JP3365078B2 - 真空コンデンサ - Google Patents
真空コンデンサInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、大電力送信機の発振回
路、半導体製造装置用の高周波電源、あるいは誘導加熱
装置のタンク回路等に用いられる真空コンデンサに関す
る。
路、半導体製造装置用の高周波電源、あるいは誘導加熱
装置のタンク回路等に用いられる真空コンデンサに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来の一般的な可変形真空コンデ
ンサの基本構成の断面図で、例えば、セラミック等の絶
縁円筒１２の両端側に銅製の円筒管１１ａ，１１ｂを接
合して円筒部を形成し、この円筒部を固定側端板兼固定
電極取付導体１３と可動側端板１４とで閉塞して、コン
デンサ部を収容する真空容器１０を形成している。
ンサの基本構成の断面図で、例えば、セラミック等の絶
縁円筒１２の両端側に銅製の円筒管１１ａ，１１ｂを接
合して円筒部を形成し、この円筒部を固定側端板兼固定
電極取付導体１３と可動側端板１４とで閉塞して、コン
デンサ部を収容する真空容器１０を形成している。
【０００３】固定電極取付導体１３の内側には、径（半
径）の異なる複数の円筒状電極板Ｆ1，Ｆ2，…Ｆnを同
心円状に一定間隔をもって取り付けて固定電極１５を形
成しており、また、この固定電極１５の各電極板間の間
隙内に、非接触状態で挿出入できるように、内径の異な
る複数の円筒状電極板Ｍ1，Ｍ2…Ｍnを可動電極取付導
体１８に設けて可動電極１６を形成している。
径）の異なる複数の円筒状電極板Ｆ1，Ｆ2，…Ｆnを同
心円状に一定間隔をもって取り付けて固定電極１５を形
成しており、また、この固定電極１５の各電極板間の間
隙内に、非接触状態で挿出入できるように、内径の異な
る複数の円筒状電極板Ｍ1，Ｍ2…Ｍnを可動電極取付導
体１８に設けて可動電極１６を形成している。
【０００４】可動電極取付導体１８には、可動リード１
８′が設けられ、この可動リード１８′は、可動側端板
１４を貫通して設けた軸受１７に回動不能で上下動自在
に支承され、可動電極１６を真空容器の外部から軸線方
向に移動させる。１９はベローズで、一端が可動側端板
１４及び軸受１７とロー付けされ、他端側は可動リード
１８′又は可動導体１８にロー付けされ、軸受１７と可
動リード１８′の摺動部ならびに軸受１７の可動側端板
１４の貫通部を覆い、真空漏れを防止しながら、可動リ
ードの上下動ができるようにしている。
８′が設けられ、この可動リード１８′は、可動側端板
１４を貫通して設けた軸受１７に回動不能で上下動自在
に支承され、可動電極１６を真空容器の外部から軸線方
向に移動させる。１９はベローズで、一端が可動側端板
１４及び軸受１７とロー付けされ、他端側は可動リード
１８′又は可動導体１８にロー付けされ、軸受１７と可
動リード１８′の摺動部ならびに軸受１７の可動側端板
１４の貫通部を覆い、真空漏れを防止しながら、可動リ
ードの上下動ができるようにしている。
【０００５】なお、真空容器１０の円筒部は、全体をセ
ラミック等による絶縁円筒で形成してもよい。要は、固
定電極と可動電極とを電気的に絶縁されればよい。
ラミック等による絶縁円筒で形成してもよい。要は、固
定電極と可動電極とを電気的に絶縁されればよい。
【０００６】このように構成した真空コンデンサで、そ
の静電容量の調整を行う場合は、可動電極と固定電極に
課電し、可動リード１８′を静電容量調整手段（図５参
照）により可動リードの軸線方向に移動させて固定電極
１５と可動電極１６との対向面積を変え、両電極１５，
１６間に生ずる静電容量の値を連続的に変化させる。
の静電容量の調整を行う場合は、可動電極と固定電極に
課電し、可動リード１８′を静電容量調整手段（図５参
照）により可動リードの軸線方向に移動させて固定電極
１５と可動電極１６との対向面積を変え、両電極１５，
１６間に生ずる静電容量の値を連続的に変化させる。
