JP2009129957A - 真空コンデンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくとも一方の導電性部材は、その導電性部材内に形成された中空状の収納部27と、その収納部27と真空室18とを連通する連通孔23と、を構成し、前記の収納部27内にゲッター16が配置され、そのゲッター16により真空室18内の金属微粒子やガス等の被吸着対象を吸着する。ゲッター16に電界が印加されることを防止することにより、たとえ真空容器1内に電界が生じてもゲッター16が再放出温度に達したり、電子刺激脱離現象等が惹起することはなく、該ゲッター16にて一度吸着した金属微粒子およびガス等が放出することを防ぐことができる。
【選択図】図1
Description
図1(全体説明図),図2(固定側フランジの拡大図)は、本実施形態に係る真空(可変)コンデンサの一例を示す概略説明図である。図6と同様に、絶縁筒(絶縁性部材;セラミック材料等の絶縁材料から成る部材)2と、該絶縁筒1の一端側と他端側とを閉塞するように設けられた導電性部材(例えば銅等の金属から成る部材)3,4と、を主な構成としている。導電性部材3,4においては、それぞれ絶縁筒2の一端側と他端側とに設けられた金属筒5,6と、前記絶縁筒2および前記金属筒5,6を閉塞するように設けられ外部端子を兼ねた可動側フランジ7,固定側フランジ8と、によって構成されている。
図4は、本実施形態に係る真空(可変)コンデンサの他例を示す概略説明図である。実施例1同様に、絶縁筒(絶縁性部材;セラミック材料等の絶縁材料から成る筒状の部材)2と、該絶縁筒2の一端側と他端側とにそれぞれ設けられた導電性部材(例えば、銅等の金属から成る部材)3,4と、から成る真空容器1を主な構成としている。前記固定側導電性部材3,可動側導電性部材4においては、前記絶縁筒1の一端側と他端側とに設けられた金属筒5,6と、前記絶縁筒1および前記金属筒5,6を閉塞するように設けられ外部端子を兼ねた固定側フランジ8,可動側フランジ7と、によって構成されている。
図5は、本実施形態に係る真空(固定)コンデンサの一例を示す概略説明図であり、実施例1,2同様に、絶縁筒(絶縁性部材;セラミック材料等の絶縁材料から成る筒状の部材)2の一端側と他端側とに導電性部材(例えば、銅等の金属から成る部材)3,4を設けて成る真空容器1を主な構成としている。前記導電性部材3,4においては、前記絶縁筒2の一端側と他端側とに設けられた金属筒5,6と、前記絶縁筒2および前記金属筒5,6を閉塞するように設けられ外部端子を兼ねたフランジ7,8と、によって構成されている。
2…絶縁筒
3…固定側導電性部材
4…可動側導電性部材
8…固定側フランジ
9…固定電極
10…可動電極
14…ベローズ
16…ゲッター
22…突出部
23…連通孔
27…収納部
Claims (5)
- 筒状の絶縁性部材の両端がそれぞれ導電性部材により閉塞され真空室を備えた真空容器を構成し、前記真空室内における両導電性部材間に静電容量が形成された真空コンデンサであって、
少なくとも一方の導電性部材は、その導電性部材内に形成された中空状の収納部と、その収納部と真空室とを連通する連通孔と、を構成し、
前記の収納部内にゲッターが配置されたことを特徴とする真空コンデンサ。 - 前記の真空容器内の一方の導電性部材側に設けられた固定電極と、
前記の固定電極に対向して位置し静電容量を形成するように他方の導電性部材側に設けられた可動電極と、を構成し、
前記の可動電極を移動し固定電極に対する可動電極の位置を変化させることにより、前記の静電容量を変化させることが可能なことを特徴とする請求項1記載の真空コンデンサ。 - 前記の真空容器内の一方の導電性部材側に設けられた電極と、
前記一方の導電性部材側の電極と対向して位置し静電容量を形成するように前記の真空容器内の他方の導電性部材側に設けられた電極と、を構成したことを特徴とする請求項1記載の真空コンデンサ。 - 前記連通孔の真空室側に突出部が形成されたことを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の真空コンデンサ。
- 前記の連通孔を構成する導電性部材と、その導電性部材側に設けられた電極と、の間には、前記の連通孔と真空室とを連通する隙間部が形成されたことを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の真空コンデンサ。
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