JPH0845785A - 可変コンデンサ - Google Patents
可変コンデンサInfo
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- JPH0845785A JPH0845785A JP7185759A JP18575995A JPH0845785A JP H0845785 A JPH0845785 A JP H0845785A JP 7185759 A JP7185759 A JP 7185759A JP 18575995 A JP18575995 A JP 18575995A JP H0845785 A JPH0845785 A JP H0845785A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G5/00—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture
- H01G5/01—Details
-
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G5/00—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture
- H01G5/04—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of effective area of electrode
- H01G5/06—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of effective area of electrode due to rotation of flat or substantially flat electrodes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 製造設備及び素子としての構造を簡単にする
こと、及び加熱等の動作特性を改善することができる可
変コンデンサを提供する。 【解決手段】 多数枚積層してケーシングに固定した第
1のコンデンサ・プレート(7)と、回転により前記第
1のコンデンサ・プレート間に入り込む面積の変化によ
り有効容量を変化させるように、回転軸(1)に搭載さ
れた多数枚積層の第2のコンデンサ・プレート(2)と
を有し、前記第1及び第2のコンデンサ・プレート
(2)を不活性ガスを充填した密閉ケーシング室(3)
に収容し、高周波電流を流せるようにしたコンタクト・
スリーブ(32)及びコンタクト・プレート(33)を
介して前記回転軸(1)を前記密閉ケーシング室(3)
に軸支する。
こと、及び加熱等の動作特性を改善することができる可
変コンデンサを提供する。 【解決手段】 多数枚積層してケーシングに固定した第
1のコンデンサ・プレート(7)と、回転により前記第
1のコンデンサ・プレート間に入り込む面積の変化によ
り有効容量を変化させるように、回転軸(1)に搭載さ
れた多数枚積層の第2のコンデンサ・プレート(2)と
を有し、前記第1及び第2のコンデンサ・プレート
(2)を不活性ガスを充填した密閉ケーシング室(3)
に収容し、高周波電流を流せるようにしたコンタクト・
スリーブ(32)及びコンタクト・プレート(33)を
介して前記回転軸(1)を前記密閉ケーシング室(3)
に軸支する。
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明が属する技術分野】本発明は、ケーシングに固定
して配置された多数の第1のコンデンサ・プレートと、
前記第1のコンデンサ・プレートに対して回転可能とさ
れてその入り込みの変化により有効容量面を変化させる
ように、回転可能軸に搭載され、かつ前記第1のコンデ
ンサ・プレート間に配置された更に多数の第2のコンデ
ンサ・プレートとを有する可変コンデンサに関する。
して配置された多数の第1のコンデンサ・プレートと、
前記第1のコンデンサ・プレートに対して回転可能とさ
れてその入り込みの変化により有効容量面を変化させる
ように、回転可能軸に搭載され、かつ前記第1のコンデ
ンサ・プレート間に配置された更に多数の第2のコンデ
ンサ・プレートとを有する可変コンデンサに関する。
【0002】
【従来の技術】この種の可変コンデンサは、種々の実施
形式が知られている。一般的に、固定及び回転可能なコ
ンデンサ・プレートは、有効面が総利用可能面のうちの
約半分に対応する。従って、前記回転可能軸の回転が最
小値と最大値との間で容量作用が得られるようにしてい
る。公知のコンデンサでは、 絶縁体が空気からなる。
形式が知られている。一般的に、固定及び回転可能なコ
ンデンサ・プレートは、有効面が総利用可能面のうちの
約半分に対応する。従って、前記回転可能軸の回転が最
小値と最大値との間で容量作用が得られるようにしてい
る。公知のコンデンサでは、 絶縁体が空気からなる。
【0003】公知のコンデンサは、一定の欠点を有す
る。即ち、採用した絶縁体のために極板間の距離が比較
的に大きく、従って仕様により、広いスペースを必要と
する、供給される電流によりすぐに加熱する、かつ汚れ
及び/又は湿気に対する感度が比較的に高い。
る。即ち、採用した絶縁体のために極板間の距離が比較
的に大きく、従って仕様により、広いスペースを必要と
する、供給される電流によりすぐに加熱する、かつ汚れ
及び/又は湿気に対する感度が比較的に高い。
【0004】可変コンデンサは、SF6 環境及び密閉ケ
ーシングを特徴とする特許公開公報BE−A−516,
656号により知られている。そのコンデンサ・プレー
トは相互に入り込むシリンダ面として設計され、かつ容
量の変化は、静止コンデンサ・プレート・アッセンブリ
に対して変位可能なコンデンサ・プレート・アッセンブ
リを軸方向の変位により得られる。このようにして、外
側からアクセス可能な調整部材上のベローズによりコン
デンサ・ケーシングの気密度を保証することできる。
ーシングを特徴とする特許公開公報BE−A−516,
656号により知られている。そのコンデンサ・プレー
トは相互に入り込むシリンダ面として設計され、かつ容
量の変化は、静止コンデンサ・プレート・アッセンブリ
に対して変位可能なコンデンサ・プレート・アッセンブ
リを軸方向の変位により得られる。このようにして、外
側からアクセス可能な調整部材上のベローズによりコン
デンサ・ケーシングの気密度を保証することできる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】このような公知の構造
の欠点は、製造が複雑なこと、特にシリンダ状のプレー
ト・アッセンブリ及びベローズの製造が複雑なこと、片
側コンタクトの必然性によりコンデンサ・プレートの加
熱が不均一なことである。
の欠点は、製造が複雑なこと、特にシリンダ状のプレー
ト・アッセンブリ及びベローズの製造が複雑なこと、片
側コンタクトの必然性によりコンデンサ・プレートの加
熱が不均一なことである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、性能を
改善した可変ディスク・コンデンサを提供することにあ
る。
改善した可変ディスク・コンデンサを提供することにあ
る。
【0007】本発明の目的は、コンデンサ・プレートを
密閉ケーシング室に収容した可変コンデンサにより達成
される。本発明のコンデンサの好ましい実施例及びその
応用は、請求の範囲の従属項により定義される。
密閉ケーシング室に収容した可変コンデンサにより達成
される。本発明のコンデンサの好ましい実施例及びその
応用は、請求の範囲の従属項により定義される。
【0008】本発明のコンデンサの好ましい実施例で
は、絶縁体として作用するガスが外方向に対して密閉さ
れ、かつ可能な限りシールドされたケーシング室に封入
され、かつ回転軸を介して高周波電流を2つの側面上の
コンデンサ・プレートに導くように、前記回転軸がこの
前記ケーシングに軸支された回転軸上に配列されたコン
デンサ・プレートの両側で高周波電流の供給手段と電気
的に接触している。
は、絶縁体として作用するガスが外方向に対して密閉さ
れ、かつ可能な限りシールドされたケーシング室に封入
され、かつ回転軸を介して高周波電流を2つの側面上の
コンデンサ・プレートに導くように、前記回転軸がこの
前記ケーシングに軸支された回転軸上に配列されたコン
デンサ・プレートの両側で高周波電流の供給手段と電気
的に接触している。
【0009】SF6 ガス(6ふっ化硫黄)は、好ましく
は、コンパクトな特定構造を可能にする絶縁体として用
いられる。
は、コンパクトな特定構造を可能にする絶縁体として用
いられる。
【0010】注目すべきことは、回転軸の両面のベアリ
ングと、前記両面上に供給される高周波電流の供給手段
とにより、均一な加熱を保証することができることであ
る。
ングと、前記両面上に供給される高周波電流の供給手段
とにより、均一な加熱を保証することができることであ
る。
【0011】前記高周波電流の供給手段は、好ましく
は、取り付け可能な金属ケーシング及びフランジの凹所
に収容可能な多重接触点を備えたバネ・コンタクトによ
り形成される。
は、取り付け可能な金属ケーシング及びフランジの凹所
に収容可能な多重接触点を備えたバネ・コンタクトによ
り形成される。
【0012】本発明を実施例の図面により以下詳細に説
明する。
明する。
【0013】
【発明の実施の形態】可変コンデンサは、回転軸1を備
えており、この回転軸1はこれに、固定して配列された
複数のコンデンサ・プレート2を有する。シリンダ状の
エンベロープ4及びエンド部材のケーシング・クロージ
ャ5、6からなるケーシング3内には、静止プレート7
が設けられる。コンデンサ・プレート2及び7は、好ま
しくは、半円形又は蝶の羽状(即ち、直径方向に対立す
る円形セクタ)であり、従って回転軸1の回転により有
効なコンデンサ面の入り込みを変化させることができ
る。
えており、この回転軸1はこれに、固定して配列された
複数のコンデンサ・プレート2を有する。シリンダ状の
エンベロープ4及びエンド部材のケーシング・クロージ
ャ5、6からなるケーシング3内には、静止プレート7
が設けられる。コンデンサ・プレート2及び7は、好ま
しくは、半円形又は蝶の羽状(即ち、直径方向に対立す
る円形セクタ)であり、従って回転軸1の回転により有
効なコンデンサ面の入り込みを変化させることができ
る。
【0014】コンデンサのケーシング3の内部におい
て、コンデンサ面は交互的に互いに入り込む。完全に密
閉され、かつシールドされた空間に保持されたSF6 ガ
スからなる絶縁体により、最小プレート距離が可能であ
る。回転軸1はコンデンサ・プレート2のアッセンブリ
の両端でケーシング3に軸支されている。バネ部材1
0、11は回転軸1の複数のセクション上で支持されて
おり、この回転軸1は外側のベアリング8、9上に位置
し、かつ両端からコンデンサ・プレート2へ回転軸1を
介して高周波電流を給電するために用いられる。この2
側面の電流供給のために、均一な加熱が得られ、これが
新しい可変コンデンサの特徴である。
て、コンデンサ面は交互的に互いに入り込む。完全に密
閉され、かつシールドされた空間に保持されたSF6 ガ
スからなる絶縁体により、最小プレート距離が可能であ
る。回転軸1はコンデンサ・プレート2のアッセンブリ
の両端でケーシング3に軸支されている。バネ部材1
0、11は回転軸1の複数のセクション上で支持されて
おり、この回転軸1は外側のベアリング8、9上に位置
し、かつ両端からコンデンサ・プレート2へ回転軸1を
介して高周波電流を給電するために用いられる。この2
側面の電流供給のために、均一な加熱が得られ、これが
新しい可変コンデンサの特徴である。
【0015】バネ部材10、11は金属エンド・フラン
ジ12、13の凹所に収容されている。金属エンド・フ
ランジ12、13は機械的なむくのアタッチメントを付
加的に用いることもできる。
ジ12、13の凹所に収容されている。金属エンド・フ
ランジ12、13は機械的なむくのアタッチメントを付
加的に用いることもできる。
【0016】図2及び下記によ本発明の可変コンデンサ
の更なる実施において、対応する要素は図1の実施例の
ように表され、従ってこれらの構成要素は説明するまで
もないことである。
の更なる実施において、対応する要素は図1の実施例の
ように表され、従ってこれらの構成要素は説明するまで
もないことである。
【0017】回転軸1(図2)はこれらの部品、即ち中
央部20、駆動ジャーナル21及びエンド・ピース22
から形成されている。中央部20は断面が六角形であ
る。可動プレート・スタック(図4)のコンデンサ・プ
レート2は、対応した6角形の開口23を備えており、
中央部20の大きさに一致する。従って、コンデンサ・
プレート2は回転可能に固定する形式により中央部20
に填め込まれ、2枚毎のコンデンサ・プレート2間にス
ペース部材24を付加している。
央部20、駆動ジャーナル21及びエンド・ピース22
から形成されている。中央部20は断面が六角形であ
る。可動プレート・スタック(図4)のコンデンサ・プ
レート2は、対応した6角形の開口23を備えており、
中央部20の大きさに一致する。従って、コンデンサ・
プレート2は回転可能に固定する形式により中央部20
に填め込まれ、2枚毎のコンデンサ・プレート2間にス
ペース部材24を付加している。
【0018】駆動ジャーナル21の内端25は、直径が
中央部20のものより明確に大きくされており、従って
