JP2011228420A - 真空コンデンサ - Google Patents
真空コンデンサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011228420A JP2011228420A JP2010095786A JP2010095786A JP2011228420A JP 2011228420 A JP2011228420 A JP 2011228420A JP 2010095786 A JP2010095786 A JP 2010095786A JP 2010095786 A JP2010095786 A JP 2010095786A JP 2011228420 A JP2011228420 A JP 2011228420A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic flux
- movable electrode
- electrode
- vacuum
- shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 title claims abstract description 49
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 134
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 118
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 41
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 7
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 6
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 5
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 3
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005347 demagnetization Effects 0.000 description 2
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G5/00—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture
- H01G5/04—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of effective area of electrode
- H01G5/06—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of effective area of electrode due to rotation of flat or substantially flat electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G5/00—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture
- H01G5/01—Details
- H01G5/013—Dielectrics
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【解決手段】固定電極4は、複数の平板状電極部材5を真空室1b軸心方向に間隔を隔てて積層して成る。可動電極7は、複数の平板状電極部材8を可動電極軸9に間隔を隔てて積層して成る。可動電極軸9の回動により各電極部材8が固定電極4の電極部材5間に非接触状態で挿出入される。磁束受信部106bは、可動電極軸9に備えられた円盤状部材016aの封止部材102側に固定して備えられる。静電容量操作部14に備えられる磁束発生部104は、磁束受信部106bに対して可動電極軸9と平行方向に配置される。静電容量操作部14を回動させ、磁束発生部104の磁気吸引力により磁束受信部106bを回動し、可動電極7と固定電極4との交叉面積を変化させて静電容量を調整する。
【選択図】図1
Description
1a…真空容器
1b…真空室
2,102…封止部材
4…固定電極
5,8…電極部材
6…固定電極軸
7…可動電極
9…可動電極軸
11a…調整ダイヤフラム
106b…磁束受信部
104…磁束発生部
14…静電容量操作部
Claims (5)
- 真空容器内に複数の電極部材から成る固定電極が配置され、その固定電極の各電極部材間に形成された空隙内に複数の電極部材から成る可動電極が配置され、
前記可動電極を支持する可動電極軸が回動することにより、可動電極と固定電極との間に発生する静電容量を可変させる真空コンデンサであって、
前記真空容器内の可動電極軸を回動させる磁束受信部と、
前記真空容器外であって前記磁束受信部に対して前記可動電極軸と平行方向に配置され磁気吸引力により前記磁束受信部を回動させる磁束発生部と、
前記磁束発生部を回動させる静電容量操作部と、を備えている
ことを特徴とする真空コンデンサ。 - 絶縁筒体の両開口端側をそれぞれ封止部材により閉塞して成る真空容器と、
前記の真空容器内に複数の平板状の電極部材を、真空容器軸心方向に対してそれぞれ間隔を隔てて積層して成る固定電極と、
前記の真空容器内に複数の平板状の電極部材を、真空容器軸心方向に対してそれぞれ間隔を隔てて積層して成り、真空容器軸心方向に延在し真空容器内で回動自在に支持された可動電極軸に固定され、その可動電極軸の回動により各電極部材が固定電極の電極部材間に非接触状態で互い違いに交叉して挿出入する可動電極と、
前記真空容器内で可動電極軸に固定され、封止部材を介して真空容器外側からの磁束を受信する磁束受信部と、
前記真空容器外であって前記磁束受信部に対して前記可動電極軸と平行方向に配置され前記磁束を発生する磁束発生部と、
前記磁束発生部を有し、封止部材外側にて回動自在に支持された静電容量操作部と、を備え、
前記静電容量操作部を回動し、前記磁束の磁気吸引力により前記磁束受信部を回動させることにより、前記可動電極の固定電極に対する交叉面積を変化させて静電容量を調整する
ことを特徴とする真空コンデンサ。 - 前記可動電極軸の軸受はすべり軸受である
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の真空コンデンサ。 - 前記の各電極部材は、真空容器内の横断面方向の面積よりも小さく、
前記可動電極軸の1回転以内の回転で静電容量を最小静電容量値から最大静電容量値までの範囲が可変である
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の真空コンデンサ。 - 前記可動電極軸を、前記絶縁筒体の両開口端に備えられる封止部材間に挟持し、回動自在に支持する
ことを特徴とする請求項2から請求項4のいずれか1項に記載の真空コンデンサ。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010095786A JP5482398B2 (ja) | 2010-04-19 | 2010-04-19 | 真空コンデンサ |
PCT/JP2011/057646 WO2011132505A1 (ja) | 2010-04-19 | 2011-03-28 | 真空コンデンサ |
CN201180019789.XA CN102844827B (zh) | 2010-04-19 | 2011-03-28 | 真空电容器 |
