JP2009099943A - 基板処理装置及び基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】制御部97は、基板Wを純水で洗浄する純水洗浄処理を行わせ、IPAを注入して純水をIPAで置換する置換処理を行わせる。その後、油水分離フィルタ51によって処理液中の純水を除去する分離除去処理を行わせ、ミキシングバルブ33から供給配管11にHFEを注入して置換促進処理を行わせ、ミキシングバルブ33から供給配管11に少量のIPAを注入して仕上げ処理を行わせた後、リフタ7を上方位置に移動させる。仕上げ処理では、基板Wの微細パターンの奥に入り込んだ純水を少量のIPAで引き出すことができるので、基板Wの微細パターン中に純水が残留するのを防止できる。その結果、基板Wに形成されている微細パターンの倒壊を防止できる。
【選択図】図1
Description
すなわち、従来の装置は、基板に微細パターンが形成されている場合、その間に残った純水の表面張力に起因して、基板を処理槽間で移動させる際に、基板に形成されている微細パターンに倒壊が生じることがあるという問題がある。
すなわち、請求項1に記載の発明は、基板を処理液で処理する基板処理装置において、処理液を貯留し、基板を収容可能な処理槽と、基板を保持し、前記処理槽内の処理位置と前記処理槽の上方にあたる上方位置とにわたって移動可能な保持機構と、前記処理槽に純水を供給する第1供給手段と、前記処理槽に液体の水溶性有機溶剤を供給する第2供給手段と、前記処理槽に液体の非水溶性有機溶剤を供給する第3供給手段と、前記保持機構により基板を処理位置に移動させた状態で、前記第1供給手段から前記処理槽へ純水を供給させて基板に対して純水洗浄処理を行わせ、前記第2供給手段から前記処理槽へ水溶性有機溶剤を供給させて前記処理槽内を純水から水溶性有機溶剤に置換して基板に対して水溶性有機溶剤による処理を行わせ、前記第3供給手段から前記処理槽へ非水溶性有機溶剤を供給させるとともに、前記第2供給手段から前記処理槽へ水溶性有機溶剤を供給させて基板に対して水溶性有機溶剤及び非水溶性有機溶剤の混合液による処理を行わせた後、前記保持機構を上方位置に移動させる制御手段と、を備えていることを特徴とするものである。
図1は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示すブロック図である。
制御部97は、三方弁15を循環側に切り換えるとともに、三方弁19〜21を供給配管11側に切り換え、制御弁31を開放するとともに流量制御弁35を調整して、純水供給源29から注入管27及び供給配管11を介して純水を所定流量で内槽3へ供給する。内槽3及び外槽5並びに供給配管11を全て純水で満たした後、ポンプ17及びインラインヒータ22を作動させて所定の温度(例えば、60℃)に純水を加熱する。所定温度になった後、リフタ7をチャンバ70外の待機位置から処理位置へ下降させ、これを所定時間だけ維持して、所定温度に加熱した純水で基板Wを洗浄処理する。このときの状態は、図5(a)の模式図のように、基板Wの微細パターンの間に純水が浸入した状態である。
制御部97は、インラインヒータ22及びポンプ17を停止させるとともに、三方弁15を排液側へ切り換えるとともに、流量制御弁35を閉止する。そして、流量制御弁47を所定流量に調節して、供給配管11へIPAを供給する(図5(b))。内槽3及び外槽5がIPAで満たされた後、三方弁15を供給配管11側へ切り換えるとともにポンプ17を作動させる。これにより、処理液のうち純水の大半が排出され、処理液にIPAが混合されて純水がIPAで置換される。この状態は、図5(c)の模式図のように、基板Wの微細パターンに浸入した純水DIWの大半をIPAで置換することができるものの、微細パターンの奥にある純水DIWをIPAで完全には置換することができない。
制御部97は、三方弁20,21を第1の分岐配管23側へ切り換えるとともに、冷却ユニット25によって処理液を所定の温度にまで冷却する。冷却することにより、純水がIPAに溶けにくくすることができる。
制御部97は、制御弁63,67,68を開放するとともに、三方弁19を第1の分岐管49側へ切り換える。これにより、スタティックミキサ57でIPAと純水とが充分に混合された後、処理液が油水分離フィルタ51を通ることになる。