ステップが形成され、このステップが可動プレート・ス
タックの第1の極板28に対するストップとして用いら
れる。エンド・ピース22の対応した形状のエンド26
と可動プレート・スタックとの間に弾性エレメント27
が配置される。
中央部20のものより明確に大きくされており、従って
ステップが形成され、このステップが可動プレート・ス
タックの第1の極板28に対するストップとして用いら
れる。エンド・ピース22の対応した形状のエンド26
と可動プレート・スタックとの間に弾性エレメント27
が配置される。
【0019】駆動ジャーナル21及びエンド・ピース2
2は、カラー43をそれぞれ備えており、これによりそ
れぞれのケーシング・クロージャ5、6の平坦なベアリ
ング面29で滑動する。シャフト・シール30は駆動ジ
ャーナル21の経路を密閉している。シャフトの経路に
対する通常のシャフト・シールは、コンデンサにおける
不活性ガスの大気圧以上の中程度の圧力(2〜5バー
ル)において、そのコンデンサの有効寿命までコンデン
サをある最小充填を保持するために対応する精密な機械
加工を駆動ジャーナル21に行っている限り、十分であ
ることが分かった。それにもかかわらず、起こり得る不
活性ガスの損失を補償するために、コンデンサの製造段
階において、指定された最小圧力が2バールの場合に、
例えば3バールの圧力で過度の不活性ガスをコンデンサ
に充填する。
2は、カラー43をそれぞれ備えており、これによりそ
れぞれのケーシング・クロージャ5、6の平坦なベアリ
ング面29で滑動する。シャフト・シール30は駆動ジ
ャーナル21の経路を密閉している。シャフトの経路に
対する通常のシャフト・シールは、コンデンサにおける
不活性ガスの大気圧以上の中程度の圧力(2〜5バー
ル)において、そのコンデンサの有効寿命までコンデン
サをある最小充填を保持するために対応する精密な機械
加工を駆動ジャーナル21に行っている限り、十分であ
ることが分かった。それにもかかわらず、起こり得る不
活性ガスの損失を補償するために、コンデンサの製造段
階において、指定された最小圧力が2バールの場合に、
例えば3バールの圧力で過度の不活性ガスをコンデンサ
に充填する。
【0020】更に、層状のコンタクト・スリーブ32が
挿入された金属ブッシング31は、ケーシング・クロー
ジャ5に圧入される。金属ブッシング31の底部には駆
動ジャーナル21用の通路として用いる孔が設けられて
いる。ケーシング・クロージャ5の表面には、金属エン
ド・フランジ12と同等のコンタクト・プレート33が
取り付けられると共に、カラー34を内方向に伸延させ
ている中央孔が設けれれている。カラー34は金属ブッ
シング31を取り囲み、かつ金属ブッシング31を介し
てコンタクト・プレート33と可動プレート・スタック
との間に電気的な接触を確立する。
挿入された金属ブッシング31は、ケーシング・クロー
ジャ5に圧入される。金属ブッシング31の底部には駆
動ジャーナル21用の通路として用いる孔が設けられて
いる。ケーシング・クロージャ5の表面には、金属エン
ド・フランジ12と同等のコンタクト・プレート33が
取り付けられると共に、カラー34を内方向に伸延させ
ている中央孔が設けれれている。カラー34は金属ブッ
シング31を取り囲み、かつ金属ブッシング31を介し
てコンタクト・プレート33と可動プレート・スタック
との間に電気的な接触を確立する。
【0021】ブッシング35の底部に経路がないこと、
及びシャフト・シールがないことを除き、本質的に、同
一の構造がケーシング・クロージャ6の側面にも見られ
る。
及びシャフト・シールがないことを除き、本質的に、同
一の構造がケーシング・クロージャ6の側面にも見られ
る。
【0022】説明した手法は、可動プレート・スタック
の対称的な十分な2面接触を保証するものである。
の対称的な十分な2面接触を保証するものである。
【0023】図3は層状のコンタクト・スリーブ32に
よる接触を拡大表示により示す。切り開いた層状のコン
タクト・スリーブ32のエンベロープ36は、金属ブッ
シング31及び対応するブッシング35に弾性により接
している。続いて、エンベロープ36から内方向へ持ち
上げられている薄片37は、駆動ジャーナル21及び対
応するエンド・ピース22にも接している。
よる接触を拡大表示により示す。切り開いた層状のコン
タクト・スリーブ32のエンベロープ36は、金属ブッ
シング31及び対応するブッシング35に弾性により接
している。続いて、エンベロープ36から内方向へ持ち
