JPH0897086A - 真空コンデンサ - Google Patents
真空コンデンサInfo
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- JPH0897086A JPH0897086A JP6233910A JP23391094A JPH0897086A JP H0897086 A JPH0897086 A JP H0897086A JP 6233910 A JP6233910 A JP 6233910A JP 23391094 A JP23391094 A JP 23391094A JP H0897086 A JPH0897086 A JP H0897086A
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- Japan
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- movable
- electrode
- bellows
- end plate
- vacuum
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 円筒状電極板から成る固定電極１５と可動電
極１６の可動電極１６側を傾かないで軸線方向に移動さ
せ安定した耐電圧、静電容量特性を得るとともに、小形
化を図り、且つ高周波電流による温度上昇を抑えること
を目的とする。 【構成】 固定，可動の電極取付導体１３と１８に夫々
ガイドピン１およびガイド部５を設けて、傾きのない移
動を可能とし、静電容量調整部３０は、ベローズ１９内
に設けて全体の長さを短縮し、ベローズ１９と可動リー
ドボルト３１の間にヒートパイプ３５を設けてベローズ
の輻射熱を吸収させる。
極１６の可動電極１６側を傾かないで軸線方向に移動さ
せ安定した耐電圧、静電容量特性を得るとともに、小形
化を図り、且つ高周波電流による温度上昇を抑えること
を目的とする。 【構成】 固定，可動の電極取付導体１３と１８に夫々
ガイドピン１およびガイド部５を設けて、傾きのない移
動を可能とし、静電容量調整部３０は、ベローズ１９内
に設けて全体の長さを短縮し、ベローズ１９と可動リー
ドボルト３１の間にヒートパイプ３５を設けてベローズ
の輻射熱を吸収させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、大電力送信機の発振回
路、半導体製造装置用の高周波電源、あるいは誘導加熱
装置のタンク回路等に用いられる真空コンデンサに関す
る。
路、半導体製造装置用の高周波電源、あるいは誘導加熱
装置のタンク回路等に用いられる真空コンデンサに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の一般的な可変形真空コンデ
ンサの基本構成の断面図で、例えば、セラミック等の絶
縁円筒１２の両端側に銅製の円筒管１１ａ，１１ｂを接
合して円筒部を形成し、この円筒部を固定側端板兼固定
電極取付導体１３と可動側端板１４とで閉塞して、コン
デンサ部を収容する真空容器１０を形成している。
ンサの基本構成の断面図で、例えば、セラミック等の絶
縁円筒１２の両端側に銅製の円筒管１１ａ，１１ｂを接
合して円筒部を形成し、この円筒部を固定側端板兼固定
電極取付導体１３と可動側端板１４とで閉塞して、コン
デンサ部を収容する真空容器１０を形成している。
【０００３】固定電極取付導体１３の内側には、径（半
径）の異なる複数の円筒状電極板Ｆ1，Ｆ2，…Ｆnを同
心円状に一定間隔をもって取り付けて固定電極１５を形
成しており、また、この固定電極１５の各電極板間の間
隙内に、非接触状態で挿出入できるように、内径の異な
る複数の円筒状電極板Ｍ1，Ｍ2…Ｍnを可動電極取付導
体１８に設けて可動電極１６を形成している。
径）の異なる複数の円筒状電極板Ｆ1，Ｆ2，…Ｆnを同
心円状に一定間隔をもって取り付けて固定電極１５を形
成しており、また、この固定電極１５の各電極板間の間
隙内に、非接触状態で挿出入できるように、内径の異な
る複数の円筒状電極板Ｍ1，Ｍ2…Ｍnを可動電極取付導
体１８に設けて可動電極１６を形成している。
【０００４】可動電極取付導体１８には、可動リード１
８′が設けられ、この可動リード１８′は、可動側端板
１４を貫通して設けた軸受１７に回動不能で上下動自在
に支承され、可動電極１６を真空容器の外部から軸線方
向に移動させる。１９はベローズで、一端が可動側端板
１４及び軸受１７とロー付けされ、他端側が可動リード
１８′又は可動導体１８にロー付けられ、軸受１７と可
動リード１８′の摺動部ならびに軸受１７の可動側端板
１４の貫通部を覆い、真空漏れを防止しながら、可動リ
ードの上下動ができるようにしている。
８′が設けられ、この可動リード１８′は、可動側端板
１４を貫通して設けた軸受１７に回動不能で上下動自在
に支承され、可動電極１６を真空容器の外部から軸線方
向に移動させる。１９はベローズで、一端が可動側端板
１４及び軸受１７とロー付けされ、他端側が可動リード
１８′又は可動導体１８にロー付けられ、軸受１７と可
動リード１８′の摺動部ならびに軸受１７の可動側端板
１４の貫通部を覆い、真空漏れを防止しながら、可動リ
ードの上下動ができるようにしている。
【０００５】なお、真空容器１０の円筒部は、全体をセ
ラミック等による絶縁円筒で形成してもよい。要は、固
定電極と可動電極とを電気的に絶縁されればよい。
ラミック等による絶縁円筒で形成してもよい。要は、固
定電極と可動電極とを電気的に絶縁されればよい。
【０００６】このように構成した真空コンデンサで、そ
の静電容量の調整を行う場合は、可動電極と固定電極に
課電し、可動リード１８′を静電容量調整手段（図４参
照）により可動リードの軸線方向に移動させて固定電極
１５と可動電極１６との対向面積を変え、両電極１５，
１６間に生ずる静電容量の値を連続的に変化させる。
の静電容量の調整を行う場合は、可動電極と固定電極に
課電し、可動リード１８′を静電容量調整手段（図４参
照）により可動リードの軸線方向に移動させて固定電極
１５と可動電極１６との対向面積を変え、両電極１５，
１６間に生ずる静電容量の値を連続的に変化させる。
【０００７】以上のように静電容量を調整する場合、可
動電極１６を可動リードの軸線方向に移動して固定電極
１５との対向面積を可変して行うものであるが、固定電
極と可動電極とは、夫々径の異なる複数の円筒状電極板
を互いに非接触状態で、一定間隔を保ったまま可動電極
を移動させなければならない。
動電極１６を可動リードの軸線方向に移動して固定電極
１５との対向面積を可変して行うものであるが、固定電
極と可動電極とは、夫々径の異なる複数の円筒状電極板
を互いに非接触状態で、一定間隔を保ったまま可動電極
を移動させなければならない。
【０００８】即ち、固定側と可動側の円筒状電極板間の
間隔は狭いため、非接触で、且つ平行状態を保ったまま
可動電極を移動させる必要があり、このため、軸受１７
と可動リード１８′の寸法公差を厳しくする必要があ
る。公差が緩いと、可動リードと軸受の摺動部が円筒状
電極板と離れた位置（下側）にあるので、可動リードと
軸受のわずかな間隙でも、可動側の円筒状電極板の傾き
は大きくなり、静電容量および耐電圧特性が不安定なも
のとなる。
間隔は狭いため、非接触で、且つ平行状態を保ったまま
可動電極を移動させる必要があり、このため、軸受１７
と可動リード１８′の寸法公差を厳しくする必要があ
る。公差が緩いと、可動リードと軸受の摺動部が円筒状
電極板と離れた位置（下側）にあるので、可動リードと
軸受のわずかな間隙でも、可動側の円筒状電極板の傾き
は大きくなり、静電容量および耐電圧特性が不安定なも
のとなる。
【０００９】そこで、可動リードと軸受との摺動部の公
差を厳しくすると、この摺動部は大気中にあるため、塵
や埃等の浸入により、摺動性が阻害される、という問題
があり、本願の出願人は、図４に示すように、固定電極
取付導体１３の固定電極軸心部にガイドピン１（又はガ
イド部５）および可動電極取付導体１８の可動電極軸心
部に、ガイドピンを挿入して案内するガイド部５（又は
ガイドピン１）を設けて上記の課題を解決した。
差を厳しくすると、この摺動部は大気中にあるため、塵
や埃等の浸入により、摺動性が阻害される、という問題
があり、本願の出願人は、図４に示すように、固定電極
取付導体１３の固定電極軸心部にガイドピン１（又はガ
イド部５）および可動電極取付導体１８の可動電極軸心
部に、ガイドピンを挿入して案内するガイド部５（又は
ガイドピン１）を設けて上記の課題を解決した。
【００１０】即ち、固定電極取付導体１３の内側で円筒
状電極Ｆ1〜Ｆnの同心部に、円筒状電極板の軸線に沿っ
てガイドピン１を設けるとともに、可動電極取付導体１
８側にこのガイドピン１を挿入するガイドピン挿入孔を
有するガイド部５を設け、該ガイドピン挿入孔に電気的
絶縁を保ってガイドピンを摺動自在に挿入し、前記可動
電極をガイドピンで案内して移動させるようになし、固
定側の円筒状電極板と一定間隔を保ちながら、可動側の
円筒状電極板を移動させ、可動リードの傾きに起因する
耐電圧、静電容量の不安定さをなくしたものである。こ
の場合可動側端板１４には軸受が不要となるため、可動
リード２の導出口１４′は大きくとれる。
状電極Ｆ1〜Ｆnの同心部に、円筒状電極板の軸線に沿っ
てガイドピン１を設けるとともに、可動電極取付導体１
８側にこのガイドピン１を挿入するガイドピン挿入孔を