【０００７】以上のように静電容量を調整する場合、可
動電極１６を可動リードの軸線方向に移動して固定電極
１５との対向面積を可変して行うものであるが、固定電
極と可動電極とは、夫々径の異なる複数の円筒状電極板
を互いに非接触状態で、一定間隔を保ったまま可動電極
を移動させなければならない。
動電極１６を可動リードの軸線方向に移動して固定電極
１５との対向面積を可変して行うものであるが、固定電
極と可動電極とは、夫々径の異なる複数の円筒状電極板
を互いに非接触状態で、一定間隔を保ったまま可動電極
を移動させなければならない。
【０００８】即ち、固定側と可動側の円筒状電極板間の
間隔は狭いため、非接触で、且つ平行状態を保ったまま
可動電極を移動させる必要があり、このため、軸受１７
と可動リード１８′の寸法公差を厳しくする必要があ
る。公差が緩いと、可動リードと軸受の摺動部が円筒状
電極板と離れた位置（下側）にあるので、可動リードと
軸受とのわずかな間隙でも、可動側の円筒状電極板の傾
きは大きくなり、静電容量および耐電圧特性が不安定な
ものとなる。
間隔は狭いため、非接触で、且つ平行状態を保ったまま
可動電極を移動させる必要があり、このため、軸受１７
と可動リード１８′の寸法公差を厳しくする必要があ
る。公差が緩いと、可動リードと軸受の摺動部が円筒状
電極板と離れた位置（下側）にあるので、可動リードと
軸受とのわずかな間隙でも、可動側の円筒状電極板の傾
きは大きくなり、静電容量および耐電圧特性が不安定な
ものとなる。
【０００９】そこで、可動リードと軸受との摺動部の公
差を厳しくすると、この摺動部は大気中にあるため、塵
や埃等の浸入により、摺動性が阻害される、という問題
があり、本願の出願人は、図５に示すように、固定電極
取付導体１３の固定電極軸心部にガイドピン１（又はガ
イド部５）および可動電極取付導体１８の可動電極軸心
部に、ガイドピンを挿入して案内するガイド部５（又は
ガイドピン１）を設けて上記の課題を解決した。
差を厳しくすると、この摺動部は大気中にあるため、塵
や埃等の浸入により、摺動性が阻害される、という問題
があり、本願の出願人は、図５に示すように、固定電極
取付導体１３の固定電極軸心部にガイドピン１（又はガ
イド部５）および可動電極取付導体１８の可動電極軸心
部に、ガイドピンを挿入して案内するガイド部５（又は
ガイドピン１）を設けて上記の課題を解決した。
【００１０】即ち、固定電極取付導体１３の内側で円筒
状電極板Ｆ1〜Ｆnの同心部に、円筒状電極板の軸線に沿
ってガイドピン１を設けるとともに、可動電極取付導体
１８側にこのガイドピン１を挿入するガイドピン挿入孔
を有するガイド部５を設け、該ガイドピン挿入孔に電気
的絶縁を保ってガイドピンを摺動自在に挿入し、前記可
動電極をガイドピンで案内して移動させるようになし、
固定側の円筒状電極板と一定間隔を保ちながら、可動側
の円筒状電極板を移動させ、可動リードの傾きに起因す
る耐電圧、静電容量の不安定さをなくしたものである。
状電極板Ｆ1〜Ｆnの同心部に、円筒状電極板の軸線に沿
ってガイドピン１を設けるとともに、可動電極取付導体
１８側にこのガイドピン１を挿入するガイドピン挿入孔
を有するガイド部５を設け、該ガイドピン挿入孔に電気
的絶縁を保ってガイドピンを摺動自在に挿入し、前記可
動電極をガイドピンで案内して移動させるようになし、
固定側の円筒状電極板と一定間隔を保ちながら、可動側
の円筒状電極板を移動させ、可動リードの傾きに起因す
る耐電圧、静電容量の不安定さをなくしたものである。
【００１１】なお、固定電極１５と可動電極１６とは電
気的に絶縁されなければならないので、ガイドピン１と
ガイド部５とは電気的に絶縁されなければならないがこ
の絶縁手段は、摺動の円滑性を阻害しないように行う必
要がある。それにはガイドピン１およびガイド部５のい
ずれか一方を絶縁材料で構成する必要がある。摺動性の
円滑を保つためにガイドピン１をセラミック、特にアル
ミナによるセラミックで形成し、ガイド部５をリン青銅