制御部97は、制御弁65,69を開放するとともに、制御弁67,68を閉止する。これにより、純水濃度が低減された処理液(大半がHFE)が第3の分岐管53へ流れる。これにより、処理液中に僅かに残った純水が吸着フィルタ55によって吸着除去される。
上記の吸着除去処理を所定時間だけ行った後、制御部97は、制御弁15を排液側へ切り換えるとともに、三方弁19〜21を供給配管11側へ切り換える。さらに、流量制御弁45を調整して、小流量でHFEを内槽3に供給する(図5(d))。これにより、IPAがHFEと混ざり合うことなく徐々に押し上げられて内槽3から排出されるとともにHFEで置換される。但し、僅かな純水が処理液中や基板Wの微細パターン内には未だに残留している(図6(a))。つまり、HFEは、IPAよりも微細パターンの奥にまで浸入しやすいが、HFEは純水に溶けないので、微細パターンの奥には純水が残ったままとなる。HFEで内槽3が満たされた後、制御弁31及び流量制御弁45を閉止するとともに、三方弁19を第2の分岐配管49側に切り換え、制御弁67,68を開放する一方、制御弁58を閉止する。これにより、上記ステップS4のように、HFEを含む処理液がスタティックミキサ57と油水分離フィルタ51を流通し、純水が除去される。制御部97は、所定時間だけ油水分離フィルタ51による純水除去を行った後、上記ステップS5のように流路を切り換えて吸着フィルタ55による吸着除去を行う。
制御部97は、濃度計95を参照して処理液中の純水濃度が所定値以下となるまで吸着フィルタ55による吸着除去を行う。所定値は、例えば0.1[%]以下である。
制御部97は、純水濃度が低減された処理液に再びIPAを注入して仕上げ処理を行う。具体的には、制御弁31を開放するとともに、流量制御弁47を調整して、少量のIPAを処理液に注入する(図6(b))。その濃度は、例えば、5〜10%程度である。この状態で吸着フィルタ55による吸着除去を維持することで、HFEが大半を占め、少量のIPAを含む処理液から僅かな純水を除去する。これにより、基板Wの微細パターン内にも残留している純水を引き出して除去することができる。換言すると、図6(c)に示すように、基板Wの微細パターンの奥に残った純水と、基板Wの微細パターンの奥に浸入しているHFEとを、純水及びHFEの双方に溶けるIPAが結びつけるようにして取り込むとともに、図6(d)に示すように、IPAと純水がHFEによって基板Wから除去される。
すなわち、上述した処理の過程においてIPAの濃度が低下してゆくと、IPAに溶ける純水DIWが減少してゆくので、結果として純水DIWの濃度が一定値よりも低下しない。その結果、純水DIWが残ることになる(符号rs)。そこで、上述したようにして、HFEを供給した後に再度IPAを供給して、純水DIWの残りrsをIPAに溶かし込むようにしている。
上記の処理を所定時間だけ行った後、制御部97は、溶剤ノズル71から溶剤蒸気を供給して、処理槽1の周囲に溶剤雰囲気を形成する。そして、リフタ7を上昇させて基板Wに付着しているHFEを揮発させて基板Wを乾燥させる。
1 … 処理槽
3 … 内槽
5 … 外槽
7 … リフタ
9 … 噴出管
11 … 供給配管
23 … 第1の分岐配管
33 … ミキシングバルブ
49 … 第2の分岐配管
51 … 油水分離フィルタ
53 … 第3の分岐配管
55 … 吸着フィルタ
57 … スタティックミキサ
58 … 第4の分岐配管
97 … 制御部
70 … チャンバ
71 … 溶剤ノズル
Claims (16)
- 基板を処理液で処理する基板処理装置において、
処理液を貯留し、基板を収容可能な処理槽と、
基板を保持し、前記処理槽内の処理位置と前記処理槽の上方にあたる上方位置とにわたって移動可能な保持機構と、
前記処理槽に純水を供給する第1供給手段と、
前記処理槽に液体の水溶性有機溶剤を供給する第2供給手段と、
前記処理槽に液体の非水溶性有機溶剤を供給する第3供給手段と、
前記保持機構により基板を処理位置に移動させた状態で、前記第1供給手段から前記処理槽へ純水を供給させて基板に対して純水洗浄処理を行わせ、前記第2供給手段から前記処理槽へ水溶性有機溶剤を供給させて前記処理槽内を純水から水溶性有機溶剤に置換して基板に対して水溶性有機溶剤による処理を行わせ、前記第3供給手段から前記処理槽へ非水溶性有機溶剤を供給させるとともに、前記第2供給手段から前記処理槽へ水溶性有機溶剤を供給させて基板に対して水溶性有機溶剤及び非水溶性有機溶剤の混合液による処理を行わせた後、前記保持機構を上方位置に移動させる制御手段と、
を備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記制御手段は、前記水溶性有機溶剤と非水溶性有機溶剤との混合液による処理を、前記第3供給手段から前記処理槽へ非水溶性有機溶剤を供給させて、前記処理槽内を水溶性有機溶剤から非水溶性有機溶剤に置換して基板に対して非水溶性有機溶剤による処理を行わせることと、前記第2供給手段から前記処理槽へ水溶性有機溶剤を供給させて基板に対して水溶性有機溶剤及び非水溶性有機溶剤の混合液による処理を行わせることとすることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1または2に記載の基板処理装置において、
前記処理槽を囲うチャンバと、
前記チャンバ内に溶剤蒸気を供給する第4供給手段とを備え、
前記制御手段は、前記混合液による処理の後、前記保持機構を上方位置へ移動させる前に、前記第4供給手段から溶剤蒸気を供給させて前記チャンバ内に溶剤蒸気雰囲気を形成させることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記第2供給手段は、水溶性有機溶剤としてIPA(イソプロピルアルコール)を供給し、前記第3供給手段は、非水溶性有機溶剤としてHFE(ハイドロフルオロエーテル)を供給することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項4に記載の基板処理装置において、
前記混合液におけるIPA(イソプロピルアルコール)は、10%以下であることを特徴とする基板処理装置。 - 基板を処理液で処理する基板処理方法において、
基板を処理槽内の処理位置に移動させる過程と、
処理槽へ純水を供給させて基板に対して純水洗浄処理を行わせる過程と、
処理槽へ水溶性有機溶剤を供給させて処理槽内を純水から水溶性有機溶剤に置換して基板に対して水溶性有機溶剤による処理を行わせる過程と、
処理槽へ非水溶性有機溶剤及び水溶性有機溶剤を供給させて基板に対して水溶性有機溶剤及び非水溶性有機溶剤の混合液による処理を行わせる過程と、
基板を処理槽の上方にあたる上方位置に移動させる過程と、
を備えていることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項6に記載の基板処理方法において、
前記水溶性有機溶剤と非水溶性有機溶剤との混合液による処理を行わせる過程を、
処理槽へ非水溶性有機溶剤を供給させて処理槽内を水溶性有機溶剤から非水溶性有機溶剤に置換して基板に対して非水溶性有機溶剤による処理を行わせる過程と、
処理槽へ水溶性有機溶剤を供給させて基板に対して水溶性有機溶剤及び非水溶性有機溶剤の混合液による処理を行わせる過程とすることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項6または7に記載の基板処理方法において、
前記水溶性有機溶剤はIPA(イソプロピルアルコール)であり、前記非水溶性有機溶剤はHFE(ハイドロフルオロエーテル)であって、前記混合液におけるIPA(イソプロピルアルコール)は10%以下であることを特徴とする基板処理方法。 - 基板を処理液で処理する基板処理装置において、
処理液を貯留する内槽と、内槽から溢れた処理液を回収する外槽とを備えた処理槽と、
基板を保持し、前記処理槽内の処理位置と、前記処理槽の上方にあたる上方位置とにわたって移動可能な保持機構と、
内槽と前記外槽とを連通接続し、処理液を循環させる供給配管と、
前記供給配管を分流した分岐配管と、
前記分岐配管に配設され、処理液中の純水と溶剤とを分離して処理液から純水を排出する分離手段と、
前記供給配管に配設され、前記分離手段より下流側にて純水を注入する注入管と、
前記注入管に水溶性有機溶剤を注入する水溶性有機溶剤注入手段と、
前記注入管に非水溶性有機溶剤を注入する非水溶性有機溶剤注入手段と、