有するガイド部５を設け、該ガイドピン挿入孔に電気的
絶縁を保ってガイドピンを摺動自在に挿入し、前記可動
電極をガイドピンで案内して移動させるようになし、固
定側の円筒状電極板と一定間隔を保ちながら、可動側の
円筒状電極板を移動させ、可動リードの傾きに起因する
耐電圧、静電容量の不安定さをなくしたものである。こ
の場合可動側端板１４には軸受が不要となるため、可動
リード２の導出口１４′は大きくとれる。
【００１１】なお、固定電極１５と可動電極１６とは電
気的に絶縁されなければならないので、ガイドピン１と
ガイド部５とは電気的に絶縁されなければならないが、
この絶縁手段は、摺動の円滑性を阻害しないように行う
必要がある。それにはガイドピン１およびガイド部５の
いずれか一方を絶縁材料で構成する必要がある。摺動性
の円滑を保つためにガイドピン１をセラミック、特にア
ルミナによるセラミックで形成し、ガイド部５をリン青
銅で形成することを好適とし、また、ガイドピン１を金
属性にし、その表面に滑性の優れたナイロン樹脂をコー
ティングしても絶縁を保ちながら円滑な摺動を確保する
ことができる。
気的に絶縁されなければならないので、ガイドピン１と
ガイド部５とは電気的に絶縁されなければならないが、
この絶縁手段は、摺動の円滑性を阻害しないように行う
必要がある。それにはガイドピン１およびガイド部５の
いずれか一方を絶縁材料で構成する必要がある。摺動性
の円滑を保つためにガイドピン１をセラミック、特にア
ルミナによるセラミックで形成し、ガイド部５をリン青
銅で形成することを好適とし、また、ガイドピン１を金
属性にし、その表面に滑性の優れたナイロン樹脂をコー
ティングしても絶縁を保ちながら円滑な摺動を確保する
ことができる。
【００１２】図４は静電容量調整手段２０を設けた例の
断面図で、該静電容量調整手段２０は、可動リードの自
由端２ａ側に穿設されたねじ部２ｃと、このねじ部２ｃ
に螺合するねじ部２３ａを有する静電容量調整ねじ２３
と、一端側が可動側端板１４に取り付けられた静電容量
調整用のねじ受部２１とにより構成され、このねじ受部
２１の他端側にスラストベアリング２２を介して回転自
在に静電容量調整ねじ２３を取り付ける。２３ｂは調整
ねじ２３の操作部で、この操作部２３ｂを手動又はモー
タ等で回転して可動リード２を介して可動電極１６を上
下に移動する。
断面図で、該静電容量調整手段２０は、可動リードの自
由端２ａ側に穿設されたねじ部２ｃと、このねじ部２ｃ
に螺合するねじ部２３ａを有する静電容量調整ねじ２３
と、一端側が可動側端板１４に取り付けられた静電容量
調整用のねじ受部２１とにより構成され、このねじ受部
２１の他端側にスラストベアリング２２を介して回転自
在に静電容量調整ねじ２３を取り付ける。２３ｂは調整
ねじ２３の操作部で、この操作部２３ｂを手動又はモー
タ等で回転して可動リード２を介して可動電極１６を上
下に移動する。
【００１３】なお、可動リード２を回動不能で、上下動
自在とする手段は、ガイドピン１とガイド部５の摺動面
の一方にキー溝、他方にキーを設けることで実現でき
る。
自在とする手段は、ガイドピン１とガイド部５の摺動面
の一方にキー溝、他方にキーを設けることで実現でき
る。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】図４のように円筒状電
極板Ｍ1〜Ｍnを取り付けた可動電極取付導体１８を、真
空容器の中の円筒電極板の中心部に設けた案内ガイドピ
ンで案内して移動させるので、可動電極１６は可動リー
ド２の軸線方向に正確に移動し得るとともに、この案内
部は真空容器内にあるため塵や埃等の浸入は無く、摺動
性も阻害されることがない等の優れた効果を発揮する。
極板Ｍ1〜Ｍnを取り付けた可動電極取付導体１８を、真
空容器の中の円筒電極板の中心部に設けた案内ガイドピ
ンで案内して移動させるので、可動電極１６は可動リー
ド２の軸線方向に正確に移動し得るとともに、この案内
部は真空容器内にあるため塵や埃等の浸入は無く、摺動
性も阻害されることがない等の優れた効果を発揮する。
【００１５】しかし、これを製品化する場合はいくつか
の課題が残されている。その一つは小形化と安価な製品
の開発であり、また、真空コンデンサのように高周波電
流を流す場合の発熱による高温加熱の処理の課題であ
る。
の課題が残されている。その一つは小形化と安価な製品
の開発であり、また、真空コンデンサのように高周波電
流を流す場合の発熱による高温加熱の処理の課題であ
る。
【００１６】真空コンデンサを実際に使用する場合は、
図４に示すように固定電極取付導体１３と可動側端板１
４に、固定側に外部接続導体２５および可動側に外部接
続導体２６を夫々取り付けてこの外部接続導体２５，２
６を外部回路（図示省略）に接続し、高周波電圧を印加
