JP2002208538A - 液体可変コンデンサ - Google Patents

液体可変コンデンサ

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JP2002208538A
JP2002208538A JP2001337196A JP2001337196A JP2002208538A JP 2002208538 A JP2002208538 A JP 2002208538A JP 2001337196 A JP2001337196 A JP 2001337196A JP 2001337196 A JP2001337196 A JP 2001337196A JP 2002208538 A JP2002208538 A JP 2002208538A
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Virak Lor
ロア ヴィラック
Anthony R A Keane
アール、エイ、キーン アンソニー
Jeff C Sellers
シー、セラーズ ジェフ
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G5/00—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture
    • H01G5/01—Details
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 従来の可変コンデンサよりも容積密度、耐
圧、信頼性が高く、コストが節約できる液体可変コンデ
ンサを提供する。 【解決手段】 本液体可変コンデンサ２６は、それぞれ
導電性の固定極板２８と可動極板３０を入れるケースを
含む。絶縁用液体３４は、固定極板と可動極板を分離す
る。駆動装置３６は、両極板の間に形成される容量が変
わるように固定極板を基準として可動極板を動かす可動
極板に接続されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般に無線周波コ
ンデンサに関し、より詳細には、容積密度が大きい無線
周波コンデンサに関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】プラズマ成長やプラズ
マ・スパッタリングなど、プラズマの利用による材料処
理は、長年の間、良く知られている。一般に、これらの
処理は、プラズマ・チャンバに接続される無線周波（以
下、RFと記す）電力信号を発生する必要がある。プラズ
マ・チャンバの入力インピーダンスが高度に非線形であ
るため、RF電源、RF発生器およびプラズマ・チャンバの
間に整合回路網が設置されるのが普通である。この整合
回路網は、材料処理工程の間中、アクティブに制御さ
れ、全処理工程中に発生するプラズマ・チャンバの入力
インピーダンスの変化によってRF発生器に課せられる電
気的ストレスを緩和する。整合回路網は、発生器からプ
ラズマ・チャンバまでのRF電力の安定した流れを容易に
して、システムの電力効率を高めるとともに費用を少な
くしてRF発生器の出力電力容量を小さくする。一般に、
従来の整合回路網は、プラズマ・チャンバの入力インピ
ーダンスの変化に応答して制御される少なくとも１つの
可変コンデンサを備えたπ形フィルタを含む。整合回路
網に使用される従来の可変コンデンサは、装置の容量を
制御するためモータで駆動される軸を含む。一般に、こ
のコンデンサは、空気誘電体または真空誘電体で作られ
ている。
【０００３】従来の可変コンデンサは、比較的大電力が
コンデンサに印加され、かつ真空および空気の誘電率が
小さいため、かなりの容積が必要である。それに加え
て、コンデンサに高電圧が印加されるので、必要な絶縁
耐圧を維持するために、更に容量を大きくしなければな
らない。
【０００４】従来の空気可変コンデンサおよび真空可変
コンデンサは、RF回路に使用して可変容量を提供するこ
とができるが、所定の容量を得るために必要な容積を最
小にすることができることを証明していない。その上、
従来の空気可変コンデンサは、比較的信頼性が低いとい
う欠点があった。従来の空気可変コンデンサは、コンデ
ンサの絶縁破壊電圧を低下させる湿度など、環境条件の
変化によって極板間にアークを発生することが多い。同
様に、従来の真空可変コンデンサは、損耗が速すぎたり
熱伝導度が良くないことに起因する過熱によって漏れ雑
音が発生することが多い。
【０００５】
【課題を解決する手段】本液体可変コンデンサは、容積
密度と耐圧が大きくなり、信頼性が改善され、さらには
費用が節約される。この可変コンデンサは、それぞれ導
電性の固定極板と可動極板が入っているケースを含む。
絶縁用液体は、固定極板と可動極板を分離する。駆動装
置は、可動極板に接続され、両極板の間に形成された容
量が変わるように、固定極板を基準として可動極板を動
かす。
【０００６】本発明の目的と利点をより完全に理解する
ために、以下の明細書と添付図面が参照される。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１Ａを参照すると、集積回路や
コンパクト・ディスクなどを処理するプラズマ処理シス
テム１０が示されている。本発明は、プラズマ処理シス
テム１０に対して示され、かつ説明されているが、この
特定のシステムは、一例として示されているに過ぎない
ことが理解される。プラズマ処理システム１０は、整合
回路網１６を介してプラズマ・チャンバ１４に接続され
ているRF発生器１２を含む。RF発生器１２と整合回路網
１６の間に接続されているのは、RF発生器１２の出力特
性を感知するための位相／振幅センサ１３である。整合
回路網１６は、プラズマ・チャンバ１４とRF発生器１２
のインピーダンスを整合するための可変フィルタを備え
ている。整合回路網１６に含まれているのは、インダク
タ（図示されず）と２つの可変コンデンサ（図示され
ず）である。プラズマ・チャンバに接続されているコン
トローラ２４は、プラズマ・チャンバ１４とRF発生器１
２のインピーダンス整合を決定する。コントローラ２４
は、決定したインピーダンス整合に応答して液体可変コ
ンデンサを制御する。
【０００８】図１Ｂから図１Ｄを参照すると、本発明の
教示によるいくつかの代替可能な整合回路網のフィルタ
構成が示されている。π形フィルタ構成２０は、図１Ｂ
に示されており、Ｌ形フィルタ構成２１は、図１Ｃに示
されており、Ｔ形フィルタ構成２３は、図１Ｄに示され
ている。これらのフィルタ構成は、それぞれインダクタ
１８と２つの液体可変コンデンサ２０から形成されてい
る。直流バイアスを遮断するために、フィルタ構成のす
べてに直列コンデンサ２５を含めることができる。
【０００９】図２に言及すると、本発明の教示によって
つくられた液体可変コンデンサ２６のブロック図が示さ
れている。液体可変コンデンサ２６は、固定極板２８と
可動極板３０を含む。固定極板２８の少なくとも１つの
表面と可動極板３０の少なくとも１つの表面は、銅、鋼
鉄、アルミニウム、銀および錫のような導電性材料から
作られている。極板２８、３０は、表面の一部が相互に
オーバーラップして、両極板の間に容量が形成されるよ
うに配置される。当業者は、Cを容量、ｋを絶縁体の比
誘電率、eを誘電率定数、Aを極板２８、３０のオーバー
ラップしている表面面積、dを極板２８、３０の間の距
離または間隔として、次の式、C=keA/dから、極板２
８、３０の間に形成される容量を計算できることが認識
される。したがって、オーバーラップしている表面面積
を変更するか、極板２８、３０の間の距離を変更する
と、反比例した変化が容量に発生する。図３Ａから図３
Ｋに示すように、多数の極板構成で極板２８、３０を配
置することができる。これらの極板構成は、半円形ディ
スクの平行極板（図３Ａ、３Ｂ）、半円形シリンダの平
行極板（図３Ｃ）、シート状平行極板（図３Ｄ）、同軸
シリンダ（図３Ｅ）、長軸方向に動く平行極板（図３
Ｆ）、バタフライ構成（図３Ｇ）、差動コンデンサ構成
（図３Ｈ）、所定の最小容量をもつ変形バタフライ構成
（図３Ｉ）、モータを内蔵した同軸シリンダー（図３
Ｊ）および磁気結合駆動装置（図３Ｋ）を含む。
【００１０】液体可変コンデンサ２６は、可動極板３０
を基準として配置された第２の固定極板２９を追加して
含むことができるので、この２つの極板の間に容量が形
成される。これで２つの直列コンデンサが形成される。
第１のコンデンサは、固定極板２８と可動極板３０の間
に形成され、第２のコンデンサは、可動極板３０と第２
の固定極板２９の間に形成される。この構成の場合、第
３のリードが第２の固定極板２９に接続される。固定極
板２８と第２の固定極板２９の間に形成される実効容量
の一部を選択するためのタップとして第２のリードを使
用してもよいし、使用せずに、そのままにして置いても
よい。
【００１１】極板２８、３０は、ダウ・コーニング５６
１のような絶縁用液状媒体３４を含むケース３２の中に
入れられている。絶縁用液状媒体３４は、極板２８、３
０を分離して電圧による絶縁破壊能力と容量を大きくす
るとともに熱放散を改善する。絶縁用液状媒体の１００
ヘルツ、摂氏２５度のときの誘電率は、1.5より大き
く、望ましくは約2.71またはそれ以上である。そのほ
か、絶縁用液状媒体の絶縁耐力は、１ミリメートル当た
り少なくとも3,937ボルトであり、望ましくは、１ミリ
メートル当たり13,780ボルトまたはそれ以上である。絶
縁用液状媒体の熱伝導度は、少なくとも0.026W/mKであ
り、望ましくは、0.15W/mKに等しいか、それよりも大き
い。空気または真空の代わりに絶縁用液状媒体３４を使
用すると、容積当たりの容量が大きくなり、耐圧が高く
なり、コストが下がり、信頼性が高くなり、湿度のよう
な外部の環境因子から極板を絶縁する結果としてアーク
の発生に対するシステム応答が改善するなど、多数の利
点が生じる。より大きい容量を得ることは、誘電率を大
きくすることによって与えられる。耐圧を高くすること
は、絶縁用液状媒体３４の絶縁耐力を大きくすることに
よって与えられる。アークの発生に対するシステム応答
を改善することは、可動極板３０を急速に動かした場合
に発生する液量が増加する効果を消すとともに、液状媒
体の熱伝導度が大きいことに起因するアークを検出する
ための応答時間を改善することによって与えられる。
【００１２】駆動装置３６は、可動極板３０に接続さ
れ、固定極板２８を基準として可動極板３０を動かす手
段を提供する。本発明の現時点における好適実施例で
は、駆動装置として軸が使用されている。しかし、本発
明の範囲は、磁石やモータにもとづくレバーや磁気結合
装置のような他の駆動装置の使用を含む。本発明の範囲
には、極板２８、３０の間のオーバーラップする面積の
量が変わるように可動極板３０を動かしたり、極板２
８、３０の間の距離が変わるように可動極板３０を動か
したり、極板２８、３０の間のオーバーラップする面積
と距離の双方が変わるように可動極板３０を動かしたり
するために、駆動装置３６を構成することも含まれる。
駆動装置３６は、導電性でも非導電性でもよい。導電性
材料でつくられた駆動装置３６は、複数の可動極板３０
を電気的に接続する便利な手段を提供する。
【００１３】モータ３８は、電気信号に応答して可動極
板３０を動かすことができるように駆動装置３６に接続
されている。駆動装置３６の位置は、ケース３２の外部
でも内部でもよい。
【００１４】図４を参照すると、本発明の教示による液
体可変コンデンサ４０の現時点における好適実施例のブ
ロック図が示されている。容器４２は、絶縁用液状媒体
３４や液体可変コンデンサ４０の他の構成要素の密閉環
境を提供する。現時点における好適実施例に使用した絶
縁用液状媒体３４は、望ましくはダウ・コーニング５６
１であるが、誘電率が少なくとも1.5で、絶縁耐力が3,9
37V/mm（100V/mil）の他の絶縁用液体も本発明の範囲内
である。容器４２の中に入っているものは、拡張装置４
４とセンサ４６とともに固定極板２８、可動極板３０、
駆動装置３６およびモータ３８である。
【００１５】現時点における好適実施例の固定極板２８
と可動極板３０は、アルミニウム、銅および銀のような
導電性の材料から作られた一連の交互に配置された半円
形ディスクの平行極板として形成されている。現時点に
おける好適実施例の導電性材料は、アルミニウム化合物
である。駆動装置３６は、導電性の材料からなり、固定
極板２８から切り離され絶縁された中心を貫通し、交互
に配置された可動極板３０に密着している。駆動装置３
６の反対側の端部は、可動極板３０の動きを制御するモ
ータ３８に接続されている。現時点における好適実施例
の駆動装置３６は、可動極板３０に回転動作を与えて、
可動極板３０が固定極板２８のメッシュに入ったりメッ
シュから出たりできるようにする。更に可動極板３０を
長軸方向に動かして、可動極板３０の動きにより固定極
板２８に対する距離を大きくしたり小さくしたりするこ
とも本発明の範囲内である。第１のリード４８と第２の
リード５０は、それぞれ固定極板２８と可動極板３０に
電気的に接続されている。センサ４６は、温度、圧力お
よび液体のレベルのような、１つまたはそれ以上の容器
の動作条件を反映する少なくとも１つの出力を提供す
る。現時点における好適実施例のセンサ４６は、温度を
感知することによりアークの発生を間接的に感知する。
センサ４６からの出力は、センサの出力に応答してモー
タ３８を制御するモータ・コントローラ５６に接続され
る。モータ・コントローラ５６は、容量の変更を要求す
る整合回路網の信号のような他の入力も受信することが
できる。現時点における好適実施例のモータ・コントロ
ーラ５６は、容器４２の外部に置かれているが、モータ
・コントローラ５６を容器４２の内部に含めることも本
発明の範囲内である。代替可能なアーク検出器５４は、
第１のリード４８または第２のリード５０の電流の流れ
を感知することにより実現されうる。代替可能なアーク
検出器５４からの出力は、モータ・コントローラ５６に
接続される。アークが発生すると、発生したアークの近
くの絶縁用液状媒体３４は、熱を吸収するので温度が上
昇する。液体の熱伝導度が大きいことに起因して、この
温度上昇は、残りの絶縁用液状媒体３４に拡散する。セ
ンサ４６は、絶縁体３４の温度上昇を検出し、これに応
答してモータ・コントローラ５６に信号を送る。
【００１６】容器の壁面に配置された密閉型コネクタ
は、容器４２に入ってくる電気信号と容器４２から出て
行く電気信号の経路を提供する。拡張装置４４は容器４
２の内部に構成され、温度、圧力および液量の変化によ
って発生することがある絶縁用液状媒体３４の容積変化
を補償する。当業者は、空気袋などとともに、圧縮装置
や圧縮可能な媒体を含む適当な拡張装置が本発明の範囲
内に多数存在することを容易に認識できる。
【００１７】図５Ａ、５Ｂを参照すると、本発明の教示
による整合回路網１６の現時点における好適実施例が示
されている。整合回路網１６は、π形フィルタ構成で接
続された２つの液体可変コンデンサ２０とインダクタ１
８を含む。現時点における好適実施例は、π形フィルタ
構成を使用しているが、Ｌ形フィルタやＴ形フィルタの
ような他のフィルタ構成を使用することは、本発明の範
囲内である。各液体可変コンデンサ２０は、複数の固定
極板６０と可動極板６２、可動極板６２に接続された駆
動装置６４、駆動装置６４に接続されたモータ６８およ
び搭載用構造体６６を含む。
【００１８】固定極板６０と可動極板６２は、アルミニ
ウム化合物でつくられた一連の交互に配置された半円形
ディスクの平行極板として形成されている。駆動装置６
４（図５Ａ、５Ｂ）は、導電性材料からなり、固定極板
６０から切り離され絶縁された中心を貫通し、交互に配
置された可動極板６２に密着している。駆動装置６４の
