JP2005318462A - 音響電気変換素子 - Google Patents
音響電気変換素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005318462A JP2005318462A JP2004136585A JP2004136585A JP2005318462A JP 2005318462 A JP2005318462 A JP 2005318462A JP 2004136585 A JP2004136585 A JP 2004136585A JP 2004136585 A JP2004136585 A JP 2004136585A JP 2005318462 A JP2005318462 A JP 2005318462A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- diaphragm
- waveguide
- layer
- fgc
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
- G01N29/2418—Probes using optoacoustic interaction with the material, e.g. laser radiation, photoacoustics
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H9/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
- Diaphragms For Electromechanical Transducers (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】 音響電気変換素子においては、光源14からの光波が振動基板10の第1の光導波路に導入され、この第1の光導波路上に設けられた回折格子によって回折される。回折光は、光検出器18に向けられて検出される。ここで、振動基板10は、音響波に対して振動可能に支持され、従って、光検出器18で検出される回折光は、音響波で変調され、検出器18からは音響波に応じた信号が出力される。
【選択図】 図1
Description
光波が導入される光導波路を有する基板と、及び
音響波に対して前記基板に振動可能に支持され、前記第1の光導波路を伝播する光波を回折し、回折光を光検出器に向ける回折格子から成る振動板と、
を具備することを特徴とする音響電気変換素子が提供される。
音響波に対して振動可能に基板に支持され、光波が照射され、光導波路に向けて光波を回折し、この光導波路を介して導かれた回折光を光検出器で検出させる回折格子から成る振動板と、
を具備することを特徴とする音響電気変換素子が提供される。
4...導波層
6...積層構造
8...空洞部
10...FGC
12...導波路部
14...レーザーダイオード
18...光検出素子
22...増幅器
24...信号処理部
32...バッファ層
52...埋め込み絶縁層
53...単結晶Si層
Claims (8)
- 光波が導入される光導波路を有する基板と、及び
音響波に対して前記基板に振動可能に支持され、前記第1の光導波路を伝播する光波を回折し、回折光を光検出器に向ける回折格子から成る振動板と、
を具備することを特徴とする音響電気変換素子。 - 前記基板及び前記振動板は、半導体で作られ、前記振動板は、半導体支持層を備え、前記回折格子がこの半導体支持層上に形成されていることを特徴とする請求項1の音響電気変換素子。
- 前記基板は、前記振動板が配置される空洞部を備え、前記振動板は、前記導波路に光学的に結合され、前記基板及び前記支持層に機械的に連結され、当該振動板を前記空洞部内で振動可能に吊り下げ支持する連結部とを更に備えることを特徴とする請求項1の音響電気変換素子。
- 前記光検出器は、前記基板に埋め込み形成され、前記回折光は、前記半導体支持層、前記連結部及び前記基板を介して前記光検出器に導かれることを特徴とする請求項1の音響電気変換素子。
- 音響波に対して振動可能に基板に支持され、光波が照射され、光導波路に向けて光波を回折し、この光導波路を介して導かれた回折光を光検出器で検出させる回折格子から成る振動板と、
を具備することを特徴とする音響電気変換素子。 - 前記基板及び前記振動板は、半導体で作られ、前記振動板は、半導体支持層を備え、前記回折格子がこの半導体支持層上に形成されていることを特徴とする請求項5の音響電気変換素子。
- 前記基板は、前記振動板が配置される空洞部を備え、前記振動板は、前記導波路に光学的に結合され、前記基板及び前記支持層に機械的に連結され、当該振動板を前記空洞部内で振動可能に吊り下げ支持する連結部とを更に備えることを特徴とする請求項5の音響電気変換素子。
- 前記光検出器は、前記基板に埋め込み形成され、前記回折光は、前記支持層、前記連結部及び前記導波路を介して前記光検出器に導かれることを特徴とする請求項5の音響電気変換素子。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004136585A JP3908751B2 (ja) | 2004-04-30 | 2004-04-30 | 音響電気変換素子 |
US11/116,273 US7293463B2 (en) | 2004-04-30 | 2005-04-28 | Acoustoelectric conversion device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004136585A JP3908751B2 (ja) | 2004-04-30 | 2004-04-30 | 音響電気変換素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005318462A true JP2005318462A (ja) | 2005-11-10 |
JP3908751B2 JP3908751B2 (ja) | 2007-04-25 |
Family
ID=35185703
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004136585A Expired - Fee Related JP3908751B2 (ja) | 2004-04-30 | 2004-04-30 | 音響電気変換素子 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7293463B2 (ja) |
JP (1) | JP3908751B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008148283A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Korea Electronics Telecommun | 柔軟バネ型振動板を有するコンデンサーマイクロホン及びその製造方法 |
JP2016134670A (ja) * | 2015-01-16 | 2016-07-25 | 株式会社レーベン販売 | 光マイクロフォン、および補聴器 |
JP2017220935A (ja) * | 2017-07-12 | 2017-12-14 | 株式会社レーベン販売 | 光マイクロフォン、そのプログラム、制御方法、および補聴器 |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050163509A1 (en) * | 1999-12-03 | 2005-07-28 | Okihiro Kobayashi | Acoustoelectric transducer using optical device |
GB0610318D0 (en) * | 2006-05-24 | 2006-07-05 | Univ Nottingham | Transducers |
US8121313B2 (en) * | 2007-05-11 | 2012-02-21 | National Semiconductor Corporation | Microphone made from a polymer waveguide |
WO2009008010A2 (en) * | 2007-07-12 | 2009-01-15 | Defence Research And Development Organisation | Method and apparatus for the simultaneous generation and detection of optical diffraction interference pattern on a detector |
JP5667980B2 (ja) | 2008-09-12 | 2015-02-12 | ノールズ エレクトロニクス アジア ピーティーイー リミテッド | 変換器システム |
US8594507B2 (en) * | 2011-06-16 | 2013-11-26 | Honeywell International Inc. | Method and apparatus for measuring gas concentrations |
US20120321322A1 (en) * | 2011-06-16 | 2012-12-20 | Honeywell International Inc. | Optical microphone |
GB2497135A (en) * | 2011-12-02 | 2013-06-05 | Univ Nottingham | Optical detector with a plurality of pixel pairs for laser ultrasonic surface inspection |
JP6432260B2 (ja) * | 2014-09-30 | 2018-12-05 | 富士通株式会社 | 振動検出部品、これを用いた音響装置及び情報機器 |
CN109506764B (zh) * | 2018-12-12 | 2021-09-24 | 电子科技大学 | 一种光纤mems麦克风阵列声波探测板及系统 |
CN112310647B (zh) * | 2020-10-16 | 2021-06-11 | 华中科技大学 | 一种多尺度三维五模超材料及其增材制造方法 |
US11917366B1 (en) * | 2022-09-26 | 2024-02-27 | Aac Acoustic Technologies (Shenzhen) Co., Ltd. | MEMS optical microphone |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3426207A (en) * | 1964-06-17 | 1969-02-04 | North American Rockwell | Focused optical heterodyne system |
JPS584322B2 (ja) | 1979-12-10 | 1983-01-26 | 日本電信電話株式会社 | 光変調装置 |
JP2520153B2 (ja) * | 1988-07-01 | 1996-07-31 | 国際電信電話株式会社 | 半導体レ―ザ光源制御装置 |
US5235607A (en) * | 1990-12-27 | 1993-08-10 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Solid-state laser device and machining apparatus |
JP3648755B2 (ja) | 1994-03-10 | 2005-05-18 | 松下電工株式会社 | 導波路装置の製造方法 |
JP2000292433A (ja) * | 1999-04-05 | 2000-10-20 | Japan Science & Technology Corp | 光学式振動センサ及び光学式振動評価方法 |
JP2001292498A (ja) | 2000-04-10 | 2001-10-19 | Kenwood Corp | 音響電気変換装置 |
US7391976B2 (en) * | 1999-12-13 | 2008-06-24 | Kabushiki Kaisha Kenwood | Optical acoustoelectric transducer |
JP3481180B2 (ja) | 2000-02-14 | 2003-12-22 | 株式会社ケンウッド | 音響電気変換装置 |
JP3639483B2 (ja) * | 1999-12-13 | 2005-04-20 | 株式会社ケンウッド | 音響電気変換装置 |
US6567572B2 (en) * | 2000-06-28 | 2003-05-20 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Optical displacement sensor |
US7134343B2 (en) * | 2003-07-25 | 2006-11-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Opto-acoustoelectric device and methods for analyzing mechanical vibration and sound |
-
2004
- 2004-04-30 JP JP2004136585A patent/JP3908751B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-04-28 US US11/116,273 patent/US7293463B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008148283A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Korea Electronics Telecommun | 柔軟バネ型振動板を有するコンデンサーマイクロホン及びその製造方法 |
JP2016134670A (ja) * | 2015-01-16 | 2016-07-25 | 株式会社レーベン販売 | 光マイクロフォン、および補聴器 |
JP2017220935A (ja) * | 2017-07-12 | 2017-12-14 | 株式会社レーベン販売 | 光マイクロフォン、そのプログラム、制御方法、および補聴器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20050241398A1 (en) | 2005-11-03 |
US7293463B2 (en) | 2007-11-13 |
JP3908751B2 (ja) | 2007-04-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7293463B2 (en) | Acoustoelectric conversion device | |
US9702755B2 (en) | Optical-fiber-compatible sensor | |
US10838148B2 (en) | Method for manufacturing a waveguide for guiding an electro-magnetic wave | |
KR20050012675A (ko) | 음향 전기 변환 장치, 진동 해석 방법, 및 음향 해석 방법 | |
WO2005008305A1 (ja) | フォトニック結晶導波路、均質媒体導波路、及び光学素子 | |
JP3951613B2 (ja) | マイクロホン | |
US11372158B2 (en) | Waveguide for guiding an electro-magnetic wave comprising plural waveguide parts with different widths extend in parallel planes | |
JP2020056658A (ja) | 光ヘテロダイン検波器及び光ヘテロダイン検波器を用いたレーザレーダ装置。 | |
JP2010164856A (ja) | 光学モジュール | |
JP2005045463A (ja) | 音響電気変換素子 | |
JP2000292433A (ja) | 光学式振動センサ及び光学式振動評価方法 | |
US11408764B2 (en) | Environmental waveguide sensor with improved design configuration | |
JPH10319363A (ja) | 音響光学変調器装置 | |
JP2009253493A (ja) | 超音波センサ及び超音波センサアレイ、これらを備えた超音波検出装置 | |
Lammerink et al. | Fiber-optic sensors based on resonating mechanical structures | |
JP2716000B2 (ja) | 光ヘッド | |
JP6325941B2 (ja) | 光回路 | |
US20240107239A1 (en) | Mems optical microphone | |
JP2004354453A (ja) | 光モジュール | |
CN117029998A (zh) | 基于片上光波导的超声波成像芯片 | |
JP2006337574A (ja) | 導波路素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050907 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060608 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060620 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060821 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061017 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061215 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070116 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070118 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |