JP6237160B2 - 光導波路デバイス - Google Patents
光導波路デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP6237160B2 JP6237160B2 JP2013244767A JP2013244767A JP6237160B2 JP 6237160 B2 JP6237160 B2 JP 6237160B2 JP 2013244767 A JP2013244767 A JP 2013244767A JP 2013244767 A JP2013244767 A JP 2013244767A JP 6237160 B2 JP6237160 B2 JP 6237160B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light receiving
- waveguide
- diffusion
- receiving element
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Description
(1) 誘電体基板と、該誘電体基板上に高屈折率材料を熱拡散して形成される拡散導波路と、該拡散導波路の上方に配置され、該拡散導波路を伝搬する光波の一部を受光する受光素子とを備えた光導波路デバイスにおいて、該受光素子は、該誘電体基板上に形成された台座上に配置し固定され、該台座の少なくとも一部は、該拡散導波路を形成する高屈折率材料と同じ高屈折率材料を熱拡散して形成すると共に、該拡散導波路の線幅の3倍以内の幅の線の集合体で構成されていることを特徴とする。
2 拡散導波路
3 台座
4 受光素子
5 接着材
6 受光部
7 透明基板(高屈折率材料)
8,9 膜体
10,11 凹部
20 出力導波路
21,22 放射光用導波路
71 低屈折率膜
72 高屈折率膜
Claims (5)
- 誘電体基板と、該誘電体基板上に高屈折率材料を熱拡散して形成される拡散導波路と、該拡散導波路の上方に配置され、該拡散導波路を伝搬する光波の一部を受光する受光素子とを備えた光導波路デバイスにおいて、
該受光素子は、該誘電体基板上に形成された台座上に配置し固定され、
該台座の少なくとも一部は、該拡散導波路を形成する高屈折率材料と同じ高屈折率材料を熱拡散して形成すると共に、該拡散導波路の線幅の3倍以内の幅の線の集合体で構成されていることを特徴とする光導波路デバイス。 - 誘電体基板と、該誘電体基板上に高屈折率材料を熱拡散して形成される拡散導波路と、該拡散導波路の上方に配置され、該拡散導波路を伝搬する光波の一部を受光する受光素子とを備えた光導波路デバイスにおいて、
該受光素子は、該誘電体基板上に形成された台座上に配置し固定され、
該台座の少なくとも一部は、該拡散導波路を形成する高屈折率材料と同じ高屈折率材料を熱拡散して形成すると共に、該拡散導波路が延在する方向とほぼ同じ方向に延在する線の集合体で構成されていることを特徴とする光導波路デバイス。 - 請求項1に記載の光導波路デバイスにおいて、前記台座の一部は、該拡散導波路が延在する方向とほぼ同じ方向に延在する線の集合体で構成されていることを特徴とする光導波路デバイス。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の光導波路デバイスにおいて、該高屈折率材料で形成した台座上、又は該受光素子の該台座への対向面のいずれか、もしくは両方に該拡散導波路と該受光素子の下面とのギャップを調整するための膜体が配置されていることを特徴とする光導波路デバイス。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載の光導波路デバイスにおいて、該受光素子は、受光部と該受光部を保持する透明基板を備え、該受光素子が複数本の拡散導波路に跨って配置され、該透明基板の該拡散導波路に対向する面には、該受光部が受光すべき光波を伝搬する拡散導波路には近接し、該受光部が受光しない光波を伝搬する拡散導波路からは離れるよう構成された凹凸が形成されていることを特徴とする光導波路デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013244767A JP6237160B2 (ja) | 2013-11-27 | 2013-11-27 | 光導波路デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013244767A JP6237160B2 (ja) | 2013-11-27 | 2013-11-27 | 光導波路デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015102789A JP2015102789A (ja) | 2015-06-04 |
JP6237160B2 true JP6237160B2 (ja) | 2017-11-29 |
Family
ID=53378501
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013244767A Active JP6237160B2 (ja) | 2013-11-27 | 2013-11-27 | 光導波路デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6237160B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6056800B2 (ja) * | 2014-03-31 | 2017-01-11 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器 |
JP6249031B2 (ja) | 2016-03-18 | 2017-12-20 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器、及び光変調器を用いた光送信装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6625368B1 (en) * | 1999-10-15 | 2003-09-23 | California Institute Of Technology | Titanium-indiffusion waveguides and methods of fabrication |
JP4782213B2 (ja) * | 2009-03-19 | 2011-09-28 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路デバイス |
JP5782974B2 (ja) * | 2011-09-30 | 2015-09-24 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器及び光変調器の受光素子の受光量調整方法 |
-
2013
- 2013-11-27 JP JP2013244767A patent/JP6237160B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015102789A (ja) | 2015-06-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5782974B2 (ja) | 光変調器及び光変調器の受光素子の受光量調整方法 | |
JP6056800B2 (ja) | 光変調器 | |
KR101744281B1 (ko) | 광도파로 내부에 광경로 전환용 마이크로 거울을 내장한 광집적회로 및 그 제조방법 | |
JP2006276518A (ja) | 光変調器 | |
JP5369883B2 (ja) | 光制御素子 | |
JP4782213B2 (ja) | 光導波路デバイス | |
US20150016771A1 (en) | Optical device and fabrication method of optical device | |
JP2007264488A (ja) | 光導波路素子 | |
JP5660095B2 (ja) | 光変調器 | |
JP2015138145A (ja) | 光変調器 | |
JP6237160B2 (ja) | 光導波路デバイス | |
JP5729075B2 (ja) | 光導波路素子 | |
JP4792494B2 (ja) | 光変調器 | |
JP3932276B2 (ja) | 出力光モニタ付き多チャンネル型光変調器 | |
JP2008089778A (ja) | 光デバイスおよび光デバイスの製造方法 | |
JP4694235B2 (ja) | 光導波路素子 | |
JP4589884B2 (ja) | 光制御素子及びその製造方法 | |
JP6424855B2 (ja) | 光変調器 | |
CN107229140B (zh) | 光调制器 | |
JP2007271850A (ja) | 光デバイス | |
JP2014228640A (ja) | 光フィルタ | |
JP6102432B2 (ja) | 光変調器 | |
JP5908369B2 (ja) | 受光デバイス | |
JP2009014826A (ja) | モニタフォトディテクタ付き光変調器 | |
JP2013174850A (ja) | モニタフォトディテクタ付き光変調器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160810 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170704 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170630 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170904 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171003 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171016 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6237160 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |