JP3365077B2 - 真空コンデンサ - Google Patents
真空コンデンサInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、大電力送信機の発振回
路、半導体製造装置用の高周波電源、あるいは誘導加熱
装置のタンク回路等に用いられる真空コンデンサに関す
る。
路、半導体製造装置用の高周波電源、あるいは誘導加熱
装置のタンク回路等に用いられる真空コンデンサに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の一般的な可変形真空コンデ
ンサの基本構成の断面図で、例えば、セラミック等の絶
縁円筒１２の両端側に銅製の円筒管１１ａ，１１ｂを接
合して円筒部を形成し、この円筒部を固定側端板兼固定
電極取付導体１３と可動側端板１４とで閉塞して、コン
デンサ部を収容する真空容器１０を形成している。
ンサの基本構成の断面図で、例えば、セラミック等の絶
縁円筒１２の両端側に銅製の円筒管１１ａ，１１ｂを接
合して円筒部を形成し、この円筒部を固定側端板兼固定
電極取付導体１３と可動側端板１４とで閉塞して、コン
デンサ部を収容する真空容器１０を形成している。
【０００３】固定電極取付導体１３の内側には、径（半
径）の異なる複数の円筒状電極板Ｆ1，Ｆ2，…Ｆnを同
心円状に一定間隔をもって取り付けて固定電極１５を形
成しており、また、この固定電極１５の各電極板間の間
隙内に、非接触状態で挿出入できるように、内径の異な
る複数の円筒状電極板Ｍ1，Ｍ2…Ｍnを可動電極取付導
体１８に設けて可動電極１６を形成している。
径）の異なる複数の円筒状電極板Ｆ1，Ｆ2，…Ｆnを同
心円状に一定間隔をもって取り付けて固定電極１５を形
成しており、また、この固定電極１５の各電極板間の間
隙内に、非接触状態で挿出入できるように、内径の異な
る複数の円筒状電極板Ｍ1，Ｍ2…Ｍnを可動電極取付導
体１８に設けて可動電極１６を形成している。
【０００４】可動電極取付導体１８には、可動リード１
８′が設けられ、この可動リード１８′は、可動側端板
１４を貫通して設けた軸受１７に回動不能で上下動自在
に支承され、可動電極１６を真空容器の外部から軸線方
向に移動させる。１９はベローズで、一端が可動側端板
１４及び軸受１７とロー付けされ、他端側が可動リード
１８′又は可動導体１８にロー付けられ、軸受１７と可
動リード１８′の摺動部ならびに軸受１７の可動側端板
１４の貫通部を覆い、真空漏れを防止しながら、可動リ
ードの上下動ができるようにしている。
８′が設けられ、この可動リード１８′は、可動側端板
１４を貫通して設けた軸受１７に回動不能で上下動自在
に支承され、可動電極１６を真空容器の外部から軸線方
向に移動させる。１９はベローズで、一端が可動側端板
１４及び軸受１７とロー付けされ、他端側が可動リード
１８′又は可動導体１８にロー付けられ、軸受１７と可
動リード１８′の摺動部ならびに軸受１７の可動側端板
１４の貫通部を覆い、真空漏れを防止しながら、可動リ
ードの上下動ができるようにしている。
【０００５】なお、真空容器１０の円筒部は、全体をセ
ラミック等による絶縁円筒で形成してもよい。要は、固
定電極と可動電極とを電気的に絶縁されればよい。
ラミック等による絶縁円筒で形成してもよい。要は、固
定電極と可動電極とを電気的に絶縁されればよい。
【０００６】このように構成した真空コンデンサで、そ
の静電容量の調整を行う場合は、可動電極と固定電極に
課電し、可動リード１８′を静電容量調整手段（図４参
照）により可動リードの軸線方向に移動させて固定電極
１５と可動電極１６との対向面積を変え、両電極１５，
１６間に生ずる静電容量の値を連続的に変化させる。
の静電容量の調整を行う場合は、可動電極と固定電極に
課電し、可動リード１８′を静電容量調整手段（図４参
照）により可動リードの軸線方向に移動させて固定電極
１５と可動電極１６との対向面積を変え、両電極１５，
１６間に生ずる静電容量の値を連続的に変化させる。
【０００７】以上のように静電容量を調整する場合、可
動電極１６を可動リードの軸線方向に移動して固定電極
１５との対向面積を可変して行うものであるが、固定電
極と可動電極とは、夫々径の異なる複数の円筒状電極板
を互いに非接触状態で、一定間隔を保ったまま可動電極
を移動させなければならない。
動電極１６を可動リードの軸線方向に移動して固定電極
１５との対向面積を可変して行うものであるが、固定電
極と可動電極とは、夫々径の異なる複数の円筒状電極板
を互いに非接触状態で、一定間隔を保ったまま可動電極
を移動させなければならない。
【０００８】即ち、固定側と可動側の円筒状電極板間の
間隔は狭いため、非接触で、且つ平行状態を保ったまま
可動電極を移動させる必要があり、このため、軸受１７
と可動リード１８′の寸法公差を厳しくする必要があ
る。公差が緩いと、可動リードと軸受の摺動部が円筒状
電極板と離れた位置（下側）にあるので、可動リードと
軸受のわずかな間隙でも、可動側の円筒状電極板の傾き
は大きくなり、静電容量および耐電圧特性が不安定なも
のとなる。
間隔は狭いため、非接触で、且つ平行状態を保ったまま
可動電極を移動させる必要があり、このため、軸受１７
と可動リード１８′の寸法公差を厳しくする必要があ
る。公差が緩いと、可動リードと軸受の摺動部が円筒状
電極板と離れた位置（下側）にあるので、可動リードと
軸受のわずかな間隙でも、可動側の円筒状電極板の傾き
は大きくなり、静電容量および耐電圧特性が不安定なも
のとなる。
【０００９】そこで、可動リードと軸受との摺動部の公
差を厳しくすると、この摺動部は大気中にあるため、塵
や埃等の浸入により、摺動性が阻害される、という問題
があり、本願の出願人は、図４に示すように、固定電極
取付導体１３の固定電極軸心部にガイドピン１（又はガ
イド部５）および可動電極取付導体１８の可動電極軸心
部に、ガイドピンを挿入して案内するガイド部５（又は
ガイドピン１）を設けて上記の課題を解決した。
差を厳しくすると、この摺動部は大気中にあるため、塵
や埃等の浸入により、摺動性が阻害される、という問題
があり、本願の出願人は、図４に示すように、固定電極
取付導体１３の固定電極軸心部にガイドピン１（又はガ
イド部５）および可動電極取付導体１８の可動電極軸心
部に、ガイドピンを挿入して案内するガイド部５（又は
ガイドピン１）を設けて上記の課題を解決した。
【００１０】即ち、固定電極取付導体１３の内側で円筒
状電極Ｆ1〜Ｆnの同心部に、円筒状電極板の軸線に沿っ
てガイドピン１を設けるとともに、可動電極取付導体１
８側にこのガイドピン１を挿入するガイドピン挿入孔を
有するガイド部５を設け、該ガイドピン挿入孔に電気的
絶縁を保ってガイドピンを摺動自在に挿入し、前記可動
電極をガイドピンで案内して移動させるようになし、固
定側の円筒状電極板と一定間隔を保ちながら、可動側の
円筒状電極板を移動させ、可動リードの傾きに起因する
耐電圧、静電容量の不安定さをなくしたものである。こ
の場合可動側端板１４には軸受が不要となるため、可動
リード２の導出口１４′は大きくとれる。
状電極Ｆ1〜Ｆnの同心部に、円筒状電極板の軸線に沿っ
てガイドピン１を設けるとともに、可動電極取付導体１
８側にこのガイドピン１を挿入するガイドピン挿入孔を
有するガイド部５を設け、該ガイドピン挿入孔に電気的
絶縁を保ってガイドピンを摺動自在に挿入し、前記可動
電極をガイドピンで案内して移動させるようになし、固
定側の円筒状電極板と一定間隔を保ちながら、可動側の
円筒状電極板を移動させ、可動リードの傾きに起因する
耐電圧、静電容量の不安定さをなくしたものである。こ
の場合可動側端板１４には軸受が不要となるため、可動
リード２の導出口１４′は大きくとれる。
【００１１】なお、固定電極１５と可動電極１６とは電
気的に絶縁されなければならないので、ガイドピン１と
ガイド部５とは電気的に絶縁されなければならないが、
この絶縁手段は、摺動の円滑性を阻害しないように行う
必要がある。それにはガイドピン１およびガイド部５の
いずれか一方を絶縁材料で構成する必要がある。摺動性
の円滑を保つためにガイドピン１をセラミック、特にア
ルミナによるセラミックで形成し、ガイド部５をリン青
銅で形成することを好適とし、また、ガイドピン１を金
属性にし、その表面に滑性の優れたナイロン樹脂をコー
ティングしても絶縁を保ちながら円滑な摺動を確保する
ことができる。
気的に絶縁されなければならないので、ガイドピン１と
ガイド部５とは電気的に絶縁されなければならないが、
この絶縁手段は、摺動の円滑性を阻害しないように行う
必要がある。それにはガイドピン１およびガイド部５の
いずれか一方を絶縁材料で構成する必要がある。摺動性
の円滑を保つためにガイドピン１をセラミック、特にア
ルミナによるセラミックで形成し、ガイド部５をリン青
銅で形成することを好適とし、また、ガイドピン１を金
属性にし、その表面に滑性の優れたナイロン樹脂をコー
ティングしても絶縁を保ちながら円滑な摺動を確保する
ことができる。
【００１２】図４は静電容量調整手段２０を設けた例の
断面図で、該静電容量調整手段２０は、可動リードの自
由端２ａ側に穿設されたねじ部２ｃと、このねじ部２ｃ
に螺合するねじ部２３ａを有する静電容量調整ねじ２３
と、一端側が可動側端板１４に取り付けられた静電容量
調整用のねじ受部２１とにより構成され、このねじ受部
２１の他端側にスラストベアリング２２を介して回転自
在に静電容量調整ねじ２３を取り付ける。２３ｂは調整
ねじ２３の操作部で、この操作部２３ｂを手動又はモー
タ等で回転して可動リード２を介して可動電極１６を上
下に移動する。
断面図で、該静電容量調整手段２０は、可動リードの自
由端２ａ側に穿設されたねじ部２ｃと、このねじ部２ｃ
に螺合するねじ部２３ａを有する静電容量調整ねじ２３
と、一端側が可動側端板１４に取り付けられた静電容量
調整用のねじ受部２１とにより構成され、このねじ受部
２１の他端側にスラストベアリング２２を介して回転自
在に静電容量調整ねじ２３を取り付ける。２３ｂは調整
ねじ２３の操作部で、この操作部２３ｂを手動又はモー
タ等で回転して可動リード２を介して可動電極１６を上
下に移動する。
【００１３】なお、ガイドピン１とガイド部５の摺動面
には、一方にキー、他方にキー溝を設けて可動リード２
が回転することなく上下方向にのみ移動できるようにし
ている。
には、一方にキー、他方にキー溝を設けて可動リード２
が回転することなく上下方向にのみ移動できるようにし
ている。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】図４のように円筒状電
極板Ｍ1〜Ｍnを取り付けた可動電極取付導体１８を、真
空容器の中の円筒電極板の中心部に設けた案内ガイドピ
ンで案内して移動させるので、可動電極１６は可動リー
ド２の軸線方向に正確に移動し得るとともに、この案内
部は真空容器内にあるため塵や埃等の浸入は無く、摺動
性も阻害されることがない等の優れた効果を発揮する。
極板Ｍ1〜Ｍnを取り付けた可動電極取付導体１８を、真
空容器の中の円筒電極板の中心部に設けた案内ガイドピ
ンで案内して移動させるので、可動電極１６は可動リー
ド２の軸線方向に正確に移動し得るとともに、この案内
部は真空容器内にあるため塵や埃等の浸入は無く、摺動
性も阻害されることがない等の優れた効果を発揮する。
【００１５】この真空コンデンサを使用する場合は、固
定電極取付導体１３と可動側端板１４に、固定側に外部
接続導体３０および可動側に外部接続導体３１を夫々取
り付けてこの外部接続導体３０，３１を外部回路（図示
省略）に接続し、高周波電圧を印加する。真空コンデン
サに高周波電圧が印加されると、高周波電流ＩC1，ＩC2
が矢印のように流れる。この高周波電流により真空コン
