JP5842385B2 - ベローズおよびその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims description 51
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 28
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 18
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 12
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 9
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 5
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 4
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 14
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 12
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 3
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- DMFGNRRURHSENX-UHFFFAOYSA-N beryllium copper Chemical compound [Be].[Cu] DMFGNRRURHSENX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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- F04B45/00—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
- F04B45/02—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having bellows
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
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- H01G5/01—Details
- H01G5/013—Dielectrics
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J3/00—Diaphragms; Bellows; Bellows pistons
- F16J3/04—Bellows
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J3/00—Diaphragms; Bellows; Bellows pistons
- F16J3/04—Bellows
- F16J3/041—Non-metallic bellows
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J3/00—Diaphragms; Bellows; Bellows pistons
- F16J3/04—Bellows
- F16J3/047—Metallic bellows
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G5/00—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture
- H01G5/01—Details
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G5/00—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture
- H01G5/01—Details
- H01G5/014—Housing; Encapsulation
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H33/00—High-tension or heavy-current switches with arc-extinguishing or arc-preventing means
- H01H33/60—Switches wherein the means for extinguishing or preventing the arc do not include separate means for obtaining or increasing flow of arc-extinguishing fluid
- H01H33/66—Vacuum switches
- H01H33/662—Housings or protective screens
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H33/00—High-tension or heavy-current switches with arc-extinguishing or arc-preventing means
- H01H33/60—Switches wherein the means for extinguishing or preventing the arc do not include separate means for obtaining or increasing flow of arc-extinguishing fluid
- H01H33/66—Vacuum switches
- H01H33/662—Housings or protective screens
- H01H33/66238—Specific bellows details
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49826—Assembling or joining
- Y10T29/49877—Assembling or joining of flexible wall, expansible chamber devices [e.g., bellows]
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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Description
例えば、基体は、一般的な真空コンデンサ等のベローズに適用されているもののうち絞り加工できるものを利用でき、具体例としては非磁性ステンレス材料(SUS304,SUS316,各種SS材等)から成るものが挙げられるが、これに限定されるものではない。
導電性被覆層は、前記の基体に対して拡散接合できるものであれば、種々の導電性材料を適用することができ、例えば高導電率である銅,銀,金等を含んだ導電性材料が挙げられるが、基体が耐腐食性の低い材料から成る場合には、耐腐食性を有する導電性材料を適用することが好ましい。また、導電性被覆層の厚さは、例えば当該導電性被覆層に通電され得る周波数を想定して適宜設定することが挙げられ、近年の市場で存在している周波数100MHz,60MHz,13MHzの真空コンデンサ製品の場合には、それぞれ導電性被覆層の厚さを7μm以上,9μm以上,18μm以上に設定することが考えられる。なお、比較的低周波の設備への適用を想定すると、導電性被覆層を更に厚く設定(数MHz〜数百kHzレベルに対し数十μm〜数百μmレベルに設定)、例えば周波数1MHz,100kHzに対し70μm,210μmに設定することが考えられる。
拡散接合は、前記の基体と導電性被覆層とを互いに密着させて両者を原子拡散により接合する方法であれば良い、例えば平板状基体の一端面側に導電性材料を被覆して導電性被覆層を形成し、その積層体を平板状基体と導電性被覆層との界面方向に加圧しながら、基体の融点以下の温度で加熱処理して接合する方法が挙げられる。なお、基体の一端面側のみに導電性被覆層を形成した場合、その両者における熱膨張率の差(異なる材質であることに起因する差)、すなわちベローズの内周側と外周側とに熱膨張率の差が生じ、その差が大きい場合には反りが生じる可能性がある。そのため、例えば図1に示すように、基体2の内周側および外周側に対しそれぞれ同種の導電性被覆層2a,2bを備えたベローズ1を構成し、前記熱膨張率の差に起因する反り現象を抑制することが好ましい。なお、前記の導電性被覆層2a,2bは、単層構造に限定されるものではなく、それぞれ多層構造であっても良い。
前記の基体と導電性被覆層とから成る積層体を絞り加工して筒状体を得た後、その筒状体の側壁を蛇腹状に成形できる方法であれば、種々の方法が適用できる。例えば、図2に示すように、平板状基体2の両端面にそれぞれ導電性被覆層2a,2bを形成して積層体1aを得て、その積層体を絞り加工して円筒体を形成する。この円筒体の側壁を蛇腹状に成形(伸縮自在に成形)することにより、図1に示すようなベローズが得られる。
前記のようなベローズは、例えば図3中の符号1で示すように、真空容器10内に固定電極4と可動電極5を配置した真空コンデンサ30に適用され、真空容器10内を真空室10aと大気室10bとに区分し当該真空室10aを気密に保持して伸縮自在に設けられる。
1a…積層体
2…基体
2a,2b…導電性被覆層
10…真空容器
30…真空コンデンサ
Claims (8)
- 平板状の基体の少なくとも一端面側に対し平板状の導電性被覆層を積層して、それら基体と導電性被覆層とを拡散接合し、その拡散接合された積層体を絞り加工によって筒状体に成形した後、その筒状体の側壁を蛇腹状に成形することを特徴とするベローズの製造方法。
- 前記基体は、非磁性ステンレス材料から成ることを特徴とする請求項1記載のベローズの製造方法。
- 前記導電性被覆層は、銅,銀,金のうち少なくとも一つ以上を含んだ導電性材料から成ることを特徴とする請求項1または2記載のベローズの製造方法。
- 真空容器内を真空室と大気室とに区分し当該真空室を気密に保持するベローズの製造方法であって、
外周面側と内周面側とに対し導電性被覆層が拡散接合された筒状の基体を蛇腹状に成形することを特徴とするベローズの製造方法。 - 真空容器内を真空室と大気室とに区分し当該真空室を気密に保持するベローズであって、
導電性被覆層がベローズの基体に対し拡散接合されていることを特徴とする真空容器用ベローズ。 - 前記導電性被覆層は、筒状の基体の外周面側と内周面側との少なくとも一方に拡散接合され、
当該拡散接合された基体は、蛇腹状に成形されていることを特徴とする請求項5記載の真空容器用ベローズ。 - 前記基体は、非磁性ステンレス材料から成ることを特徴とする請求項5または6記載の真空容器用ベローズ。
- 前記導電性被覆層は、銅,銀,金のうち少なくとも一つ以上を含んだ導電性材料から成ることを特徴とする請求項5〜7の何れかに記載の真空容器用ベローズ。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011111051A JP5842385B2 (ja) | 2011-05-18 | 2011-05-18 | ベローズおよびその製造方法 |
US14/117,950 US9422933B2 (en) | 2011-05-18 | 2012-04-19 | Bellows and method for manufacturing same |
EP12785991.6A EP2709127B1 (en) | 2011-05-18 | 2012-04-19 | Bellows and method for manufacturing same |
KR1020137032067A KR101535551B1 (ko) | 2011-05-18 | 2012-04-19 | 벨로즈 및 그 제조 방법 |
CN201280023844.7A CN103563026B (zh) | 2011-05-18 | 2012-04-19 | 蛇腹管以及用于制造蛇腹管的方法 |
PCT/JP2012/060559 WO2012157397A1 (ja) | 2011-05-18 | 2012-04-19 | ベローズおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011111051A JP5842385B2 (ja) | 2011-05-18 | 2011-05-18 | ベローズおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012241766A JP2012241766A (ja) | 2012-12-10 |
JP5842385B2 true JP5842385B2 (ja) | 2016-01-13 |
Family
ID=47176734
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011111051A Active JP5842385B2 (ja) | 2011-05-18 | 2011-05-18 | ベローズおよびその製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9422933B2 (ja) |
EP (1) | EP2709127B1 (ja) |
JP (1) | JP5842385B2 (ja) |
KR (1) | KR101535551B1 (ja) |
CN (1) | CN103563026B (ja) |
WO (1) | WO2012157397A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6136598B2 (ja) * | 2013-06-06 | 2017-05-31 | 株式会社明電舎 | 封止形リレー |
CN103366959A (zh) * | 2013-06-19 | 2013-10-23 | 昆山国力真空电器有限公司 | 带双向自定位结构的可变真空电容器 |
JP6156535B1 (ja) * | 2016-03-17 | 2017-07-05 | 株式会社明電舎 | 分圧コンデンサ |
KR101975834B1 (ko) * | 2017-03-21 | 2019-05-08 | 주식회사 삼일프론테크 | 벨로우즈 보호막 형성방법 및 벨로우즈 보호막 형성시스템 |
DE102017207629B4 (de) * | 2017-05-05 | 2020-06-25 | Siemens Aktiengesellschaft | Anordnung mit einer Gasdruckfeder für eine Seil-Rotationspendel-Kinematik und Verwendung der Anordnung zum Schalten |
JP7137385B2 (ja) * | 2018-07-17 | 2022-09-14 | 株式会社荏原製作所 | ゲートバルブ |
US10788148B2 (en) * | 2018-12-20 | 2020-09-29 | The Boeing Company | Conduits for transporting fluids |
CN114746677A (zh) * | 2019-12-03 | 2022-07-12 | Abb瑞士股份有限公司 | 用于真空断续器、排气补偿器或阀门的波纹管 |
EP3872822A1 (en) * | 2020-02-28 | 2021-09-01 | Comet AG | Vacuum capacitor with corona ring |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3063142A (en) * | 1959-03-06 | 1962-11-13 | Pieter J Kroon | Method of making tubing structures |
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JP4231364B2 (ja) * | 2003-07-28 | 2009-02-25 | 東京エレクトロン株式会社 | ベローズ支持構造及び可動ステージ |
JP4285231B2 (ja) * | 2003-12-22 | 2009-06-24 | 株式会社明電舎 | 真空可変コンデンサ |
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FR2931390B1 (fr) * | 2008-05-26 | 2011-04-22 | Continental Automotive France | Systeme de mesure de la pression d'un pneu de vehicule automobile |
JP5314968B2 (ja) | 2008-08-29 | 2013-10-16 | 株式会社クボタ | 給電ロールおよび給電ロールの製造方法 |
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-
2011
- 2011-05-18 JP JP2011111051A patent/JP5842385B2/ja active Active
-
2012
- 2012-04-19 CN CN201280023844.7A patent/CN103563026B/zh active Active
- 2012-04-19 US US14/117,950 patent/US9422933B2/en active Active
- 2012-04-19 EP EP12785991.6A patent/EP2709127B1/en active Active
- 2012-04-19 WO PCT/JP2012/060559 patent/WO2012157397A1/ja active Application Filing
- 2012-04-19 KR KR1020137032067A patent/KR101535551B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101535551B1 (ko) | 2015-07-09 |
WO2012157397A1 (ja) | 2012-11-22 |
CN103563026B (zh) | 2016-08-24 |
EP2709127B1 (en) | 2016-04-13 |
KR20140007950A (ko) | 2014-01-20 |
US9422933B2 (en) | 2016-08-23 |
CN103563026A (zh) | 2014-02-05 |
EP2709127A1 (en) | 2014-03-19 |
EP2709127A4 (en) | 2015-08-05 |
US20140083288A1 (en) | 2014-03-27 |
JP2012241766A (ja) | 2012-12-10 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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