JPH08288179A - 可変空気コンデンサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 回動軸と接点との接触圧を高め、接触面積を
広くして接触不良を起こし難い可変空気コンデンサを得
ること。 【構成】 この発明の可変空気コンデンサ１Ａは、複数
枚の固定翼３と、長さ方向に大直径と小直径の回動軸と
が一体構造で垂直段差部４Ｃが構成された回動軸４の前
記大直径の回動軸４Ａに固定され、前記各固定翼３間で
回動する複数枚の回動翼５とでコンデンサを構成し、絶
縁性固定枠６の内面に密着し、その中央部から前記回動
軸４Ｂの挿入孔から一縁に開口した長溝７Ｃが形成され
た金属板部７Ａを一体的に形成された金属ベローズ７
と、この金属ベローズ７の金属板部７Ａを絶縁性固定枠
６の内面に当接、固定し、金属ベローズ７の端面７Ｄを
前記一体構成の回動軸の垂直段差部４Ｃに接触させるよ
うに挿入して構成している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば、ドライエッ
チング装置、スパッタリング装置のような半導体装置を
製造する時に使用される高周波整合器を備えた半導体製
造装置、一般のラジオ送受信機などの無線機器など電
気、電子機器に用いられる可変空気コンデンサの改良に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】現在、一般に使用されている可変空気コ
ンデンサの一例を図を用いて説明する。図４は現用の可
変空気コンデンサの一部側面図であり、そして図５は図
４に示した可変空気コンデンサを構成する接点を示して
いて、同図Ａはその平面図、同図Ｂは同図ＡのＢ−Ｂ線
上における断面側面図である。

【０００３】符号１は全体として現用の可変空気コンデ
ンサを指す。この可変空気コンデンサ１は複数の支持部
材２に所定の間隔を開けて配列された複数枚の固定翼３
と、長さ方向に、大直径の回動軸４Ａとこの大直径の回
動軸４Ａの回動中心を同一にし、その長手方向に対して
垂直な段差部４Ｃが形成されて小直径の回動軸４Ｂとが
一体構造で構成された回動軸４と、前記大直径の回動軸
４Ａに所定の間隔で固定され、前記各固定翼３間で回動
する複数枚の回動翼５と、前記複数の支持部材２の両端
部と前記一体構成の回動軸４の両端部を支持する絶縁性
固定枠６と、図５に示したように、この絶縁性固定枠６
の一部内面に、両端部７０Ａ、７０Ｂが接触し、同図Ａ
に示したように、その中央部のほぼ上端部から前記小直
径の回動軸４Ｂが挿入でき、その下端部に開口した長溝
７０Ｃが形成され、そして弓なりに膨出した膨出部７０
Ｄが形成された短冊形の薄い金属性板バネ７０と、この
金属性板バネ７０の両端部７０Ａ、７０Ｂを前記絶縁性
固定枠６の上下内面に当接させ、前記膨出部７０Ｄを前
記一体構成の回動軸４の垂直段差部４Ｃに接触させるよ
うに挿入して、金属性板バネ７０の弾性力で前記一体構
成の回動軸４の長手方向へのがたつきを防止するように
構成されている。

【０００４】なお、符号７０Ｅは金属性板バネ７０の端
部７０Ａに形成された電気端子孔であって、絶縁性固定
枠６に端部７０Ａを当て、電気端子８Ａを挿入して、絶
縁性固定枠６と端部７０Ａとをナット１０で締めつけ、
金属性板バネ７０の上端部と前記電気端子８Ａとを固定
している。符号８Ｂは一つの前記支持部材２の両端（図
４では一端しか図示していない）に形成した一方の雌ね
じ付き小直径の電気端子を指し、この雌ねじ付き電気端
子８Ｂを絶縁性固定枠６に挿入し、そしてナット１０を
挿入して、絶縁性固定枠６と図示していないこの絶縁性
固定枠６と対をなす絶縁性固定枠とを締めつけ、固定し
ている。また、符号９は前記固定翼３を支持している複
数の支持部材２とは異なる支持部材を指し、支持部材９
の端部に形成された雌ねじ９Ａを絶縁性固定枠６に貫通
して突出しているその雌ねじ９Ａにナット１０をねじ込
み、絶縁性固定枠６と図示していないこの絶縁性固定枠
６と対をなす絶縁性固定枠とを締めつけ、固定してい
る。

