JP2009135441A - 窒化物半導体自立基板及びそれを用いたデバイス - Google Patents
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- C30B29/406—Gallium nitride
Abstract
【解決手段】C面からθ=0.03°〜1.0°傾斜した表面を有する窒化物半導体自立基板であって、前記窒化物半導体自立基板の表面全体の各点でのC軸と表面の接線との成す角度が最大となる方向であるOFF方向が、6回対称であるM軸のうちある特定のM軸方向からφ=0.5°〜16°の範囲でずれており、かつ前記OFF方向の前記特定のM軸方向からのずれ角をφとしたとき、−0.5°<φ<+0.5°の領域を含まない窒化物半導体自立基板である。
【選択図】図1
Description
従来、デバイス応用が報告されている窒化物半導体は、そのほとんど全てが、例えば、サファイアや4H−SiCなどの異種基板上に、低温GaN、AlNバッファあるいは高温AlNバッファを介して窒化物半導体を成長することで実現されている。
このような基板のOFF方向、すなわちC軸と表面の接線の成す角度が最大となる方向としては、通常、M軸方向あるいはA軸方向が選ばれる。これらは、結晶の対称性が高い方向(すなわち、原子が整然と並ぶ方向)であり、直線性の高いステップを得るために、このような方向が選ばれるのである。
また、GaN結晶の(0001)面に対して傾斜角度1度以上20度以下で傾斜し、且つその傾斜方向がM軸方向から7度以内の範囲にある傾斜した面を有するGaN基板が提案されている(特許文献2)。
また、窒化物半導体レーザーダイオードにおいても、同様に、発光層の色純度が悪いために、レーザー発振の閾値電流が大きくなってしまうという問題が生じている。
本発明の第1の態様は、C面から0.03°以上1.0°以下の範囲で傾斜した表面を有する窒化物半導体自立基板であって、前記窒化物半導体自立基板の表面全体の各点でのC軸と表面の接線との成す角度が最大となる方向であるOFF方向が、6回対称であるM軸のうちある特定のM軸方向から0.5°以上16°以下の範囲でずれており、かつ前記OFF方向の前記特定のM軸方向からのずれ角をφとしたとき、−0.5°<φ<+0.5°の領域を含まないことを特徴とする窒化物半導体自立基板である。
なお、図1においては、6回対称であるM軸の6方向のうち、OFF方向から0.5°以上16°以下の範囲でずれた特定のM軸方向を表示し、また、同様に6回対称であるA軸の6方向のうち、前記特定のM軸方向と直交するA軸方向を表示している。
上記の窒化物半導体自立基板は、GaNからなる自立基板が好ましいが、その他、AlGaNやAlNなどからなる自立基板でも勿論よい。
また、上記窒化物半導体自立基板を用いれば、基板上に面内均一で高品質の窒化物半導体層の成長ができるので、窒化物半導体自立基板上に窒化物半導体層を有する優れた特性の窒化物半導体発光デバイスおよび窒化物半導体電子デバイスを作製できる。
しかし、OFF方向が丁度M軸を向いている場合にステップの直線性が改善されると言っても、実際には、広い視野(100μm角程度の領域)でステップを観察すると、ステップは数十μmの幅で大きく蛇行していることも判明した。OFF方向が丁度M軸方向を向いている場合には、理想的に考えると、M軸と垂直な方向に直線的なステップが得られるはずである。ところが、現実の基板表面は、転位、不純物、基板平坦度の不完全性など様々な不完全性を有するため、ステップが前後に揺らぎ、ステップの直線性が大幅に損なわれてしまうのである。
各種製法で作製される窒化物半導体自立基板は、様々なOFF方向のバラツキを有することが多いが、基板の中心位置でのOFF方向(研磨等によって形成する傾斜方向)を適切に選択することにより、基板表面全体にわたってC軸と表面の接線の成す角度が最大となる方向(OFF方向)が、M軸方向から0.5°以上16°以下の範囲であり、かつ基板表面に−0.5°<φ<+0.5°の領域を含まないように基板を作製することが可能である。
[実施例1]
本実施例においては窒化物半導体自立基板として、上述したボイド形成剥離(VAS)法によって形成したGaN自立基板を用いた。VAS法によるGaN自立基板の製作方法を図2を用いて説明する。
まず、サファイア基板1上にMOVPE法(有機金属気相成長法)によりGaN薄膜2を成長したGaN薄膜/サファイア基板の構造上に、蒸着により金属膜としてTi膜を形成し、その後に電気炉で熱処理を行うことで、Ti/GaN界面付近に多数のボイド4を形成し、且つTi膜を網目状のTiN膜(TiNナノマスク)3とする(図2(a))。