する。真空コンデンサに高周波電圧が印加されると、高
周波電流ＩC1，ＩC2が矢印のように流れる。この高周波
電流により真空コンデンサは発熱し、表面温度は後述す
る図２のように加熱昇温される。
図４に示すように固定電極取付導体１３と可動側端板１
４に、固定側に外部接続導体２５および可動側に外部接
続導体２６を夫々取り付けてこの外部接続導体２５，２
６を外部回路（図示省略）に接続し、高周波電圧を印加
する。真空コンデンサに高周波電圧が印加されると、高
周波電流ＩC1，ＩC2が矢印のように流れる。この高周波
電流により真空コンデンサは発熱し、表面温度は後述す
る図２のように加熱昇温される。
【００１７】特に、通電路が長く、且つ通電する部分の
断面積が小さいベローズ１９の部分の発熱が大きくな
る。このベローズ１９の部分が発熱すると、ベローズの
寿命を短くし、且つ、その熱の輻射ｈにより熱は可動リ
ード２に伝わり、それに連結されている調整ねじ２３が
加熱し、更に外部操作用のモータと連結する絶縁性のカ
ップリングを熱的に破壊してしまうという課題が発生し
た。
断面積が小さいベローズ１９の部分の発熱が大きくな
る。このベローズ１９の部分が発熱すると、ベローズの
寿命を短くし、且つ、その熱の輻射ｈにより熱は可動リ
ード２に伝わり、それに連結されている調整ねじ２３が
加熱し、更に外部操作用のモータと連結する絶縁性のカ
ップリングを熱的に破壊してしまうという課題が発生し
た。
【００１８】また、図４に示された真空コンデンサの場
合、最大静電容量は、可動電極１６が固定電極１５の内
部に最も深く進入した位置であり、ガイドピン１の先端
１ａがガイドピン挿入孔３の穴底部３ａに突き当たった
位置で決まる。また、最小静電容量は、調整ねじ２３を
回転して可動リード２を下方に移動させ、その自由端２
ａが、ねじ受部２１の底面２１ａに突き当たった位置で
決まる。
合、最大静電容量は、可動電極１６が固定電極１５の内
部に最も深く進入した位置であり、ガイドピン１の先端
１ａがガイドピン挿入孔３の穴底部３ａに突き当たった
位置で決まる。また、最小静電容量は、調整ねじ２３を
回転して可動リード２を下方に移動させ、その自由端２
ａが、ねじ受部２１の底面２１ａに突き当たった位置で
決まる。
【００１９】従って、静電容量の可変（調整）範囲が広
く要求されると、可動リード２の移動距離ｌ′が長くな
り、可動リード２をｌ′だけ移動させるのにねじ部２３
ａの先端部２３ｃと可動リード底部２ｂの距離ｌをｌ≧
ｌ′とする必要があり、真空コンデンサの全長方向に対
して２ｌ′の空間が必要となり、全長が長くなるという
課題が残されていた。
く要求されると、可動リード２の移動距離ｌ′が長くな
り、可動リード２をｌ′だけ移動させるのにねじ部２３
ａの先端部２３ｃと可動リード底部２ｂの距離ｌをｌ≧
ｌ′とする必要があり、真空コンデンサの全長方向に対
して２ｌ′の空間が必要となり、全長が長くなるという
課題が残されていた。
【００２０】そこで、本発明はこの発熱による影響を低
減しベローズ部分および調整ねじ部分の機械的寿命を長
くするとともに、小形化を図って、コストの低減を期す
ることを目的とするものである。
減しベローズ部分および調整ねじ部分の機械的寿命を長
くするとともに、小形化を図って、コストの低減を期す
ることを目的とするものである。
【００２１】
【課題を解決するための手段】本発明において、上記の
課題を解決するための手段は、円筒部の一端側に固定側
端板、他端側に可動側端板を有する真空容器と、該真空
容器内に、同心円状で径の異なる複数の円筒状電極板を
固定電極取付導体に同心状に取り付けて形成した固定電
極と、この固定電極の各円筒状電極板間に非接触状態で
挿出入できるように径の異なる複数の円筒状電極板を可
動電極取付導体に同心状に取り付けて形成した可動電極
と、該可動電極を前記真空容器の可動側端板の外部から
円筒状電極板の軸線方向に移動させる可動リードと、該
可動リードの外周側で前記可動側端側の内側に設けら
れ、真空状態を保持した状態で可動リードの移動を可能
とするベーローズと、前記固定電極取付導体と可動電極
取付導体の相対向する面の中心部に夫々設けられたガイ
ドピン、このガイドピンを電気的に絶縁して摺動自在に
挿入するガイド部とで形成した案内部を備えて成る真空
コンデンサであって、前記ベーローズ内において可動リ
ードの先端部に可動リードボルトを軸線方向に取り付
け、且つ前記可動側端板には、その内側でベーローズ内
に突出したねじ受部を設けてその端部にベアリングを取
り付け、前記可動リードボルトをベアリングに支持され
た調整ナットに螺合して該調整ナットの回動操作により
コンデンサの静電容量を調整するようにして小形化を図
るとともに、前記ベローズと可動リードボルトとの間に