前記保持機構により基板を処理位置に移動させた状態で、前記処理槽内に前記注入管及び前記供給配管から純水を供給して処理槽内の基板を純水で洗浄する純水洗浄処理を行わせ、前記水溶性有機溶剤注入手段から前記注入管及び前記供給配管を介して前記処理槽に水溶性有機溶剤を供給して純水を水溶性有機溶剤で置換する処理を行わせ、前記分岐配管に流路を切り換えるとともに、前記分離手段によって処理液中の純水を除去する処理を行わせ、前記非水溶性有機溶剤注入手段から前記注入管及び前記供給配管を介して前記処理槽に非水溶性有機溶剤を供給するとともに、前記水溶性有機溶剤注入手段から前記注入管及び前記供給配管を介して前記処理槽に少量の水溶性有機溶剤を供給して基板に対して水溶性有機溶剤と非水溶性有機溶剤との混合液による処理を行わせた後、前記保持機構を上方位置に移動させる制御手段と、
を備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項9に記載の基板処理装置において、
前記制御手段は、前記水溶性有機溶剤と非水溶性有機溶剤との混合液による処理を、前記非水溶性有機溶剤注入手段から前記注入管及び前記供給配管を介して前記処理槽へ非水溶性有機溶剤を供給して行わせる処理と、前記水溶性有機溶剤注入手段から前記注入管及び前記供給配管を介して前記処理槽に少量の水溶性有機溶剤を供給して基板に対して水溶性有機溶剤及び非水溶性有機溶剤の混合液による処理とすることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項9または10に記載の基板処理装置において、
前記処理槽を囲うチャンバと、
前記チャンバ内に溶剤蒸気を供給する溶剤蒸気供給手段とを備え、
前記制御手段は、前記混合液による処理の後、前記保持機構を上方位置へ移動させる前に、前記溶剤蒸気供給手段から溶剤蒸気を供給して前記チャンバ内に溶剤蒸気雰囲気を形成することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項9から11のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記水溶性有機溶剤供給手段は、水溶性有機溶剤としてIPA(イソプロピルアルコール)を供給し、前記非水溶性有機溶剤供給手段は、非水溶性有機溶剤としてHFE(ハイドロフルオロエーテル)を供給することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項12に記載の基板処理装置において、
前記混合液におけるIPA(イソプロピルアルコール)は、10%以下であることを特徴とする基板処理装置。 - 基板を処理液で処理する基板処理方法において、
基板を処理槽内の処理位置に移動させる過程と、
処理槽内に純水を供給させて、内槽と外槽とに純水を循環させつつ処理槽内の基板を純水で洗浄する過程と、
処理槽に水溶性有機溶剤を供給させて、内槽と外槽とに水溶性有機溶剤を循環させつつ純水を水溶性有機溶剤で置換する過程と、
処理液中の純水を除去する過程と、
処理槽に非水溶性有機溶剤を供給するとともに、処理槽に少量の水溶性有機溶剤を供給して、内槽と外槽とに非水溶性有機溶剤及び水溶性有機溶剤を循環させつつ基板に対して水溶性有機溶剤と非水溶性有機溶剤との混合液による処理を行わせる過程と、
基板を処理槽の上方にあたる上方位置に移動させる過程と、
を備えていることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項14に記載の基板処理方法において、
前記水溶性有機溶剤と非水溶性有機溶剤との混合液による処理を行わせる過程を、
処理槽へ非水溶性有機溶剤を供給させて、内槽と外槽とに非水溶性有機溶剤を循環させつつ処理槽内を水溶性有機溶剤から非水溶性有機溶剤に置換して基板に対して非水溶性有機溶剤による処理を行わせる過程と、
処理槽へ少量の水溶性有機溶剤を供給させて、内槽と外槽とに水溶性有機溶剤及び非水溶性有機溶剤を循環させつつ基板に対して水溶性有機溶剤及び非水溶性有機溶剤の混合液による処理を行わせる過程とすることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項14または15に記載の基板処理方法において、
前記水溶性有機溶剤はIPA(イソプロピルアルコール)であり、前記非水溶性有機溶剤はHFE(ハイドロフルオロエーテル)であって、前記混合液におけるIPA(イソプロピルアルコール)は10%以下であることを特徴とする基板処理方法。
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