CN103065791B - 一种用于匹配器设备的空气电容结构 - Google Patents

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杨进
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Abstract

本发明涉及等离子刻蚀、淀积设备技术领域，具体涉及一种用于匹配器设备的空气电容结构。所述空气电容结构，包括电容片和连接所述电容片的连接杆，所述连接杆上固定设有连接柱，所述连接柱将镀银线圈与所述连接杆连接。本发明通过在空气电容的连接杆上设置连接柱，在等离子体工艺中实现通过空气电容的大电流分布均匀，有利于提高电容耐电流的能力，提高电容的容量范围，直接提高空气电容使用寿命，提升了匹配性的可靠性能，增加了整机设备的使用寿命。

Description

一种用于匹配器设备的空气电容结构
技术领域
本发明涉及等离子刻蚀、淀积设备技术领域，具体涉及一种用于匹配器设备的空气电容结构。
背景技术
在刻蚀和淀积等等离子体工艺中，均需要匹配器设备，匹配器设备中的空气电容与镀银线圈的连接方式为镀银线圈的一端直接与空气电容连接杆上的最末端相连。由于功率以及负载腔体原因，很容易造成空气电容连接杆处烧黑烧坏的现象，难以保证匹配器设备的可靠性，使得匹配器设备的使用寿命不长。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于匹配器设备的空气电容结构，在等离子体工艺中实现通过空气电容的大电流分布均匀，提高空气电容耐电流的能力，直接提高空气电容使用寿命，提升了匹配器设备的可靠性。
为了达到上述目的，本发明采用的技术方案为：
一种用于匹配器设备的空气电容结构，包括电容片和连接所述电容片的连接杆，所述连接杆上固定设有连接柱，所述连接柱将镀银线圈与所述连接杆连接。
上述方案中，所述连接柱与所述连接杆为一整体。
上述方案中，所述连接柱位于所述空气电容结构的连接杆上除两端的任意位置。
上述方案中，所述连接柱的厚度与相邻两个电容片之间的间隙宽度相同。
上述方案中，所述连接柱的厚度为3mm，长度为15～40mm，高度为8mm。
上述方案中，所述连接孔上设有通孔，所述镀银线圈通过螺栓固定在所述通孔上。
上述方案中，所述通孔为圆形孔。
上述方案中，所述通孔直径为Ф2mm~Ф7mm。
上述方案中，所述连接柱材质为纯铝，与所述空气电容机构的材质一致。
与现有技术方案相比，本发明采用的技术方案产生的有益效果如下：
本发明通过在空气电容的连接杆上设置连接柱，在等离子体工艺中实现通过空气电容的大电流分布均匀，有利于提高电容耐电流的能力，提高电容的容量范围，直接提高空气电容使用寿命，提升了匹配性的可靠性能，增加了整机设备的使用寿命。
附图说明
图1为本发明实施例提供的空气电容结构的结构示意图；
图2为本发明实施例中连接柱的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的空气电容结构与镀银线圈直接连接的结构示意图。
图4为本发明实施例提供的空气电容结构与镀银线圈通过镀银线鼻子连接的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明技术方案进行详细描述。
如图1和图2所示，本发明实施例提供一种用于匹配器设备的空气电容结构，所述空气电容结构包括固定电容片1和连接各电容片1的连接杆2，连接杆2上固定设有与连接杆2材质相同的连接柱3。连接柱3可以位于空气电容结构的连接杆2上除连接杆2两端的任意位置，并与空气电容结构的连接杆2融为一体，材质为纯铝。连接柱3上设有一个用于和镀银线圈相连的圆形的螺丝通孔4，镀银线圈通过螺栓固定在通孔4上，通孔4直径为Ф2mm~Ф7mm。连接柱3的厚度与相邻两个电容片1之间的间隙宽度相同，具体地，连接柱3的尺寸为厚度X=3mm，长度Y=15～40mm，高度Z=8mm。
如图3所示，镀银线圈5的A端通过螺栓固定在接地空气电容的连接柱的通孔上，镀银线圈5的B端通过螺栓固定在绝缘空气电容的连接柱的通孔上。
如图4所示，在接地空气电容和绝缘空气电容的连接柱的通孔上用螺钉与螺母分别固定一个镀银线鼻子6，该线鼻子的孔径大小与镀银线圈5的外径有关，起固定作用。镀银线圈5的A端焊接在固定在接地空气电容的连接柱上的镀银线鼻子上，镀银线圈5的B端焊接在固定在绝缘空气电容的连接柱上的镀银线鼻子上。
本发明通过在空气电容的连接杆上设置连接柱，然后通过连接柱与镀银线圈连接，在等离子体工艺中实现通过空气电容的大电流分布均匀，有利于提高电容耐电流的能力，提高电容的容量范围，直接提高空气电容使用寿命，提升了匹配性的可靠性能，增加了整机设备的使用寿命。
以上所述为本发明的最优选实施例，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种用于匹配器设备的空气电容结构，其特征在于：包括电容片和连接所述电容片的连接杆，所述连接杆上固定设有连接柱，所述连接柱将镀银线圈与所述连接杆连接；所述连接柱与所述连接杆为一整体。
2.如权利要求1所述的用于匹配器设备的空气电容结构，其特征在于：所述连接柱位于所述空气电容结构的连接杆上除两端的任意位置。
3.如权利要求1所述的用于匹配器设备的空气电容结构，其特征在于：所述连接柱的厚度与相邻两个电容片之间的间隙宽度相同。
4.如权利要求1所述的用于匹配器设备的空气电容结构，其特征在于：所述连接柱的厚度为3mm，长度为15～40mm，高度为8mm。
5.如权利要求1所述的用于匹配器设备的空气电容结构，其特征在于：所述连接柱上设有通孔，所述镀银线圈通过螺栓固定在所述通孔上。
6.如权利要求5所述的用于匹配器设备的空气电容结构，其特征在于：所述通孔为圆形孔。
7.如权利要求5所述的用于匹配器设备的空气电容结构，其特征在于：所述通孔直径为Ф2mm～Ф7mm。
8.如权利要求1所述的用于匹配器设备的空气电容结构，其特征在于：所述连接柱材质为纯铝，与所述空气电容结构的材质一致。
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1426671A (zh) * 2000-02-24 2003-06-25 Ccr涂复技术有限责任公司 高频匹配网络
CN101919014A (zh) * 2007-11-20 2010-12-15 株式会社明电舍 真空电容器
CN102891660A (zh) * 2012-10-15 2013-01-23 中国科学院微电子研究所 一种射频阻抗匹配器

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1426671A (zh) * 2000-02-24 2003-06-25 Ccr涂复技术有限责任公司 高频匹配网络
CN101919014A (zh) * 2007-11-20 2010-12-15 株式会社明电舍 真空电容器
CN102891660A (zh) * 2012-10-15 2013-01-23 中国科学院微电子研究所 一种射频阻抗匹配器

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