JP2009129648A - 有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法および有機エレクトロルミネッセンス装置 - Google Patents

Abstract

【課題】均一な膜厚の機能性材料の膜を備え表示ムラのない高品質な有機ＥＬ装置の製造方法、及び有機ＥＬ装置を提供する。
【解決手段】基板上の第１電極の周囲を囲んで第１隔壁部１０を形成する工程と、第１隔壁部１０の周囲を囲んで、第１隔壁部１０と離間した第２隔壁部５０を形成する工程と、第１隔壁部１０の側壁と第１隔壁部１０に囲まれた領域の底面とで囲まれる部分を有効受容部１００Ａとし、有効受容部１００Ａに有機機能層７０の形成材料を含む機能液を配置し有機機能層７０を形成する工程と、を備え、互いに向き合う第１隔壁部１０の側壁と第２隔壁部５０の側壁及びこれらの間の領域の底面とで囲まれる部分を緩衝受容部２００とし、有機機能層７０を形成する工程では、機能液を、有効受容部１００Ａからあふれ出す量以上の量であって、且つ、有効受容部１００Ａの容積と緩衝受容部２００の容積とを合わせた量未満の量を配置することを特徴とする。
【選択図】図３

Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法および有機エレクトロルミネッセンス装置に関するものである。

近年、有機エレクトロルミネッセンス（以下、有機ＥＬ）素子の製造工程において、機能性材料を含む液状体（機能液）を所定の位置に配置し、所望の機能性材料の膜（機能膜）を形成する技術が活発に開発されている。数ある方法の中でも液滴吐出法を用いた製造方法では、用いるインクジェットヘッドの解像度に応じて微少な機能液を所望の位置に塗布することが可能である。そのため、微細なパターンを備えた機能膜の形成ができ、高解像度で高品質な有機ＥＬ装置とすることが可能である。

更に、液滴吐出法を用いた製造方法では、機能液を塗布する領域の周囲に隔壁（バンク）を設け、それぞれの機能液の配置箇所を区画することが提案されている。バンクを設けることで位置精度が向上する上に、塗布された機能液が他の領域に塗布される機能液と混ざり合うことを抑制し、確実なパターニングをすることが可能にもなる。

ところで、高品質な有機ＥＬ装置とするためには、機能膜を均一な膜厚に成膜することが重要となる。なぜなら、形成する機能膜の膜厚が均一でなくムラ（膜厚ムラ）を有していると、膜厚の違いにより発光量の差を生じ、輝度や色合いに違いが生まれる結果、表示不良（表示ムラ）が生じてしまうからである。

この膜厚ムラは様々な原因により生じる。原因のひとつとして、機能液の表面張力に起因して、機能液が塗布する領域で凝集してしまうということが挙げられる。そのため、例えば隔壁に周囲を囲まれた平面視矩形の領域にあっては、隅部分にあたる隔壁近傍に機能液が行き渡りにくいということが起こる。

この課題に対し、特許文献１では、有機ＥＬ素子に対応する画素電極の周囲に２層構造の隔壁を設ける方法を提案している。すなわち、画素電極を囲む第１隔壁と、第１隔壁上に形成される第２隔壁で構成される２層構造の隔壁とし、機能液を第１隔壁で囲まれた領域からあふれるまで配置することで、確実に第１隔壁で囲まれた領域に機能液を配置するという方法である。
特開２００５−３２６７９９号公報

この方法は、第１隔壁の上面にあふれた機能液が第１隔壁の上面に濡れ広がる際の表面張力を利用することで、第１隔壁に囲まれた領域の隅部分にまで確実に機能液を行き渡らせることを主旨としている。そのため、第１隔壁内に配置された機能液と、第１隔壁からあふれて第１隔壁上に濡れ広がる機能液とは連続して配置されている。したがって、第１隔壁に囲まれた領域では、余剰量の機能液が塗布されることとなる。

例えば図９に示すように、基板５００上の第１隔壁５１０と第２隔壁５２０と囲まれた領域に２種類の量Ｌａ，Ｌｂの機能液Ｌを塗布する場合について考える。その場合、第１隔壁５１０内は同じように隅々まで機能液で充填されていても、第１隔壁５１０の上面にあふれ出る機能液Ｌの量は制御されていないため、第１隔壁５１０に囲まれた領域に盛り上がる機能液Ｌの高さＨａ、Ｈｂが異なる。

また、第１隔壁５１０の上面にあふれ出る機能液Ｌの量が一定であったとしても、第１隔壁５１０の上面への機能液Ｌの濡れ広がりやすさ（親撥液性）が異なっても機能液Ｌの高さが異なる。例えば、第１隔壁５１０の上面にあふれ出た同量の機能液Ｌが、薄く広く濡れ広がるのか、該上面にはじかれて濡れ広がらず第１隔壁５１０の上面の周縁部で留まるのか、の違いによっても、配置した機能液Ｌの高さが異なる。これらのことから、特許文献１の方法によれば、第１隔壁５１０に囲まれた領域に形成される機能性材料の膜厚が異なってしまう。

また、液滴吐出法に特有の課題もある。すなわち、液滴吐出装置が有する吐出量誤差の影響により、機能液の塗布量が変化してしまうことである。液滴吐出装置を用いた液滴の吐出量は、一定のバラつきを有している。それは例えば、最小量を基準量とすると、最大で１０％程度多い量を吐出するほどのバラつきであることが多い。そのため、塗布量は常にこのバラつき分の差を有しており、この塗布量のバラつきに起因して、形成される膜厚が各所で異なる。その結果、膜厚ムラを生じ表示ムラの原因となってしまう。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、均一な膜厚の機能性材料の膜を備え表示ムラのない高品質な有機ＥＬ装置の製造方法、及び有機ＥＬ装置を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明にかかる第１の有機ＥＬ装置の製造方法は、第１電極と第２電極との間に有機機能層を挟持した発光素子を基板上に複数配設し、前記発光素子の周囲が隔壁層で囲まれてなる有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法であって、前記基板上の前記第１電極の周囲を囲んで、前記隔壁層が含む第１隔壁部を形成する工程と、前記第１隔壁部の周囲を囲んで、前記隔壁層が含む第２隔壁部を前記第１隔壁部と離間して形成する工程と、前記第１隔壁部の側壁と前記第１隔壁部に囲まれた領域の底面とで囲まれる部分を有効受容部とし、前記有効受容部に前記有機機能層の形成材料を含む機能液を配置し前記有機機能層を形成する工程と、を備え、互いに向き合う前記第１隔壁部の側壁と前記第２隔壁部の側壁及びこれらの間の領域の底面とで囲まれる部分を緩衝受容部とし、前記有機機能層を形成する工程では、前記機能液を、前記有効受容部からあふれ出す量以上の量であって、且つ、前記有効受容部の容積と前記緩衝受容部の容積とを合わせた量未満の量を配置することを特徴とする。

この方法によれば、機能液は少なくとも有効受容部を完全に満たす量が塗布される。そのため、配置される機能液の高さを第１隔壁部の高さで一定にそろえることが可能となり、いずれの有効受容部においても同じ膜厚の有機機能層を形成することができる。また、有効受容部からあふれた機能液は緩衝受容部に溜まり、第２隔壁部を乗り越えて漏れ出ることがない。そのため、隣接する有効受容部に塗布した機能液同士が混ざり合うことがない。更に、画素電極（第１電極）は第１隔壁部に囲まれた領域、つまり有効受容部に平面的に重なる領域にのみ配置されている。そのため、緩衝受容部に配置された有機機能層が発光することがなく、有効受容部に形成される有機機能層のみを発光させることができる。これらのことより、発光領域に形成される有機機能層の膜厚が均一で発光ムラのない有機ＥＬ装置を製造することができる。

本発明において「有効受容部からあふれ出す量」とは、配置した機能液が有効受容部と平面的に重なる領域に留まることが出来なくなる分量を指す。有効受容部のように周囲を壁面で囲まれ、液状物をためることができる枡状の箇所（受容部）に液状体を配置すると、該液状体が備える表面張力と配置箇所の表面自由エネルギーとの関係、いわゆる親撥液性により受容部の上部で盛り上がって配置される。配置する量が「受容部からあふれ出す量」を超えると、受容部の上部から液状体が流出しあふれ出すことになる。また「容積」とは、受容部の中を満たしうる分量である。受容部の側壁部の高さが一定しない場合には、最も低い頂面までに満たしうる分量のことを指す。したがって、「有効受容部からあふれ出す量」と「有効受容部の容積」とは、必ずしも一致しない分量となる。

また、本発明にかかる第２の有機ＥＬ装置の製造方法は、第１電極と第２電極との間に有機機能層を挟持した発光素子を基板上に複数配設し、前記発光素子の周囲が隔壁層で囲まれてなる有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法であって、前記基板上の前記第１電極の周囲を囲んで、前記隔壁層が含む第１隔壁部を形成する工程と、前記第１隔壁部の周囲を囲んで、前記隔壁層が含む第２隔壁部を、前記第１隔壁部の側壁面の一部と前記第２隔壁部の側壁面の一部とを当接させ形成する工程と、前記第１隔壁部の側壁と前記第１隔壁部に囲まれた領域の底面とで囲まれる部分を有効受容部とし、前記有効受容部に前記有機機能層の形成材料を含む機能液を配置し前記有機機能層を形成する工程と、を備え、互いに向き合う前記第１隔壁部の側壁と前記第２隔壁部の側壁及びこれらの間の領域の底面とで囲まれる部分を緩衝受容部とし、前記第２隔壁部を形成する工程では、少なくとも前記第１隔壁部と前記第２隔壁部との当接部では、前記第１隔壁部の高さを前記当接部での前記第２隔壁部よりも低く形成し、前記有機機能層を形成する工程では、前記機能液を、前記有効受容部からあふれ出す量以上の量であって、且つ、前記有効受容部の容積と前記緩衝受容部の容積とを合わせた量未満の量を配置することを特徴とする。

この方法によれば、第１隔壁部と第２隔壁部との側壁面同士の当接部では、第１隔壁部の高さを第２隔壁部よりも低く形成しているため、有効受容部に塗布した機能液の余剰分は第２隔壁部を乗り越えてもれ出ることなく、緩衝受容部に向かって流出する。そのため、隣接する有効受容部に塗布した機能液同士が混ざり合うことなく良好に塗布することができる。また、第１の製造方法の効果は共通に備える。したがって、発光領域に形成される有機機能層の膜厚が均一で発光ムラのない有機ＥＬ装置を製造することができる。

また、本発明においては、前記第１隔壁部を前記第２隔壁部よりも低く形成することが望ましい。
この方法によれば、機能液が第２隔壁部を乗り越えて漏れ出ることを確実に防ぐことができ、良好に有機機能層を形成することができる。また、第１隔壁部近傍と有効受容部の中央部との膜厚の差を小さくすることができるため、膜の平坦性を高め膜厚ムラを減らすことができる。

また、本発明においては前記機能液を配置する工程に先立って、前記隔壁層が含む単数または複数の第３隔壁部を形成し前記緩衝受容部を分割する工程を備え、前記第３隔壁部は、前記第１隔壁部以下の高さとすることが望ましい。
有効受容部からあふれ出た機能液は、第１隔壁部の側面を伝って緩衝受容部に垂れ下がり、濡れ広がる。この際、有効受容部に配置された機能液は、緩衝受容部にあふれ出た機能液の表面張力に引かれるため、緩衝受容部に向かって流動しやすい。機能液があふれ出る緩衝受容部が十分に広く大きいものとすると、緩衝受容部に濡れ広がる機能液の量が多くなるためにあふれ出る量が多くなりすぎ、かえって有効受容部に配置される機能液の量が減りすぎてしまうおそれがある。一方、緩衝受容部があまり狭く小さいものであるとすると、あふれ出る機能液で緩衝受容部がすぐに満たされるため、有効受容部に配置する機能液を高度に制御する必要に迫られる。しかし、この方法によれば、第３隔壁部を設けることで１つの緩衝受容部を狭く小さい複数の緩衝受容部に分割することができる。こうすると、あふれ出た機能液の濡れ広がりは狭い緩衝受容部に抑えられるため、機能液の流出を抑制することができる。また、第３隔壁部は第１隔壁部以下の高さに形成されているため、あふれ出た機能液が緩衝受容部を満たすと、機能液は第３隔壁部を乗り越え、隣接する緩衝受容部に流れ込む。その結果、有効受容部に配置された機能液の量を均一に保つことができ、膜厚ムラを減らすことが可能となる。

