JP2009134279A - 光変調器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光変調器20は、強誘電性材料からなり、一対の主面1a、1c、一対の側面1b、光の入射面1dおよび出射面1eを備える光導波路基板1、主面側1aに形成されたチャンネル光導波路4であって、少なくとも一対の分岐部4b、分岐部の合波部6およびこの合波部の下流側の出射部4cを含んでいるチャンネル光導波路、分岐部を伝搬する光を変調する信号電圧を印加するための変調用電極2、3、および合波部6からのOFFモードの漏れ光を反射し、一方の主面1aから出射させるための反射溝7を備えている。OFFモードの漏れ光の光出力に基づいて、変調用電極に加わる直流バイアスを変化させることによって、光変調器の動作点を制御する。
【選択図】 図1
Description
強誘電性材料からなり、一対の主面、一対の側面、光の入射面および出射面を備える光導波路基板、
一方の主面側に形成されたチャンネル光導波路であって、少なくとも一対の分岐部、分岐部の合波部およびこの合波部の下流側の出射部を含んでいるチャンネル光導波路、
分岐部を伝搬する光を変調する信号電圧を印加するための変調用電極、および
合波部からのOFFモードの漏れ光を反射し、一方の主面から出射させるための反射溝を備えており、
OFFモードの漏れ光の光出力に基づいて、変調用電極に加わる直流バイアスを変化させることによって、光変調器の動作点を制御することを特徴とする。
強誘電性材料からなり、一対の主面、一対の側面、光の入射面および出射面を備える光導波路基板、
一方の主面側に形成されたチャンネル光導波路であって、少なくとも一対の分岐部、分岐部の合波部およびこの合波部の下流側の出射部を含んでいるチャンネル光導波路、
分岐部を伝搬する光を変調する信号電圧を印加するための変調用電極、
合波部からの信号光またはOFFモードの漏れ光を伝搬するガイド光導波路、および
ガイド光導波路の出射端に接するように形成されており、信号光またはOFFモードの漏れ光を光導波路基板外に出射させる反射溝を備えていることを特徴とする。
一方の主面側に形成されたチャンネル光導波路であって、少なくとも一対の分岐部、分岐部の合波部およびこの合波部の下流側の出射部を含んでいるチャンネル光導波路、
分岐部を伝搬する光を変調する信号電圧を印加するための変調用電極、
合波部からの信号光またはOFFモードの漏れ光を伝搬するガイド光導波路、
ガイド光導波路の出射端に接するように形成されている溝、および
溝に設けられており、信号光またはOFFモードの漏れ光を光導波路基板外に出射させる反射板を備えていることを特徴とする。
図1(a)は、第一の発明の一実施形態に係る光変調器20の模式的正面図であり、図1(b)は、光変調器20の模式的平面図である。
以下、図4に示す光変調器を作製し、実験した。
具体的には、光導波路基板1をニオブ酸リチウム単結晶から形成した。基板は3インチ基板を用いた。
先ず厚さ1mmの3インチニオブ酸リチウム基板にチタン拡散導波路4を形成した。Ti線幅は3.6umとし、途中Y型分岐をさせるいわゆるMZ(マッハツェンダー)型導波路とした。さらにMZ導波路合波部6から10um程度ギャップを設け、漏れ光をガイドするガイド光導波路29を形成した。このチタン導波路パターンを1031℃にて熱拡散させ、光導波路とした。次に、電極2、3をめっき加工により形成した。電極ギャップは15μmとし、電極厚さは15μmとした。
Detector)にて受光し、電流として出力させた。結果として、MZ導波路への光入力に対するOFFモードの漏れ光の受光効率は10mA/Wとなり、現実使用し得るレベルとなった。
以下、図12および図4に示す光変調器を作製し、実験した。
具体的には、光導波路基板1をニオブ酸リチウム単結晶から形成した。基板は3インチ基板を用いた。
先ず厚さ1mmの3インチニオブ酸リチウム基板にチタン拡散導波路4を形成した。Ti線幅は3.6umとし、途中Y型分岐をさせるいわゆるMZ(マッハツェンダー)型導波路とした。さらにMZ導波路合波部6から10um程度ギャップを設け、漏れ光をガイドするガイド光導波路29を形成した。このチタン導波路パターンを1031℃にて熱拡散させ、光導波路とした。次に、電極2、3をめっき加工により形成した。電極ギャップは15μmとし、電極厚さは15μmとした。