で形成することを好適とし、また、ガイドピン１を金属
性にし、その表面に滑性の優れたナイロン樹脂をコーテ
ィングしても絶縁を保ちながら円滑な摺動を確保するこ
とができる。
気的に絶縁されなければならないので、ガイドピン１と
ガイド部５とは電気的に絶縁されなければならないがこ
の絶縁手段は、摺動の円滑性を阻害しないように行う必
要がある。それにはガイドピン１およびガイド部５のい
ずれか一方を絶縁材料で構成する必要がある。摺動性の
円滑を保つためにガイドピン１をセラミック、特にアル
ミナによるセラミックで形成し、ガイド部５をリン青銅
で形成することを好適とし、また、ガイドピン１を金属
性にし、その表面に滑性の優れたナイロン樹脂をコーテ
ィングしても絶縁を保ちながら円滑な摺動を確保するこ
とができる。
【００１２】図５は静電容量調整手段２０を設けた例の
断面図で、該静電容量調整手段２０は、可動リードの自
由端２ａ側に穿設されたねじ部２ｃと、このねじ部２ｃ
に螺合するねじ部２３ａを有する静電容量調整ねじ２３
と、一端側が可動側端板１４に取り付けられた静電容量
調整用のねじ受部２１とにより構成され、このねじ受部
２１の他端側にスラストベアリング２２を介して回転自
在に静電容量調整ねじ２３を取り付ける。２３ｂは調整
ねじ２３の操作部で、この操作部２３ｂを手動又はモー
タ等で回転して可動リード２を介して可動電極１６を上
下に移動する。
断面図で、該静電容量調整手段２０は、可動リードの自
由端２ａ側に穿設されたねじ部２ｃと、このねじ部２ｃ
に螺合するねじ部２３ａを有する静電容量調整ねじ２３
と、一端側が可動側端板１４に取り付けられた静電容量
調整用のねじ受部２１とにより構成され、このねじ受部
２１の他端側にスラストベアリング２２を介して回転自
在に静電容量調整ねじ２３を取り付ける。２３ｂは調整
ねじ２３の操作部で、この操作部２３ｂを手動又はモー
タ等で回転して可動リード２を介して可動電極１６を上
下に移動する。
【００１３】なお、ガイドピン１とガイド部５の摺動面
には、一方にキー、他方にキー溝を設けて可動リード２
が回動不能で上下方向にのみ移動できるようにしてあ
る。
には、一方にキー、他方にキー溝を設けて可動リード２
が回動不能で上下方向にのみ移動できるようにしてあ
る。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】図５のように円筒状電
極板Ｍ1〜Ｍnを取り付けた可動電極取付導体１８を、真
空容器の中の円筒電極板の中心部に設けた案内ガイドピ
ンで案内して移動させるので、可動電極１６は可動リー
ド２の軸線方向に正確に移動し得るとともに、この案内
部は真空容器内にあるため塵や埃等の侵入は無く摺動性
も阻害されることがない等の優れた効果を発揮する。
極板Ｍ1〜Ｍnを取り付けた可動電極取付導体１８を、真
空容器の中の円筒電極板の中心部に設けた案内ガイドピ
ンで案内して移動させるので、可動電極１６は可動リー
ド２の軸線方向に正確に移動し得るとともに、この案内
部は真空容器内にあるため塵や埃等の侵入は無く摺動性
も阻害されることがない等の優れた効果を発揮する。
【００１５】この真空コンデンサを使用する場合は、固
定電極導体１３と可動側端板１４に、固定側の外部接続
導体３０および可動側の外部接続導体３１を夫々取り付
けてこの外部接続導体３０，３１を外部回路（図示省
略）に接続し、高周波電圧を印加する。真空コンデンサ
に高周波電圧が印加されると、高周波電流ＩC1，ＩC2が
矢印のように流れる。この高周波電流により真空コンデ
ンサは発熱し、表面温度は後述する図３のように加熱さ
れる。
定電極導体１３と可動側端板１４に、固定側の外部接続
導体３０および可動側の外部接続導体３１を夫々取り付
けてこの外部接続導体３０，３１を外部回路（図示省
略）に接続し、高周波電圧を印加する。真空コンデンサ
に高周波電圧が印加されると、高周波電流ＩC1，ＩC2が
矢印のように流れる。この高周波電流により真空コンデ
ンサは発熱し、表面温度は後述する図３のように加熱さ
れる。
【００１６】特に、通電路が長く、且つ通電する部分の
断面積が小さいベローズ１９の部分の発熱が大きくな
る。このベローズ１９の部分が発熱すると、ベローズの
寿命を短くし、且つその熱の輻射ｈにより、熱は可動リ
ード２に伝わり、それに連結する調整ねじ２３が加熱
し、更に外部操作用のモータと連結する絶縁性のカップ
リングを熱的に破壊してしまうという課題が発生した。
断面積が小さいベローズ１９の部分の発熱が大きくな
る。このベローズ１９の部分が発熱すると、ベローズの
寿命を短くし、且つその熱の輻射ｈにより、熱は可動リ
ード２に伝わり、それに連結する調整ねじ２３が加熱
し、更に外部操作用のモータと連結する絶縁性のカップ
リングを熱的に破壊してしまうという課題が発生した。
【００１７】そこで、本発明はこの発熱による影響を低
減しベローズ部分および調整ねじ部分の機械的寿命を長
くした真空コンデンサを提供することを目的とする。
減しベローズ部分および調整ねじ部分の機械的寿命を長
くした真空コンデンサを提供することを目的とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】本発明において、上記の
課題を解決するための手段は、円筒部の一端側に固定側
の端板、他端側に可動側端板を有する真空容器と、該真
空容器内に、同心円状で径の異なる複数の円筒状電極板
を固定電極取付導体に同心状に取り付けて形成した固定
電極と、この固定電極の各円筒状電極板間に非接触状態
で挿出入できるように径の異なる複数の円筒状電極板を
可動電極取付導体に同心状に取り付けて形成した可動電
極と、該可動電極を前記真空容器の可動側端板の導出口
から外部に導出して円筒状電極板の軸線方向に移動させ
る可動リードと、該可動リードの外周側で前記可動側端
板の内側に設けられ、真空状態を保持した状態で可動リ
ードの移動を可能とするベローズとを備えた真空コンデ
ンサにおいて、前記可動電極取付導体および固定電極取
付導体の一方の円筒状電極板の中心部にガイドピンを、
他方にガイドピンを挿入するガイドピン挿入孔を有する
ガイド部を設け、該ガイドピン挿入孔に電気的絶縁を保
ってガイドピンを摺動自在に挿入し、前記可動電極を、
ガイドピンで案内して移動させるようにするとともに、
前記ベローズ内に位置する可動リードの外周に水冷パイ
プを配設して水冷パイプ内に冷却水を流し、ベローズか
らの輻射熱を吸収する。
課題を解決するための手段は、円筒部の一端側に固定側
の端板、他端側に可動側端板を有する真空容器と、該真
空容器内に、同心円状で径の異なる複数の円筒状電極板
を固定電極取付導体に同心状に取り付けて形成した固定
電極と、この固定電極の各円筒状電極板間に非接触状態
で挿出入できるように径の異なる複数の円筒状電極板を
可動電極取付導体に同心状に取り付けて形成した可動電
極と、該可動電極を前記真空容器の可動側端板の導出口
から外部に導出して円筒状電極板の軸線方向に移動させ
る可動リードと、該可動リードの外周側で前記可動側端
板の内側に設けられ、真空状態を保持した状態で可動リ
ードの移動を可能とするベローズとを備えた真空コンデ
ンサにおいて、前記可動電極取付導体および固定電極取
付導体の一方の円筒状電極板の中心部にガイドピンを、
他方にガイドピンを挿入するガイドピン挿入孔を有する
ガイド部を設け、該ガイドピン挿入孔に電気的絶縁を保
ってガイドピンを摺動自在に挿入し、前記可動電極を、
ガイドピンで案内して移動させるようにするとともに、
前記ベローズ内に位置する可動リードの外周に水冷パイ
プを配設して水冷パイプ内に冷却水を流し、ベローズか
らの輻射熱を吸収する。
【００１９】前記水冷パイプは、可動リードの外周に螺
旋状に配設しその一部を可動側端板の導出口に固着して
可動側端板の熱を吸収させ、全体の温度上昇を抑える。
旋状に配設しその一部を可動側端板の導出口に固着して
可動側端板の熱を吸収させ、全体の温度上昇を抑える。
【００２０】また、真空容器の円筒部の外周にあってベ
ローズに対向する部分に水冷パイプを設けて、真空容器
の外周を冷却する。
ローズに対向する部分に水冷パイプを設けて、真空容器
の外周を冷却する。
【００２１】更に、可動リードの外周および円筒部の外
周の両方に水冷パイプを配設する、等、真空コンデンサ
の使用環境又は電流の大きさによって適宜選択する。
周の両方に水冷パイプを配設する、等、真空コンデンサ
の使用環境又は電流の大きさによって適宜選択する。
【００２２】
【作用】本発明は以上のように構成されているので、可
動リードを上下動させると、可動側の円筒状電極板を取
り付けた可動電極取付導体は、ガイド部のガイドピン挿
入孔に挿入されたガイドピンに案内されて可動リードの
軸線方向に移動する。
動リードを上下動させると、可動側の円筒状電極板を取
り付けた可動電極取付導体は、ガイド部のガイドピン挿
入孔に挿入されたガイドピンに案内されて可動リードの
軸線方向に移動する。
【００２３】このとき、可動電極取付導体を案内するガ
イド部およびガイドピンは固定側と可動側の円筒状電極
板の内部の中心位置に設けてあるので、可動リードの移
動時に、可動リードの自由端側が少々傾いても、可動側
の円筒状電極板は傾くことなく軸線に平行に移動する。
イド部およびガイドピンは固定側と可動側の円筒状電極
板の内部の中心位置に設けてあるので、可動リードの移
動時に、可動リードの自由端側が少々傾いても、可動側
の円筒状電極板は傾くことなく軸線に平行に移動する。
【００２４】また、高周波電流がベローズを流れてベロ
ーズが発熱しても、その輻射熱は、水冷パイプで吸収さ
れ、真空コンデンサの温度上昇は抑えられる。
ーズが発熱しても、その輻射熱は、水冷パイプで吸収さ
れ、真空コンデンサの温度上昇は抑えられる。
【００２５】そして、ガイドピンとガイド部で形成する
案内部は、可動および固定電極の中心部に設けてあるの
で、可動側端板で案内する必要がないため、可動側端板
に大きな導出口を設けることができ、この部分に水冷パ
イプを設けることが可能となる。
案内部は、可動および固定電極の中心部に設けてあるの
で、可動側端板で案内する必要がないため、可動側端板
に大きな導出口を設けることができ、この部分に水冷パ
イプを設けることが可能となる。
【００２６】
【実施例】以下、本発明を図面に示す一実施例に基づい
て説明する。図１は本発明の一実施例の真空コンデンサ
の断面図である。なお、図５，図６と同一部分又は相当
部分には、これと同じ符号を付して説明を省略する。
て説明する。図１は本発明の一実施例の真空コンデンサ
の断面図である。なお、図５，図６と同一部分又は相当
部分には、これと同じ符号を付して説明を省略する。
【００２７】しかして、Ｐ0は水冷パイプで、該水冷パ
イプＰ0は、ベローズ１９の大気側（内側）で、かつ可
動リード２の外周部に螺旋状に配設する。そして、可動
側端板１４の導出口１４′から外部に出る部分を可動端
板１４に密着固定する。
イプＰ0は、ベローズ１９の大気側（内側）で、かつ可
動リード２の外周部に螺旋状に配設する。そして、可動
側端板１４の導出口１４′から外部に出る部分を可動端
板１４に密着固定する。
【００２８】このように水冷パイプＰ0を設け、この水
冷パイプ内に冷却水を流通させることにより、ベローズ
１９の熱は水冷パイプＰ0に輻射で伝わり、その熱が水
冷されるので、可動リード２への輻射熱は大幅に低減さ
れ、可動リードの自由端側に有する静電容量調整手段２
０へ伝わる熱は極端に低減される。
冷パイプ内に冷却水を流通させることにより、ベローズ
１９の熱は水冷パイプＰ0に輻射で伝わり、その熱が水
冷されるので、可動リード２への輻射熱は大幅に低減さ
れ、可動リードの自由端側に有する静電容量調整手段２
０へ伝わる熱は極端に低減される。
【００２９】また、水冷パイプＰ0を可動側端板１４に
密着固定することにより、可動側端板１４および真空コ
ンデンサの円筒部を形成する円筒管１１ｂの熱もこの水
冷パイプＰ0により吸収される。
密着固定することにより、可動側端板１４および真空コ
ンデンサの円筒部を形成する円筒管１１ｂの熱もこの水
冷パイプＰ0により吸収される。
【００３０】図２は本発明の他の実施例で、水冷パイプ
Ｐ0を真空容器の円筒管１１ｂの外周に螺旋状に配設し
たものである。この実施例によれば、真空コンデンサの
表面温度が著しく低減される。
Ｐ0を真空容器の円筒管１１ｂの外周に螺旋状に配設し
たものである。この実施例によれば、真空コンデンサの
表面温度が著しく低減される。
【００３１】なお、図１および図２は、図５と同様の静
電容量調整手段２０を有するが、これを省略してある。
電容量調整手段２０を有するが、これを省略してある。
【００３２】図３は、通電電流−表面温度特性図で、横
軸に通電電流Ｉ(A)，縦軸に表面温度Ｔ（℃）を採った
ものである。なお、通電電流の周波数は１３．５６ＭＨ
ｚによる。
軸に通電電流Ｉ(A)，縦軸に表面温度Ｔ（℃）を採った
ものである。なお、通電電流の周波数は１３．５６ＭＨ
ｚによる。
【００３３】同図においてＡ曲線は図５の水冷パイプの
無い真空コンデンサの円筒管１１ｂの表面温度、Ｂ曲線
は、ねじ操作部２３ｂ部分の温度を示し、ＣおよびＤ曲
線は、夫々水冷パイプをベローズ１９と可動リード２の
間に配設した場合の円筒管１１ｂの外周、およびねじ操
作部２３ｂの温度を示し、Ｃ′，Ｄ′曲線は、水冷パイ
プを円筒管１１ｂの外周に配設した場合の円筒管１１ｂ
の外周および操作部２３ｂの温度を夫々示している。
無い真空コンデンサの円筒管１１ｂの表面温度、Ｂ曲線
は、ねじ操作部２３ｂ部分の温度を示し、ＣおよびＤ曲
線は、夫々水冷パイプをベローズ１９と可動リード２の
間に配設した場合の円筒管１１ｂの外周、およびねじ操
作部２３ｂの温度を示し、Ｃ′，Ｄ′曲線は、水冷パイ
プを円筒管１１ｂの外周に配設した場合の円筒管１１ｂ
の外周および操作部２３ｂの温度を夫々示している。
【００３４】この図３から明らかなように、本発明にお
いては、円筒管１１ｂの表面温度がＡ曲線からＣ又は
Ｃ′曲線のように低減され、また、ねじ操作部２３ｂの
温度も、Ｂ曲線からＤ又はＤ′曲線に低減される。ま
た、水冷しないときのＡ曲線とＢ曲線の差より、本発明
のＣ曲線とＤ曲線との差が少なく、円筒管１１ｂとねじ
操作部２３ｂの温度差も少なくなる。水冷パイプを円筒
管１１ｂの外周に設けた場合は、この温度差は拡大され
るが、円筒管１１ｂの表面温度は最も低くなる。このこ
とから、ベローズ１９の内側と円筒管１１ｂの外周の両
方に水冷パイプを設ければ、真空コンデンサ全体の温度
上昇を抑えることが可能となる。従って、使用環境、容
量（発熱の度合）等により、図１又は図２の方法、ある
いは図１と図２を併用する等適宜選択して使用すること
ができる。
いては、円筒管１１ｂの表面温度がＡ曲線からＣ又は
Ｃ′曲線のように低減され、また、ねじ操作部２３ｂの
温度も、Ｂ曲線からＤ又はＤ′曲線に低減される。ま
た、水冷しないときのＡ曲線とＢ曲線の差より、本発明
のＣ曲線とＤ曲線との差が少なく、円筒管１１ｂとねじ
操作部２３ｂの温度差も少なくなる。水冷パイプを円筒
管１１ｂの外周に設けた場合は、この温度差は拡大され
るが、円筒管１１ｂの表面温度は最も低くなる。このこ
とから、ベローズ１９の内側と円筒管１１ｂの外周の両
方に水冷パイプを設ければ、真空コンデンサ全体の温度
上昇を抑えることが可能となる。従って、使用環境、容
量（発熱の度合）等により、図１又は図２の方法、ある
いは図１と図２を併用する等適宜選択して使用すること
ができる。
【００３５】なお、図１および図２の実施例においては
ガイドピン１を固定電極取付導体１３側に、ガイド部５
を可動電極取付導体１８側に設けた場合であるが、これ
と逆にガイド部５を固定電極取付導体１３側に、ガイド
ピン１を可動電極取付導体１８側に取り付けても同様の
作用、効果が得られることは勿論である。
ガイドピン１を固定電極取付導体１３側に、ガイド部５
を可動電極取付導体１８側に設けた場合であるが、これ
と逆にガイド部５を固定電極取付導体１３側に、ガイド
ピン１を可動電極取付導体１８側に取り付けても同様の
作用、効果が得られることは勿論である。
【００３６】
【発明の効果】以上のように本発明は、ベローズの発熱
による熱の輻射を水冷パイプで吸収するようにしたの
で、 （１）ベローズ部分の著しい加熱が防止され、高温によ
るベローズの機械的寿命の劣化を防止でき、真空コンデ
ンサの信頼性が向上する。
による熱の輻射を水冷パイプで吸収するようにしたの
で、 （１）ベローズ部分の著しい加熱が防止され、高温によ
るベローズの機械的寿命の劣化を防止でき、真空コンデ
ンサの信頼性が向上する。
【００３７】（２）ベローズ部分からの輻射熱を低減す
ることにより、ねじ操作部の著しい加熱が防止され、従
来のように、外部の操作用モータと連結する絶縁性のカ
ップリングを熱的に破壊することを防止できる。
ることにより、ねじ操作部の著しい加熱が防止され、従
来のように、外部の操作用モータと連結する絶縁性のカ
ップリングを熱的に破壊することを防止できる。
【００３８】（３）許容温度からみて、従来の真空コン
デンサより大電流の通電が可能となる。
デンサより大電流の通電が可能となる。
【００３９】等の効果を奏する。
【図１】本発明の一実施例の断面図。
【図２】本発明の他の実施例の断面図。
【図３】通電電流−表面温度特性図。
【図４】本発明を説明するための真空コンデンサの断面
図。
図。
【図５】真空コンデンサの基本構成の断面図。
１…ガイドピン
２…可動リード
２ａ…自由端部
５…ガイド部
３…ガイド挿入孔
１０…真空容器
１１ａ，１１ｂ…円筒管
１３…固定電極取付導体
１４…可動側端板
１４′…導出口
１５…固定電極
１６…可動電極
１８…可動電極取付導体
２０…静電容量調整手段
２１…ねじ受部
２３…調整ねじ
２３ａ…ねじ部
２３ｂ…操作部
３０，３１…外部接続導体
Ｐ0…水冷パイプ
Claims (4)
- 【請求項１】 円筒部の一端側に固定側端板、他端側に
可動側端板を有する真空容器と、該真空容器内に、同心
円状で径の異なる複数の円筒状電極板を固定電極取付導
体に同心状に取り付けて形成した固定電極と、この固定
電極の各円筒状電極板間に非接触状態で挿出入できるよ
うに径の異なる複数の円筒状電極板を可動電極取付導体
に同心状に取り付けて形成した可動電極と、該可動電極
を前記真空容器の可動側端板の導出口から外部に導出し
て円筒状電極板の軸線方向に移動させる可動リードと、
該可動リードの外周側で前記可動側端板の内側に設けら
れ、真空状態を保持した状態で可動リードの移動を可能
とするベローズとを備えた真空コンデンサにおいて、 前記可動電極取付導体および固定電極取付導体のいずれ
か一方の円筒状電極板の中心部にガイドピンを、他方に
ガイドピンを挿入するガイドピン挿入孔を有するガイド
部を設け、該ガイドピン挿入孔に電気的絶縁を保ってガ
イドピンを摺動自在に挿入し、前記可動電極をガイドピ
ンで案内して移動させるようにするとともに、前記ベロ
ーズ内に位置する可動リードの外周に水冷パイプを配設
したことを特徴とする真空コンデンサ。 - 【請求項２】 前記水冷パイプは、可動リードの外周に
螺旋状に配設しその一部を可動側端板の導出口に密着固
着したことを特徴とする請求項１記載の真空コンデン
サ。 - 【請求項３】 円筒部の一端側に固定側端板、他端側に
可動側端板を有する真空容器と、該真空容器内に、同心
円状で径の異なる複数の円筒状電極板を固定電極取付導
体に同心状に取り付けて形成した固定電極と、この固定
電極の各円筒状電極板間に非接触状態で挿出入できるよ
うに径の異なる複数の円筒状電極板を可動電極取付導体
に同心状に取り付けて形成した可動電極と、該可動電極
を前記真空容器の可動側端板の導出口から外部に導出し
て円筒状電極板の軸線方向に移動させる可動リードと、
該可動リードの外周側で前記可動側端板の内側に設けら
れ、真空状態を保持した状態で可動リードの移動を可能
とするベローズとを備えた真空コンデンサにおいて、 前記可動電極取付導体および固定電極取付導体の一方の