上げられている薄片37は、駆動ジャーナル21及び対
応するエンド・ピース22にも接している。
【0024】更に、図5は静止プレート・スタックの静
止プレート7を示しており、これは本質的に可動プレー
ト・スタックのコンデンサ・プレート2と同等の面を切
り開いた円板である。その取り付けは、外径がエンベロ
ープ4の内径に等しいむくの部分40により行われる。
それぞれ2枚の静止プレート7(図2)間にスペース・
リング41が挿入されている。
止プレート7を示しており、これは本質的に可動プレー
ト・スタックのコンデンサ・プレート2と同等の面を切
り開いた円板である。その取り付けは、外径がエンベロ
ープ4の内径に等しいむくの部分40により行われる。
それぞれ2枚の静止プレート7(図2)間にスペース・
リング41が挿入されている。
【0025】ケーシング・クロージャ5、6とエンベロ
ープ4との間には、コンデンサの内部をシールするため
に、更にシーリング部材(Oリング)39が存在する。
全体の構造は、ケーシング・クロージャ6及びエンベロ
ープ4に接している固定手段(図示なし)により一体に
保持される。このような装置は当該技術分野に習熟する
者に知られている。更に、ケーシング・クロージャ6を
エンベロープ4にねじ込むこともできる。
ープ4との間には、コンデンサの内部をシールするため
に、更にシーリング部材(Oリング)39が存在する。
全体の構造は、ケーシング・クロージャ6及びエンベロ
ープ4に接している固定手段(図示なし)により一体に
保持される。このような装置は当該技術分野に習熟する
者に知られている。更に、ケーシング・クロージャ6を
エンベロープ4にねじ込むこともできる。
【0026】ケーシング・クロージャ6は静止プレート
7及びスペース・リング41から形成された静止プレー
ト・スタックを直接支持し、スペース・リング41はエ
ンベロープ4の反対側にその肩44、及びケーシング・
クロージャ5のフランジ45に接している。従ってこれ
に続いて、ケーシング・クロージャ5はエンベロープ4
のエンドに対して押し付けられ、これによって堅固なシ
ールがこの側面にシーリング部材39及びケーシング・
クロージャ5及びエンベロープ4のフランジ状のコンタ
クトに関連して保証される。
7及びスペース・リング41から形成された静止プレー
ト・スタックを直接支持し、スペース・リング41はエ
ンベロープ4の反対側にその肩44、及びケーシング・
クロージャ5のフランジ45に接している。従ってこれ
に続いて、ケーシング・クロージャ5はエンベロープ4
のエンドに対して押し付けられ、これによって堅固なシ
ールがこの側面にシーリング部材39及びケーシング・
クロージャ5及びエンベロープ4のフランジ状のコンタ
クトに関連して保証される。
【0027】適当な手段により、静止プレート7は有効
面が可能な限り完全に整合されるように配置される。可
動プレート・スタックのコンデンサ・プレート2も同じ
ようにして整合される。
面が可能な限り完全に整合されるように配置される。可
動プレート・スタックのコンデンサ・プレート2も同じ
ようにして整合される。
【0028】同じようにして、ケーシング・クロージャ
6において滑動するベアリング面29に作用する圧力に
より、エンド・ピース22に圧力が掛けられ、これによ
って回転軸1の複数の部分が堅固に接続される。
6において滑動するベアリング面29に作用する圧力に
より、エンド・ピース22に圧力が掛けられ、これによ
って回転軸1の複数の部分が堅固に接続される。
【0029】プレート・スタックの構成要素と共に中央
部分は、好ましくは、アルミニウム又はアルミニウム合
金からなる。
部分は、好ましくは、アルミニウム又はアルミニウム合
金からなる。
【0030】ケーシング・クロージャ5、6は、好まし
くは、電気的な絶縁材料から、好ましくは、繊維強化さ
れたプラスチック材料からなる。
くは、電気的な絶縁材料から、好ましくは、繊維強化さ
れたプラスチック材料からなる。
【0031】その製造後に、以上説明したコンデンサ
は、例えば3バール(20℃)の圧力で不活性ガス(S
F6)により充填される。本発明のコンデンサの好ましい
応用分野は下記のデータにより特徴付けられる。
は、例えば3バール(20℃)の圧力で不活性ガス(S
F6)により充填される。本発明のコンデンサの好ましい
応用分野は下記のデータにより特徴付けられる。
【0032】周波数 1〜100MHz 電流 1〜20A(典型的には約15A) 耐電圧 >1kV(好ましくは1〜8kV) 容量 約60〜1,500pF.
