JPH10260328A - 光変調素子 - Google Patents

光変調素子

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JPH10260328A
JPH10260328A JP9086107A JP8610797A JPH10260328A JP H10260328 A JPH10260328 A JP H10260328A JP 9086107 A JP9086107 A JP 9086107A JP 8610797 A JP8610797 A JP 8610797A JP H10260328 A JPH10260328 A JP H10260328A
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JP
Japan
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reflection
optical
light
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side end
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JP9086107A
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Akira Sato
顕 佐藤
Haruhiko Tsuchiya
治彦 土屋
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Tokin Corp
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Tokin Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光学バイアス点を容易に制御し、感度及び感
度直線性の高い光変調素子の提供。 【解決手段】 光の反射側の光導波路を含む反射側端面
４と反射板２の接着面の片端にスペーサ３を配し、反射
側端面４と反射板２との間に傾斜角θを設けた光変調素
子。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電気光学効果を呈
する基板上に形成された光導波路を利用して構成される
光変調素子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】変調器、光電界センサ等のデバイスに使
われる光変調素子は、ニオブ酸リチウム等の電気光学効
果を呈する材料を基板として製作される。その構成を図
３に示す。
【０００３】図３において、光変調素子１０は、ニオブ
酸リチウム基板１上に、Ｔｉの熱拡散によって分岐干渉
型光導波路Ａを形成し、この分岐干渉型光導波路Ａの近
傍に変調電極Ｂを形成し、更に、反射側端面４に反射板
２を、例えば、紫外線硬化型接着剤等で接着することに
より製作される。
【０００４】以上の構成の光変調素子１０では、分岐干
渉型光導波路Ａを通過するレーザ光は変調電極Ｂに与え
られる電界に対して、三角関数的に出力変動が起こる。
これを数式で表すと、（１）式に表すことができる。
【０００５】 Ｐout＝αＰin［１＋ｃｏｓ（Ｖ1・π／Ｖπ＋φ）］／２・・・（１） Ｐout：出力光強度、Ｐin：入力光強度、Ｖπ：半波長
電圧、α：光挿入損失、Ｖ1：印加電圧。
【０００６】上記（１）式において、φは印加電圧０Ｖ
での位相バイアス（以後、光学バイアス点と称す）のシ
フト値を示している。又、光変調素子に必要な条件とし
ては、光学バイアス点が、直線性の高い最大値と最小値
の中点付近に位置していることである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】前述したように、光学
バイアス点が最大値と最小値の中点付近にある時、光
は、印加電圧に対し、直線的に強度変調される。ところ
が、光学バイアス点が、最大値または最小値に近いもの
ほど、強度変調の直線性は悪くなり、なおかつ、感度も
劣化する。
【０００８】この光学バイアス点を光変調素子の製造方
法上で制御するには、非常に高精度の製作条件が要求さ
れ、これが光変調素子の歩留を悪くする最大の要因にな
っていた。
【０００９】従って、本発明の課題は、光学バイアス点
を容易に制御し、感度及び感度直線性の高い光変調素子
を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、電気光学効果
を呈する基板上に形成した分岐干渉型光導波路の近傍に
変調電極を形成し、光の入出射側の光導波路を含む端面
と対向する、光の反射側の光導波路を含む反射側端面に
反射板を接着してなる光変調素子において、前記反射側
端面と前記反射板の接着面の片端にスペーサを配し、前
記反射側端面と前記反射板との間に傾斜角を設けたこと
を特徴とする光変調素子である。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。
【００１２】本発明の第１の実施の形態の光変調素子を
図１に、第２の実施の形態の光変調素子を図２に示す。
【００１３】図１及び図２に示す光変調素子１０は、光
学バイアス点を測定した後、光の反射側の光導波路を含
む反射側端面４と反射板２との片端に、下記の（２）式
で求められる厚みのスペーサ３を配し、光導波路を含む
反射側端面４と反射板２の間に傾斜角θが形成されてい
ることを特徴とする。
【００１４】 ｄ＝Ｖa／Ｖπ×λ／４ｎ×ｗ／Ｌ・・・・・（２）
【００１５】ここで、必要なスペーサ厚みを得るには、
スペーサ厚みｄ、傾斜角θが０゜の時に、中点までの位
相シフトに必要な印加電圧Ｖa、光の波長λ、接着剤の
屈折率ｎ、分岐した光導波路間距離Ｌ、光変調素子幅ｗ
として与えられる。
【００１６】このようにして製作された光変調素子１０
では、反射部Ｃにおいて、分岐した光導波路の間に、Ｖ
a／Ｖπ×λ／２ｎの光路差を生じる。この結果、印加
電圧Ｖ1が０Ｖにおいて、光導波路を通過して反射部Ｃ
で反射して再び合波される光は、最大値と最小値の中点
近傍の強度となる。
【００１７】
【実施例】光変調素子幅６ｍｍ、分岐した光導波路間距
離３６μｍで、図１に示す第１の実施の形態の光変調素
子１０を製作した。この光変調素子１０の特性を測定し
たところ、Ｖπ＝５Ｖ、光学バイアス点は最大値近傍で
あった。
【００１８】この光変調素子１０の反射部Ｃに厚さ１５
μｍのスペーサ３により、光導波路を含む端面５と反射
板２の間に傾斜を設けた結果、光学バイアス点は最大値
より１／２の位置まで修正された。
【００１９】
【発明の効果】以上、述べたように、本発明によれば、
容易に光学バイアス点を制御し、感度及び感度直線性の
高い光変調素子を歩留よく得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による第１の実施の形態の光変調素子の
説明図。
【図２】本発明による第２の実施の形態の光変調素子の
説明図。
【図３】従来の光変調素子の説明図。
【符号の説明】
１ ニオブ酸リチウム基板 ２ 反射板 ３ スペーサ ４ 反射側端面 ５ 端面 １０ 光変調素子 Ａ （分岐干渉型）光導波路 Ｂ 変調電極 Ｃ 反射部 θ 傾斜角

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 電気光学効果を呈する基板上に形成した
    分岐干渉型光導波路の近傍に変調電極を形成し、光の入
    出射側の光導波路を含む端面と対向する、光の反射側の
    光導波路を含む反射側端面に反射板を接着してなる光変
    調素子において、前記反射側端面と前記反射板の接着面
    の片端にスペーサを配し、前記反射側端面と前記反射板
    との間に傾斜角を設けたことを特徴とする光変調素子。
JP9086107A 1997-03-19 1997-03-19 光変調素子 Withdrawn JPH10260328A (ja)

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CA2232734A1 (en) 1998-09-19
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