デンサは発熱し、表面温度は後述する図２のように加熱
昇温される。
定電極取付導体１３と可動側端板１４に、固定側に外部
接続導体３０および可動側に外部接続導体３１を夫々取
り付けてこの外部接続導体３０，３１を外部回路（図示
省略）に接続し、高周波電圧を印加する。真空コンデン
サに高周波電圧が印加されると、高周波電流ＩC1，ＩC2
が矢印のように流れる。この高周波電流により真空コン
デンサは発熱し、表面温度は後述する図２のように加熱
昇温される。
【００１６】特に、通電路が長く、且つ通電する部分の
断面積が小さいベローズ１９の部分の発熱が大きくな
る。このベローズ１９の部分が発熱すると、ベローズの
寿命を短くし、且つ、その熱の輻射ｈにより熱は可動リ
ード２に伝わり、それに連結されている調整ねじ２３が
加熱し、更に外部操作用のモータと連結する絶縁性のカ
ップリングを熱的に破壊してしまうという課題が発生し
た。
断面積が小さいベローズ１９の部分の発熱が大きくな
る。このベローズ１９の部分が発熱すると、ベローズの
寿命を短くし、且つ、その熱の輻射ｈにより熱は可動リ
ード２に伝わり、それに連結されている調整ねじ２３が
加熱し、更に外部操作用のモータと連結する絶縁性のカ
ップリングを熱的に破壊してしまうという課題が発生し
た。
【００１７】そこで、本発明はこの発熱による影響を低
減しベローズ部分および調整ねじ部分の機械的寿命を長
くした真空コンデンサを提供することを目的とする。
減しベローズ部分および調整ねじ部分の機械的寿命を長
くした真空コンデンサを提供することを目的とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】本発明において、上記の
課題を解決するための手段は、円筒部の一端側に固定側
端板、他端側に可動側端板を有する真空容器と、該真空
容器内に、同心円状で径の異なる複数の円筒状電極板を
固定電極取付導体に同心状に取り付けて形成した固定電
極と、この固定電極の各円筒状電極板間に非接触状態で
挿出入できるように径の異なる複数の円筒状電極板を可
動電極取付導体に同心状に取り付けて形成した可動電極
と、該可動電極を前記真空容器の可動側端板の導出口か
ら外部に導出して円筒状電極板の軸線方向に移動させる
可動リードと、該可動リードの外周側で前記可動側端板
の内側に設けられ、真空状態を保持した状態で可動リー
ドの移動を可能とするベローズとを備えた真空コンデン
サにおいて、前記ベローズと可動リードとの間にヒート
パイプを配設し、その一端を可動側端板に取り付け、ベ
ローズ部分の著しい加熱を防止する。
課題を解決するための手段は、円筒部の一端側に固定側
端板、他端側に可動側端板を有する真空容器と、該真空
容器内に、同心円状で径の異なる複数の円筒状電極板を
固定電極取付導体に同心状に取り付けて形成した固定電
極と、この固定電極の各円筒状電極板間に非接触状態で
挿出入できるように径の異なる複数の円筒状電極板を可
動電極取付導体に同心状に取り付けて形成した可動電極
と、該可動電極を前記真空容器の可動側端板の導出口か
ら外部に導出して円筒状電極板の軸線方向に移動させる
可動リードと、該可動リードの外周側で前記可動側端板
の内側に設けられ、真空状態を保持した状態で可動リー
ドの移動を可能とするベローズとを備えた真空コンデン
サにおいて、前記ベローズと可動リードとの間にヒート
パイプを配設し、その一端を可動側端板に取り付け、ベ
ローズ部分の著しい加熱を防止する。
【００１９】
【作用】本発明は以上のように構成されているので、可
動リードを上下動させると、可動側の円筒状電極板を取
り付けた可動電極取付導体は、ガイド部のガイドピン挿
入孔に挿入されたガイドピンに案内されて可動リードの
軸線方向に移動する。
動リードを上下動させると、可動側の円筒状電極板を取
り付けた可動電極取付導体は、ガイド部のガイドピン挿
入孔に挿入されたガイドピンに案内されて可動リードの
軸線方向に移動する。
【００２０】このとき、可動電極取付導体を案内するガ
イド部およびガイドピンは固定側と可動側の円筒状電極
板の内部の中心位置に設けてあるので、可動リードの移
動時に、可動リードの自由端側が少々傾いても、可動側
の円筒状電極板は傾くことなく軸線に平行に移動する。
イド部およびガイドピンは固定側と可動側の円筒状電極
板の内部の中心位置に設けてあるので、可動リードの移
動時に、可動リードの自由端側が少々傾いても、可動側
の円筒状電極板は傾くことなく軸線に平行に移動する。
【００２１】また、高周波電流がベローズを流れてベロ
ーズが発熱しても、その輻射熱はヒートパイプで吸収さ
れ、真空コンデンサの温度上昇は抑えられる。
ーズが発熱しても、その輻射熱はヒートパイプで吸収さ
れ、真空コンデンサの温度上昇は抑えられる。
【００２２】即ち、ヒートパイプの一端は可動側端板に
取り付けられ、可動側端板には外部接続導体が取り付け
られているので、ヒートパイプのベローズに対向する部
分が過熱されると、容器内の作動流体は輻射熱を奪って
蒸発し、冷えた可動側端板取付側に移動し、ここで凝縮
し、再び加熱部に移動し蒸発する。このような熱交換に
より輻射熱は吸収され、真空コンデンサの温度上昇は抑
えられる。
取り付けられ、可動側端板には外部接続導体が取り付け
られているので、ヒートパイプのベローズに対向する部
分が過熱されると、容器内の作動流体は輻射熱を奪って
蒸発し、冷えた可動側端板取付側に移動し、ここで凝縮
し、再び加熱部に移動し蒸発する。このような熱交換に
より輻射熱は吸収され、真空コンデンサの温度上昇は抑
えられる。
【００２３】
【実施例】以下、本発明を図面に示す一実施例に基づい
て説明する。図１は本発明の一実施例の真空コンデンサ
の断面図で、静電容量調整手段は省略してある。
て説明する。図１は本発明の一実施例の真空コンデンサ
の断面図で、静電容量調整手段は省略してある。
【００２４】なお、図３および図４と同一部分又は相当
部分には、これと同じ符号を付して説明を省略する。
部分には、これと同じ符号を付して説明を省略する。
【００２５】しかして、Ｈｐはヒートパイプで、該ヒー
トパイプＨｐは可動リード２とベローズ１９の間に複数
本配設され、その一端側は、可動側端板１４に密着固定
して取り付けられる。このヒートパイプＨｐの可動側端
板への密着固定手段は、ロー付け、溶接又は接着又は取
付部材を用いたねじ止め等いずれの手段でもよく、熱伝
導の良い密着固定手段を選ぶ。
トパイプＨｐは可動リード２とベローズ１９の間に複数
本配設され、その一端側は、可動側端板１４に密着固定
して取り付けられる。このヒートパイプＨｐの可動側端
板への密着固定手段は、ロー付け、溶接又は接着又は取
付部材を用いたねじ止め等いずれの手段でもよく、熱伝
導の良い密着固定手段を選ぶ。
【００２６】このようにヒートパイプＨｐを設けること
により、ベローズ１９よりの輻射により受けた熱は可動
側端板に伝導し、更には、可動側の外部接続導体３１に
伝導し、著しく発熱したベローズの熱はヒートパイプの
熱伝導作用によって低減され、可動リード２の輻射熱は
低減され可動リードの著しい加熱は防止される。
により、ベローズ１９よりの輻射により受けた熱は可動
側端板に伝導し、更には、可動側の外部接続導体３１に
伝導し、著しく発熱したベローズの熱はヒートパイプの
熱伝導作用によって低減され、可動リード２の輻射熱は
低減され可動リードの著しい加熱は防止される。
【００２７】図２は真空コンデンサに、１３．５６ＭＨ
ｚの高周波電流を流した場合の電流値−表面温度特性図
で、横軸に通電電流Ｉ(A)，縦軸に表面温度（℃）を採
ったものである。同図においてＡ曲線は図４のヒートパ
イプのない真空コンデンサの円筒管１１ｂの表面温度、
Ｂ曲線はねじ操作部２３ｂ部分の温度を示し、また、Ｃ
およびＤ曲線は夫々本発明のヒートパイプを設けた場合
