JPH05249419A - 光導波路型光デバイス - Google Patents
光導波路型光デバイスInfo
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- JPH05249419A JPH05249419A JP5163992A JP5163992A JPH05249419A JP H05249419 A JPH05249419 A JP H05249419A JP 5163992 A JP5163992 A JP 5163992A JP 5163992 A JP5163992 A JP 5163992A JP H05249419 A JPH05249419 A JP H05249419A
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- Japan
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/21—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference
- G02F1/225—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference in an optical waveguide structure
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2201/00—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
- G02F2201/17—Multi-pass arrangements, i.e. arrangements to pass light a plurality of times through the same element, e.g. by using an enhancement cavity
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- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光変調器の変調動作点を変更するのに素子１
個当たりの結晶面積を大きくする必要がなく、ウェーハ
当たりの素子数を多くし、伝搬損失を低減することがで
きる光導波路型光デバイスを提供する。 【構成】 この発明の光導波路型光デバイスでは、Ｙ分
岐光導波路の２つの平行光導波路からの出射光は、斜め
になった結晶反射面にて反射される。そして、結晶反射
面で反射された２つの光は再びＹ分岐点に達し、ここで
同相で交われば強め合って合波されて光導波路に導かれ
るが、逆相であれば弱め合って導波路外に放射される。
そこで、平行光導波路の結晶反射面に対する角度を調整
することにより、容易に変調動作点を変更することがで
きる。
個当たりの結晶面積を大きくする必要がなく、ウェーハ
当たりの素子数を多くし、伝搬損失を低減することがで
きる光導波路型光デバイスを提供する。 【構成】 この発明の光導波路型光デバイスでは、Ｙ分
岐光導波路の２つの平行光導波路からの出射光は、斜め
になった結晶反射面にて反射される。そして、結晶反射
面で反射された２つの光は再びＹ分岐点に達し、ここで
同相で交われば強め合って合波されて光導波路に導かれ
るが、逆相であれば弱め合って導波路外に放射される。
そこで、平行光導波路の結晶反射面に対する角度を調整
することにより、容易に変調動作点を変更することがで
きる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、光通信、情報処理な
どに用いる光導波路型光デバイスに関し、特に反射光に
対して光強度変調したり、モードを選択したりする光導
波路型光デバイスに関する。
どに用いる光導波路型光デバイスに関し、特に反射光に
対して光強度変調したり、モードを選択したりする光導
波路型光デバイスに関する。
【０００２】［発明の概要］この発明は、半導体、ガラ
ス、ＬｉＮｂＯ3 （ＬＮ）などの結晶基板上に形成され