次に、ボイド4を有するGaN薄膜2上に、HVPE法(Hydride Vapor Phase Epitaxy:ハイドライド気相成長法)でGaN厚膜5を300μm以上の厚さに成長する(図2(b))。
成長後にTiN膜3を境界として機械的にGaN厚膜5を剥離し、剥離して得られたGaN厚膜5を用いてGaN自立基板6を作製する(図2(c))。
図3に示すように、OFF方向がM軸方向(OFF方向のM軸方向からのずれ角が0度)の場合には発光半値幅は35nmであり、OFF方向がA軸方向(OFF方向のM軸方向からのずれが30度)の場合には45nmであった。OFF方向のM軸方向からのずれが0.3度以下あるいは18度以上の場合には、発光半値幅は35nm程度かそれ以上であり、OFF方向が丁度M軸の方向で有る場合と同じか、むしろ半値幅が大きくなってしまった。
これに対して、OFF方向のM軸方向からのずれが0.5度以上16度以下の場合には、発光半値幅は30nm以下と小さくなった。更に、OFF方向のM軸方向からのずれが1度以上13度以下の場合には発光の半値幅は20nm程度以下と非常に細くなった。更には、OFF方向のM軸方向からのずれが、2度以上8度以下の場合にはより顕著な改善効果が得られており、発光の半値幅は10nm程度と極めて小さい値となり、色純度の非常に高い発光が得られた。
OFF方向のM軸方向からのずれが0.3度以下の場合には、数μmのレンジで見ると直線性の高いステップが形成されているものの、数百μm程度の大きい領域で見ると、ステップが大きく蛇行しているのが見て取れた。また、OFF方向のM軸方向からのずれが18度以上の場合には、ステップは数μmレンジの視野で見た場合でも大きく蛇行していた。
これに対して、OFF方向のM軸方向からのずれを0.5度以上16度以下とした場合には、ステップの蛇行が抑制された。ステップの蛇行の改善効果は、OFF方向のM軸方向からのずれが、2度以上8度以下の場合に最大となることも明らかとなった。
このように、ステップの蛇行の度合いと発光半値幅との間には明確な相関がみられたことから、発光層であるInGaN層をこれらの表面上に結晶成長した場合に、ステップの直線性が高いほど、In原子が均一にステップに取り込まれ、均一なIn組成のInGaN層が得られるため、発光半値幅が小さくなると考えられる。
各基板は、様々なOFF方向のバラツキを有していたが、基板中心位置でのOFF方向を適切に選択すると、基板表面全体にわたってC軸と表面の接線の成す角度が最大となる方向(OFF方向)が、M軸方向から0.5度以上16度以下の範囲であり、かつ基板表面に−0.5°<φ<+0.5°の領域を含まない基板を作製することができる。
基板表面に−0.5°<φ<+0.5°の領域を含む場合には、発光の半値幅は10nm〜35nmと大きな分布を持ったが、基板表面に−0.5°<φ<+0.5°の領域を含まない基板の場合には、発光の半値幅の分布は改善し、例えば基板全面に渡って半値幅が20nm程度以下、あるいは、10nm程度とすることが可能であった。
GaN自立基板表面のC面からの傾きを、0度〜2度の範囲で種々に変えた基板を作製し、実施例1と同様の実験を行った。その結果、基板表面のC面からの傾きが0.03度以上1.0度以下の範囲では、実施例1と同様の結果が得られた。
一方、基板表面のC面からの傾きが0.03度未満、あるいは1.0度よりも大きい場合には、発光半値幅に明確なOFF方向依存性は見られなかった。基板表面のC面からの傾きが0.03度未満の場合には、表面の加工精度の問題から面内でOFF方向が制御しきれておらず、結果として意図したOFF方向の制御が出来ていないのが原因と考えられる。また、基板表面のC面からの傾きが1.0度よりも大きい場合には、表面のステップが単分子ステップではなく、多段ステップとなっており、その段数はOFF方向のみでは制御できなかった。この場合、ステップ段数の揺らぎが発光半値幅の支配的要因となり、発光半値幅に明確なOFF方向依存性が見られなかったものと考えられる。
実施例1と同様なGaN自立基板を作製し、その基板上に、MOVPE法により、青紫レーザーダイオード構造の窒化物半導体層を積層形成した。
GaN自立基板上に、まず、Siドープのn−GaN層を成長し、その上にn−AlGaN/GaNの短周期超格子構造を形成した。その上に更にn−GaN層を介して、InGaN/GaNの3周期の多重量子井戸発光層を形成した。次いで、p−AlGaN/p−GaN層、p−AlGaN/GaNの短周期超格子構造、p−GaNコンタクト層を形成した。
このエピタキシャル基板を用いて、リッジ幅5μm、共振器長400μmのレーザー素子を製作し、レーザー素子の特性を評価した。図4に、製作したレーザーの発振閾値電流の、OFF方向のM軸からのずれ角度依存性を示す。
この実施例でも、先の実施例と同様に、下地であるGaN自立基板表面のステップの直線性が良いほど特性が向上し、発振閾値電流が低下するということが確認された。具体的に言うと、OFF方向が丁度M軸を向いている場合の発振閾値電流は30mAであったが、OFF方向のM軸方向からのずれを0.5度以上16度以下とした場合には、発振閾値電流が30mA未満となった。ことに、OFF方向のM軸方向からのずれが、2度以上8度以下の場合に、発振閾値電流が最も下がり、21〜22mA程度と極めて低い値となった。
更に、基板表面に−0.5°<φ<+0.5°の領域を含まない基板を用いた場合には、基板全面に渡って発振閾値電流を20mA程度とすることが可能であった。
実施例1と同様なGaN自立基板を作製し、その上にアンドープのGaN層を成長し、更にSiドープAlGaN層を成長し、HEMT構造を形成した。
作製したHEMT構造に、ソース、ドレイン、ゲート電極を形成し素子化し、特性を調査した。図5に、ソース−ドレイン間の電流−電圧特性を模式的に示すが、一度、ソース−ドレイン間に50V程度の電圧を印加すると、その後に素子に流れる電流が低下する(図5に実線で示す電流−電圧特性が、50Vの電圧印加後には破線で示す電流−電圧特性となる)、いわゆる電流コラプス現象が観測された。
図5において、ゲート電圧VGが5Vで、ソース−ドレイン間の電圧Vが30Vの場合の、電流Iの低下率(%)を、HEMT構造を形成したGaN自立基板のOFF方向(M軸方向からのずれ)に対してプロットしたのが図6である。
この実施例でも、先の実施例と同様に、下地であるGaN基板表面のステップの直線性が良いほど特性が向上し、電流低下が抑制されることが確認された。具体的に言うと、OFF方向が丁度M軸を向いている場合の電流低下率は60%もあったが、OFF方向のM軸方向からのずれを0.5度以上16度以下とした場合には、これを30%程度以下とすることができた。ことに、OFF方向のM軸方向からのずれが、2度以上8度以下の場合には、電流低下がほとんど見られず、電流コラプスをほぼ完全に抑制できることが確認された。
2 GaN薄膜
3 TiN膜
4 ボイド
5 GaN厚膜
6 GaN自立基板
Θ 基板表面のC面からの傾斜角
Φ OFF方向のM軸方向からのずれ角
Claims (5)
- C面から0.03°以上1.0°以下の範囲で傾斜した表面を有する窒化物半導体自立基板であって、前記窒化物半導体自立基板の表面全体の各点でのC軸と表面の接線との成す角度が最大となる方向であるOFF方向が、6回対称であるM軸のうちある特定のM軸方向から0.5°以上16°以下の範囲でずれており、かつ前記OFF方向の前記特定のM軸方向からのずれ角をφとしたとき、−0.5°<φ<+0.5°の領域を含まないことを特徴とする窒化物半導体自立基板。
- 前記OFF方向が、前記ある特定のM軸方向から1°以上13°以下の範囲でずれていることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体自立基板。
- 前記OFF方向が、前記ある特定のM軸方向から2°以上8°以下の範囲でずれていることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体自立基板。
- 請求項1に記載の窒化物半導体自立基板上に窒化物半導体からなる発光層を有する窒化物半導体発光デバイス。
- 請求項1に記載の窒化物半導体自立基板上に窒化物半導体からなる電子デバイス層を有する窒化物半導体電子デバイス。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013530537A (ja) * | 2010-06-18 | 2013-07-25 | センサー エレクトロニック テクノロジー インコーポレイテッド | 深紫外発光ダイオード |
WO2014042054A1 (ja) | 2012-09-11 | 2014-03-20 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム基板およびiii族窒化物積層体 |
JPWO2012056928A1 (ja) * | 2010-10-29 | 2014-03-20 | 株式会社トクヤマ | 光学素子の製造方法 |
US8927959B2 (en) | 2010-06-18 | 2015-01-06 | Sensor Electronic Technology, Inc. | Deep ultraviolet light emitting diode |
US9806226B2 (en) | 2010-06-18 | 2017-10-31 | Sensor Electronic Technology, Inc. | Deep ultraviolet light emitting diode |
JP7401182B2 (ja) | 2018-03-02 | 2023-12-19 | 住友化学株式会社 | GaN積層体およびその製造方法 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010205835A (ja) * | 2009-03-02 | 2010-09-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 窒化ガリウム系半導体光素子、窒化ガリウム系半導体光素子を製造する方法、及びエピタキシャルウエハ |
JP2011077386A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 高電子移動度トランジスタ、エピタキシャル基板、及び高電子移動度トランジスタを作製する方法 |
JP5206734B2 (ja) * | 2010-06-08 | 2013-06-12 | 住友電気工業株式会社 | Iii族窒化物半導体レーザ素子を作製する方法 |
CN112670383B (zh) * | 2020-12-25 | 2023-07-14 | 广东省科学院半导体研究所 | 一种紫外光电器件及其制备方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002016000A (ja) * | 2000-06-27 | 2002-01-18 | Sanyo Electric Co Ltd | 窒化物系半導体素子および窒化物系半導体基板 |
JP2003060318A (ja) * | 2001-06-06 | 2003-02-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | GaN系化合物半導体エピウェハ及びそれを用いた半導体素子 |
JP2005150287A (ja) * | 2003-11-13 | 2005-06-09 | Hitachi Cable Ltd | Iii−v族窒化物系半導体デバイス及びその製造方法、iii−v族窒化物系半導体基板の製造方法、iii−v族窒化物系半導体基板のロット |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11233391A (ja) | 1998-02-12 | 1999-08-27 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 結晶基板とそれを用いた半導体装置およびその製法 |
US6680959B2 (en) * | 2000-07-18 | 2004-01-20 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor light emitting device and semiconductor laser |
DE10051242A1 (de) * | 2000-10-17 | 2002-04-25 | Philips Corp Intellectual Pty | Lichtemittierende Vorrichtung mit beschichtetem Leuchtstoff |
JP2004284003A (ja) * | 2003-02-28 | 2004-10-14 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具 |
JP5276769B2 (ja) * | 2004-10-01 | 2013-08-28 | 東京電波株式会社 | 六方晶系ウルツ鉱型単結晶、その製造方法、および六方晶系ウルツ鉱型単結晶基板 |
KR100707187B1 (ko) * | 2005-04-21 | 2007-04-13 | 삼성전자주식회사 | 질화갈륨계 화합물 반도체 소자 |
US7691658B2 (en) * | 2006-01-20 | 2010-04-06 | The Regents Of The University Of California | Method for improved growth of semipolar (Al,In,Ga,B)N |
JP4816277B2 (ja) * | 2006-06-14 | 2011-11-16 | 日立電線株式会社 | 窒化物半導体自立基板及び窒化物半導体発光素子 |
-
2008
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- 2008-10-28 CN CN200810179904XA patent/CN101425484B/zh active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002016000A (ja) * | 2000-06-27 | 2002-01-18 | Sanyo Electric Co Ltd | 窒化物系半導体素子および窒化物系半導体基板 |
JP2003060318A (ja) * | 2001-06-06 | 2003-02-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | GaN系化合物半導体エピウェハ及びそれを用いた半導体素子 |
JP2005150287A (ja) * | 2003-11-13 | 2005-06-09 | Hitachi Cable Ltd | Iii−v族窒化物系半導体デバイス及びその製造方法、iii−v族窒化物系半導体基板の製造方法、iii−v族窒化物系半導体基板のロット |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9184339B2 (en) | 2010-06-18 | 2015-11-10 | Sensor Electronic Technology, Inc. | Deep ultraviolet light emitting diode |
US8907322B2 (en) | 2010-06-18 | 2014-12-09 | Sensor Electronic Technology, Inc. | Deep ultraviolet light emitting diode |
US8927959B2 (en) | 2010-06-18 | 2015-01-06 | Sensor Electronic Technology, Inc. | Deep ultraviolet light emitting diode |
JP2013530537A (ja) * | 2010-06-18 | 2013-07-25 | センサー エレクトロニック テクノロジー インコーポレイテッド | 深紫外発光ダイオード |
US9437774B2 (en) | 2010-06-18 | 2016-09-06 | Sensor Electronic Technology, Inc. | Deep ultraviolet light emitting diode |
US9806226B2 (en) | 2010-06-18 | 2017-10-31 | Sensor Electronic Technology, Inc. | Deep ultraviolet light emitting diode |
US10224456B2 (en) | 2010-06-18 | 2019-03-05 | Sensor Electronic Technology, Inc. | Deep ultraviolet light emitting diode |
JPWO2012056928A1 (ja) * | 2010-10-29 | 2014-03-20 | 株式会社トクヤマ | 光学素子の製造方法 |
JP5931737B2 (ja) * | 2010-10-29 | 2016-06-08 | 株式会社トクヤマ | 光学素子の製造方法 |
WO2014042054A1 (ja) | 2012-09-11 | 2014-03-20 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム基板およびiii族窒化物積層体 |
KR20150054785A (ko) | 2012-09-11 | 2015-05-20 | 가부시키가이샤 도쿠야마 | 질화 알루미늄 기판 및 iii족 질화물 적층체 |
US9343525B2 (en) | 2012-09-11 | 2016-05-17 | Tokuyama Corporation | Aluminum nitride substrate and group-III nitride laminate |
JP7401182B2 (ja) | 2018-03-02 | 2023-12-19 | 住友化学株式会社 | GaN積層体およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5262545B2 (ja) | 2013-08-14 |
US20090114943A1 (en) | 2009-05-07 |
CN101425484A (zh) | 2009-05-06 |
US8026523B2 (en) | 2011-09-27 |
CN101425484B (zh) | 2012-07-25 |
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