ヒートパイプを配設し、その一端側を可動側端板に取り
付けてベローズの輻射熱を吸収する。
課題を解決するための手段は、円筒部の一端側に固定側
端板、他端側に可動側端板を有する真空容器と、該真空
容器内に、同心円状で径の異なる複数の円筒状電極板を
固定電極取付導体に同心状に取り付けて形成した固定電
極と、この固定電極の各円筒状電極板間に非接触状態で
挿出入できるように径の異なる複数の円筒状電極板を可
動電極取付導体に同心状に取り付けて形成した可動電極
と、該可動電極を前記真空容器の可動側端板の外部から
円筒状電極板の軸線方向に移動させる可動リードと、該
可動リードの外周側で前記可動側端側の内側に設けら
れ、真空状態を保持した状態で可動リードの移動を可能
とするベーローズと、前記固定電極取付導体と可動電極
取付導体の相対向する面の中心部に夫々設けられたガイ
ドピン、このガイドピンを電気的に絶縁して摺動自在に
挿入するガイド部とで形成した案内部を備えて成る真空
コンデンサであって、前記ベーローズ内において可動リ
ードの先端部に可動リードボルトを軸線方向に取り付
け、且つ前記可動側端板には、その内側でベーローズ内
に突出したねじ受部を設けてその端部にベアリングを取
り付け、前記可動リードボルトをベアリングに支持され
た調整ナットに螺合して該調整ナットの回動操作により
コンデンサの静電容量を調整するようにして小形化を図
るとともに、前記ベローズと可動リードボルトとの間に
ヒートパイプを配設し、その一端側を可動側端板に取り
付けてベローズの輻射熱を吸収する。
【００２２】
【作用】本発明は以上のように、可動リードにベローズ
内で直接可動リードボルトを接続するようにしたので、
ねじ受部を可動側端板の内側のベローズ内に配置するこ
とが可能となり、可動リードボルトの移動距離ｌは、ね
じ受部３６に可動リードボルト接続部３６が突き当たる
までであり、静電容量調整部は真空コンデンサの固定側
端板（固定電極取付導体１３）と可動側端板１４内に配
置でき、小形化が実現できる。
内で直接可動リードボルトを接続するようにしたので、
ねじ受部を可動側端板の内側のベローズ内に配置するこ
とが可能となり、可動リードボルトの移動距離ｌは、ね
じ受部３６に可動リードボルト接続部３６が突き当たる
までであり、静電容量調整部は真空コンデンサの固定側
端板（固定電極取付導体１３）と可動側端板１４内に配
置でき、小形化が実現できる。
【００２３】また、高周波電流がベローズを流れてベロ
ーズが発熱しても、その輻射熱はヒートパイプで吸収さ
れ、真空コンデンサの温度上昇は抑えられる。
ーズが発熱しても、その輻射熱はヒートパイプで吸収さ
れ、真空コンデンサの温度上昇は抑えられる。
【００２４】即ち、ヒートパイプの一端は可動側端板に
取り付けられ、可動側端板には外部接続導体が取り付け
られているので、ヒートパイプのベローズに対向する部
分が過熱されると、容器内の作動流体は輻射熱を奪って
蒸発し、冷えた可動側端板取付側に移動し、ここで凝縮
し、再び加熱部に移動し蒸発する。このような熱交換に
より輻射熱は吸収され、真空コンデンサの温度上昇は抑
えられる。
取り付けられ、可動側端板には外部接続導体が取り付け
られているので、ヒートパイプのベローズに対向する部
分が過熱されると、容器内の作動流体は輻射熱を奪って
蒸発し、冷えた可動側端板取付側に移動し、ここで凝縮
し、再び加熱部に移動し蒸発する。このような熱交換に
より輻射熱は吸収され、真空コンデンサの温度上昇は抑
えられる。
【００２５】
【実施例】以下、本発明を図面に示す一実施例に基づい
て説明する。図１は本発明の一実施例の真空コンデンサ
の断面図を示す。
て説明する。図１は本発明の一実施例の真空コンデンサ
の断面図を示す。
【００２６】なお、図４と同一部分又は相当部分には、
これと同じ符号を付して説明を省略する。
これと同じ符号を付して説明を省略する。
【００２７】しかして、３０は静電容量調整部で、該静
電容量調整部３０は、ベローズ１９内で可動リード２の
端部に軸線方向に接続された可動リードボルト３１と、
ねじ受部３２と、該ねじ受部３２にベアリング３３を介
して取り付けられた調整ナット３４によって形成され、
可動リードボルト３１の一端は可動リード２に接続部３
６で連結され、他端はベアリングを遊貫して外部に突出
し、その突出部に調整ナット３４が螺合され、該調整ナ
ットの回転操作で、可動電極１６が上下動しコンデンサ
容量が調整される。
電容量調整部３０は、ベローズ１９内で可動リード２の
端部に軸線方向に接続された可動リードボルト３１と、
ねじ受部３２と、該ねじ受部３２にベアリング３３を介
して取り付けられた調整ナット３４によって形成され、
可動リードボルト３１の一端は可動リード２に接続部３