た光導波路型光デバイスに関するもので、Ｙ分岐光導波
路と平行電極から構成される反射形の分岐干渉型の光変
調器において、Ｙ分岐光導波路の平行光導波路の部分を
結晶反射面に対して斜めになるように形成することによ
り、変調動作点を容易に制御できると共に、特に零電圧
にて反射戻り光をカットオフ状態にすることを可能に
し、また偏光フィルタとして動作させることを可能にす
るものである。
ス、ＬｉＮｂＯ3 （ＬＮ）などの結晶基板上に形成され
た光導波路型光デバイスに関するもので、Ｙ分岐光導波
路と平行電極から構成される反射形の分岐干渉型の光変
調器において、Ｙ分岐光導波路の平行光導波路の部分を
結晶反射面に対して斜めになるように形成することによ
り、変調動作点を容易に制御できると共に、特に零電圧
にて反射戻り光をカットオフ状態にすることを可能に
し、また偏光フィルタとして動作させることを可能にす
るものである。
【０００３】
【従来の技術】従来、図６に示すような結晶基板１０１
上に形成したＹ分岐光導波路１０２と平行電極１０３か
ら構成される反射形の分岐干渉型の光変調器において、
その変調動作点を変えるには、Ｙ分岐光導波路１０２の
平行光導波路１０４の部分の間隔を広くし、Ｓ１とＳ２
との差を変えることにより行なっていた。
上に形成したＹ分岐光導波路１０２と平行電極１０３か
ら構成される反射形の分岐干渉型の光変調器において、
その変調動作点を変えるには、Ｙ分岐光導波路１０２の
平行光導波路１０４の部分の間隔を広くし、Ｓ１とＳ２
との差を変えることにより行なっていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
従来の光導波路型光デバイスでは、Ｓ１とＳ２の差を大
きく変えるためにＹ分岐光導波路の平行光導波路の部分
の間隔が広がり、Ｙ分岐点の曲がり導波路１０５の長さ
ｌb が長くなり、素子１個当たりの結晶面積が大きくな
り、このために、ウエーハ当たりの素子数が少なくなっ
てしまう問題点があり、加えて、伝搬損失も大きくなる
問題点があった。
従来の光導波路型光デバイスでは、Ｓ１とＳ２の差を大
きく変えるためにＹ分岐光導波路の平行光導波路の部分
の間隔が広がり、Ｙ分岐点の曲がり導波路１０５の長さ
ｌb が長くなり、素子１個当たりの結晶面積が大きくな
り、このために、ウエーハ当たりの素子数が少なくなっ
てしまう問題点があり、加えて、伝搬損失も大きくなる
問題点があった。
【０００５】この発明は、このような従来の問題点に鑑
みなされたもので、結晶基板上にＹ分岐光導波路と２つ
の平行光導波路とそれに沿って設けた平行電極とを有
し、平行光導波路が反射面に対して斜めになるように形
成することにより、光変調器の変調動作点を変更するの
に素子１個当たりの結晶面積を大きくする必要がなく、
ウェーハ当たりの素子数を多くし、伝搬損失を低減する
ことができる光導波路型光デバイスを提供することを目
的とする。
みなされたもので、結晶基板上にＹ分岐光導波路と２つ
の平行光導波路とそれに沿って設けた平行電極とを有
し、平行光導波路が反射面に対して斜めになるように形
成することにより、光変調器の変調動作点を変更するの
に素子１個当たりの結晶面積を大きくする必要がなく、
ウェーハ当たりの素子数を多くし、伝搬損失を低減する
ことができる光導波路型光デバイスを提供することを目
的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明の光導波路型光
デバイスは、結晶基板上にＹ分岐光導波路とこれにつな
がる２つの平行光導波路とこの２つの平行光導波路に沿
って設けた平行電極とを有し、前記平行光導波路が結晶
反射面に対して斜めになるように形成したものである。
デバイスは、結晶基板上にＹ分岐光導波路とこれにつな
がる２つの平行光導波路とこの２つの平行光導波路に沿
って設けた平行電極とを有し、前記平行光導波路が結晶
反射面に対して斜めになるように形成したものである。
【０００７】またこの発明は、上記の光導波路デバイス
において、Ｙ分岐光導波路のＹ分岐点より分岐され、各
平行光導波路を通る２つの分岐光が反射面で反射し、再