【0033】このコンデンサの好ましい応用は、例えば
半導体産業におけるコーティング及びエッチング設備に
おいて発振器の同調素子である。
半導体産業におけるコーティング及びエッチング設備に
おいて発振器の同調素子である。
【0034】本発明の一実施例に関する以上の説明は、
本発明の範囲を逸脱することなく、多数の変形が可能で
ある。本発明はSF6 に代わって他の不活性ガス、例え
ば窒素ガスを用いることができる。更に、本発明は、逆
圧条件に対して軸シールが適用される限り、コンデンサ
を真空コンデンサとして設計することも考えることでき
る。コンデンサにおける圧力は広範囲に変更することが
可能とされる。全ての動作条件で少なくとも大気圧に等
しい又は大気圧以上の内圧は、下限と考える必要があ
る。従って、本発明は外気がコンデンサに入り込むどの
ような場合も防止される。圧力の上限はコンデンサのケ
ーシングの構造に掛けるコスト及び不活性ガスが液化す
る特性により、設定される。1〜5バールの圧力範囲は
問題ないと考えられる。
本発明の範囲を逸脱することなく、多数の変形が可能で
ある。本発明はSF6 に代わって他の不活性ガス、例え
ば窒素ガスを用いることができる。更に、本発明は、逆
圧条件に対して軸シールが適用される限り、コンデンサ
を真空コンデンサとして設計することも考えることでき
る。コンデンサにおける圧力は広範囲に変更することが
可能とされる。全ての動作条件で少なくとも大気圧に等
しい又は大気圧以上の内圧は、下限と考える必要があ
る。従って、本発明は外気がコンデンサに入り込むどの
ような場合も防止される。圧力の上限はコンデンサのケ
ーシングの構造に掛けるコスト及び不活性ガスが液化す
る特性により、設定される。1〜5バールの圧力範囲は
問題ないと考えられる。
【0035】コンデンサの円形、シリンダ状構造の代わ
りに、他の構造、例えば平行6面体又は6辺形の構造も
考えることができる。更に、コンデンサ・プレートの形
状はコンデンサの特性を採用するように広い範囲から選
択することが可能とされる。
りに、他の構造、例えば平行6面体又は6辺形の構造も
考えることができる。更に、コンデンサ・プレートの形
状はコンデンサの特性を採用するように広い範囲から選
択することが可能とされる。
【図1】本発明の可変コンデンサによる第1の実施例を
示す断面図。
示す断面図。
【図2】本発明の更なる実施例のコンデンサを示す断面
図。
図。
【図3】図2におけるIII〜III線に従ってバネ・
コンタクト・エレメントを示す断面図。
コンタクト・エレメントを示す断面図。
【図4】置換可能なプレート・スタックにおける1プレ
ートを示す図。
ートを示す図。
【図5】静止プレート・スタックにおける1プレートを
示す図。
示す図。
1 回転軸 2 コンデンサ・プレート 3 ケーシング 5、6 ケーシング・クロージャ 7 静止プレート 8、9 ベアリング 21 駆動ジャーナル 22 エンド・ピース 24 スペース部材 32 層状のコンタクト・スリーブ 33 コンタクト・プレート 37 薄片
Claims (10)
- 【請求項1】 ケーシングに固定して配置された多数の
第1のコンデンサ・プレートと、前記第1のコンデンサ
・プレートに対して回転可能とされてその入り込みの変
化により有効容量面を変化させるように、回転可能軸に
搭載され、かつ前記第1のコンデンサ・プレート間に配
置された更に多数の第2のコンデンサ・プレートとを有
する可変コンデンサにおいて、前記各コンデンサ・プレ
ートは密閉ケーシング室に収容されていることを特徴と
する可変コンデンサ。 - 【請求項2】 絶縁体として作用する不活性ガスを前記
密閉ケーシング室に前記大気圧に等しい又は大気圧より
高い圧力で封入したことを特徴とする請求項1記載の可
変コンデンサ。 - 【請求項3】 前記不活性ガスはSF6 であることを特
徴とする請求項1記載の可変コンデンサ。 - 【請求項4】 前記密閉ケーシング室に軸支された回転
可能軸は、2つの面から前記回転可能軸を介して前記第
2のコンデンサ・プレートに電流を導くように、配列さ
れた前記第2のコンデンサ・プレートの両面で高周波電
流の供給手段と接触していることを特徴とする請求項1
記載の可変コンデンサ。 - 【請求項5】 前記回転可能軸の一端は前記密閉ケーシ
ング室から突出する駆動ジャーナルとして設計され、か
つ前記密閉ケーシング室の壁を介する前記駆動ジャーナ
ルの経路に気密シールを設けたことを特徴とする請求項
1記載の可変コンデンサ。 - 【請求項6】 前記回転可能軸は前記第2のコンデンサ
・プレートの両面上に配置された2つのエンド・ベアリ
ングに軸支され、前記エンド・ベアリングは前記密閉ケ
ーシング室に配置され、かつ前記回転可能軸の各端は前
記エンド・ベアリングより先へ伸延し、前記供給手段は
前記エンド・ベアリングを越えて突起する前記回転可能
軸の部分に接触していることを特徴とする請求項1記載
の可変コンデンサ。 - 【請求項7】 前記供給手段は、多重接触点を有するバ
ネ・コンタクトとして設計されていることを特徴とする
請求項1記載の可変コンデンサ。 - 【請求項8】 前記ケーシングはその全長にわたって同
軸シールドを保証する金属シリンダ状エンベロープを備
えていることを特徴とする請求項1記載の可変コンデン
サ。 - 【請求項9】 前記バネ・コンタクトは本質的に内方向
に突起する薄片を有するシリンダ状金属スリーブから形
成されていることを特徴とする請求項7記載の可変コン
デンサ。 - 【請求項10】 請求項1記載の可変コンデンサを使用
した半導体製造における被覆設備及びエッチング設備の