の円筒管１１ｂの外周およびねじ操作部２３ｂ部分の温
度を示している。
ｚの高周波電流を流した場合の電流値−表面温度特性図
で、横軸に通電電流Ｉ(A)，縦軸に表面温度（℃）を採
ったものである。同図においてＡ曲線は図４のヒートパ
イプのない真空コンデンサの円筒管１１ｂの表面温度、
Ｂ曲線はねじ操作部２３ｂ部分の温度を示し、また、Ｃ
およびＤ曲線は夫々本発明のヒートパイプを設けた場合
の円筒管１１ｂの外周およびねじ操作部２３ｂ部分の温
度を示している。
【００２８】図２から明らかなように本発明によれば、
円筒管１１ｂの外周と操作部２３ｂ部分の温度はほぼ同
じ温度になり、しかも、著しい発熱は無くなる。
円筒管１１ｂの外周と操作部２３ｂ部分の温度はほぼ同
じ温度になり、しかも、著しい発熱は無くなる。
【００２９】本発明によるＣ，Ｄ曲線がヒートパイプを
設けないときの円筒管１１ｂの温度より高くなるのは、
ヒートパイプから可動側端板に熱が伝導される分、円筒
管に熱が伝導されるためである。
設けないときの円筒管１１ｂの温度より高くなるのは、
ヒートパイプから可動側端板に熱が伝導される分、円筒
管に熱が伝導されるためである。
【００３０】図１の実施例においては、ヒートパイプＨ
ｐは円筒状のものを複数本立設した場合の例であるが、
ヒートパイプは円筒状に限らず、細かい棒状のものを多
数可動リードの外周部に配設してもよい。
ｐは円筒状のものを複数本立設した場合の例であるが、
ヒートパイプは円筒状に限らず、細かい棒状のものを多
数可動リードの外周部に配設してもよい。
【００３１】また、冷却効率を高めるには、ヒートパイ
プを熱伝導のよい材料、例えば銅，アルミ，銀又はこれ
らの合金によるものを使用するを好適とする。
プを熱伝導のよい材料、例えば銅，アルミ，銀又はこれ
らの合金によるものを使用するを好適とする。
【００３２】また、可動側端板１４の外側（大気側）表
面に冷却フィンを設けるとか、可動側の外側接続導体３
１を水冷パイプで形成し、内部に冷却水を通して冷却効
果を上げるようにしてもよい。
面に冷却フィンを設けるとか、可動側の外側接続導体３
１を水冷パイプで形成し、内部に冷却水を通して冷却効
果を上げるようにしてもよい。
【００３３】
【発明の効果】本発明は以上のように構成しているの
で、真空コンデンサを外部回路に接続して通電する場合
に、ベローズ部分が加熱昇温しても、ヒートパイプで低
減され、ベローズ部分の著しい加熱は防止される。従っ
て、ベローズの機械的寿命がのび真空コンデンサの信頼
性が向上する。
で、真空コンデンサを外部回路に接続して通電する場合
に、ベローズ部分が加熱昇温しても、ヒートパイプで低
減され、ベローズ部分の著しい加熱は防止される。従っ
て、ベローズの機械的寿命がのび真空コンデンサの信頼
性が向上する。
【００３４】また、ベローズ部分からの輻射熱を低減す
ることにより、ねじ操作部の著しい加熱が防止され、従
来のように、外部の操作用モータと連結する絶縁性のカ
ップリングを熱的に破壊することを防止できる。
ることにより、ねじ操作部の著しい加熱が防止され、従
来のように、外部の操作用モータと連結する絶縁性のカ
ップリングを熱的に破壊することを防止できる。
【００３５】更に、許容温度からみて、従来の真空コン
デンサより大電流の通電が可能となる、等の効果を奏す
る。
デンサより大電流の通電が可能となる、等の効果を奏す
る。
【図１】本発明の一実施例の断面図。
【図２】通電電流−表面温度特性図。
【図３】本発明を説明するための真空コンデンサの断面
図。
図。
【図４】真空コンデンサの基本構成図。
１…ガイドピン
２…可動リード
２ａ…自由端部
３…ガイド挿入孔
５…ガイド部
１０…真空容器
１１ａ，１１ｂ…円筒管
１３…固定電極取付導体
１４…可動側端板
１５…固定電極
１６…可動電極
１８…可動電極取付導体
１９…ベローズ
２０…静電容量調整手段
２１…ねじ受部
２３…調整ねじ
２３ａ…ねじ部
２３ｂ…操作部
３０，３１…外部接続導体
Ｈｐ…ヒートパイプ
Claims (2)
- 【請求項１】 円筒部の一端側に固定側端板、他端側に
可動側端板を有する真空容器と、該真空容器内に、同心
円状で径の異なる複数の円筒状電極板を固定電極取付導
体に同心状に取り付けて形成した固定電極と、この固定
電極の各円筒状電極板間に非接触状態で挿出入できるよ
うに径の異なる複数の円筒状電極板を可動電極取付導体
に同心状に取り付けて形成した可動電極と、該可動電極
を前記真空容器の可動側端板の導出口から外部に導出し
て円筒状電極板の軸線方向に移動させる可動リードと、
該可動リードの外周側で前記可動側端板の内側に設けら
れ、真空状態を保持した状態で可動リードの移動を可能
とするベローズとを備えた真空コンデンサにおいて、 前記ベローズと可動リードとの間にヒートパイプを配設
し、その一端側を可動側端板に取り付けたことを特徴と
する真空コンデンサ。 - 【請求項２】 円筒部の一端側に固定側端板、他端側に
可動側端板を有する真空容器と、該真空容器内に、同心
円状で径の異なる複数の円筒状電極板を固定電極取付導
体に同心状に取り付けて形成した固定電極と、この固定
電極の各円筒状電極板間に非接触状態で挿出入できるよ
うに径の異なる複数の円筒状電極板を可動電極取付導体
に同心状に取り付けて形成した可動電極と、該可動電極
を前記真空容器の可動側端板の導出口から外部に導出し
て円筒状電極板の軸線方向に移動させる可動リードと、
該可動リードの外周側で前記可動側端板の内側に設けら
れ、真空状態を保持した状態で可動リードの移動を可能
とするベローズとを備えた真空コンデンサにおいて、 前記可動電極取付導体および固定電極取付導体のいずれ
か一方の円筒状電極板の中心部にガイドピンを、他方に
ガイドピンを挿入するガイドピン挿入孔を有するガイド
部を設け、該ガイドピン挿入孔に電気的絶縁を保ってガ
イドピンを摺動自在に挿入し、前記可動電極をガイドピ
ンで案内して移動させるようにするとともに、前記ベロ
ーズと可動リードとの間にヒートパイプを配設し、その
一端側を可動側端板に取り付けたことを特徴とする真空
コンデンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22854394A JP3365077B2 (ja) | 1994-09-26 | 1994-09-26 | 真空コンデンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22854394A JP3365077B2 (ja) | 1994-09-26 | 1994-09-26 | 真空コンデンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0897083A JPH0897083A (ja) | 1996-04-12 |
| JP3365077B2 true JP3365077B2 (ja) | 2003-01-08 |
Family
ID=16878041
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22854394A Expired - Fee Related JP3365077B2 (ja) | 1994-09-26 | 1994-09-26 | 真空コンデンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3365077B2 (ja) |
-
1994
- 1994-09-26 JP JP22854394A patent/JP3365077B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0897083A (ja) | 1996-04-12 |
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