びＹ分岐点に至るまでの２つの光の位相差が特にπとな
るような角度に平行光導波路を結晶反射面に対して斜め
に形成したものとすることができる。
において、Ｙ分岐光導波路のＹ分岐点より分岐され、各
平行光導波路を通る２つの分岐光が反射面で反射し、再
びＹ分岐点に至るまでの２つの光の位相差が特にπとな
るような角度に平行光導波路を結晶反射面に対して斜め
に形成したものとすることができる。
【０００８】またこの発明は、上記の光導波路型光デバ
イスにおいて、Ｙ分岐光導波路のＹ分岐点より分岐さ
れ、各平行光導波路を通る２つの分岐光が反射面で反射
し、再びＹ分岐点に至るまでの２つの光の位相差が特に
π／２となるような角度に平行光導波路を反射面に対し
て斜めに形成したものとすることができる。
イスにおいて、Ｙ分岐光導波路のＹ分岐点より分岐さ
れ、各平行光導波路を通る２つの分岐光が反射面で反射
し、再びＹ分岐点に至るまでの２つの光の位相差が特に
π／２となるような角度に平行光導波路を反射面に対し
て斜めに形成したものとすることができる。
【０００９】また、この発明は、上記の光導波路型光デ
バイスにおいて、結晶基板をＸカットＬｉＮｂＯ3 結晶
とし、Ｚ軸方向に光を伝搬させ、電界方向がＹ軸方向に
なるように電極を形成したものとすることができる。
バイスにおいて、結晶基板をＸカットＬｉＮｂＯ3 結晶
とし、Ｚ軸方向に光を伝搬させ、電界方向がＹ軸方向に
なるように電極を形成したものとすることができる。
【００１０】
【作用】この発明の光導波路型光デバイスでは、Ｙ分岐
光導波路に入射した光はＹ分岐点で２つに分岐され、２
つの平行光導波路からの出射され、斜めになった結晶反
射面にて反射される。そして、結晶反射面で反射された
２つの光は再びＹ分岐点に達し、ここで同相で交われば
強め合って合波されてＹ分岐光導波路に導かれるが、逆
相であれば弱め合ってＹ分岐光導波路外に放射される。
光導波路に入射した光はＹ分岐点で２つに分岐され、２
つの平行光導波路からの出射され、斜めになった結晶反
射面にて反射される。そして、結晶反射面で反射された
２つの光は再びＹ分岐点に達し、ここで同相で交われば
強め合って合波されてＹ分岐光導波路に導かれるが、逆
相であれば弱め合ってＹ分岐光導波路外に放射される。
【００１１】そこで、平行導波路の結晶反射面に対する
角度を調整することにより、容易に変調動作点を変更す
ることができる。
角度を調整することにより、容易に変調動作点を変更す
ることができる。
【００１２】
【実施例】以下、この発明の実施例を図に基づいて詳説
する。
する。
【００１３】図１はこの発明の一実施例を示しており、
ＸカットしたＬｉＮｂＯ3 結晶基板１上に入射光２の進
行方向がＺ軸（ＬＮの光軸方向）に沿うように形成され
たＹ分岐光導波路３と電界がＹ軸方向となるように装荷
された電極４とから構成されている。そして、結晶反射
面５はＹ分岐光導波路３の２つの平行光導波路６の部分
に対してθの角度をなすように設定されている。
ＸカットしたＬｉＮｂＯ3 結晶基板１上に入射光２の進
行方向がＺ軸（ＬＮの光軸方向）に沿うように形成され
たＹ分岐光導波路３と電界がＹ軸方向となるように装荷
された電極４とから構成されている。そして、結晶反射
面５はＹ分岐光導波路３の２つの平行光導波路６の部分
に対してθの角度をなすように設定されている。
【００１４】このような光導波路型光デバイスでは、入
射光２がＹ分岐光導波路３に入射すると、Ｙ分岐点７か
ら２つの平行光導波路６の部分に導かれ、この２つの平
行光導波路６から出る出射光は結晶反射面５にて反射さ
れる。そして、この結晶反射面５にて反射された２つの
反射光２′は平行光導波路６を逆向きに通って再びＹ分
岐点７に戻り、ここで同相で交われば強め合って合波さ
れ、Ｙ分岐光導波路３に導かれる。また、２つの平行光
導波路６を通ってＹ分岐点７に戻ってくる反射光２′が
逆相であれば、弱め合ってＹ分岐光導波路３外に放射さ
れる。
射光２がＹ分岐光導波路３に入射すると、Ｙ分岐点７か
ら２つの平行光導波路６の部分に導かれ、この２つの平
行光導波路６から出る出射光は結晶反射面５にて反射さ
れる。そして、この結晶反射面５にて反射された２つの
反射光２′は平行光導波路６を逆向きに通って再びＹ分
岐点７に戻り、ここで同相で交われば強め合って合波さ
れ、Ｙ分岐光導波路３に導かれる。また、２つの平行光
導波路６を通ってＹ分岐点７に戻ってくる反射光２′が
逆相であれば、弱め合ってＹ分岐光導波路３外に放射さ
れる。
【００１５】２つの反射光２′のＹ分岐点７での位相差
Δφは、次の特徴、すなわち、（１）ＴＥ／ＴＭモード
光に対する電気光学係数はそれぞれ、ｒ22，−ｒ22であ
り、大きさが同じであるが、符号が異なること、（２）
プッシュプル動作であることを考慮して、 ΔφTE＝ Δφl ＋（π／λ）ｎ0 3 Γｒ22（ｌ／ｄ）Ｖ ΔφTM＝ Δφl −（π／λ）ｎ0 3 Γｒ22（ｌ／ｄ）Ｖ となる。
Δφは、次の特徴、すなわち、（１）ＴＥ／ＴＭモード
光に対する電気光学係数はそれぞれ、ｒ22，−ｒ22であ
り、大きさが同じであるが、符号が異なること、（２）
プッシュプル動作であることを考慮して、 ΔφTE＝ Δφl ＋（π／λ）ｎ0 3 Γｒ22（ｌ／ｄ）Ｖ ΔφTM＝ Δφl −（π／λ）ｎ0 3 Γｒ22（ｌ／ｄ）Ｖ となる。
【００１６】ここで、λは真空中での光の波長、ｌは電
極４の長さ、ｄは電極４，４間の間隔、Γは光電界と印
加電界とのオーバーラップパラメータである。
極４の長さ、ｄは電極４，４間の間隔、Γは光電界と印
加電界とのオーバーラップパラメータである。
【００１７】また、Δφl は平行光導波路６と結晶反射
面５とのなす角度θによって生じるもので、Δφl とθ
との関係式は次式で表わされる。ただし、ｓは平行光導
波路６，６間の間隔である。
面５とのなす角度θによって生じるもので、Δφl とθ
との関係式は次式で表わされる。ただし、ｓは平行光導
波路６，６間の間隔である。
【００１８】 Δφl ＝２π（２ｄsin θ）／（λ／ｎ0 ） なお、このとき、反射光の光出力Ｐｏは、Ｐｉを光入力
とすると、 Ｐｏ＝Ｐｉcos 2 （Δφ／２） となる。ただし、ＴＥモード光ではΔφ＝ΔφTE、また
ＴＭモード光ではΔφ＝ΔφTMである。
とすると、 Ｐｏ＝Ｐｉcos 2 （Δφ／２） となる。ただし、ＴＥモード光ではΔφ＝ΔφTE、また
ＴＭモード光ではΔφ＝ΔφTMである。
【００１９】したがって、光路差があると、図２に示す
ように両モードでその変調特性は分離する。
ように両モードでその変調特性は分離する。
【００２０】そこで、図３（ａ）に示すようにΔφl ＝
πとなるような角度θπのとき、同図（ｂ）に示すよう
な変調特性となり、零電位において光が消光し、反射光
をカットオフ状態にすることができる。
πとなるような角度θπのとき、同図（ｂ）に示すよう
な変調特性となり、零電位において光が消光し、反射光
をカットオフ状態にすることができる。
【００２１】また、図４（ａ）に示すようにΔφl ＝π
／２とすれば、変調特性は同図（ｂ）に示すようにな
り、モードフィルタとして機能させることができる。
／２とすれば、変調特性は同図（ｂ）に示すようにな
り、モードフィルタとして機能させることができる。
【００２２】このように、角度θを変えることにより、
容易に変調動作点を変更することができるようになるの
である。
容易に変調動作点を変更することができるようになるの
である。
【００２３】（具体例１）ＺカットしたＬＮ結晶基板上
に光がＺ軸伝搬するように平行光導波路間隔が３０μｍ
のＹ分岐光導波路を形成し、結晶端面（結晶反射面）に
対して角度０．２８°となるようにした。
に光がＺ軸伝搬するように平行光導波路間隔が３０μｍ
のＹ分岐光導波路を形成し、結晶端面（結晶反射面）に
対して角度０．２８°となるようにした。
【００２４】このように構成することにより、１．３μ
ｍの光に対して零印加電圧において反射変調光が断にな
る光変調器とすることができる。
ｍの光に対して零印加電圧において反射変調光が断にな
る光変調器とすることができる。
【００２５】（具体例２）ＺカットしたＬＮ結晶基板上
に光がＺ軸伝搬するように平行光導波路が３０μｍのＹ
分岐光導波路を形成し、結晶端面（結晶反射面）に対し
て角度０．１４°とするようにした。
に光がＺ軸伝搬するように平行光導波路が３０μｍのＹ