高周波発振器の同調素子。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH02310/94A CH688923A5 (de) | 1994-07-21 | 1994-07-21 | Variabler Drehkondensator. |
CH02310/94-5 | 1994-07-21 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0845785A true JPH0845785A (ja) | 1996-02-16 |
Family
ID=4230814
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7185759A Pending JPH0845785A (ja) | 1994-07-21 | 1995-07-21 | 可変コンデンサ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0693759A1 (ja) |
JP (1) | JPH0845785A (ja) |
CH (1) | CH688923A5 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010064543A1 (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-10 | 株式会社明電舎 | 真空コンデンサ |
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WO2011132505A1 (ja) * | 2010-04-19 | 2011-10-27 | 株式会社明電舎 | 真空コンデンサ |
KR101139819B1 (ko) * | 2010-08-18 | 2012-04-30 | 주식회사 뉴파워 프라즈마 | 가변 캐패시터 |
JP2015188119A (ja) * | 2015-07-31 | 2015-10-29 | コメット アクチェンゲゼルシャフト | 真空可変コンデンサ |
JP2016517175A (ja) * | 2013-03-19 | 2016-06-09 | コメット アクチェンゲゼルシャフト | 高電圧コンデンサ |
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AU2001275439A1 (en) * | 2000-06-20 | 2002-01-02 | Tokyo Electron Limited | Fluid dielectric variable capacitor |
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FR970938A (fr) * | 1947-09-08 | 1951-01-10 | Patelhold Patentverwertung | Condensateur variable |
DE2627302A1 (de) * | 1976-06-18 | 1977-12-29 | Helag Electronic Gmbh | Drehkondensator |
-
1994
- 1994-07-21 CH CH02310/94A patent/CH688923A5/de not_active IP Right Cessation
-
1995
- 1995-07-17 EP EP95810468A patent/EP0693759A1/de not_active Withdrawn
- 1995-07-21 JP JP7185759A patent/JPH0845785A/ja active Pending
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---|---|---|---|---|
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JP2010135437A (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Meidensha Corp | 真空コンデンサ |
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WO2010064544A1 (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-10 | 株式会社明電舎 | 真空コンデンサ |
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WO2011132505A1 (ja) * | 2010-04-19 | 2011-10-27 | 株式会社明電舎 | 真空コンデンサ |
JP2011228420A (ja) * | 2010-04-19 | 2011-11-10 | Meidensha Corp | 真空コンデンサ |
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JP2016517175A (ja) * | 2013-03-19 | 2016-06-09 | コメット アクチェンゲゼルシャフト | 高電圧コンデンサ |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0693759A1 (de) | 1996-01-24 |
CH688923A5 (de) | 1998-05-29 |
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