また本発明においては、前記機能液を配置する工程に先立って、前記緩衝受容部を分割する第３隔壁部を形成する工程を備え、前記第３隔壁部は、前記第１隔壁部以下の高さとすることが望ましい。
この方法によれば、隣接する隔壁層同士の配置間隔を狭くすることなく、更に小さい複数の緩衝受容部に分割することができる。その結果、有効受容部に配置された機能液の量を均一に保つことができ、膜厚ムラを減らすことが可能となる。

また本発明においては、前記隔壁層は、少なくとも表面が前記機能液に対して撥液性を示す撥液材料を用いて形成されていることが望ましい。
第１隔壁部が機能液に対して親液性を示す材料で形成していたとすると、配置される機能液は第１隔壁部に沿って濡れ広がりやすい。そのような場合には、有効受容部からは機能液があふれ出しやすく、また、あふれ出た機能液に引かれる機能液の流動が止まりにくいものとなる。しかし、この方法のように第１隔壁部を撥液材料で形成すれば、機能液は第１隔壁部の頂部ではじかれるため有効受容部からあふれ出しにくく、また、あふれ出す機能液の流動が止まりやすいものとなる。そのため、有効受容部により多くの機能液を容易に配置することができ、膜厚ムラが少なく厚い有機機能層を形成することができる。

本発明においては、前記機能液の配置は、液滴吐出法を用いて行うことが望ましい。
液滴吐出法は、微少な量の液滴を吐出可能であるが、使用する液滴吐出装置のノズル形状間の成形誤差に起因して液滴１滴あたりの吐出量に誤差を生じる。しかしこの方法によれば、誤差量に対応する液滴は緩衝受容部にあふれ出るため、使用する装置が原因となる塗布量の差を抑制することができる。そのため、表示ムラがなく且つ高解像度の有機ＥＬ装置を容易に製造することができる。

また、本発明にかかる第１の有機ＥＬ装置は、基板と、一対の電極間に有機機能層が挟持された複数の発光素子と、前記基板上に配設された前記発光素子の周囲を囲んで設けられた第１隔壁部と、前記基板上の前記第１隔壁部の周囲を囲んで前記第１隔壁部と離間して設けられた第２隔壁部と、を備えることを特徴とする。
この構成によれば、液状体を配置して有機機能層を形成する場合に均一な膜厚とすることができるため、表示ムラなく高品質な有機ＥＬ装置とすることができる。

本発明にかかる第２の有機ＥＬ装置は、基板と、第１電極と第２電極との間に有機機能層が挟持された複数の発光素子と、前記基板上に配設された前記発光素子の周囲を囲んで設けられた第１隔壁部と、前記基板上の前記第１隔壁部の周囲を囲んで設けられた第２隔壁部と、を備え、前記第１隔壁部の側壁面の一部と前記第２隔壁部の側壁面の一部とは当接しており、少なくとも前記第１隔壁部と前記第２隔壁部との当接部での前記第１隔壁部の高さが、前記当接部での前記第２隔壁部よりも低いことを特徴とする。
この構成によれば、液状体を配置して有機機能層を形成する場合に均一な膜厚とすることができるため、表示ムラなく高品質な有機ＥＬ装置とすることができる。

［第１実施形態］
以下、図１〜図３を参照しながら、本発明の第１実施形態に係る有機ＥＬ装置及びその製造方法について説明する。なお、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の膜厚や寸法の比率などは適宜異ならせてある。本実施形態では、有機ＥＬ装置１の製造に液滴吐出法を用いている。そのため、まず液滴吐出法について概要を説明した後に、本実施形態の有機ＥＬ装置の説明へと移る。

図１は、液滴吐出法に用いる装置（液滴吐出装置）が備える液滴吐出ヘッド３０１の断面図である。液滴吐出ヘッド３０１は、複数の吐出ノズルを備えたマルチノズルタイプの液滴吐出ヘッドである。複数の吐出ノズルは、液滴吐出ヘッド３０１の下面に一方向に並んで一定間隔で設けられている。液滴吐出ヘッド３０１の吐出ノズルからは、液状体の液滴Ｌが吐出される。本実施形態の液状体は、有機機能層の形成材料を含む機能液である。本実施形態で吐出する機能液の一滴の量は、例えば１〜３００ナノグラムである。

本実施形態では、液滴吐出ヘッド３０１には電気機械変換式の吐出技術を採用したものを用いる。本方式では、液状体を収容する液体室３２１に隣接してピエゾ素子３２２が設置されている。液体室３２１には、液状体を収容する材料タンクを含む液状体供給系３２３を介して液状体が供給される。ピエゾ素子３２２は駆動回路３２４に接続されており、この駆動回路３２４を介してピエゾ素子３２２に電圧を印加し、ピエゾ素子３２２を変形させることにより、液体室３２１が変形して内圧が高まり、ノズル３２５から液状体の液滴Ｌが吐出される。この場合、印加電圧の値を変化させることにより、ピエゾ素子３２２の歪み量を制御し、液状体の吐出量を制御する。

なお、液滴吐出法の吐出技術としては、上記の電気機械変換式の他に、帯電制御方式、加圧振動方式、電気熱変換方式、静電吸引方式などのものが挙げられ、これらのいずれの方式も好適に用いることができる。帯電制御方式は、材料に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で材料の飛翔方向を制御してノズルから吐出させるものである。加圧振動方式は、材料に例えば３０ｋｇ／ｃｍ^２程度の超高圧を印加してノズル先端側に材料を吐出させるものである。電気熱変換方式は、材料を貯留した空間内に設けたヒータにより、材料を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の材料をノズルから吐出させるものである。静電吸引方式は、材料を貯留した空間内に微小圧力を加え、ノズルに材料のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてノズル先端から材料を引き出すものである。この他にも、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式のものがあり、いずれも適用可能である。

次いで、図２には本実施形態で形成する有機ＥＬ装置１を示す。ここでは、説明を簡略化するために、有機ＥＬ装置１が備える有機ＥＬ素子のうち１つのみ図示している。実際には、有機ＥＬ装置１には図２に示す有機ＥＬ素子が複数配置されている。図２（ａ）には有機ＥＬ素子周辺の斜視図を、図２（ｂ）は同平面図を、図２（ｃ）は同断面図を示す。ここで図２（ｃ）は、図２（ｂ）のＡ−Ａの矢視断面図である。

ここで、有機ＥＬ装置には、有機ＥＬ素子が放つ光を有機ＥＬ素子が形成された基板側とは反対側から取り出すトップエミッション方式と、有機ＥＬ素子が形成された基板側から基板を介して取り出すボトムエミッション方式の２種類の発光方式がある。本発明はこのどちらの方式に適用しても良好な結果が得られるため、以下の説明においては形成材料などに限定があるものを除き、発光方式に限定をせずに記載する。

まず図２（ａ）に示すように、本実施形態の有機ＥＬ装置１は、有機ＥＬ素子９０と、有機ＥＬ素子９０の周囲に配置された第１隔壁部１０と、第１隔壁部１０の周囲に第１隔壁部１０と離間して形成された第３隔壁部２０と、第３隔壁部２０の周囲に第３隔壁部２０と離間して形成された第２隔壁部５０と、を備えている。

第１隔壁部１０に囲まれた領域は、第１隔壁部１０の側壁と底面とに囲まれた有効受容部１００となっている。また、第１隔壁部１０の有効受容部１００に対向しない側壁と、第２隔壁部５０の側壁と、その間の領域の底面とで囲まれた部分は緩衝受容部２００となっている。

この緩衝受容部２００に第３隔壁部２０が配置されているため、緩衝受容部２００は２つに分割されている。一方は、第１隔壁部１０と第３隔壁部２０との互いの側壁と、この間の領域の底面と、で囲まれた断面視略Ｕの字型の溝部である緩衝受容部２００ａである。他方は、第３隔壁部２０と第２隔壁部５０との互いの側壁と、この間の領域の底面と、で囲まれた断面視略Ｕの字型の溝部である緩衝受容部２００ｂである。

また図２（ｂ）に示すように、第１隔壁部１０と第３隔壁部２０とは、平面視略円形に閉環して形成されており、同じく平面視略円形の第２隔壁部５０の開口部は略同心円状に形成されている。そのため、これら隔壁部によって周囲を囲まれている有効受容部１００、緩衝受容部２００ａ，２００ｂも略同心円状の形状を備えている。有効受容部１００と平面的に重なる領域には有機ＥＬ素子９０が配置され、有機ＥＬ素子９０が備える画素電極６０は第１隔壁部１０に周囲を囲まれている。画素電極６０の平面視形状は、有効受容部１００内に収まる形状であれば限定は無く、有機ＥＬ素子９０の設計により矩形、多角形、楕円形などの形状に適宜形成することができる。本実施形態では、画素電極６０は平面視略円形に形成されている。

ここでは略同心円状の形状となっているが、形状はこれに限定されるものではなく、楕円形、矩形、多角形などの形状であってもよい。また、第１隔壁部１０と第３隔壁部２０と第２隔壁部５０の側壁との形状は同じであっても異なっていても良い。本実施形態では、平面視略円形の有効受容部１００の直径、つまり第１隔壁部１０の内壁の直径を３０μｍとなるように形成している。また、第１隔壁部１０及び第３隔壁部２０の幅を１μｍ、緩衝受容部２００ａ，２００ｂの溝の幅を１μｍとなるように形成している。

図２（ｃ）に示すように、上記のような外観を備える本実施形態の有機ＥＬ装置１は、基板本体３０と、基板本体３０の上に形成された素子層４０と、素子層４０の上に形成された第２隔壁部５０、第１隔壁部１０、及び第３隔壁部２０の各隔壁部を含む隔壁層と、が順に積層されて形成されている。

基板本体３０は、ボトムエミッション方式を採用すると透明基板を、トップエミッション方式を採用すると透明基板及び不透明基板のいずれも用いることができる。不透明基板としては、例えばアルミナ等のセラミックス、ステンレススチール等の金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したもの、また熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂、さらにはそのフィルム（プラスチックフィルム）などが挙げられる。透明基板としては、例えばガラス、石英ガラス、窒化ケイ素等の無機物や、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂等の有機高分子（樹脂）を用いることができる。また、光透過性を備えるならば、前記材料を積層または混合して形成された複合材料を用いることもできる。本実施形態では、基板本体３０の材料としてガラスを用いる。

素子層４０は、有機ＥＬ素子９０を発光させるための各種配線や駆動素子、及び無機物または有機物の絶縁膜などを備えている。各種配線や駆動素子はフォトリソグラフィによりパターニングした後エッチングすることにより、また、絶縁膜は蒸着法やスパッタ法など通常知られた方法により適宜形成することができる。

第１隔壁部１０および第３隔壁部２０は同じ高さで、且つ第２隔壁部５０より低く形成されている。第３隔壁部２０は第１隔壁部１０よりも低く形成されていてもよい。第３隔壁部２０はここでは１つ配置されているが、複数の第３隔壁部２０を例えば同心円状に配置することとしてもよい。また、第３隔壁部２０は装置構成上必須ではなく、これを設けることなく製造することとしても構わない。

素子層４０の有効受容部１００と平面的に重なる領域には画素電極６０が配置されている。画素電極６０の形成材料には、仕事関数が５ｅＶ以上の材料を用いることができる。このような材料は、正孔注入効果が高いため画素電極６０の形成材料として好ましい。このような材料としては、例えばＩＴＯ（Indium Thin Oxide:インジウム錫酸化物）等の金属酸化物を挙げることができる。本実施形態ではＩＴＯを用いる。

有効受容部１００および緩衝受容部２００ａには有機機能層７０が形成されている。有機機能層７０は、電荷輸送層としての正孔注入層や、発光材料で形成される有機発光層を備えている。正孔注入層の形成材料としては、ポリマー前駆体がポリテトラヒドロチオフェニルフェニレンであるポリフェニレンビニレン、１，１−ビス−（４−Ｎ，Ｎ−ジトリルアミノフェニル）シクロヘキサン、トリス（８−ヒドロキシキノリノール）アルミニウム、ポリスチレンスルフォン酸、ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルフォン酸との混合物（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）等の公知の材料を例示することができる。また、塗布時にこれらを溶かしておく溶媒としては、イソプロピルアルコール、Ｎ−メチルピロリドン、１，３−ジメチル−イミダゾリノン等の極性溶媒を例示することができる。

また、有機発光層の形成材料としては、蛍光あるいは燐光を発光することが可能な公知の高分子発光材料を好適に用いることができる。このような材料としては、ポリフルオレン（ＰＦ）、ポリパラフェニレンビニレン（ＰＰＶ）、ポリフェニレン（ＰＰ）、ポリパラフェニレン（ＰＰＰ）、ポリビニルカルバゾール（ＰＶＫ）、ポリチオフェン、ポリジアルキルフルオレン（ＰＤＡＦ）、ポリフルオレンベンゾチアジアゾール（ＰＦＢＴ）、ポリアルキルチオフェン（ＰＡＴ）や、ポリメチルフェニルシラン（ＰＭＰＳ）等のポリシランなどの各誘導体を例示することができる。また、これらの発光材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素などの高分子系材料や、ルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクリドン等の低分子材料をドープして用いることもできる。

