JP4782213B2 - 光導波路デバイス - Google Patents
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Description
図1に本発明に係る光導波路デバイスの平面図を、図2に図1における矢印A−A'における断面図であり、本発明の第1の実施例を示す。
2 拡散導波路
3 台座
4 受光素子
5,6 膜体
7 接着材
40 受光部
42 高屈折率材料基板
Claims (5)
- 誘電体基板と、該誘電体基板に高屈折率材料を熱拡散して形成される、該誘電体基板よりも盛り上がっている拡散導波路と、該拡散導波路の上方に配置され、該拡散導波路を伝搬する光波の一部を受光する受光素子とを有する光導波路デバイスにおいて、
該受光素子を該誘電体基板上に支持するための台座の少なくとも一部を、該拡散導波路を形成する際に、同じ高屈折率材料を該拡散導波路の近傍に所定パターンで配置し、熱拡散することにより、該誘電体基板よりも盛り上がり、該拡散導波路の表面の盛り上がりとほぼ同じ高さを有する凸部を形成し、該受光素子と該誘電体基板とを接着材で固定することを特徴とする光導波路デバイス。 - 請求項1に記載の光導波路デバイスにおいて、該誘電体基板はニオブ酸リチウム、該高屈折率材料はチタンであることを特徴とする光導波路デバイス。
- 請求項1又は2に記載の光導波路デバイスにおいて、該所定パターンは、該拡散導波路の少なくとも一方側では、隙間を設けて配置される島状パターンであり、該受光素子を該誘電体基板に接着する接着剤が該隙間から排出又は導入されるよう構成されていることを特徴とする光導波路デバイス。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の光導波路デバイスにおいて、該所定パターンは、該受光素子の下部と接する台座部分の総面積が、受光素子の下部の全体面積の60%以下であることを特徴とする光導波路デバイス。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載の光導波路デバイスにおいて、高屈折材料で形成した台座上、又は該受光素子の該台座への対向面のいずれか、もしくは両方に導波路と受光素子下面とのギャップを調整するための膜体が配置されていることを特徴とする光導波路デバイス。
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