６で連結され、他端はベアリングを遊貫して外部に突出
し、その突出部に調整ナット３４が螺合され、該調整ナ
ットの回転操作で、可動電極１６が上下動しコンデンサ
容量が調整される。
【００２８】３５はヒートパイプで、該ヒートパイプ３
５は、ベローズ２９と可動リードボルト３１の間に複数
本配設され、その一端は、可動側端板１４に密着固定し
て取り付けられる。
５は、ベローズ２９と可動リードボルト３１の間に複数
本配設され、その一端は、可動側端板１４に密着固定し
て取り付けられる。
【００２９】そして、各ヒートパイプはリング状のねじ
受部３２で一体的に保持される。
受部３２で一体的に保持される。
【００３０】このヒートパイプ３５の可動側端板への密
着固定手段は、ロー付け、溶接又は接着あるいは取付部
材を用いてねじ止め等いずれの手段でもよく熱伝導の良
い密着固定手段を選ぶ。
着固定手段は、ロー付け、溶接又は接着あるいは取付部
材を用いてねじ止め等いずれの手段でもよく熱伝導の良
い密着固定手段を選ぶ。
【００３１】真空コンデンサでは、真空との差圧によ
り、常に可動リードボルト３１を上方（固定電極側）に
押し上げる力が作用し、この可動リードボルト３１に螺
合している調整ナット３４もその力を受け、ねじ受部３
２には面圧が生じ、調整ナット３４を回転させるには、
大きな回転トルクを必要とするが、本発明では、ベアリ
ング３３が調整ナット３４とねじ受部３２との間に装着
しているので、調整ナット３４の回転操作は、小さい回
転トルクで可能となる。なお、ベアリング３３は普通の
軸受でもよい。
り、常に可動リードボルト３１を上方（固定電極側）に
押し上げる力が作用し、この可動リードボルト３１に螺
合している調整ナット３４もその力を受け、ねじ受部３
２には面圧が生じ、調整ナット３４を回転させるには、
大きな回転トルクを必要とするが、本発明では、ベアリ
ング３３が調整ナット３４とねじ受部３２との間に装着
しているので、調整ナット３４の回転操作は、小さい回
転トルクで可能となる。なお、ベアリング３３は普通の
軸受でもよい。
【００３２】また、ねじ受部３２を、可動側端板１４に
対して真空コンデンサの内部方向に装置したので、可動
リードボルト３１の移動距離ｌは、ねじ受部３２に、可
動リードボルト３１の接続部３６が突接するまでとな
り、図４のｌ′の距離は不用となり、真空コンデンサの
全長が短縮される。
対して真空コンデンサの内部方向に装置したので、可動
リードボルト３１の移動距離ｌは、ねじ受部３２に、可
動リードボルト３１の接続部３６が突接するまでとな
り、図４のｌ′の距離は不用となり、真空コンデンサの
全長が短縮される。
【００３３】また、ヒートパイプ３５を設けることによ
り、ベローズ１９よりの輻射により受けた熱は可動側端
板１４に伝導し、更には、可動側の外部接続導体２６に
伝導し、著しく発熱したベローズの熱はヒートパイプの
熱伝導作用によって低減され、可動リード２の輻射熱は
低減され可動リードボルトの著しい加熱は防止される。
り、ベローズ１９よりの輻射により受けた熱は可動側端
板１４に伝導し、更には、可動側の外部接続導体２６に
伝導し、著しく発熱したベローズの熱はヒートパイプの
熱伝導作用によって低減され、可動リード２の輻射熱は
低減され可動リードボルトの著しい加熱は防止される。
【００３４】図２は真空コンデンサに、１３．５６ＭＨ
ｚの高周波電流を流した場合の電流値−表面温度特性図
で、横軸に通電電流Ｉ(A)，縦軸に表面温度（℃）を採
ったものである。同図においてＡ曲線は図４のヒートパ
イプのない真空コンデンサの円筒管１１ｂの表面温度、
Ｂ曲線はねじ操作部２３ｂ部分の温度を示し、また、Ｃ
およびＤ曲線は夫々本発明のヒートパイプを設けた場合
の円筒管１１ｂの外周およびねじ操作部２３ｂ部分の温
度を示している。
ｚの高周波電流を流した場合の電流値−表面温度特性図
で、横軸に通電電流Ｉ(A)，縦軸に表面温度（℃）を採
ったものである。同図においてＡ曲線は図４のヒートパ
イプのない真空コンデンサの円筒管１１ｂの表面温度、
Ｂ曲線はねじ操作部２３ｂ部分の温度を示し、また、Ｃ
およびＤ曲線は夫々本発明のヒートパイプを設けた場合
の円筒管１１ｂの外周およびねじ操作部２３ｂ部分の温
度を示している。
【００３５】図２から明らかなように本発明によれば、
円筒管１１ｂの外周と操作部２３ｂ部分の温度はほぼ同
じ温度になり、しかも、著しい発熱は無くなる。
円筒管１１ｂの外周と操作部２３ｂ部分の温度はほぼ同
じ温度になり、しかも、著しい発熱は無くなる。
【００３６】本発明によるＣ，Ｄ曲線がヒートパイプを
設けないときの円筒管１１ｂの温度より高くなるのは、
ヒートパイプから可動側端板に熱が伝導される分、円筒
管に熱が伝導されるためである。
設けないときの円筒管１１ｂの温度より高くなるのは、