Detector)にて受光し、電流として出力させた。結果として、MZ導波路への光入力に対するOFFモードの漏れ光の受光効率は10mA/Wとなり、現実使用し得るレベルとなった。
Claims (14)
- 強誘電性材料からなり、一対の主面、一対の側面、光の入射面および出射面を備える光導波路基板、
一方の前記主面側に形成されたチャンネル光導波路であって、少なくとも一対の分岐部、前記分岐部の合波部およびこの合波部の下流側の出射部を含んでいるチャンネル光導波路、
前記分岐部を伝搬する光を変調する信号電圧を印加するための変調用電極、および
前記合波部からのOFFモードの漏れ光を反射し、前記一方の主面から出射させるための反射溝を備えており、
前記OFFモードの漏れ光の光出力に基づいて、前記変調用電極に加わる直流バイアスを変化させることによって、前記光変調器の動作点を制御することを特徴とする、光変調器。 - 補強基板、および前記光導波路基板を他方の前記主面側で前記補強基板と接着する接着層を備えていることを特徴とする、請求項1記載の光変調器。
- 前記反射溝が前記光導波路基板を貫通し、前記接着層内まで伸びていることを特徴とする、請求項2記載の光変調器。
- 強誘電性材料からなり、一対の主面、一対の側面、光の入射面および出射面を備える光導波路基板、
一方の前記主面側に形成されたチャンネル光導波路であって、少なくとも一対の分岐部、前記分岐部の合波部およびこの合波部の下流側の出射部を含んでいるチャンネル光導波路、
前記分岐部を伝搬する光を変調する信号電圧を印加するための変調用電極、
前記合波部からの信号光またはOFFモードの漏れ光を伝搬するガイド光導波路、および
前記ガイド光導波路の出射端に接するように形成されており、前記信号光または前記OFFモードの漏れ光を前記光導波路基板外に出射させる反射溝を備えていることを特徴とする、光変調器。 - 前記光導波路基板から出射したOFFモードの漏れ光の光出力に基づいて、前記変調用電極に加わる直流バイアスを変化させることによって、前記光変調器の動作点を制御することを特徴とする、請求項4記載の光変調器。
- 前記信号光またはOFFモードの漏れ光が前記光導波路基板の前記一方の主面から出射することを特徴とする、請求項4記載の光変調器。
- 前記信号光またはOFFモードの漏れ光が前記光導波路基板の前記側面から出射することを特徴とする、請求項4記載の光変調器。
- 前記反射溝から前記側面へと向かって延びる第二のガイド光導波路が設けられていることを特徴とする、請求項7記載の光変調器。
- 補強基板、および前記光導波路基板を他方の前記主面側で前記補強基板と接着する接着層を備えていることを特徴とする、請求項4〜8のいずれか一つの請求項に記載の光変調器。
- 前記反射溝が前記光導波路基板を貫通し、前記接着層内まで伸びていることを特徴とする、請求項9記載の光変調器。
- 強誘電性材料からなり、一対の主面、一対の側面、光の入射面および出射面を備える光導波路基板、
一方の前記主面側に形成されたチャンネル光導波路であって、少なくとも一対の分岐部、前記分岐部の合波部およびこの合波部の下流側の出射部を含んでいるチャンネル光導波路、
前記分岐部を伝搬する光を変調する信号電圧を印加するための変調用電極、
前記合波部からの信号光またはOFFモードの漏れ光を伝搬するガイド光導波路、
前記ガイド光導波路の出射端に接するように形成されている溝、および
前記溝に設けられており、前記信号光または前記OFFモードの漏れ光を前記光導波路基板外に出射させる反射板を備えていることを特徴とする、光変調器。 - 補強基板、および前記光導波路基板を他方の前記主面側で前記補強基板と接着する接着層を備えていることを特徴とする、請求項11記載の光変調器。
- 前記溝が前記光導波路基板を貫通し、少なくとも前記接着層内まで伸びていることを特徴とする、請求項12記載の光変調器。
- 前記溝が、前記光導波路基板内において前記主面に対して垂直であることを特徴とする、請求項13記載の光変調器。
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