JP2009134279A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 強誘電性材料からなり、第一の主面、第二の主面、一対の側面、光の入射面および出射面を備える光導波路基板、
   前記第一の主面に形成されたチャンネル光導波路であって、少なくとも一対の分岐部、前記分岐部の合波部およびこの合波部の下流側の出射部を含んでいるチャンネル光導波路、
   前記分岐部を伝搬する光を変調する信号電圧を印加するための変調用電極であって、前記光導波路基板の前記第一の主面に形成された変調用電極、
   補強基板、
   前記光導波路基板の前記第二の主面を前記補強基板に接着する接着層、
   前記光導波路基板の前記第一の主面に設けられた受光器、および
   前記合波部からのＯＦＦモードの漏れ光を反射し、前記第一の主面から出射させるための反射溝を備えており、前記反射溝が前記光導波路基板を前記第一の主面と前記第二の主面との間で貫通し、かつ前記接着層内まで延びており、前記ＯＦＦモードの漏れ光の光出力に基づいて、前記変調用電極に加わる直流バイアスを変化させることによって、前記光変調器の動作点を制御することを特徴とする、光変調器。
2. 前記光導波路基板の厚さが０．５μｍ以上、３０μｍ以下であることを特徴とする、請求項１記載の光変調器。
3. 強誘電性材料からなり、第一の主面、第二の主面、一対の側面、光の入射面および出射面を備える光導波路基板、
   前記第一の主面に形成されたチャンネル光導波路であって、少なくとも一対の分岐部、前記分岐部の合波部およびこの合波部の下流側の出射部を含んでいるチャンネル光導波路、
   前記分岐部を伝搬する光を変調する信号電圧を印加するための変調用電極であって、前記光導波路基板の前記第一の主面に形成された変調用電極、
   前記合波部からの信号光またはＯＦＦモードの漏れ光を伝搬するガイド光導波路、
   補強基板、
   前記光導波路基板の前記第二の主面を前記補強基板に接着する接着層、
   前記光導波路基板の前記第一の主面に設けられた受光器、および
   前記ガイド光導波路の出射端に接するように形成されており、前記信号光または前記ＯＦＦモードの漏れ光を前記第一の主面から前記光導波路基板外に出射させる反射溝を備えており、前記反射溝が前記光導波路基板を前記第一の主面と前記第二の主面との間で貫通し、かつ前記接着層内まで延びており、前記ＯＦＦモードの漏れ光の光出力に基づいて、前記変調用電極に加わる直流バイアスを変化させることによって、前記光変調器の動作点を制御することを特徴とする、光変調器。
4. 前記光導波路基板の厚さが０．５μｍ以上、３０μｍ以下であることを特徴とする、請求項３記載の光変調器。
5. 強誘電性材料からなり、第一の主面、第二の主面、一対の側面、光の入射面および出射面を備える光導波路基板、
   前記第一の主面側に形成されたチャンネル光導波路であって、少なくとも一対の分岐部、前記分岐部の合波部およびこの合波部の下流側の出射部を含んでいるチャンネル光導波路、
   前記分岐部を伝搬する光を変調する信号電圧を印加するための変調用電極であって、前記光導波路基板の前記第一の主面に形成された変調用電極、
   前記合波部からの信号光またはＯＦＦモードの漏れ光を伝搬するガイド光導波路、
   補強基板、
   前記光導波路基板の前記第二の主面を前記補強基板に接着する接着層、
   前記光導波路基板の前記第一の主面に設けられた受光器、
   前記ガイド光導波路の出射端に接するように形成されている溝であって、前記光導波路基板を前記第一の主面と前記第二の主面との間で貫通し、かつ前記接着層内まで延びている溝、および
   前記溝に設けられており、前記信号光または前記ＯＦＦモードの漏れ光を前記第一の主面から前記光導波路基板外に出射させる反射板を備えており、前記ＯＦＦモードの漏れ光の光出力に基づいて、前記変調用電極に加わる直流バイアスを変化させることによって、前記光変調器の動作点を制御することを特徴とする、光変調器。
6. 前記溝が、前記光導波路基板内において前記主面に対して垂直であることを特徴とする、請求項５記載の光変調器。
7. 前記光導波路基板の厚さが０．５μｍ以上、３０μｍ以下であることを特徴とする、請求項５または６記載の光変調器。