ヒートパイプから可動側端板に熱が伝導される分、円筒
管に熱が伝導されるためである。
【００３７】なお、図１の実施例はベローズ１９を可動
リード２に取り付けられた場合であるが、可動電極取付
導体１８に取り付けてもよく、また、この実施例はガイ
ド部５は可動リード２と一体に形成した場合の例である
が、可動電極取付導体１８と一体又は別個に設けてもよ
く、またガイドピン１は可動電極取付導体側に、ガイド
部は固定側端板１３側に取り付けてもよい。
リード２に取り付けられた場合であるが、可動電極取付
導体１８に取り付けてもよく、また、この実施例はガイ
ド部５は可動リード２と一体に形成した場合の例である
が、可動電極取付導体１８と一体又は別個に設けてもよ
く、またガイドピン１は可動電極取付導体側に、ガイド
部は固定側端板１３側に取り付けてもよい。
【００３８】図１の実施例においては、ヒートパイプ３
５は円筒状のものを複数本立設した場合の例であるが、
ヒートパイプは円筒状に限らず、パネル状又は細かい棒
状のものを多数可動リードボルトの外周部に配設しても
よい。
５は円筒状のものを複数本立設した場合の例であるが、
ヒートパイプは円筒状に限らず、パネル状又は細かい棒
状のものを多数可動リードボルトの外周部に配設しても
よい。
【００３９】また、冷却効率を高めるには、ヒートパイ
プを熱伝導のよい材料、例えば銅，アルミ，銀又はこれ
らの合金によるものを使用するを好適とする。
プを熱伝導のよい材料、例えば銅，アルミ，銀又はこれ
らの合金によるものを使用するを好適とする。
【００４０】また、可動側端板１４の外側（大気側）表
面に冷却フィンを設けるとか、可動側の外側接続導体２
６を水冷パイプで形成し、内部に冷却水を通して冷却効
果を上げるようにしてもよい。
面に冷却フィンを設けるとか、可動側の外側接続導体２
６を水冷パイプで形成し、内部に冷却水を通して冷却効
果を上げるようにしてもよい。
【００４１】
【発明の効果】以上のように本発明は静電容量調整部を
ベローズ内に設け、ねじ受部はヒートパイプを利用して
形成したので、真空コンデンサの全長が短縮化でき、そ
れに伴って真空コンデンサを収納する装置および組み込
む装置全体が小形化でき、装置全体としてのコストの低
減が図れるとともに、真空コンデンサを外部回路に接続
して通電する場合に、ベローズ部分が加熱昇温しても、
ヒートパイプで低減され、ベローズ部分の著しい加熱は
防止される。従って、ベローズの機械的寿命がのび真空
コンデンサの信頼性が向上する。
ベローズ内に設け、ねじ受部はヒートパイプを利用して
形成したので、真空コンデンサの全長が短縮化でき、そ
れに伴って真空コンデンサを収納する装置および組み込
む装置全体が小形化でき、装置全体としてのコストの低
減が図れるとともに、真空コンデンサを外部回路に接続
して通電する場合に、ベローズ部分が加熱昇温しても、
ヒートパイプで低減され、ベローズ部分の著しい加熱は
防止される。従って、ベローズの機械的寿命がのび真空
コンデンサの信頼性が向上する。
【００４２】また、ベローズ部分からの輻射熱を低減す
ることにより、ねじ操作部の著しい加熱が防止され、従
来のように、外部の操作用モータと連結する絶縁性のカ
ップリングを熱的に破壊することを防止できる。
ることにより、ねじ操作部の著しい加熱が防止され、従
来のように、外部の操作用モータと連結する絶縁性のカ
ップリングを熱的に破壊することを防止できる。
【００４３】更に、許容温度からみて、従来の真空コン
デンサより大電流の通電が可能となる、等の効果を奏す
る。
デンサより大電流の通電が可能となる、等の効果を奏す
る。
【図１】本発明の一実施例の断面図。
【図２】通電電流−表面温度特性図。
【図３】真空コンデンサの基本構成図。
【図４】本発明を説明するための真空コンデンサの断面
図。
図。
１…ガイドピン ２…可動リード ２ａ…自由端部 ３…ガイド挿入孔 ５…ガイド部 １０…真空容器 １１ａ，１１ｂ…円筒管 １３…固定電極取付導体 １４…可動側端板 １５…固定電極 １６…可動電極 １８…可動電極取付導体 １９…ベローズ ２０…静電容量調整手段 ２１…ねじ受部 ２３…調整ねじ ２３ａ…ねじ部 ２３ｂ…操作部 ２５，２６…外部接続導体 ３０…静電容量調整部 ３１…可動リードボルト ３２…ねじ受部 ３３…ベアリング ３４…調整ナット ３５…ヒートパイプ ３６…接続部
Claims (1)
- 【請求項１】 円筒部の一端側に固定側端板、他端側に
可動側端板を有する真空容器と、該真空容器内に、同心
円状で径の異なる複数の円筒状電極板を固定電極取付導
体に同心状に取り付けて形成した固定電極と、この固定
電極の各円筒状電極板間に非接触状態で挿出入できるよ
うに径の異なる複数の円筒状電極板を可動電極取付導体
