JP2009130033A - ボンディング装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ボンディングツールに起因した停止時間を短くすることができるボンディング装置を提供する。
【解決手段】ボンディング装置1にツールクリーニング機構52を設け、ツールクリーニング機構52のロータリーヘッド68の第一側面71にボンディングツール13が持ち帰ったチップ2を除去する除去ツール72を設ける。ロータリーヘッド68の第二側面91にボンディングツール13のチップ保持面21を研磨する研磨ツール92を設け、ボンディングツール13のチップ保持面21を研磨できるように構成する。ロータリーヘッド68の第三側面101にボンディングツール13のチップ保持面21を清掃する清掃ツール102を設け、ボンディングツール13のチップ保持面21を清掃ツール102に対して上下移動してチップ保持面21の削り滓をブラシ繊維で落とせるように構成する。
【選択図】図4
【解決手段】ボンディング装置1にツールクリーニング機構52を設け、ツールクリーニング機構52のロータリーヘッド68の第一側面71にボンディングツール13が持ち帰ったチップ2を除去する除去ツール72を設ける。ロータリーヘッド68の第二側面91にボンディングツール13のチップ保持面21を研磨する研磨ツール92を設け、ボンディングツール13のチップ保持面21を研磨できるように構成する。ロータリーヘッド68の第三側面101にボンディングツール13のチップ保持面21を清掃する清掃ツール102を設け、ボンディングツール13のチップ保持面21を清掃ツール102に対して上下移動してチップ保持面21の削り滓をブラシ繊維で落とせるように構成する。
【選択図】図4
Description
本発明は、チップを移送してボンディングするボンディング装置に関する。
従来、半導体等のチップをリードフレームにボンディングする際には、ボンディング装置が用いられている。
このボンディング装置には、駆動制御されるボンディングヘッドを備えており、該ボンディングヘッドには、ボンディングツールが設けられている。該ボンディングツールは、ウェハシートに設けられたチップを吸着してピックアップするとともに、このチップをボンディングポイントへ移送してボンディングを行うように構成されている。
前記ボンディングツールは、ボンディング毎にチップと接するため、経時的な摩耗による変形や異物の付着が発生することがある。この場合、移送したチップをボンディングせずに持ち帰ることがあり、その都度、ボンディング装置を停止してオペレータがチップの除去作業を行っていた。
このボンディングツールの変形によるチップの持ち帰りが多発する場合、ボンディングツールを研磨する必要があり、この研磨する際には、ボンディングツールをボンディングツールクリーニング装置にセットして研磨を行っていた(例えば、特許文献1)。
特開平6−318619号公報
しかしながら、このような従来にあっては、ボンディングツールを研磨する為に該ボンディングツールをボンディングツールクリーニング装置にセットする必要がある。
このため、前記ボンディング装置及び前記ボンディングツールクリーニング装置へのボンディングツールの取り付け取り外し作業が必要となり、ボンディング装置の停止時間が長くなるという問題があった。
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、ボンディングツールに起因した停止時間を短くすることができるボンディング装置を提供することを目的とするものである。
前記課題を解決するために本発明の請求項1のボンディング装置にあっては、ピックアップしたチップをボンディングポイントへ移送してボンディング工程でボンディングするボンディングヘッドに、前記チップを保持するボンディングツールが設けられたボンディング装置において、前記ボンディング工程後に前記ボンディングツールが持ち帰ったチップを前記ボンディングツールから除去する除去ツールと、前記ボンディングツールのチップ保持面を研磨する研磨ツールと、前記ボンディングツールの前記チップ保持面を清掃する清掃ツールとを有するツールクリーニング機構を備えている。
すなわち、このボンディング装置は、除去ツールと研磨ツールと清掃ツールとを有するツールクリーニング機構を備えており、前記ボンディングツールのチップ保持面が摩耗等によって変形した際には、前記ツールクリーニング機構に設けられた研磨ツールによって研磨される。
このとき、研磨屑が前記チップ保持面に残存することがあるが、この研磨屑は、前記ツールクリーニング機構の前記清掃ツールによって清掃される。
一方、前記ツールクリーニング機構は、前記除去ツールを備えている。このため、ボンディング工程後において、前記ボンディングツールがチップを持ち帰った際には、前記除去ツールによって前記ボンディングツールから前記チップが除去される。
また、請求項2のボンディング装置においては、前記ツールクリーニング機構は、前記除去ツール及び前記研磨ツール並びに前記清掃ツールが外周部に設けられたロータリーヘッドと、該ロータリーヘッドを回転して前記各ツールのいずれかを選択的にセット位置にセットするロータリアクチュエータとを備えている。
すなわち、前記ツールクリーニング機構は、ロータリアクチュエータと、該ロータリーアクチュエータで回転されるロータリーヘッドを備えており、該ロータリーヘッドの外周部には、前記除去ツール及び前記研磨ツール並びに前記清掃ツールが設けられている。
そして、前記ロータリアクチュエータで前記ロータリーヘッドを回転することで、該ロータリーヘッドに設けられた前記各ツールのいずれかを選択的にセット位置にセットすることができる。
このため、前記除去ツールと前記研磨ツールと前記清掃ツールとが平面状に配置された場合と比較して、省スペース化が図られる。
さらに、請求項3のボンディング装置では、前記ボンディングヘッド及び前記ロータリーアクチュエータを制御する制御部を備え、該制御部は、前記ボンディングツールによるチップの持ち帰りを検出した際に前記除去ツールを前記セット位置にセットして前記ボンディングツールに保持されたチップの除去動作を実行させるチップ除去手段と、予め設定したツールクリーニング時期に前記研磨ツールを前記セット位置にセットして前記ボンディングツールの前記チップ保持面を当該研磨ツールで研磨する動作を実行させる研磨手段と、前記研磨ツールによる研磨動作が終了した際に前記清掃ツールを前記セット位置にセットして前記チップ保持面を当該清掃ツールで清掃する動作を実行させる清掃手段と、を備えている。
すなわち、前記ボンディングツールによるチップの持ち帰りを検出した際には、前記除去ツールが前記セット位置にセットされ、前記ボンディングツールに保持されたチップが除去される。
また、予め設定されたツールクリーニング時期には、前記研磨ツールが前記セット位置にセットされ、前記ボンディングツールの前記チップ保持面が当該研磨ツールで研磨される。そして、研磨が完了した際には、前記清掃ツールが前記セット位置にセットされ、研磨されたボンディングツールは、チップ保持面が前記清掃ツールで清掃される。
以上説明したように本発明の請求項1のボンディング装置にあっては、当該ボンディング装置に設けられたツールクリーニング機構の研磨ツールと清掃ツールとによって、前記ボンディングツールを当該ボンディング装置から取り外してボンディングツールクリーニング装置にセットし直すことなく、ボンディングツールの研磨と清掃を行うことができる。
したがって、ボンディングツールを研磨する際に、当該ボンディングツールをボンディング装置から取り外すとともに、当該ボンディングツールを、ボンディング装置とボンディングツールクリーニング装置との間で取り付け取り外しを行わなければならなかった従来と比較して、ボンディング装置の停止時間を短くすることがきる。これにより、生産効率を高めることができる。
そして、ボンディング工程後において、前記ボンディングツールがチップを持ち帰った際には、前記除去ツールによって前記ボンディングツールからチップを除去することもできる。
このため、ボンディングツールの研磨時期前等にチップの持ち帰り率が増大した場合であっても、ボンディング装置を停止してチップをオペレータが除去しなければならなかった従来と比較して、ボンディング装置の停止時間を短くすることができる。
また、請求項2のボンディング装置においては、同時に使用すること無い前記除去ツールと前記研磨ツールと前記清掃ツールとを、ロータリアクチュエータで回動されるロータリーヘッドに設けることによって、前記各ツールが平面状に配置された場合と比較して、省スペース化を図ることができる。
これにより、前記ツールクリーニング機構の追加によるボンディング装置の大型化を防止することができる。
さらに、請求項3のボンディング装置では、前記ボンディングツールによるチップの持ち帰りを検出することによって、前記ボンディングツールに保持されたチップの除去を自動化することができる。
また、ツールクリーニング時期を、例えば使用時間やボンディング回数などに基づいて予め設定しておくことで、ボンディングツールが摩耗して変形が生ずる時期に合わせて、前記ボンディングツールのチップ保持面の研磨と、研磨されたボンディングツールのチップ保持面の清掃とを自動的に行うことができる。
これにより、利便性が向上する。
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。図1は、本実施の形態にかかるボンディング装置1の要部を示す図であり、該ボンディング装置1は、ウェハーシート上のチップ2を移送してボンディングする装置である。