反対側の端部は、可動極板６２の動きを制御するモータ
６８に接続されている。現時点における好適実施例のモ
ータ６８は、直流ステッピング・モータであるが、当業
者は、本発明の原理が使用可能なモータとアクチュエー
タを含む各種モータの型式に容易に拡張されうることを
認識できる。現時点における好適実施例の駆動装置６４
は、可動極板６２に回転動作を与えて、可動極板６２が
固定極板６０のメッシュに入ったりメッシュから出たり
できるようにする。
【００１９】容器７４は、液体可変コンデンサ２０とイ
ンダクタ１８を取り囲む。容器７４には、封入されたコ
ンデンサ２０とインダクタ１８が沈められている絶縁用
液状媒体７０が入っている。現時点における好適実施例
に使用されている絶縁用液状媒体７０は、望ましくはダ
ウ・コーニング５６１であるが、絶縁定数が少なくとも
1.5で、絶縁耐力が3,937V/mmで、熱伝導度が少なくとも
0.026W/mkの他の絶縁用液体も本発明の範囲内である。
【００２０】各コンデンサ２０に接続されているのは、
インダクタ１８が入っている基板を搭載するための搭載
用ブラケット７２である。コネクタ７６は、容器７４の
壁面に搭載されており、容器７４に入ってくる電気信号
と容器７４から出て行く電気信号の経路を提供する。
【００２１】図１、５Ａ、５Ｂを参照すると、動作中、
コントローラ２４は、RF発生器とプラズマ・チャンバの
間のインピーダンスの相対的整合を示し、伝達係数の整
合信号を受信する。整合信号に応答して、コントローラ
２４は、該当する整合回路網のインピーダンス特性を決
定し、示されたインピーダンス不整合を補償する。コン
トローラ２４は、決定した整合回路網１６のインピーダ
ンス特性が得られるように、液体可変コンデンサ２０、
２２のモータを駆動する信号を出力する。
【００２２】本発明の液体可変コンデンサは、絶縁定数
と絶縁耐力が通常より大きい絶縁用液体を含む。この液
体可変コンデンサは、従来の可変コンデンサよりも高い
電圧で動作できる小型の物理装置を備えている。絶縁用
液体は、周囲の環境から動作特性を隔離する。このほ
か、装置の熱的動作は、絶縁用液体の高い熱伝導度によ
って向上する。
【００２３】このように、本発明の結果として、産業用
処理に使用されるRF配信システム用の液体可変コンデン
サが提供され、これによって主たる目的が完全に充たさ
れる。本発明から逸脱せずに例示した実施例の中で修正
および／または変更を作ることができることは、等しく
明白であると考えられる。したがって、前述した説明と
添付図面は、好適実施例を示すだけであって、本発明の
真の趣旨と範囲は、特許請求の範囲およびそれと法的に
同等な事柄を参照することによって決定される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の現時点における好適実施例を組み入れ
たプラズマ処理システムを表す図であって、Ａは本発明
の現時点における好適実施例を組み入れたプラズマ処理
システムを表す図、Ｂは、本発明の教示による液体可変
コンデンサのπ形フィルタ構成を示す図、Ｃは、本発明
の教示による液体可変コンデンサのＬ形フィルタ構成を
示す図、Ｄは、本発明の教示による液体可変コンデンサ
のＴ形フィルタ構成を示す図。
【図２】本発明の教示による液体可変コンデンサの実施
例を示すブロック図。
【図３Ａ】本発明の教示による液体可変コンデンサの半
円形ディスクの平行極板構成を示す図。
【図３Ｂ】本発明の教示による液体可変コンデンサの半
円形ディスクの平行極板構成を示す図。
【図３Ｃ】本発明の教示による液体可変コンデンサの半
円形シリンダの平行極板構成を示す図。
【図３Ｄ】本発明の教示による液体可変コンデンサのシ
ート状平行極板構成を示す図。
【図３Ｅ】本発明の教示による液体可変コンデンサの同
軸シリンダ構成を示す図。
【図３Ｆ】本発明の教示による液体可変コンデンサの長
軸方向に動く平行極板構成を示す図。
【図３Ｇ】本発明の教示による液体可変コンデンサのバ
タフライ極板構成を示す図。
【図３Ｈ】本発明の教示による液体可変コンデンサの構
成を示す図。
【図３Ｉ】本発明の教示による液体可変コンデンサの差
動コンデンサ構成を示す図。
【図３Ｊ】本発明の教示による液体可変コンデンサのモ
ータを内蔵した同軸シリンダ構成を示す図。
【図３Ｋ】本発明の教示による液体可変コンデンサのモ
ータを内蔵した同軸シリンダ構成を示す図。
【図４】本発明の教示による液体可変コンデンサの現時
点における好適実施例を示すブロック図。
【図５】本発明の教示による整合回路網の現時点におけ
る好適実施例の２次元の図であって、Ａは、平面図を示
す図、Ｂは、正面図を示す図。
【符号の説明】
１０ プラズマ処理システム １２ RF発生器 １３ 位相／振幅センサ １４ プラズマ・チャンバ １６ 整合回路網 １８ インダクタ ２０ 可変コンデンサ ２４ コントローラ ２５ 直列コンデンサ ２６、４０ 液体可変コンデンサ ２８、６０ 固定極板 ２９ 第２の固定極板 ３０、６２ 可動極板 ３４、７０ 絶縁用液状媒体・絶縁用液体 ３６、６４ 駆動装置 ３８、６８ モータ ４２、７４ 容器 ４４ 拡張装置 ４６ センサ ４８ 第１のリード ５０ 第２のリード ５２、７６ コネクタ ５４ アーク検出器 ５６ モータ・コントローラ ６６ 搭載用構造体 ７２ 搭載用ブラケット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アンソニー アール、エイ、キーン アメリカ合衆国 ニューヨーク、ウエブス ター、 デュウィット ロード 700 (72)発明者 ジェフ シー、セラーズ アメリカ合衆国 テキサス、マンチャカ、 チャパーラル ロード 1802

Claims (21)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 導電性の固定極板と、 導電性の可動極板と、 前記固定極板と前記可動極板を分離する絶縁用液体と、 前記絶縁用液体、前記固定極板および前記可動極板を入
    れるケースと、 前記固定極板と前記可動極板の間に形成された容量が変
    わるように前記固定極板を基準として前記可動極板を動
    かす駆動装置と、を含む可変コンデンサ。
  2. 【請求項２】 請求項１記載の可変コンデンサにおい
    て、前記可動極板は、前記固定極板を基準として半径方
    向に動くことができる前記可変コンデンサ。
  3. 【請求項３】 請求項１記載の可変コンデンサにおい
    て、前記可動極板は、前記固定極板を基準として長軸方
    向に動くことができる前記可変コンデンサ。
  4. 【請求項４】 請求項１記載の可変コンデンサであっ
    て、前記駆動装置に接続され、前記可動極板に機械的エ
    ネルギを結合するモータを更に含む前記可変コンデン
    サ。
  5. 【請求項５】 請求項１記載の可変コンデンサであっ
    て、アークの発生を検出するアーク検出器を更に含む前
    記可変コンデンサ。
  6. 【請求項６】 請求項５記載の可変コンデンサにおい
    て、前記アーク検出器は、絶縁用液体の温度センサ、ケ
    ースの温度センサ、ケースの圧力センサおよび電流セン
    サのグループから選択される前記可変コンデンサ。
  7. 【請求項７】 請求項５記載の可変コンデンサであっ
    て、前記アーク検出器と前記モータの間に接続されたコ
    ントローラを更に含み、前記コントローラは、検出され
    たアークに応答して前記モータに信号を送り、アークが
    消えるように前記可動極板を駆動する前記可変コンデン
    サ。
  8. 【請求項８】 請求項１記載の可変コンデンサにおい
    て、前記固定極板と前記可動極板は、前記可動極板が前
    記固定極板を基準として半径方向と長軸方向に動くと、
    前記極板間の前記容量が変わるように、ほぼ半円形のデ
    ィスクの形状に形成された前記可変コンデンサ。
  9. 【請求項９】 請求項１記載の可変コンデンサであっ
    て、絶縁用液体の量の変化を補償するように動作できる
    拡張装置を更に含む前記可変コンデンサ。
  10. 【請求項１０】 請求項４記載の可変コンデンサであっ
    て、整合回路網が形成されるようにインダクタに電気的
    に接続されている前記可変コンデンサ。
  11. 【請求項１１】 請求項４記載の可変コンデンサにおい
    て、前記整合回路網は、フィルタ構成で前記インダクタ
    と接続された少なくとも２つの可変コンデンサを含む前
    記可変コンデンサ。
  12. 【請求項１２】 請求項１記載の可変コンデンサにおい
    て、前記駆動装置は、軸、磁石およびモータのグループ
    から選択される前記可変コンデンサ。
  13. 【請求項１３】 導電性の固定極板と、 導電性の可動極板と、 前記固定極板と前記可動極板を分離する絶縁用液体と、 前記絶縁用液体と前記固定極板および前記可動極板を封
    入する容器と、 前記可動極板に接続された駆動装置と、 前記駆動装置に接続され、前記固定極板と前記可動極板
    の間に形成された容量が変わるように前記固定極板を基
    準として前記可動極板を動かすように動作できるモータ
    と、を含む可変コンデンサ。
  14. 【請求項１４】 請求項１３記載の可変コンデンサにお
    いて、前記可動極板は、前記固定極板を基準として半径
    方向に動くことができる前記可変コンデンサ。
  15. 【請求項１５】 請求項１３記載の可変コンデンサにお
    いて、前記モータは、前記容器内に入っている前記可変
    コンデンサ。
  16. 【請求項１６】 請求項１３記載の可変コンデンサであ
    って、前記容器内で起こるアークの発生を検出するアー
    ク検出器を更に含む前記可変コンデンサ。
  17. 【請求項１７】 請求項１６記載の可変コンデンサにお
    いて、前記アーク検出器は、絶縁用液体の温度センサ、
    ケースの温度センサ、ケースの圧力センサおよび電流セ
    ンサのグループから選択される前記可変コンデンサ。
  18. 【請求項１８】 請求項１５記載の可変コンデンサであ
    って、前記アーク検出器と前記モータの間に接続される
    コントローラであって、検出されたアークの発生に応答
    して前記モータを制御する前記コントローラを更に含む
    前記可変コンデンサ。
  19. 【請求項１９】 請求項１３記載の可変コンデンサにお
    いて、前記絶縁用液体の熱伝導度は、少なくとも0.026W
    /mKであり、絶縁定数は、少なくとも1.5であり、絶縁耐
    力は、少なくとも3,937V/mmである前記可変コンデン
    サ。
  20. 【請求項２０】 請求項１９記載の可変コンデンサであ
    って、整合回路網が形成されるようにインダクタに接続
    されている前記可変コンデンサ。
  21. 【請求項２１】 導電性の固定極板と、 導電性の可動極板と、 前記固定極板と前記可動極板を分離する絶縁用液体であ
    って、熱伝導度が少なくとも0.026W/mKであり、絶縁定
    数が少なくとも1.5であり、絶縁耐力が少なくとも3,937
    V/mmである前記絶縁用液体と、 前記絶縁用液体、前記固定極板および前記可動極板を封
    入する容器と、 前記可動極板に接続された駆動装置と、 前記駆動装置に接続され、前記固定極板と前記可動極板
    の間に形成された容量が変わるように前記固定極板を基
    準として前記可動極板を動かすように動作できる前記モ
    ータと、 アークの発生を検出するアーク検出器と、 前記アークの発生に応答して前記モータを制御するよう
    に動作できるコントローラと、を含む可変コンデンサ。
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