溶媒には、水、メタノール、エタノール等の水と相溶性のあるアルコール、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、Ｎ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）、ジメチルイミダゾリン（ＤＭＩ）、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、２，３−ジヒドロベンゾフラン、等が挙げられ、これらの溶媒を２種以上適宜混合したものであっても良い。また、これらの溶媒にシクロヘキシルベンゼン等を適宜加えて粘度を調整しても構わない。極性溶媒は、上述した材料を容易に溶解または均一に分散させることができるため、機能液中の固形分が液滴吐出ヘッド３０１のノズル孔に付着したり目詰りを起こしたりすることを防止することができる。

素子層４０上に形成されたこれらの構成要素を覆って素子層４０の上面全面には、共通電極８０が形成されている。共通電極８０を形成するための材料としては、仕事関数が４ｅＶ以下の材料を用いることができる。このような材料は電子注入効果が大きいため、共通電極８０の形成材料として好ましい。有効受容部１００と平面的に重なる領域の画素電極６０と有機機能層７０と共通電極８０とは、有機ＥＬ素子９０を成している。

次いで、上述した有機ＥＬ装置１の製造方法について、図３を参照しながら説明する。以下の説明においては、各層の積層する方向を上、基板本体３０の配置されている方向を下として各構成部材の上下関係を示す。なお、以下に示す手順や材料の構成は一例であり、これに限定されるものではない。

まず、図３（ａ）に示すように、基板本体３０の上に素子層４０を形成し、素子層４０上に第１隔壁部１０、第３隔壁部２０、第２隔壁部５０の各隔壁部（隔壁層）をそれぞれ設ける。隔壁層は、例えば含フッ素樹脂のような撥液性材料で形成されている。または、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の樹脂で形成された後に、表面にＣＦ４などの有機フッ化物を用いたプラズマ処理を行い撥液処理することとしても良い。隔壁層は、たとえばフォトリソグラフィ法を用いて第１隔壁部１０、第３隔壁部２０、第２隔壁部５０を別々に加工する方法や、階調マスクを用いて厚みを制御する方法など、従来公知の方法を採用し形成することができる。

また、第２隔壁部５０と第１隔壁部１０と第３隔壁部２０との幅を各々調節することで、第２隔壁部５０、第１隔壁部１０、第３隔壁部２０の高さを調節することもできる。具体的には、高さの低い隔壁を形成する場合にはその隔壁の幅を小さくすることで高さの異なる隔壁を形成可能である。例えば、第２隔壁部５０、第１隔壁部１０、第３隔壁部２０の順に隔壁を低くしたい場合には、同じ順で隔壁の幅を小さくする。このようにすると、エッチング（現像）によって幅の狭い隔壁は幅の広い隔壁よりも高さ方向により多く削られ、隔壁を低く形成することができる。

次いで、図３（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド３０１より機能液Ｌを塗布する。ここで、有効受容部１００Ａ，１００Ｂに塗布する機能液の量には差があり、有効受容部１００Ａに塗布する機能液Ｌ１は有効受容部１００Ｂに塗布する機能液Ｌ２より少ないこととする。また、機能液Ｌ２は有効受容部１００Ｂから丁度あふれ出ない程度の量であるとする。更に、機能液Ｌ１の量を、有効受容部１００からあふれ出す量ではあるが、緩衝受容部２００の容積を満たして更に余剰がある量ではない量に調整する。

上記のように機能液Ｌを塗布すると、図３（ｃ）に示すように、有効受容部１００Ａでは機能液Ｌ１が緩衝受容部２００ａにあふれ出す。配置された機能液Ｌ１が自重により変形し、第１隔壁部１０の頂部と機能液との接触角が前進接触角を越えると、機能液Ｌ１の流出が起こる。流出した機能液Ｌ１は緩衝受容部２００ａに濡れ広がるが、第３隔壁部２０によりせき止められる。また、流出した機能液Ｌ１が緩衝受容部２００ａを満たし第３隔壁部２０を乗り越えてあふれ出る場合には、機能液Ｌ１は緩衝受容部２００ｂに濡れ広がることになる。濡れ広がる機能液Ｌ１は第２隔壁部５０によりせき止められるため、隣り合う有効受容部１００に配置された機能液Ｌ同士が混ざることはない。

このような機能液の挙動によって、機能液の高さを略均一にそろえることが可能となるが、この機能を以下に詳細に説明する。

まず、ある面の上に液状体を配置すると、液状体の量が増えるにつれ液状体は高く盛り上がり、また、広く濡れ広がる。この際、配置面の親撥液性と液状体の表面張力との関係により、濡れ広がり方(濡れ広がる面積）が異なると、液状体の高さは変化する。そのため、ぬれ広がりを規制し配置面の面積を一定とすると、盛り上がる液状体の高さの最大値はおのずと決まる。本発明では、隔壁層を用いてこれらの現象を制御し、配置する機能液Ｌ１の高さを略一定に制御する。

本発明の場合、まず有効受容部１００に配置された機能液Ｌ１は、第１隔壁部１０の頂面に至るまでたまる。この場合、機能液Ｌ１の平面視形状は第１隔壁部１０の頂面に沿ったものとなることから、第１隔壁部１０の平面視形状の面積を、機能液L１を配置する面の配置面積であると擬似的に考える。上述したとおり、配置面積が一定である場合盛り上がる液状体の高さの最大値は決まるため、有効受容部１００に配置さる機能液L１の盛り上がる高さの最大値が決まる。

配置する機能液Ｌ１の量が有効受容部１００からあふれ出る量に達すると、有効受容部１００上にそれ以上高く盛り上がらず、緩衝受容部２００にあふれ出す。そのため、有効受容部１００での機能液Ｌ１の盛り上がりが抑制される。

一方で、緩衝受容部２００の底面積が広いとあふれ出た余剰分の機能液Ｌ１がぬれ広がり、濡れ広がった機能液Ｌ１の表面張力により該余剰分よりも多く機能液Ｌ１が流出するおそれがある。そうすると、機能液Ｌ１の高さが低くなる。そこで、第３隔壁部２０を設けて緩衝受容部２００を緩衝受容部２００ａ，２００ｂに分割し、ぬれ広がる底面積を小さく分割している。あふれ出る機能液Ｌ１は、まずは第３隔壁部２０に至るまでぬれ広がるため、必要以上の機能液Ｌ１の流出を防ぎ、機能液Ｌ１の高さの変化が抑制される。

配置する機能液Ｌ１の量が更に多いと、機能液Ｌ１は緩衝受容部２００ａを満たし、第３隔壁部２０の頂面に至る。この場合、機能液Ｌ１は緩衝受容部２００ａからあふれ出る量に達するまでは配置することができるため、緩衝受容部２００ａの平面視面積が擬似的な配置面積であると考えることができる。そのため、第３隔壁部２０により配置面積を制御することで機能液Ｌ１の高さを制御することが可能となる。配置面積が広がるため機能液L１の盛り上がる高さの最大値が変化することが考えられるが、第１隔壁部１０と第３隔壁部２０との配置間隔を制御することで、擬似配置面積の拡大幅を小さくすることができる。このようにすることで、機能液Ｌ１と機能液Ｌ２の配置後の高さＨ１，Ｈ２を略均一となるよう制御することができる。

このような理由から、図では１つだけ設けている第３隔壁部２０を更に同心円状に複数設けると、緩衝受容部の容量や擬似配置面積の拡大幅をより細かく制御することができ、機能液の高さの変化を抑えることができる。例えば、用いる液滴吐出ノズルの吐出量誤差があらかじめ推定可能であるとする。その場合には、分割した緩衝受容部１つあたりの容量が、吐出量誤差により想定される最大値と最小値の差（誤差幅）よりも小さくなるように第３隔壁部２０を形成すると良い。こうすることで、吐出量の誤差を多段階で緩衝することができ、膜厚のバラつきを抑える塗布が可能となる。

次いで図３（ｄ）に示すように、配置された機能液Ｌの溶媒を加熱あるいは光照射により蒸発させて画素電極６０上に固形の有機機能層７０を形成する。または、大気環境下又は窒素ガス雰囲気下において所定温度及び時間で焼成するようにしてもよい。あるいは大気圧より低い圧力環境下（減圧環境下）に配置することで溶媒を除去するようにしてもよい。ここで、緩衝受容部２００ａにあふれ出た機能液Ｌ１も、溶媒が蒸発して有機機能層７０を形成する。

次いで図３（ｅ）に示すように、全ての有効受容部１００に有機機能層７０を形成したら、素子層４０上に形成された隔壁層や有機機能層７０の全面を覆って素子層４０の表面全体にＩＴＯ等を用いて共通電極８０を形成する。共通電極８０はスパッタなどの物理的蒸着、ＣＶＤなどの化学的蒸着いずれの方法によっても形成可能である。必要に応じて、共通電極８０の表面には共通電極８０の破損を防ぐための保護膜を形成してもよい。

画素電極６０は、有効受容部１００に平面的に重なる領域に形成されており、緩衝受容部２００に平面的に重なる領域には形成されていない。そのため、有効受容部１００に形成された有機機能層７０は画素電極６０および共通電極８０と共に有機ＥＬ素子９０を構成する。一方で、緩衝受容部２００に形成された有機機能層７０は対応する画素電極が存在しないため発光しない。以上のようにして、有機ＥＬ素子９０を形成し有機ＥＬ装置１が完成する。

以上のような構成の有機ＥＬ装置の製造方法によれば、異なる量の機能液Ｌ１，Ｌ２が塗布されても、配置される機能液の高さを第１隔壁部１０の高さで一定にそろえることが可能となる。例えば、機能液を配置する方法・装置の性質により配置する機能液の量にバラつきが生じることが避けられないような場合であっても、画素電極６０上に配置される機能液Ｌの量（高さ）が一定となる。そのため、いずれの有機ＥＬ素子９０おいても形成される有機機能層７０の膜厚に均一となり、発光ムラのない有機ＥＬ装置１を製造することができる。

また、本実施形態では、第１隔壁部１０を第２隔壁部５０よりも低く形成することとしている。そのため、機能液Ｌが第２隔壁部５０を乗り越えることを確実に防ぐことができ、良好に有機機能層７０を形成することができる。また、第１隔壁部１０を低く形成することにより隔壁近傍と隔壁から遠い部分との形成される膜厚の差を小さくすることができる。そのため、膜の平坦性を高め膜厚ムラを減らすことができる。

また、本実施形態では、第１隔壁部１０と同じ高さの第３隔壁部２０を形成し、緩衝受容部２００を緩衝受容部２００ａ，２００ｂに分割している。そのため、機能液Ｌの濡れ広がりを抑制し、有効受容部１００に配置された機能液Ｌの量の変動を防ぐことで、膜厚ムラを減らすことが可能となる。

また、本実施形態では、第１隔壁部１０は機能液Ｌに対して撥液性を示す撥液材料である含フッ素樹脂を用いて形成されている。機能液Ｌは第１隔壁部１０の頂部ではじかれるため有効受容部１００からあふれ出しにくく、また、あふれ出す機能液Ｌの流動が止まりやすい。そのため、有効受容部１００により多くの機能液Ｌを容易に配置することができ、膜厚ムラが少なく厚い有機機能層７０を形成することができる。

本発明においては、機能液Ｌを配置する工程に液滴吐出法を用いている。そのため、表示ムラがなく且つ高解像度の有機ＥＬ装置を容易に製造することができる。

このような構成の有機ＥＬ装置１によれば、機能液Ｌを配置して有機機能層７０を形成する場合に均一な膜厚とすることができるため、表示ムラなく高品質な有機ＥＬ装置１とすることができる。

なお、本実施形態においては、第１隔壁部１０を第２隔壁部５０よりも低く形成することとしたが、第１隔壁部１０を第２隔壁部５０と同じ高さもしくは高く形成しても構わない。

また、本実施形態においては、第３隔壁部２０を１つ設けることとしたが、複数の第３隔壁部２０を設けることとしても構わない。このように設けることで、更に複数の緩衝受容部が形成され、有効受容部１００から流出する機能液の濡れ広がりを更に細かく制御することができる。

［第２実施形態］
図４は、本発明の第２実施形態に係る有機ＥＬ装置の説明図である。図４（ａ）は斜視図、（ｂ）は平面図を示す。本実施形態の有機ＥＬ装置２は、第１実施形態の有機ＥＬ装置１と一部共通している。異なるのは、第１隔壁部および第３隔壁部が第２隔壁部に当接して形成されていることである。したがって、本実施形態において第１実施形態と共通する構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。

図４（ａ）に示すように、本実施形態の有機ＥＬ装置２は、互いに離間した２つの第１隔壁部１０が第２隔壁部５０の長辺側の向かいあう側壁同士に接続して形成されている。また、向かい合う第１隔壁部１０の側壁同士と、２つの第１隔壁部１０間の第２隔壁部５０の側壁と、これらに囲まれた領域の底面と、で囲まれた部分は有効受容部１００を形成している。

また、第２隔壁部５０の側壁と、第１隔壁部１０の有効受容部１００に対向しない側の側壁と、これらに囲まれた領域の底面と、で囲まれた部分は緩衝受容部２００を形成している。緩衝受容部２００には、第２隔壁部５０の長辺側の向かいあう側壁同士を接続する第３隔壁部２０が設けられており、緩衝受容部２００を２つの緩衝受容部２００ａ，２００ｂに分割している。これら第１隔壁部１０及び第３隔壁部２０は、第２隔壁部５０よりも低く形成されている。

図４（ｂ）に示すように、第２隔壁部５０は平面視で角部が丸くなった矩形の開口部を備えている。第１隔壁部１０および第３隔壁部２０は第２隔壁部５０の形状に対応した弧状を成している。ここでは第１隔壁部１０及び第３隔壁部２０を、第２隔壁部５０の開口部の長手方向両方にそれぞれに同数ずつ配置しているが、数・形状はこれに限定されるものではない。例えば長手方向の一方側にのみ第１隔壁部１０及び第３隔壁部２０を形成することとしてもよい。また、一方側には第１隔壁部１０と第３隔壁部２０を、他方側には第１隔壁部１０のみを形成することとしても構わない。

図に示すような縦長の平面視形状の有機ＥＬ素子９０は、例えばフルカラー表示を行う有機ＥＬディスプレイの表示画面を構成する有機ＥＬ素子に好適に用いることができる。
画像表示装置を用いてフルカラー表示を行う場合には、赤色、緑色、青色の３色に対応する縦長のサブ画素を用いて１画素を構成し、良好な画像表示が可能な縦横比（アスペクト比）の画素にするのが通常の構成である。

図のような形状の隔壁層を設けた有機ＥＬ素子９０では、第２隔壁部５０の側壁５０ａ近傍にまで画素電極６０を配置することが可能であるため、画素開口率が上がり表示が優れたものとなる。また、このような形状の有機ＥＬ素子９０をマトリクス状に複数備える有機ＥＬ装置２では、隣接する有機ＥＬ素子９０同士が側壁５０ａ同士を接近させて配置することが可能となり、緻密で高画質な表示が可能となる

図４に示した本実施形態の有機ＥＬ装置２は、隔壁層を形成するフォトリソグラフィおよびエッチング工程において、有機ＥＬ装置２が備える隔壁層の形状に形成することとする他は、第１実施形態で示した製造方法と同様の方法を用いることで良好に形成することができる。第１隔壁部１０を第２隔壁部５０よりも低く形成しているため、塗布した機能液Ｌが第２隔壁部５０を乗り越えてもれ出ることなく、緩衝受容部２００にあふれる。したがって、隣接する有効受容部１００に塗布した機能液Ｌ同士が混ざり合うことなく良好に塗布することができ、膜厚が均一で発光ムラのない有機ＥＬ装置２を製造することができる。

（変形例）
また、有効受容部１００に配置した機能液の一部を緩衝受容部２００にあふれ出させることで、配置する機能液の高さを均一にそろえるという本発明の趣旨から、隔壁層の形状や配置を変形可能なことは明らかである。以下、隔壁層の形状や配置について、いくつかの変形例を説明する。図５から図７は、変形例を示す平面図である。

図５は、有効受容部１００の平面視形状を楕円形とし、第３隔壁部２０および第２隔壁部５０の形状も有効受容部１００に対応した楕円または円弧状の形状である以外は第２実施形態と共通する構成としている。図４の構成と同様に、隣接する有機ＥＬ素子９０同士が側壁５０ａ同士を接近させて配置することが可能となり、緻密で高画質な表示が可能となる

図６は、平面視円形の開口部を備えた第２隔壁部５０の側壁に接続する第１隔壁部１０を複数設け、複数の第１隔壁部１０が全体として平面視多角形（図では八角形）となるような構成としている。図６に示す例では、有効受容部１００は第１隔壁部１０で周囲を囲まれており、複数の第１隔壁部１０と第２隔壁部５０との間に複数の緩衝受容部２００を形成している。機能液の余剰分が有効受容部１００からあふれ出る箇所は、第１隔壁部１０の特定の箇所と決まってはいない。緩衝受容部２００の配置が図に示すような構成であると、緩衝受容部２００が同じ形状の８つの小単位に分割され、有効受容部１００の周囲に均等な間隔配置している。そのため、緩衝受容部２００でのぬれ広がりは小さく、配置面積の増大も細かく制御することができ、略均一に機能液の高さをそろえることが可能となる。

図７（ａ）は、第１実施形態で示した平面視同心円状に各隔壁を形成した例において、第１隔壁部１０と第３隔壁部２０との間、第３隔壁部２０と第２隔壁部との間を第４隔壁部２２で接続して緩衝受容部２００を更に細かく分割した構成の例である。図では第４隔壁部２２を、放射状に等間隔に複数（図では８つ）配置することで、緩衝受容部２００ａを略同じ平面視形状の複数の緩衝受容部２００ａに、緩衝受容部２００ｂを略同じ平面視形状の複数の緩衝受容部２００ｂにそれぞれ分割している。このような形態の隔壁層を設けることで、あふれ出る機能液のぬれ広がりを細かく制御し、また、機能液が配置される受容部の面積（擬似配置面積）の拡大を抑制することができる。したがって、より容易に機能液の高さをそろえることが可能となる。

また、図７（ｂ）のように、第１隔壁部１０と第３隔壁部２０との間は第４隔壁部２２で接続しており、有効受容部１００に隣接する緩衝受容部２００ａが複数に分割されているが、緩衝受容部２００ｂは分割されていなくてもよい。同様に図７（ｃ）のように、有効受容部１００に隣接する緩衝受容部２００ａは分割されず、第３隔壁部２０と第２隔壁部５０との間を第４隔壁部２２で接続し、緩衝受容部２００ｂのみが複数に分割されることとしても構わない。

これら変形例に示す形状の隔壁層を備えた有機ＥＬ装置であっても、同様に、膜圧ムラが少なく高品質表示が可能な装置とすることができる。

［電子機器］
次に、図８を参照し、本発明の有機ＥＬ装置を備えた電子機器の例について説明する。
次に、本発明の有機ＥＬ装置を備えた電子機器の例について説明する。図８は、本発明に係る電子機器の一例を示す斜視図である。図８に示す携帯電話１３００は、本発明の液晶表示装置を小サイズの表示部１３０１として備え、複数の操作ボタン１３０２、受話口１３０３、及び送話口１３０４を備えて構成されている。これにより、本発明の有機ＥＬ装置を備え表示品質に優れる表示部を具備した携帯電話１３００を提供することができる。

なお、電子機器としては、上述したものに限られることなく、種々のものに適用することができる。例えば、ディスクトップ型コンピュータ、マルチメディア対応のパーソナルコンピュータ（ＰＣ）及びエンジニアリング・ワークステーション（ＥＷＳ）、ページャ、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子手帳、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置等の画像表示手段として好適に用いることができ、かかる構成とすることで、表示品質が高い表示部を備えた電子機器を提供することができる。

以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。

液滴吐出装置に備わる液滴吐出ヘッドの断面図である。 本発明の第１実施形態に係る有機ＥＬ装置の要部を拡大した概略図である。 本実施形態の有機ＥＬ装置の製造方法を示す工程図である。 本発明の第２実施形態に係る有機ＥＬ装置の要部を拡大した概略図である。 第２実施形態の変形例を示す平面図である。 第２実施形態の変形例を示す平面図である。 第２実施形態の変形例を示す平面図である。 本発明の実施形態の有機ＥＬ装置を備える電子機器を示す図である。 従来例を示す概略図である。

符号の説明

１，２…有機エレクトロルミネッセンス装置、１０…第１隔壁部、２０…第３隔壁部、２２…第４隔壁部、５０…第２隔壁部、７０…有機機能層、９０…有機エレクトロルミネッセンス素子、１００…有効受容部、２００，２００ａ，２００ｂ…緩衝受容部、Ｌ，Ｌ１，Ｌ２…機能液

Claims (9)

1. 第１電極と第２電極との間に有機機能層を挟持した発光素子を基板上に複数配設し、前記発光素子の周囲が隔壁層で囲まれてなる有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法であって、
   前記基板上の前記第１電極の周囲を囲んで、前記隔壁層が含む第１隔壁部を形成する工程と、
   前記第１隔壁部の周囲を囲んで、前記隔壁層が含む第２隔壁部を前記第１隔壁部と離間して形成する工程と、
   前記第１隔壁部の側壁と前記第１隔壁部に囲まれた領域の底面とで囲まれる部分を有効受容部とし、前記有効受容部に前記有機機能層の形成材料を含む機能液を配置し前記有機機能層を形成する工程と、を備え、
   互いに向き合う前記第１隔壁部の側壁と前記第２隔壁部の側壁及びこれらの間の領域の底面とで囲まれる部分を緩衝受容部とし、
   前記有機機能層を形成する工程では、前記機能液を、前記有効受容部からあふれ出す量以上の量であって、且つ、前記有効受容部の容積と前記緩衝受容部の容積とを合わせた量未満の量を配置することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
2. 第１電極と第２電極との間に有機機能層を挟持した発光素子を基板上に複数配設し、前記発光素子の周囲が隔壁層で囲まれてなる有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法であって、
   前記基板上の前記第１電極の周囲を囲んで、前記隔壁層が含む第１隔壁部を形成する工程と、
   前記第１隔壁部の周囲を囲んで、前記隔壁層が含む第２隔壁部を、前記第１隔壁部の側壁面の一部と前記第２隔壁部の側壁面の一部とを当接させ形成する工程と、
   前記第１隔壁部の側壁と前記第１隔壁部に囲まれた領域の底面とで囲まれる部分を有効受容部とし、前記有効受容部に前記有機機能層の形成材料を含む機能液を配置し前記有機機能層を形成する工程と、を備え、
   互いに向き合う前記第１隔壁部の側壁と前記第２隔壁部の側壁及びこれらの間の領域の底面とで囲まれる部分を緩衝受容部とし、
   前記第２隔壁部を形成する工程では、少なくとも前記第１隔壁部と前記第２隔壁部との当接部では、前記第１隔壁部の高さを前記当接部での前記第２隔壁部よりも低く形成し、
   前記有機機能層を形成する工程では、前記機能液を、前記有効受容部からあふれ出す量以上の量であって、且つ、前記有効受容部の容積と前記緩衝受容部の容積とを合わせた量未満の量を配置することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
3. 前記第１隔壁部を、前記第２隔壁部よりも低く形成することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
4. 前記機能液を配置する工程に先立って、前記隔壁層が含む単数または複数の第３隔壁部を形成し前記緩衝受容部を分割する工程を備え、前記第３隔壁部は、前記第１隔壁部以下の高さとすることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
5. 前記機能液を配置する工程に先立って、前記緩衝受容部を分割する第３隔壁部を形成する工程を備え、前記第３隔壁部は、前記第１隔壁部以下の高さとすることを特徴とする請求項２に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
6. 前記隔壁層は、少なくとも表面が前記機能液に対して撥液性を示す材料を用いて形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
7. 前記機能液の配置は、液滴吐出法を用いて行うことを特徴とする請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
8. 基板と、
   一対の電極間に有機機能層が挟持された複数の発光素子と、
   前記基板上に配設された前記発光素子の周囲を囲んで設けられた第１隔壁部と、
   前記基板上の前記第１隔壁部の周囲を囲んで前記第１隔壁部と離間して設けられた第２隔壁部と、を備えることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置。
9. 基板と、
   第１電極と第２電極との間に有機機能層が挟持された複数の発光素子と、
   前記基板上に配設された前記発光素子の周囲を囲んで設けられた第１隔壁部と、
   前記基板上の前記第１隔壁部の周囲を囲んで設けられた第２隔壁部と、を備え、
   前記第１隔壁部の側壁面の一部と前記第２隔壁部の側壁面の一部とは当接しており、
   少なくとも前記第１隔壁部と前記第２隔壁部との当接部での前記第１隔壁部の高さが、前記当接部での前記第２隔壁部よりも低いことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置。

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