このボンディング装置1には、図外の可動アームに支持されたボンディングヘッド11を備えており、該ボンディングヘッド11は、前記可動アームの動作に従って駆動されるように構成されている。前記ボンディングヘッド11には、ツールホルダ12が設けられており、該ツールホルダ12には、円筒状のボンディングツール13を交換可能に取り付けられるように構成されている。
このボンディングツール13としては、金属製や樹脂製のものが知られており、本実施の形態では、樹脂製のボンディングツール13が使用されている。該ボンディングツール13は、先細り形状に形成されており、当該ボンディングツール13の下端は、チップ保持面21を構成している。該チップ保持面21には、バキューム穴が開口しており(図示省略)、該バキューム穴には、負圧が供給されるように構成されている。これにより、前記バキューム穴に生じる負圧によって前記チップ保持面21に前記チップ2を吸着した状態で、当該チップ2を保持できるように構成されている。
このボンディングツール13を保持する前記ツールホルダ12は、前記ボンディングヘッド11に上下動自在に保持されており、該ツールホルダ12は、可撓性を有した支持板31,31によって上下の部位が前記ボンディングヘッド11に支持されている。これにより、前記ボンディングツール13のチップ保持面21をチップ2に当接してピックアップする際や、保持したチップ2をボンディング箇所に押し付けてボンディングする際には、前記ボンディングツール13及び前記ツールホルダ12の上方への逃げが許容されるように構成されている。
前記ボンディングヘッド11の側面には、ランディングセンサ41が固定されており、前記ツールホルダ12には、前記ランディングセンサ41のセンサ部42に対向する対向板43が固定されている。前記ランディングセンサ41は、前記対向板43が上動して離れた際にオン作動するように構成されており、前記ボンディングツール13の対象箇所への当接に伴った前記ツールホルダ12の上動を検出することで、前記ボンディングツール13の着地が確認できるように構成されている。
図2に示すように、前記ボンディング装置1の装置本体51には、ツールクリーニング機構52が設けられている。
該ツールクリーニング機構52は、ツール移動部61を備えており、該ツール移動部61は、スライドレール62と、該スライドレール62にスライド自在に支持されたスライダ63と、該スライダ63をスライド駆動するエアシリンダ64とで構成されている。前記スライダ63の先端部には、支持ブラケット65が設けられており、該支持ブラケット65の一方側には、図3に示すように、ロータリーアクチュエータ66が設けられている。該ロータリーアクチュエータ66の回転軸67は、前記支持ブラケット65を挿通して延出しており、この回転軸67には、矩形状のロータリーヘッド68が固定されている。
該ロータリーヘッド68は、図4にも示すように、四角柱状に形成されており、外周面を構成する第一側面71には、ボンディング工程後に前記ボンディングツール13が持ち帰ったチップ2を当該ボンディングツール13から除去する除去ツール72が設けられている。該除去ツール72は、円筒状のシリコンチューブで構成されており、その先端部は、斜めに切断され斜め側方へ向けて開口している。
これにより、持ち帰りチップ2が付着した前記ボンディングツール13の先端部を、前記除去ツール72の開口部81の開口方向から前記除去ツール72に近付けて当接するとともに当該除去ツール72を通過させることによって、ボンディングツール13に付着した持ち帰りチップ2を前記除去ツール72で払い落とせるように構成されている。
前記ロータリーヘッド68の外周面を構成する第二側面91には、前記ボンディングツール13のチップ保持面21を研磨する研磨ツール92が設けられている。該研磨ツール92は、樹脂製の前記ボンディングツール13を研磨できる材質で構成されており、前記ボンディングツール13の前記チップ保持面21を擦り付けることよって、当該チップ保持面21を研磨できるように構成されている。
前記ロータリーヘッド68の外周面を構成する第三側面101には、前記ボンディングツール13の前記チップ保持面21を清掃する清掃ツール102が設けられている。該清掃ツール102は、ブラシで構成されており、そのブラシ繊維は、前記チップ保持面21を傷つけない材質で形成されている。
これにより、前記ボンディングツール13の前記チップ保持面21を前記清掃ツール102に対して上下移動することで、前記チップ保持面21に付着した削り滓等を前記ブラシ繊維で落とすとともに、該ブラシの繊維が前記バキューム穴に入り込むことによって、該バキューム穴への削り滓などの目詰まりを防止できるように構成されている。
このロータリーヘッド68を回動する前記ロータリーアクチュエータ66は、サーボモータやステッピングモータなど回転角を制御できるアクチュエータで構成されており、当該ロータリーアクチュエータ66の回転角を制御することによって、前記ロータリーヘッド68に設けられた前記各ツール72,92,102のいずれかを、上方へ向けたセット位置111に選択的にセットできるように構成されている。