に同心状に取り付けて形成した可動電極と、該可動電極
を前記真空容器の可動側端板の外部から円筒状電極板の
軸線方向に移動させる可動リードと、該可動リードの外
周側で前記可動側端側の内側に設けられ、真空状態を保
持した状態で可動リードの移動を可能とするベーローズ
と、前記固定電極取付導体と可動電極取付導体の相対向
する面の中心部に夫々設けられたガイドピン、このガイ
ドピンを電気的に絶縁して摺動自在に挿入するガイド部
とで形成した案内部を備えて成る真空コンデンサであっ
て、 前記ベーローズ内において可動リードの先端部に可動リ
ードボルトを軸線方向に接続し、且つ前記可動側端板に
は、その内側でベーローズ内に突出したねじ受部を設け
てその端部にベアリングを取り付け、前記可動リードボ
ルトをベアリングに支持された調整ナットに螺合して該
調整ナットの回動操作によりコンデンサの静電容量を調
整するようにするとともに、前記ベローズと可動リード
ボルトとの間にヒートパイプを配設し、その一端側を可
動側端板に取り付けたことを特徴とする真空コンデン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23391094A JP3365080B2 (ja) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | 真空コンデンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23391094A JP3365080B2 (ja) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | 真空コンデンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0897086A true JPH0897086A (ja) | 1996-04-12 |
| JP3365080B2 JP3365080B2 (ja) | 2003-01-08 |
Family
ID=16962510
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23391094A Expired - Lifetime JP3365080B2 (ja) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | 真空コンデンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3365080B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007158438A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-21 | Daihen Corp | インピーダンス変換器 |
| WO2008084660A1 (ja) * | 2007-01-10 | 2008-07-17 | Tokyo Institute Of Technology | 高周波整合調整器 |
| WO2018235391A1 (ja) * | 2017-06-22 | 2018-12-27 | 株式会社明電舎 | コンデンサ |
-
1994
- 1994-09-29 JP JP23391094A patent/JP3365080B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007158438A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-21 | Daihen Corp | インピーダンス変換器 |
| WO2008084660A1 (ja) * | 2007-01-10 | 2008-07-17 | Tokyo Institute Of Technology | 高周波整合調整器 |
| JPWO2008084660A1 (ja) * | 2007-01-10 | 2010-04-30 | 国立大学法人東京工業大学 | 高周波整合調整器 |
| WO2018235391A1 (ja) * | 2017-06-22 | 2018-12-27 | 株式会社明電舎 | コンデンサ |
| JP2019009201A (ja) * | 2017-06-22 | 2019-01-17 | 株式会社明電舎 | コンデンサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3365080B2 (ja) | 2003-01-08 |
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