分岐光導波路を形成し、結晶端面（結晶反射面）に対し
て角度０．１４°とするようにした。
【００２６】このように構成することにより、１．３μ
ｍ光に対して適当な電圧において、あるモード光、例え
ばＴＭモード光だけを反射させることができるモードフ
ィルタとして動作する光導波路型光デバイスとすること
ができる。
ｍ光に対して適当な電圧において、あるモード光、例え
ばＴＭモード光だけを反射させることができるモードフ
ィルタとして動作する光導波路型光デバイスとすること
ができる。
【００２７】なお、この発明は、上記の実施例に限定さ
れず、図５に示すように、長方形に切り出した結晶基板
１に対してθの角度をなすようにＹ分岐光導波路３を形
成する構成とすることもできる。
れず、図５に示すように、長方形に切り出した結晶基板
１に対してθの角度をなすようにＹ分岐光導波路３を形
成する構成とすることもできる。
【００２８】
【発明の効果】以上にようにこの発明によれば、結晶基
板上にＹ分岐光導波路とこれにつながる２つの平行光導
波路とそれに沿って設けた平行電極とを有し、平行光導
波路が結晶反射面に対して斜めになるように形成してい
るため、入射光をＹ分岐光導波路から２つの平行光導波
路を通して出射させて斜めになった結晶反射面にて反射
させ、結晶反射面で反射させた２つの光を再びＹ分岐点
に戻し、ここで同相で交わらせることによって強め合っ
て合波させて光導波路に導き、あるいは逆相で交わらせ
ることによって弱め合って光導波路外に放射させること
ができ、平行光導波路の結晶反射面に対する角度を調整
することによって容易に変調動作点を変更することがで
き、従来のように平行光導波路の間隔を長くすることに
よってＹ分岐点の曲がり導波路の長さを長くする必要が
なく、光変調器の変調動作点を変更するのに素子１個当
たりの結晶面積を大きくする必要がなく、ウェーハ当た
りの素子数を多くし、伝搬損失を低減することができ
る。
板上にＹ分岐光導波路とこれにつながる２つの平行光導
波路とそれに沿って設けた平行電極とを有し、平行光導
波路が結晶反射面に対して斜めになるように形成してい
るため、入射光をＹ分岐光導波路から２つの平行光導波
路を通して出射させて斜めになった結晶反射面にて反射
させ、結晶反射面で反射させた２つの光を再びＹ分岐点
に戻し、ここで同相で交わらせることによって強め合っ
て合波させて光導波路に導き、あるいは逆相で交わらせ
ることによって弱め合って光導波路外に放射させること
ができ、平行光導波路の結晶反射面に対する角度を調整
することによって容易に変調動作点を変更することがで
き、従来のように平行光導波路の間隔を長くすることに
よってＹ分岐点の曲がり導波路の長さを長くする必要が
なく、光変調器の変調動作点を変更するのに素子１個当
たりの結晶面積を大きくする必要がなく、ウェーハ当た
りの素子数を多くし、伝搬損失を低減することができ
る。
【図１】この発明の一実施例の平面図。
【図２】上記実施例における光出力対印加電圧の関係を
示す特性図。
示す特性図。
【図３】この発明の他の実施例であって、位相差Δφl
＝πの場合の光導波路型光デバイスの平面図および特性
図。
＝πの場合の光導波路型光デバイスの平面図および特性
図。
【図４】この発明の他の実施例であって、位相差Δφl
＝π／２の場合の光導波路型光デバイスの平面図および
特性図。
＝π／２の場合の光導波路型光デバイスの平面図および
特性図。
【図５】この発明の他の実施例の平面図。
【図６】従来例の平面図。
１ 結晶基板 ２ 入射光 ２′ 反射光 ３ Ｙ分岐光導波路 ４ 電極 ５ 結晶反射面 ６ 平行光導波路 ７ Ｙ分岐点
Claims (4)
- 【請求項１】 結晶基板上にＹ分岐光導波路とこれにつ
ながる２つの平行光導波路とこの２つの平行光導波路に
沿って設けた平行電極とを有し、前記平行光導波路が結
晶反射面に対して斜めになるように形成したことを特徴
とする光導波路型光デバイス。 - 【請求項２】 Ｙ分岐光導波路におけるＹ分岐点より分
岐され、各平行光導波路を通る２つの分岐光が反射面で
反射し、再びＹ分岐点に至るまでの２つの光の位相差が
特にπとなるような角度に平行導波路を結晶反射面に対
して斜めに形成したことを特徴とする請求項１に記載の
光導波路型光デバイス。 - 【請求項３】 Ｙ分岐点より分岐され、各平行光導波路
を通る２つの分岐光が反射面で反射し、再びＹ分岐点に
至るまでの２つの光の位相差が特にπ／２となるような
角度に平行導波路を反射面に対して斜めに形成したこと
を特徴とする請求項１に記載の光導波路型光デバイス。 - 【請求項４】 結晶基板をＸカットＬｉＮｂＯ3 結晶と
し、Ｚ軸方向に光を伝搬させ、電界方向がＹ軸方向にな
るように電極を形成したことを特徴とする請求項１に記
載の光導波路型光デバイス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5163992A JP3020340B2 (ja) | 1992-03-10 | 1992-03-10 | 光導波路型光デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5163992A JP3020340B2 (ja) | 1992-03-10 | 1992-03-10 | 光導波路型光デバイス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05249419A true JPH05249419A (ja) | 1993-09-28 |
| JP3020340B2 JP3020340B2 (ja) | 2000-03-15 |
Family
ID=12892420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5163992A Expired - Fee Related JP3020340B2 (ja) | 1992-03-10 | 1992-03-10 | 光導波路型光デバイス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3020340B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE8902904U1 (de) * | 1989-03-09 | 1989-05-03 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Magnetischer Gleichstromwandler mit niedrigem Temperaturdrift |
| EP0866356A1 (en) * | 1997-03-19 | 1998-09-23 | Tokin Corporation | Optical modulator having a reflection plate mounted on a reflection end with an inclined angle against the reflection end |
| US5886807A (en) * | 1997-01-24 | 1999-03-23 | California Institute Of Technology | Traveling-wave reflective electro-optic modulator |
| EP0940698A2 (en) * | 1998-03-05 | 1999-09-08 | Lucent Technologies Inc. | Compact mach-zehnder interferometer and wavelength reference employing same |
| WO2013133099A1 (ja) * | 2012-03-08 | 2013-09-12 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 光源回路及びこれを備えた光源装置 |
-
1992
- 1992-03-10 JP JP5163992A patent/JP3020340B2/ja not_active Expired - Fee Related
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