そして、前記ボンディング装置1には、図5に示すように、各部の制御を司る制御部151が設けられている。該制御部151には、前記可動アーム152を駆動する駆動機構に接続されており、該駆動機構に制御信号を送ることによって、前記可動アーム152に支持された前記ボンディングヘッド11の移動位置を制御できるように構成されている。さらに、前記制御部151には、前記ボンディングヘッド11に設けられた前記ランディングセンサ41が接続されており、当該ボンディングヘッド11に設けられた前記ボンディングツール13の着地を確認できるように構成さえている。
また、前記制御部151は、前記ツールクリーニング機構52に接続されており、前記ツール移動部61や前記ロータリーアクチュエータ66を制御して当該ツールクリーニング機構52の駆動を制御できるように構成されている。
さらに、前記制御部151には、前記ボンディングヘッド11が通過する通常経路161下部に設けられたミスチップ検出センサ162が接続されており、該ミスチップ検出センサ162は、上部を通過する前記ボンディングツール13の前記バキューム穴が閉鎖されていることを検出して、当該ボンディングツール13にチップ2が保持されていることを検出できるように構成されている。
そして、前記制御部151は、ROMやRAMを内蔵したマイコンを中心に構成されており、当該マイコンが前記ROMに記憶されたプログラムに従って動作することによって、前記ボンディングヘッド11をピックアップポイント171へ移動して該ピックアップポイント171に配置されたウェハシート172上のチップ2をピックアップした後、当該ボンディングヘッド11を前記通常経路161に沿ってボンディングポイント173まで移動し、当該ボンディングポイント173に配置されたリードフレーム等のワーク174に保持したチップ2をボンディングするように構成されている。
また、ボンディング工程終了時には、前記ボンディングヘッド11を前記通常経路161に沿って前記ピックアップポイント171へ移動するように構成されており、この時、持ち帰りチップ2のボンディングツール13への付着を検出した際には、前記ボンディングヘッド11の移動経路をクリーニング経路181に変更するとともに、前記クリーニング機構52によるチップ除去作業を行うように構成されている。
以上の構成にかかる本実施の形態にかかるボンディング装置1の動作を、図6〜図9に示すフローチャートに従って説明する。
すなわち、前記制御部151は、通常のボンディング動作において、ボンディングヘッド11を通常経路161に沿って駆動してピックアップポイント171へ移動するとともに、ウェハシート172上のチップ2を前記ボンディングツール13のチップ保持面21に吸着して保持する(S1)。そして、このボンディングヘッド11を前記通常経路161に沿って駆動してボンディングポイント173まで移動し、当該ボンディングポイント173に配置されたリードフレーム等のワーク174に、保持したチップ2をボンディングする(S2)。
このとき、ボンディングを終えたボンディングツール13によるチップ2の持ち帰りがあるか否かを判断し(S3)、持ち帰りが無い場合には、前回のツールクリーニング時からボンディングを行った回数が予め設定されRAMに記憶されたツールクリーニング設定回数に達したか否かを判断する(S4)。
このとき、ボンディング回数が前記ツールクリーニング設定回数に達していない場合には、前記ステップS1へ戻って、前記ボンディングヘッド11の前記ピックアップポイント171へ移動と、該ピックアップポイント171でのチップ2のピックアップ工程と、前記ボンディングヘッド11の前記ボンディングポイント173への移動と、チップ2のボンディング工程とを繰り返り、前記ワーク174へのチップ2のボンディングを繰り返す。
この通常のボンディングサイクルにおいて、前記ボンディングポイント173へ移送したチップ2をボンディングせずにボンディングポイント173から持ち帰ることがある。この場合、前記ボンディングヘッド11が前記通常経路161下部に設けられたミスチップ検出センサ162上を通過する際に、前記チップ保持面21でのチップ2の残存を前記ミスチップ検出センサ162が検出する。すると、前記制御部151は、チップ2の持ち帰りがあると判断し(S3)、チップ除去処理(S5)を実行する。
このチップ除去処理は、図7に示すように、前記ボンディングヘッド11の移動経路を前記通常経路161からクリーニング経路181に変更し、持ち帰りチップ2が保持されたボンディングヘッド11のツールクリーニング位置へ向けた移動を開始するとともに(SB1)、ツールクリーニング機構52のスライダ63をスライドレール62に沿って駆動してセット位置へ移動した後(SB2)、ロータリーヘッド68を回動して第一側面71に設けられた除去ツール72を上方であるセット位置111にセットする(SB3)。
