恒温室２内の搬送手段への供給は、複数の部品供給器３
ａからなる部品供給部３により行われ、Ｙ方向に一列に
並んだ複数の電子部品１は、部品供給部３先端側の部品
供給位置において、Ｘ−Ｚ駆動機構７で支持された吸着
・装着装置８の吸着ノズルで吸着されることで取り出さ
れる。電子部品１を保持している吸着・装着装置８は、
そのままＸ方向に移動して目的の測定ブロック１０上に
移動する。

【００３２】目的の測定ブロック１０は図２のように測
定基板２２上方を開放する如くカバー１４が開いた状態
で電子部品１を受け入れ、電子部品１は一対の測定用部
品載置ブロック１８Ａ，１８Ｂの被測定物載置凹部２３
にそれぞれ載置される。この際、電子部品１両端の電極
部６Ａ，６Ｂは一対の測定用部品載置ブロック１８Ａ，
１８Ｂにそれぞれ接しており、電気的に導通するように
なっている。

【００３３】そして、測定ブロック１０一個につき一対
の測定用部品載置ブロック１８Ａ，１８Ｂの列が複数列
設けられているため、以上述べた吸着・装着装置８によ
る部品供給部３から測定ブロック１０の測定用部品載置
ブロック１８Ａ，１８Ｂ各列への電子部品１の搬送を繰
り返し行う。

【００３４】測定ブロック１０の測定用部品載置ブロッ
ク１８各列への電子部品１の搬送が終わると、カバー１
４を下降させて図３のように閉じる。このカバー１４を
閉じることにより、カバー１４の内側天井面に設けられ
ている固定用スプリングピン２５が電子部品１を部品載
置ブロックに押しつけ、電子部品１は測定用部品載置ブ
ロック１８の被測定物載置凹部２３に確実に位置決めさ
れ、電極部６Ａ，６Ｂと一対の測定用部品載置ブロック
１８Ａ，１８Ｂとの導通が確実に行われる。カバー１４
を閉じた後は、測定室１５内の温度が所定温度（恒温プ
レートの温度）で平衡状態に達するまで、放置して置
く。そして、電子部品１の温度は一定温度に保たれた恒
温プレート１２からの熱伝導により、測定室１５内の平
衡温度と同じになる。なお、測定室１５内の温度コント
ロールは、測定ブロック１０内に置かれた測温体（サー
ミスタ測定時には標準サーミスタを使用する等）の測定
値により、フィードバックをかけることによって行われ
ている。

【００３５】測定室１５内の温度が平衡状態に達する
と、測定用部品載置ブロック１８に載置されている測定
対象の電子部品１両端の電極部６Ａ，６Ｂを、銅箔配線
パターン１９及び全面銅箔パターン２０を通じて図示し
ないスキャナ部を介し測定機器に接続し、測定機器によ
る電子部品１の電気特性の測定を行う。なお、各測定ブ
ロック１０はそれぞれ個々に遮断されているため、電子
部品１の測定は各測定ブロック１０において温度平衡に
達する毎に時間をずらせて実行される。

【００３６】測定が終了すると、カバー１４を上昇させ
て測定基板２２上を開放し、吸着・装着装置８を用いて
電子部品１を測定用部品載置ブロック１８Ａ，１８Ｂよ
り吸着して回収する。吸着・装着装置８に吸着された測
定済みの各電子部品１は、Ｘ方向に搬送されて、前記排
出用仮置きステーション１１上の各部品載置部１１ａに
載置される。

【００３７】排出用仮置きステーション１１では、収納
されている電子部品１を測定機器による測定結果を元に
所定の規格（例えば、誤差１０％以内、２０％以内等の
誤差による規格）毎に個々の部品載置部１１ａの底を開
放することで電子部品１を落下させて選別する。この選
別排出のとき、前記部品選別部４の移動テーブル３３が
恒温室２内に入り込んで部品供給部３の下方に位置して
おり（図１の２点鎖線）、移動テーブル３３上の選別箱
９をＸ方向に移動させることで、選別箱９の特定の収納
スペースが順次排出用仮置きステーション１１の真下に
くるようにする。すなわち、排出用仮置きステーション
１１の真下に位置する収納スペースの規格に応じた電子
部品１があると、その電子部品１の位置する部品載置部
１１ａの底を開放し収納スペースに落下させる。例えば
選別箱９の収納スペース９ａが誤差１０％以内の良品を
収納する所であるとすると、誤差１０％以内の良品が載
置された部品載置部１１ａの底が開いて誤差１０％以内
の良品である電子部品１が収納スペース９ａに落下す
る。このように、選別箱９をＸ方向に移動させるととも
に、選別箱９の各収納スペースの規格に合う電子部品１
を落下させることで、電子部品１は所定の規格別に選別
箱９に選別収納される。

【００３８】なお、以上に述べた電子部品１の測定ブロ
ック１０に対する供給あるいは回収は、各測定ブロック
１０に対して個別に行われ、ある測定ブロック１０への
電子部品１の供給が完了すると、他の測定ブロック１０
へ順次供給あるいは回収を行うものである。

