JP2015008176A - コアアダプタ及びこれを有する巻取装置並びに該装置を備えたロールツーロール表面処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 長尺基板Fを外周面に巻回させる円筒形状のコア10の両側に取り付けられる1対のコアアダプタ20であって、各コアアダプタ20は該コア10に向けて付勢された切頭円錐形状のテーパーコーン31の傾斜面32に全周に亘って当接する第1係合部21と、該コア10の一端面11に可撓性部材25を介して係合する第2係合部24と、該コア10の内側に端部から嵌め込まれる挿入部23とからなり、該挿入部23の外周面23aに斜め巻きコイルスプリング26が巻き付けられている。このコアアダプタ20は、真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺基板Fの巻取装置に好適に使用される。
【選択図】 図3
Description
図1に示すような真空成膜装置(スパッタリングウェブコータ)において、長尺フィルムFとして幅500mm、長さ1000m、厚さ25μmの東レ・デュポン株式会社製の耐熱性ポリイミドフィルム「カプトン(登録商標)」をロールツーロールで搬送させながら、その表面にスパッタリングにより金属膜を成膜して金属膜付耐熱性樹脂フィルムを作製した。
コアアダプタ20に環状の斜め巻きコイルスプリング26を装着しなかった以外は上記実施例と同様にして巻取ロール129を真空成膜装置に取り付けた。実施例と同様にして巻取室113の内壁に取り付けたマイクロメータ(図示せず)で、コア10の右側、中央部、及び左側の偏芯度を測定したところ、右側は±50μm、中央部は±100μm、左側は±200μmとなった。
H コイル高さ
W コイル幅
d ワイヤー径
X スプリング変形量
C クリアランス
10 コア
11 環状端面
20 コアアダプタ
21 第1係合部
22 内周側縁部
23 挿入部
24 第2係合部
25 可撓性部材
26 斜め巻きコイルスプリング
30 ピストンロッド
31 テーパーコーン
32 傾斜面
111 巻出室
112 成膜室
113 巻取室
114 巻出ロール
115、120、126、128 フリーロール
119、121、125、127 張力センサーロール
116 ヒーターボックス
117、118 ヒーター
122 前フィードロール
123 キャンロール
124 後フィードロール
129 巻取ロール
130、131、132、133 マグネトロンスパッタリングカソード
Claims (10)
- 長尺基板を外周面に巻回させる円筒形状のコアの両側に取り付けられる1対のコアアダプタであって、各コアアダプタは該コアに向けて付勢された切頭円錐形状の支持部材の傾斜面に全周に亘って当接する第1係合部と、該コアの一端面に可撓性部材を介して係合する第2係合部と、該コアの内側に端部から嵌め込まれる挿入部とからなり、該挿入部の外周面に斜め巻きコイルスプリングが巻き付けられていることを特徴とするコアアダプタ。
- 前記斜め巻きコイルスプリングは、前記挿入部の外周面に周方向に沿って設けられた溝内に嵌め込まれており、前記コアに前記挿入部が嵌め込まれた時、前記挿入部の外周面と前記コアの内周面との間のクリアランスが0.1mm以上1.0mm以下であり、前記コアの半径方向における前記斜め巻きコイルスプリングの変形率が5%以上35%以下であることを特徴とする、請求項1に記載のコアアダプタ。
- 前記コアの質量が3kg以上であることを特徴とする、請求項1又は2に記載のコアアダプタ。
- 前記コア、前記コアアダプタ、及び前記斜め巻きコイルスプリングの材質が導電性であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載のコアアダプタ。
- 請求項1〜4のいずれかに記載のコアアダプタを円筒形状のコアの両端に取り付け、該コアに向けて付勢された前記支持部材を該コアアダプタの第1係合部に当接させながら該支持部材を回転させることにより、該コアの外周面に長尺基板を巻き取ることを特徴とする長尺基板の巻取り方法。
- ロールツーロールで搬送される長尺基板を円筒形状のコアに巻き取る巻取装置であって、請求項1〜4のいずれかに記載のコアアダプタと、該コアアダプタの第1係合部に全周に亘って当接し且つ該コアに向けて付勢された切頭円錐形状の支持部材を有する支持機構と、該支持機構を回転させる回転駆動部とを備えたことを特徴とする巻取装置。
- 前記巻取装置が前記長尺基板のロールツーロールでの搬送が行われる真空チャンバー内に設けられていることを特徴とする、請求項6に記載の巻取装置。
- 前記真空チャンバーと、該真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺基板の少なくとも一方の面に熱負荷のかかる処理を行う処理手段と、該長尺基板の搬送経路の終端に設けられた請求項7に記載の巻取装置とを備えることを特徴とするロールツーロール表面処理装置。
- 請求項8に記載の処理手段が乾式めっき手段であることを特徴とするロールツーロール成膜装置。
- 前記乾式めっき手段がスパッタリングカソードであることを特徴とする、請求項9に記載のロールツーロール成膜装置。
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