KR1020127026717A KR101430972B1 (ko) | 2010-04-19 | 2011-03-28 | 진공콘덴서 |
US13/641,794 US8749947B2 (en) | 2010-04-19 | 2011-03-28 | Vacuum capacitor |
TW100112966A TWI450291B (zh) | 2010-04-19 | 2011-04-14 | Vacuum capacitors |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010095786A JP5482398B2 (ja) | 2010-04-19 | 2010-04-19 | 真空コンデンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011228420A true JP2011228420A (ja) | 2011-11-10 |
JP5482398B2 JP5482398B2 (ja) | 2014-05-07 |
Family
ID=44834041
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010095786A Expired - Fee Related JP5482398B2 (ja) | 2010-04-19 | 2010-04-19 | 真空コンデンサ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8749947B2 (ja) |
JP (1) | JP5482398B2 (ja) |
KR (1) | KR101430972B1 (ja) |
CN (1) | CN102844827B (ja) |
TW (1) | TWI450291B (ja) |
WO (1) | WO2011132505A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016522577A (ja) * | 2013-05-30 | 2016-07-28 | コメット アクチェンゲゼルシャフト | 高速真空可変コンデンサ |
JP2017528758A (ja) * | 2014-09-11 | 2017-09-28 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 放射源を監視するためのデバイス、放射源、放射源を監視する方法、デバイス製造方法 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010064543A1 (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-10 | 株式会社明電舎 | 真空コンデンサ |
WO2010064544A1 (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-10 | 株式会社明電舎 | 真空コンデンサ |
JP5482398B2 (ja) * | 2010-04-19 | 2014-05-07 | 株式会社明電舎 | 真空コンデンサ |
CN108597874A (zh) * | 2018-06-25 | 2018-09-28 | 河南工业大学 | 一种高频长寿命交变电容器 |
CN108806985B (zh) * | 2018-06-29 | 2021-12-17 | 中国电力科学研究院有限公司 | 一种高稳定性精密可调电容器 |
CN109461585B (zh) * | 2018-11-07 | 2021-04-06 | 广州金立电子有限公司 | 一种真空电容器 |
CN113764188B (zh) * | 2021-09-18 | 2024-05-24 | 上海华盈实科技有限公司 | 一种可改变电容容量的真空电容 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5240762A (en) * | 1975-09-23 | 1977-03-29 | Kollmorgen Corp | Motor drive type variable capacitor utilizng magnetic coupling |
JPH0845785A (ja) * | 1994-07-21 | 1996-02-16 | Comet Technik Ag | 可変コンデンサ |
JP2002208538A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-07-26 | Eni Technologies Inc | 液体可変コンデンサ |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2740077A (en) * | 1951-01-18 | 1956-03-27 | Napier & Son Ltd | Electrical condensers |
US4068285A (en) | 1973-08-28 | 1978-01-10 | Kabushiki Kaisha Suwa Seikosha | Variable capacitor |
US4007406A (en) * | 1975-09-29 | 1977-02-08 | International Telephone And Telegraph Corporation | High pressure, gas filled, variable electrical parameter device |
JPS51122760A (en) | 1976-04-06 | 1976-10-27 | Mitsumi Electric Co Ltd | Method of manufacturing compact variable capacitor |
GB1555588A (en) * | 1976-08-25 | 1979-11-14 | Comet Elektron Roehren | Electric capacitor |
US4953057A (en) * | 1988-09-26 | 1990-08-28 | Davidian James L | Variable capacitor and method of making same |
US5376862A (en) | 1993-01-28 | 1994-12-27 | Applied Materials, Inc. | Dual coaxial magnetic couplers for vacuum chamber robot assembly |
JPH08288179A (ja) | 1995-04-20 | 1996-11-01 | Sony Corp | 可変空気コンデンサ |
JPH11158604A (ja) | 1997-11-29 | 1999-06-15 | Isuzu Motors Ltd | 物理蒸着装置の回転機構 |
JP3882408B2 (ja) | 1999-07-15 | 2007-02-14 | 株式会社明電舎 | 真空コンデンサ |
AU1571301A (en) * | 1999-10-16 | 2001-04-30 | Paralax, Llc | Vacuum variable capacitor |
JP2001267179A (ja) * | 2000-03-23 | 2001-09-28 | Meidensha Corp | 真空可変コンデンサ装置 |
US6396677B1 (en) | 2000-05-17 | 2002-05-28 | Xerox Corporation | Photolithographically-patterned variable capacitor structures and method of making |
US6268995B1 (en) * | 2000-06-08 | 2001-07-31 | Jennings Technology | Double-bellows vacuum variable capacitor |
JP4302520B2 (ja) | 2001-10-03 | 2009-07-29 | コメット アクチェンゲゼルシャフト | 電流性能を向上した可変コンデンサ |
JP2005180535A (ja) | 2003-12-18 | 2005-07-07 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | バルブ、真空用バルブ及び真空容器 |
JP4449574B2 (ja) * | 2004-05-28 | 2010-04-14 | 株式会社明電舎 | 真空可変コンデンサ |
JP4731388B2 (ja) | 2006-04-17 | 2011-07-20 | 京セラ株式会社 | 変位デバイス及びそれを用いた可変容量コンデンサ,スイッチ並びに加速度センサ |
WO2010064544A1 (ja) | 2008-12-02 | 2010-06-10 | 株式会社明電舎 | 真空コンデンサ |
WO2010064543A1 (ja) | 2008-12-02 | 2010-06-10 | 株式会社明電舎 | 真空コンデンサ |
JP5482398B2 (ja) * | 2010-04-19 | 2014-05-07 | 株式会社明電舎 | 真空コンデンサ |
-
2010
- 2010-04-19 JP JP2010095786A patent/JP5482398B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-03-28 CN CN201180019789.XA patent/CN102844827B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2011-03-28 WO PCT/JP2011/057646 patent/WO2011132505A1/ja active Application Filing
- 2011-03-28 US US13/641,794 patent/US8749947B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-03-28 KR KR1020127026717A patent/KR101430972B1/ko active IP Right Grant
- 2011-04-14 TW TW100112966A patent/TWI450291B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5240762A (en) * | 1975-09-23 | 1977-03-29 | Kollmorgen Corp | Motor drive type variable capacitor utilizng magnetic coupling |
JPH0845785A (ja) * | 1994-07-21 | 1996-02-16 | Comet Technik Ag | 可変コンデンサ |
JP2002208538A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-07-26 | Eni Technologies Inc | 液体可変コンデンサ |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016522577A (ja) * | 2013-05-30 | 2016-07-28 | コメット アクチェンゲゼルシャフト | 高速真空可変コンデンサ |
JP2016522995A (ja) * | 2013-05-30 | 2016-08-04 | コメット アクチェンゲゼルシャフト | 真空可変コンデンサ |
JP2017528758A (ja) * | 2014-09-11 | 2017-09-28 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 放射源を監視するためのデバイス、放射源、放射源を監視する方法、デバイス製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102844827A (zh) | 2012-12-26 |
CN102844827B (zh) | 2015-08-05 |
KR20120137412A (ko) | 2012-12-20 |
US20130038978A1 (en) | 2013-02-14 |
KR101430972B1 (ko) | 2014-08-18 |
US8749947B2 (en) | 2014-06-10 |
TW201212070A (en) | 2012-03-16 |
WO2011132505A1 (ja) | 2011-10-27 |
TWI450291B (zh) | 2014-08-21 |
JP5482398B2 (ja) | 2014-05-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5482398B2 (ja) | 真空コンデンサ | |
US8102096B2 (en) | Closely spaced electrodes with a uniform gap | |
WO2010064543A1 (ja) | 真空コンデンサ | |
WO2010064544A1 (ja) | 真空コンデンサ | |
JP5239793B2 (ja) | 真空コンデンサ | |
JP5417838B2 (ja) | 真空コンデンサ | |
JP5417825B2 (ja) | 真空コンデンサ | |
JP5417823B2 (ja) | 真空コンデンサ | |
JP5417824B2 (ja) | 真空コンデンサ | |
JP2010135439A (ja) | 真空コンデンサ | |
EP1984625A2 (en) | Closely spaced electrodes with a uniform gap | |
JP2013185254A (ja) | 磁石ユニット及びスパッタ装置 | |
WO2018235391A1 (ja) | コンデンサ | |
JP2001054278A (ja) | 磁気結合組立体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130328 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131008 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131206 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20131206 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140121 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140203 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5482398 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |