JP2007271850A - 光デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光導波路よりも高い屈折率を有し光導波路を伝搬する光のエバネセント成分を取り込む光導入部201と、取り込まれた光を反射させてその光路を基板101に対し略垂直な方向に変換する光路変換部202と、光路変換後の光を受光する光検出部204とを備える。
【選択図】図2
Description
なお、全反射条件が満たされているとは、光導入手段と上記他の媒質の屈折率が与えられた時、当該境界面への光線の入射角が所定の角度(臨界角)以上であることをいう。
図1と図2は、本発明の一実施形態による光デバイスの構成を示したものであり、図1は光デバイスの概略的な外観図、図2は光導波路の伝搬方向(P方向)に沿った断面図である。なお、図1では簡単化のため、バッファ層(バッファ層103およびモニタ部バッファ層203)を省略して描いている。本実施形態において、光デバイスは、LN基板を用いた光導波路素子10にモニタ部20を実装して構成される。
θc=sin−1(nair/nSi)≒17(度)
である。したがって、上述のように光路変換部202の基板面に対する傾斜角を40〜45度としたとき、光路変換部202へのエバネセント成分の入射角は臨界角より大きくなるので全反射が生じ、光検出器204で効率的にモニタ光を捉えることができる。
例えば、光路変換部202で全反射条件が満たされない場合に、V溝斜面に金属膜や誘電体多層膜の反射膜を形成し、光路変換部202での反射率を高めるようにすることも可能である。
接着剤をモニタ部バッファ層203(若しくはその一部)に用いる場合には、光導入部201へ滲み出すエバネセント成分の量を調整する当該接着剤の膜厚を制御するため、光導入部201との間にスペーサ層を設けることが望ましい。例えば、0.1〜1μmの所定膜厚に金(Au)薄膜を形成してスペーサ層とし、スペーサ層の無い部分に接着剤が充填されるようにする。このAu薄膜は光導波路素子10側の表面に形成されていてもよいし、光導入部201の底面側に形成されていてもよい。また、Au薄膜の面積を調整することで、エバネセント成分と接着剤との結合長を制御してもよい。
図3は、光SSB変調器にモニタ部を複数実装した、本発明の実施例に係る光デバイスの平面構成を示したものである。
LN基板101の表面にレジストを塗布し露光現像により図3の光導波路パターンを形成する。そして表面全面にチタン(Ti)を蒸着法によって膜厚800Å堆積させ、リフトオフによって光導波路パターンの部分を残してチタンを除去する。その後、基板全体を1000℃で10時間加熱し、光導波路パターンのチタンを基板内部に熱拡散させる。これにより、光SSB変調器の光導波路102が形成される。
その後、電解メッキ法により金(Au)を膜厚30μm堆積させ、所定の変調電極およびバイアス電極を形成する。なお、簡単化のため図3ではこれら電極を省略している。
また、V溝の形成にはダイシング加工を利用し、V溝斜面の傾斜角は45度とした。なお、ダイシング加工の他、異方性ケミカルエッチングなどの周知技術を適用することもできる。
Claims (3)
- 基板上に光導波路が形成された光導波路素子と、
前記光導波路を伝搬する光のエバネセント成分と光学的な結合が生じるように前記基板表面に配置された光学媒質で構成され、前記結合された光を取り込んで光検出手段へと導く光導入手段と、
取り込まれた光を反射させてその光路を光検出手段の受光面の方向に変換する光路変換手段と、
光路変換後の光を受光する前記光検出手段と、
を有することを特徴とする光デバイス。 - 前記光路変換手段は基板に対し所定の傾斜角を有する前記光導入手段と他の媒質との境界面であり、この境界面において光導入手段に取り込まれた光に対する全反射条件が満たされている
ことを特徴とする請求項1に記載の光デバイス。 - 前記光導波路と前記光導入手段との間にこの光導波路よりも低屈折率のバッファ層を設け、
前記光導入手段はこのバッファ層よりも高屈折率である
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の光デバイス。
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Cited By (2)
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JP2009186577A (ja) * | 2008-02-04 | 2009-08-20 | Oki Semiconductor Co Ltd | 光集積回路、光電子集積回路およびこれらの製造方法 |
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