円筒状電極板の中心部にガイドピンを、他方にガイドピ
ンを挿入するガイドピン挿入孔を有するガイド部を設
け、該ガイドピン挿入孔に電気的絶縁を保ってガイドピ
ンを摺動自在に挿入し、前記可動電極をガイドピンで案
内して移動させるようにするとともに、前記真空容器の
円筒部の外周部であってベローズに対向する部分に水冷
パイプを螺旋状に配設したことを特徴とする真空コンデ
ンサ。 - 【請求項４】 円筒部の一端側に固定側端板、他端側に
可動側端板を有する真空容器と、該真空容器内に、同心
円状で径の異なる複数の円筒状電極板を固定電極取付導
体に同心状に取り付けて形成した固定電極と、この固定
電極の各円筒状電極板間に非接触状態で挿出入できるよ
うに径の異なる複数の円筒状電極板を可動電極取付導体
に同心状に取り付けて形成した可動電極と、該可動電極
を前記真空容器の可動側端板の導出口から外部に導出し
て円筒状電極板の軸線方向に移動させる可動リードと、
該可動リードの外周側で前記可動側端板の内側に設けら
れ、真空状態を保持した状態で可動リードの移動を可能
とするベローズとを備えた真空コンデンサにおいて、 前記可動電極取付導体および固定電極取付導体の一方の
円筒状電極板の中心部にガイドピンを、他方にガイドピ
ンを挿入するガイドピン挿入孔を有するガイド部を設
け、該ガイドピン挿入孔に電気的絶縁を保ってガイドピ
ンを摺動自在に挿入し、前記可動電極をガイドピンで案
内して移動させるようにするとともに、前記ベローズ内
に位置する可動リードの外周およびベローズの外周に位
置する真空容器の円筒部の外周に水冷パイプを配設した
ことを特徴とする真空コンデンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22854494A JP3365078B2 (ja) | 1994-09-26 | 1994-09-26 | 真空コンデンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22854494A JP3365078B2 (ja) | 1994-09-26 | 1994-09-26 | 真空コンデンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0897084A JPH0897084A (ja) | 1996-04-12 |
| JP3365078B2 true JP3365078B2 (ja) | 2003-01-08 |
Family
ID=16878056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22854494A Expired - Fee Related JP3365078B2 (ja) | 1994-09-26 | 1994-09-26 | 真空コンデンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3365078B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE602007013299D1 (de) * | 2007-09-10 | 2011-04-28 | Comet Ag | Kühlsystem für einen variablen vakuumkondensator |
| JP2019009201A (ja) * | 2017-06-22 | 2019-01-17 | 株式会社明電舎 | コンデンサ |
-
1994
- 1994-09-26 JP JP22854494A patent/JP3365078B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0897084A (ja) | 1996-04-12 |
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