この状態において、前記ボンディングヘッド11を前記クリーニング経路181に沿って移動して、前記ボンディングツール13を前記除去ツール72上を通過させる(SB4)。このとき、前記ボンディングツール13の先端部は、前記除去ツール72を構成する円筒状のシリコンチューブに当接する。すると、前記ボンディングツール13に付着した前記持ち帰りチップ2は、前記除去ツール72によって払い落とされ、当該除去ツール72を構成するシリコンチューブ内に落下する。
これにより、前記ボンディングツール13に保持された持ち帰りチップ2が除去される。
そして、前記ボンディングヘッド11を通常移動する通常経路161に復帰するとともに(SB5)、前記ツールクリーニング機構52のスライダ63をスライドレール62に沿って後退して待機位置へ移動した後(SB6)、前記ボンディング処理へ戻って通常のボンディング作業を継続する。
また、通常のボンディングサイクルにおいて、前回のツールクリーニング時からボンディングを行った回数が予め設定されRAMに記憶されたツールクリーニング設定回数に達した際には(S4)、クリーニング処理(S6)を実行する。
このクリーニング処理は、図8及び図9に示すように、前記ボンディングヘッド11の移動経路を前記通常経路161からクリーニング経路181に変更し、ツールクリーニング位置へ向けた前記ボンディングヘッド11の移動を開始するとともに(SC1)、前記ツールクリーニング機構52のスライダ63をスライドレール62に沿って駆動してセット位置へ移動した後(SC2)、ロータリーヘッド68を回動して第二側面91に設けられた研磨ツール92を上方であるセット位置111にセットする(SC3)。
そして、前記ボンディングヘッド11を前記研磨ツール92上に配置した状態で、当該ボンディングヘッド11の下降を開始するとともに(SC4)、前記ボンディングツール13が前記研磨ツール92に着地して前記ボンディングヘッド11のランディングセンサ41がオン作動するまで下降する(SC5)。
このとき、前記ランディングセンサ41のオン作動により前記研磨ツール92への前記ボンディングヘッド11の着地が確認できた際には、前記ボンディングヘッド11の下降を停止し(SC6)、当該ボンディングヘッド11を予め設定されRAMに記憶された設定高さへ移動した後(SC7)、前記ボンディングヘッド11を前後方向に設定回数移動することで(SC8)、前記ボンディングツール13のチップ保持面21を研磨する。
これにより、予め設定されたツールクリーニング時期には、前記研磨ツール92が前記セット位置111にセットされ、前記ボンディングツール13の前記チップ保持面21が当該研磨ツール92で研磨される。
ここで、この設定高さは、前記ボンディングツール13の材質や前記研磨ツール92の材質によって定められる値であり、前記ボンディングツール13を前記研磨ツール92に強く擦り付ける場合には低く設定する一方、軽く擦り付ける高く設定しておく。
前記ボンディングツール13の研磨が終了した際には、前記ボンディングヘッド11を上昇した後(SC9)、前記ロータリーヘッド68を回動して第三側面101に設けられた清掃ツール102を上方であるセット位置111にセットするとともに(SC10)、この清掃ツール102に対するボンディングヘッド11の上下移動を開始する(SC11)。
これにより、前記ボンディングツール13の前記チップ保持面21に付着した削り滓等を前記清掃ツール102を構成するブラシ繊維で落とすとともに、該ブラシの繊維が前記ボンディングツール13に設けられたバキューム穴に入り込むことによって、該バキューム穴への削り滓などの目詰まりを防止することができる。
そして、前記ボンディングヘッド11の上下移動の回数が、予め設定されRAMに記憶された設定回数に達した際には(SC12)、前記ボンディングヘッド11を上昇するとともに(SC13)、当該ボンディングヘッド11を前記通常経路161に復帰するとともに(SC14)、前記ツールクリーニング機構52のスライダ63をスライドレール62に沿って後退して待機位置へ移動した後(SC15)、前記ボンディング処理へ戻って通常のボンディング作業を継続する。
このように、本実施の形態にあっては、ボンディング装置1に設けられたツールクリーニング機構52の研磨ツール92と清掃ツール102とによって、前記ボンディングツール13を当該ボンディング装置1から取り外して、別装置であるボンディングツールクリーニング装置にセットし直すことなく、前記ボンディングツール13の研磨と清掃を行うことができる。
したがって、ボンディングツール13を研磨する際に、当該ボンディングツール13をボンディング装置1から取り外すとともに、当該ボンディングツール13を、ボンディング装置1とボンディングツールクリーニング装置との間で取り付け取り外しを行わなければならなかった従来と比較して、ボンディング装置1の停止時間を短くすることがきる。これにより、生産効率を高めることができる。
そして、ボンディング工程後において、前記ボンディングツール13がチップ2を持ち帰った際には、前記除去ツール72によって前記ボンディングツール13からチップ2を除去することもできる。
このため、ボンディングツール13の研磨時期前等にチップ2の持ち帰り率が増大した場合であっても、ボンディング装置1を停止してチップ2をオペレータが除去しなければならなかった従来と比較して、ボンディング装置1の停止時間を短くすることができる。
また、本実施の形態においては、同時に使用すること無い前記除去ツール72と前記研磨ツール92と前記清掃ツール102とを、ロータリーアクチュエータ66で回動されるロータリーヘッド68に設けることによって、前記各ツール72,92,102が平面状に配置された場合と比較して、省スペース化を図ることができる。
これにより、前記ツールクリーニング機構52の追加によるボンディング装置1の大型化を防止することができる。
さらに、前記ボンディングツール13によるチップ2の持ち帰りを検出することによって、前記ボンディングツール13に保持されたチップ2の除去を自動化することができる。
また、ツールクリーニング時期を、前述したボンディング回数や例えば使用時間などに基づいて予め設定しておくことで、ボンディングツール13が摩耗して変形が生ずる時期に合わせて、前記ボンディングツール13のチップ保持面21の研磨と、研磨されたボンディングツール13のチップ保持面21の清掃とを自動的に行うことができる。
これにより、利便性が向上する。
1 ボンディング装置
2 チップ
11 ボンディングヘッド
13 ボンディングツール
21 チップ保持面
52 ツールクリーニング機構
66 ロータリーアクチュエータ
68 ロータリーヘッド
72 除去ツール
92 研磨ツール
102 清掃ツール
111 セット位置
151 制御部
173 ボンディングポイント
2 チップ
11 ボンディングヘッド
13 ボンディングツール
21 チップ保持面
52 ツールクリーニング機構
66 ロータリーアクチュエータ
68 ロータリーヘッド
72 除去ツール
92 研磨ツール
102 清掃ツール
111 セット位置
151 制御部
173 ボンディングポイント
Claims (3)
- ピックアップしたチップをボンディングポイントへ移送してボンディング工程でボンディングするボンディングヘッドに、前記チップを保持するボンディングツールが設けられたボンディング装置において、
前記ボンディング工程後に前記ボンディングツールが持ち帰ったチップを前記ボンディングツールから除去する除去ツールと、前記ボンディングツールのチップ保持面を研磨する研磨ツールと、前記ボンディングツールの前記チップ保持面を清掃する清掃ツールとを有するツールクリーニング機構を備えたことを特徴とするボンディング装置。 - 前記ツールクリーニング機構は、前記除去ツール及び前記研磨ツール並びに前記清掃ツールが外周部に設けられたロータリーヘッドと、該ロータリーヘッドを回転して前記各ツールのいずれかを選択的にセット位置にセットするロータリアクチュエータとを備えたことを特徴とする請求項1記載のボンディング装置。
- 前記ボンディングヘッド及び前記ロータリーアクチュエータを制御する制御部を備え、
該制御部は、
前記ボンディングツールによるチップの持ち帰りを検出した際に前記除去ツールを前記セット位置にセットして前記ボンディングツールに保持されたチップの除去動作を実行させるチップ除去手段と、
予め設定したツールクリーニング時期に前記研磨ツールを前記セット位置にセットして前記ボンディングツールの前記チップ保持面を当該研磨ツールで研磨する動作を実行させる研磨手段と、
前記研磨ツールによる研磨動作が終了した際に前記清掃ツールを前記セット位置にセットして前記チップ保持面を当該清掃ツールで清掃する動作を実行させる清掃手段と、
を備えたことを特徴とする請求項2記載のボンディング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009130033A true JP2009130033A (ja) | 2009-06-11 |
Family
ID=40820679
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007301676A Pending JP2009130033A (ja) | 2007-11-21 | 2007-11-21 | ボンディング装置 |
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JP (1) | JP2009130033A (ja) |
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