【００３９】以上、本発明の実施例の説明によると、電
子部品１の電気特性の測定を行う上で、電子部品１を保
持するとともに該電子部品１の電極部６Ａ，６Ｂに電気
的に接続する測定用端子電極としての役割を有する測定
用部品載置ブロック１８Ａ，１８Ｂを導電性かつ熱伝導
性が良い銅等の金属で形成し、該測定用部品載置ブロッ
ク１８Ａ，１８Ｂを介して一定温度に保たれた恒温プレ
ート１２から電子部品１に熱を伝導して電子部品１の温
度を恒温室２内温度と一致した平衡状態にする構成とし
ているため、単に電子部品１を気中において電子部品１
の温度を平衡状態にする場合と比較して、電子部品１の
温度平衡に達するまでの所要時間を短くすることができ
る。

【００４０】また、恒温室２の内圧を高めたり、所望の
一定温度に保持された恒温プレート１２を設けたことや
カバー１４による測定室１５内温度の保持を図っている
ことから、電子部品１の温度の平衡状態が安定してい
る。

【００４１】さらに、前記実施例では気中において電子
部品１の電気特性の測定を行っているので、従来の液中
において電子部品１の電気特性の測定を行う恒温式測定
装置で問題になっていた液漏れや、液体の乾燥、除去等
の電子部品１の高速搬送による測定自動化を図る上での
障害が解決されるため、電子部品１の電気特性の測定の
大幅な高速化が可能になる。

【００４２】なお、前記実施例では、一対の電極部６
Ａ，６Ｂを有する電子部品１を被測定物として用いる恒
温式測定装置の構成を述べたが、３個以上の電極部（又
は端子）を有する電子部品を被測定物として用いる場合
にも本発明は適用できる。この場合、電子部品の３個以
上の電極部に対応する測定基板２２の３個以上の測定用
部品載置ブロックを１組とし、それらの測定用部品載置
ブロックに対応した銅箔配線パターン及び全面銅箔パタ
ーンを有する樹脂基板を用いて測定基板を構成すればよ
い。例えば、４端子を有する電子部品を被測定物とする
場合、該被測定物に対応した被測定物載置凹部を有する
２対の測定用部品載置ブロックを１組とし、それに対応
した銅箔配線パターン及び全面銅箔パターンを樹脂基板
に形成することで４端子測定が可能な恒温式測定装置を
構成することができる。

【００４３】また、前記実施例では、測定用部品載置ブ
ロック１８Ａ，１８Ｂに接続する導体パターンとして、
樹脂基板２１に銅箔配線パターン１９、全面銅箔パター
ン２０及びスルーホール２４を形成した測定基板２２を
用いる構成としたが、恒温プレート１２上面に絶縁塗料
（絶縁層）を介する等して直接導体パターンを形成する
構成としても良い。

【００４４】以上本発明の実施例について説明してきた
が、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の
範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者
には自明であろう。

【００４５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の恒温式測
定装置によれば、室内の気体を一定温度に維持した恒温
室の内部に、室内の気体と実質的に同じ温度の恒温液体
が循環する循環パイプを内部に有する良熱伝導性の恒温
プレートを設け、該恒温プレート上に良熱伝導性の被測
定物載置ブロックを配設し、該被測定物載置ブロックに
被測定物を載置する構成としたので、被測定物載置ブロ
ックを介して一定温度に保たれた恒温プレートから被測
定物に効果的に伝導させることができる。よって、単に
被測定物を気中に配置して被測定物の温度を平衡状態に
する場合と比較して、被測定物の温度平衡に達するまで
の所要時間の短縮化を図って、気中での測定の高速化を
図ることができる。また、液中において被測定物の電気
特性の測定を行う従来の恒温式測定装置で問題になって
いた液漏れの発生や被測定物搬送時の液体乾燥、除去と
いった不都合が解決されるため、被測定物の高速搬送に
よる測定自動化を図る上でも有利である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る恒温式測定装置の実施例を示す平
面図である。

【図２】同実施例の測定ブロックにおいて、カバーを開
けた状態を示す部分側断面図である。

【図３】同実施例の測定ブロックにおいて、カバーを閉
じた状態を示す部分側断面図である。

【符号の説明】

１被測定物２恒温室３部品供給部４部品選別部６Ａ，６Ｂ電極部７Ｘ−Ｚ駆動機構８吸着・装着装置９選別箱１０測定ブロック１１排出用仮置きステーション１２恒温プレート１３断熱材１４カバー１５測定室１６循環パイプ１７恒温液体１８Ａ，１８Ｂ測定用部品載置ブロック１９銅箔配線パターン２０全面銅箔パターン２１樹脂基板２２測定基板２３被測定物載置凹部２４スルーホール

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】室内の気体を一定温度に維持した恒温室
の内部に、恒温液体が循環する循環パイプを内部に有す
る良熱伝導性の恒温プレートを設け、該恒温プレート上
に良熱伝導性の被測定物載置ブロックを配設し、該被測
定物載置ブロックに被測定物を載置することを特徴とす
る恒温式測定装置。
【請求項２】前記恒温プレート上にカバーを配設し、
前記被測定物及び前記被測定物載置ブロックを内部に収
納する測定室を構成した請求項１記載の恒温式測定装
置。
【請求項３】良熱伝導性の導体パターンを両面に形成
し、スルーホールを介して前記両面の導体パターンを熱
的に結合した絶縁基板を、前記恒温プレートと前記被測
定物載置ブロックとの間に介在させた請求項１記載の恒
温式測定装置。
【請求項４】前記被測定物の供給部から被測定物を前
記被測定物載置ブロック上に移送する搬送手段が設けら
れている請求項１記載の恒温式測定装置。
【請求項５】前記恒温室の内圧を外部より高めた請求
項１記載の恒温式測定装置。