【０００５】このような構造の可変空気コンデンサ１を
用いる場合には、電気端子８Ａ及び８Ｂにリード線を接
続し、それらのリード線の他端を他の電子部品と接続す
るようにして電気、電子機器に組み込み、前記小直径の
回動軸４Ｂに摘子などを用いて、その回動軸４を回動さ
せることにより、静電容量を可変させることができるも
のである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この構
造の可変空気コンデンサ１は、回動軸４の前記垂直段差
部４Ｃに薄い金属性板バネ７０の膨出部７０Ｄのハッチ
ング部分７０Ｆ（図５Ａ）が常時接触しているだけであ
る。その為、 １．この接触は金属性板バネ７０の弾性力のみで、その
接触圧が弱く、接触不良が 発生し易い ２．回動軸４との接触面積がハッチング部分７０Ｅで示
したように狭く、このため による接触不良が更に発生
し易い ３．金属性板バネ７０が薄いため、経年変化が著しく、
寿命が短い などの問題点がある。従って、この発明は前記の各種問
題点を無くし、前記接触圧を高め、接触面積を高めて接
触不良を起こし難い可変空気コンデンサをを得ることを
目的とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】それ故、この発明の可変
空気コンデンサは、複数の支持部材に所定の間隔を開け
て配列された複数枚の固定翼と、長さ方向に大直径の回
動軸とこの大直径の回動軸の回動中心を同一にし、垂直
な段差が形成された小直径の回動軸とが一体構造で構成
された回動軸と、前記大直径の回動軸に所定の間隔で固
定され、前記各固定翼間で回動する複数枚の回動翼と、
前記複数の支持部材の両端部と前記一体構成の回動軸の
両端部を支持する絶縁性固定枠と、この絶縁性固定枠の
内面に密着し、その中央部から前記小直径の回動軸の挿
入孔とこの挿入孔から一縁に開口した長溝が形成された
四辺形の金属板部を一体的に形成された金属ベローズ
と、この金属ベローズの前記金属板部を前記絶縁性固定
枠の内面に当接、固定し、金属ベローズの端面を前記一
体構成の回動軸の垂直段差面に接触させるように挿入し
て構成し、前記課題を解決している。

【０００８】

【作用】従って、この発明では、金属ベローズを用いた
ことにより、この金属ベローズと回動軸の垂直段差部と
の接触圧が飛躍的に向上し、また、接触面積が広く取れ
るため、接触不良が発生し難い。

【０００９】

【実施例】次に、図を用いて、この発明の可変空気コン
デンサを説明する。図１はこの発明の実施例である可変
空気コンデンサの側面図であり、図２は図１に示した可
変空気コンデンサを構成する接点である金属ベローズを
示していて、同図Ａはその正面図、同図Ｂは同図Ａにお
けるＢ−Ｂ線上における断面側面図であり、そして図３
は図２に示した金属ベローズの一製造方法を説明するた
めの製造工程図である。なお、現用の可変空気コンデン
サ１の構成部分と同一の部分には同一の符号を付して、
それらの構成及び動作の説明を省略する。

【００１０】先ず、図１及び図２を用いて、この発明の
可変空気コンデンサを説明する。符号１は全体としてこ
の発明の可変空気コンデンサ１Ａを指す。この可変空気
コンデンサ１Ａは、前記従来の可変空気コンデンサ１に
用いられている金属性板バネ７の代わりに、金属ベロー
ズ７を用いた。

【００１１】この金属ベローズ７は、図２に示したよう
に、絶縁性固定枠６の内面に密着し、その中央部に前記
小直径の回動軸４Ｂが挿入でき、その中央部から一縁に
開口した長溝７Ｃが形成されている四辺形の金属板部７
Ａと端面７Ｄが平面で構成された金属ベローズ部７Ｂと
が一体的に形成されて構成されている。なお、符号７Ｅ
は従来技術の金属性板バネ７０の端部７０Ａに形成され
た端子孔７０Ｅに相当する端子孔７Ｅである。

【００１２】この発明の可変空気コンデンサ１Ａにおい
ては、この金属ベローズ７がその金属板部７Ａを前記絶
縁性固定枠６の内面に当接し、金属ベローズ部７Ｂの端
面７Ｄを前記回動軸４の垂直段差部４Ｃに接触させるよ
うに挿入して、金属ベローズ部７Ｂの弾性力で回動軸４
を、その長手方向へ押圧するようにし、回動軸４の長手
方向のがたつきを防止するようにしている。また、前記
垂直段差部４Ｃに金属ベローズ部７Ｂの端面７Ｄが接触
する接触面積が、図２Ａにハッチング７Ｆを施して示し
たように、従来技術の可変空気コンデンサ１の金属性板
バネ７に見受けられたハッチング部分７０Ｆの接触面積
より広くすることができ、それだけ電気接触を確実にで
きるようになった。

【００１３】このような構造の金属ベローズ７は図３に
示したような工程を経て製造することができる。一般的
なベローズの製造方法は、イーグル工業株式会社が発行
した講習会資料「金属ベローズについて」（１９９４年
８月）に詳細に記載されているので、ここでは簡単に説
明する。

【００１４】先ず、図３Ａに示した工程で、アルミニウ
ムなどで前記金属ベローズ７の形状の凹凸が形成された
マンドレル（中子）２０と呼ばれる母型を製作する。な
お、いずれの工程図にも下半分のマンドレルを省略して
図示した。

【００１５】次に、図３Ｂに示したように、前記マンド
レル２０の表面を脱脂する前処理を施し、そして例え
ば、銅とニッケルの下地メッキを施し、更にその表面
に、例えば、銅の本メッキを施して、例えば、厚さ０．
５ｍｍ程度の金属メッキ層２１を形成する。

【００１６】そして次の工程（図３Ｃ）で、前記金属メ
ッキ層２１の不要な部分を鏨（たがね）などを用いてト
リミング加工を施した後、図３Ｄに示したように、内部
のマンドレル２０を溶解する。残った前記金属メッキ層
２１が金属ベローズ７である。このような加工を施すこ
とで前記一体的な金属ベローズ７が得られる。また、前
記金属板部７Ａと金属ベローズ部７Ｂとを別体で製作
し、両者を溶着して金属ベローズ７を製作するようにし
てもよい。

【００１７】

【発明の効果】以上、説明したように、この発明の可変
空気コンデンサは、金属ベローズ７を用いたことによ
り、前記回動軸４の垂直段差部４Ｃに対する圧接力が飛
躍的に向上する。また、回動軸４の前記垂直段差部４Ｃ
に金属ベローズ部７Ｂの平面である端面７Ｄが接触し、
この接触する接触面積が、従来技術の可変空気コンデン
サ１の金属性板バネ７に見受けられた接触面積より広く
取ることができるので、それだけ電気接触を確実にでき
る。更にまた、前記垂直段差部４Ｃと接触する金属ベロ
ーズ７の端面７Ｄの厚みを厚くメッキすることにより、
磨耗に対する長寿命化を計ることができる。そして更に
また、この発明の金属ベローズ７には長溝７Ｃを形成し
てあるために、金属ベローズ７が磨耗などで劣化した場
合に、前記電気端子８Ｂのナット１０を外すだけで金属
ベローズ７の交換を行うことができ、再度可変空気コン
デンサとして利用できるなど優れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施例である可変空気コンデンサ
の側面図である。

【図２】 図１に示した可変空気コンデンサを構成する
接点である金属ベローズを示していて、同図Ａはその正
面図、同図Ｂは同図ＡにおけるＢ−Ｂ線上における断面
側面図である。

【図３】 図２に示した金属ベローズの一製造方法を説
明するための製造工程図である。

【図４】 現用の可変空気コンデンサの一部側面図であ
る。

【図５】 図４に示した可変空気コンデンサを構成する
接点を示していて、同図Ａはその平面図、同図Ｂは同図
ＡのＢ−Ｂ線上における断面側面図である。

【符号の説明】

１Ａ 本発明の可変空気コンデンサ ２ 支持部材 ３ 固定翼 ４ 回動軸 ４Ａ 大直径の回動軸 ４Ｂ 小直径の回動軸 ５ 回動翼 ６ 絶縁性固定枠 ７ 金属ベローズ ７Ａ 金属板部 ７Ｂ 金属ベローズ部 ７Ｃ 長溝 ７Ｄ 金属ベローズ部７Ｂの端面 ７Ｅ 端子孔 ７Ｆ 回動軸４の垂直段差部４Ｃの接触部分 ８Ａ 電気端子 ８Ｂ 電気端子 ９ 支持部材 ２０ マンドレル ２１ 金属メッキ層

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の支持部材に所定の間隔を開けて配
   列された複数枚の固定翼と、長さ方向に大直径の回動軸
   と該回動軸の回動中心を同一にし、垂直な段差が形成さ
   れた小直径の回動軸とが一体構造で構成された回動軸
   と、前記大直径の回動軸に所定の間隔で固定され、前記
   各固定翼間で回動する複数枚の回動翼と、前記複数の支
   持部材の両端部と前記一体構成の回動軸の両端部を支持
   する絶縁性固定枠と、該絶縁性固定枠の内面に密着し、
   その中央部から前記小直径の回動軸の挿入孔と該挿入孔
   から一縁に開口した長溝が形成された四辺形の金属板部
   を一体的に形成された金属ベローズと、該金属ベローズ
   の前記金属板部を前記絶縁性固定枠の内面に当接、固定
   し、金属ベローズの端面を前記一体構成の回動軸の垂直
   段差面に接触させるように装着して構成されていること
   を特徴とする可変空気コンデンサ。