JP2009099620A - コア基板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】導通性を有するコア部10に下孔18を形成する工程と、該下孔18が形成された基板にめっきを施し、前記下孔18の内壁面と該基板の表面にめっき層19を被着形成する工程と、前記めっき層19が被着形成された基板の表面にガス抜き穴140を形成する工程と、該ガス抜き穴140が形成された基板の前記下孔18に絶縁材20を充填する工程とを備えることを特徴とする。
【選択図】図6
Description
製造工程中で基板の内部で発生するガスの問題は、導通スルーホールを貫通させる下孔を有する基板においては、製造工程によっては、コア部と導通スルーホールとが電気的に導通する原因になることがあり、解決しなければならない問題となる。
すなわち、導通スルーホールが貫通する下孔が設けられた、導電性を有するコア部と、前記下孔の内壁面と前記コア部の表面に被着形成された導体層と、前記コア部の表面に被着形成された導体層を開口して設けられたガス抜き穴と、前記下孔の内壁面と前記導通スルーホールの外周面との間に充填された絶縁材と、前記コア部の両面に積層して形成された配線層とを備えることを特徴とする。
また、前記下孔の内壁面を被覆する導体層に積層して絶縁被膜が被着形成されている構成とすることによって、導電性を有するコア部と導通スルーホールとの電気的短絡を確実に防止することができる。
前記ガス抜き穴は、前記下穴の開口縁の近傍に配置されていることにより、コア基板の製造工程においてコア部あるいは基板から発生するガス、あるいは基板に吸湿された水分から発生する水蒸気を効率的に排出することができ、下孔の内壁面でめっき層が膨れるといった障害を回避することができる。
該下孔が形成された基板にめっきを施し、前記下孔の内壁面と該基板の表面にめっき層を被着形成する工程と、前記めっき層が被着形成された基板の表面に被着する導体層をエッチングしてガス抜き穴を形成する工程と、該ガス抜き穴が形成された基板の前記下孔に絶縁材を充填する工程とを備えることを特徴とする。基板の表面を被覆する導体層をエッチングしてガス抜き穴を形成することによって、下孔に絶縁材としての樹脂を充填し、加熱して樹脂を熱硬化させる際に、下孔の内壁面を被覆するめっき層が膨れたりすることを防止することができる。
また、前記基板の下孔に絶縁材を充填する工程に続いて、前記基板の表面に被着する導体層を所定パターンにエッチングする工程を備えることにより、基板の表面に被着された導体層を任意パターンに形成した後、基板に配線層を積層してコア基板とすることができる。
また、前記コア基板の製造方法により形成したコア基板に配線層を積層して多層配線基板を形成することができる。
以下、本発明の実施の形態として、カーボンファイバ強化プラスチックからなる、導電性を有するコア部を備えたコア基板の製造方法について説明する。
図1、2は、コア基板の導通スルーホールを貫通させる下孔を基板に形成し、ガス抜き孔を形成して下孔に絶縁材を充填するまでの工程を示す。
図1(a)は、カーボンファイバ強化プラスチックからなるコア部10の両面にプリプレグ12を介して銅箔14を接合し、平板体に形成した基板16を示す。コア部10は、カーボンクロスにエポキシ樹脂などの高分子材料を含浸させたプリプレグを4枚積層し、加熱および加圧して一体形成される。なお、コア部10を構成するカーボンファイバを含むプリプレグの積層数は任意に選択できる。
カーボンファイバ強化プラスチックからなるコア部10の場合は、カーボンの切粉11が下孔18の内壁面に付着して残留し、この切粉11は導電性を有することから、切粉11が下孔18に充填される樹脂20に混入すると、絶縁材としての樹脂20の絶縁性が阻害され、導通スルーホールとコア部10とが電気的に短絡するという障害が生じる。
また、コア基板を形成した後工程では、コア基板の両面にビルドアップ層を形成して配線基板とする。このビルドアップ層を形成する工程においても加熱工程がある。配線基板の製造工程においては、絶縁層を介して配線層を積層構造とする際にしばしば加熱工程がある。したがって、このような加熱工程の際にコア部10あるいは基板の内層から発生するガスあるいは基板に吸湿された水分から発生する水蒸気を外部に排出させるようにすることは重要である。
図1(d)は基板16の表面にガス抜き穴140を形成するために、基板16の表面にドライフィルムレジスト(フォトレジスト)をラミネートし、露光および現像により、ガス抜き穴140を形成する部位を露出させたレジストパターン70を形成した状態を示す。
ガス抜き穴140は、基板16の表面を被覆する銅箔14および銅箔14に積層されためっき層19を部分的に穴あけし、コア部10の外面を被覆するプリプレグ12の表面を露出させてコア部10と外部とを連通させる経路を形成するためのものである。
本実施形態では、ガス抜き穴140と下孔18の開口縁との間隔Dを300〜350μmとした。ガス抜き穴140を形成する際の側面エッチング量は、めっき層19および銅箔14の厚さ、使用するエッチング液等のエッチング条件によって異なるから、具体的にはこれらの諸条件から設定すればよい。
前述したように、下孔18の開口縁の近傍にガス抜き穴140を配置しているのは、下孔18近傍からのガス抜き作用を有効にするためである。下孔18の周囲以外に、基板16の表面に多数個のガス抜き孔140を形成すれば、コア部10からガスが抜けやすくなり、また、基板16の表面に多数の凹凸が形成されるから、基板16の表面に絶縁層を被着形成する際に、絶縁層と基板16との接合強度を増大させるといった作用効果が得られる。
なお、下孔18に樹脂20を充填して熱硬化した後、下孔18から突出する樹脂20の端面を研磨し、樹脂20の端面を平坦化し、めっき層19の表面と樹脂20の端面とを面一に形成する。
図4(b)は、めっき層19を電源供給層とする電着法によって下孔18の内壁面と基板18の表面に被着形成された銅箔14およびめっき層19の表面に絶縁被膜21を形成した状態を示す。めっき層19は下孔18の内壁面と基板16の表面全体に被着しているから、めっき層19を電源供給層とする電着法を適用することによって、下孔18の内面の全面と基板16の表面の全面に絶縁被膜21を被着させることができる。絶縁被膜21は、一例として、エポキシ樹脂の電着液中に基板16を浸漬し、めっき層19を直流電源に接続し、定電流法によって電着することができる。
この絶縁被膜21は、下孔18と導通スルーホールとの電気的短絡をさらに確実に防止するために設けるものである。
絶縁被膜21を基板16の表面および下孔18の内壁面に被着した後、乾燥処理および加熱処理を行って絶縁被膜21を硬化させる。絶縁被膜21の厚さは10〜20μmである。
下孔18に樹脂20を充填した後、加熱キュアによって樹脂20を熱硬化させる際にも、基板16の表面にガス抜き穴140が設けられているから、コア部10から発生したガス、基板に吸湿された水分による水蒸気がガス抜き穴140から排出され、銅箔14、めっき層19および絶縁被膜21を膨らませるといった問題を生じさせることなく処理することができる。
下孔18に樹脂20を充填して熱硬化させた後、下孔18から突出する樹脂20の端面を研磨する。この研磨加工の際に、基板16の表面に被着する絶縁被膜21が研磨されて除去される。
コア基板は基板16の両面に配線層を積層して形成される。
図5は、図2(b)に示した、下孔18にめっき層19を被着形成した基板16の両面に配線層を形成してコア基板とする製造工程を示す。
図5(a)は、プリプレグ40、配線シート42、プリプレグ44、銅箔46をこの順に配置した状態を示す。配線シート42は絶縁樹脂シート41の両面に配線パターン42aを形成したものである。配線シート42は、たとえばガラスクロスからなる絶縁樹脂シートの両面に銅箔を被着した両面銅張り基板の銅箔層を所定パターンにエッチングして形成される。
コア基板58の表裏面に形成された配線パターン56は、導通スルーホール52を介して電気的に接続される。また、配線層48の内層に形成された配線パターン42aが適宜位置において導通スルーホール52に接続する。
コア基板58は、コア部10を含む基板16の両面に形成された銅箔14およびめっき層19にガス抜き穴140が形成された構成、基板16に形成した下孔18の内壁面にめっき層19が被着形成され、コア部10と導通スルーホール52との電気的絶縁性が確保された構成が特徴的である。
この場合も、図5、6に示す配線層48の形成方法とまったく同様に、基板16の両面に配線層48を積層させて一体化することによってコア基板58を形成することができる。コア基板58の両面に配線パターン56が形成され、コア基板58の両面に形成された配線パターン56は導通スルーホール52を介して電気的に接続されている。コア部10の両面に形成された銅箔14およびめっき層19にはガス抜き穴140が形成されている。
上述したコア基板58の製造工程においては、図2、4に示したように、基板16の両面にガス抜き孔140を形成した後、下孔18に絶縁材として樹脂20を充填し、この樹脂20を充填した基板の両面に配線層48を積層して形成した。この場合において、ガス抜き穴140については、下孔18に樹脂20を充填する工程でのみ使用し、後工程では、ガス抜き穴140が形成されている銅箔14およびめっき層19を除去して工程を進める場合もある。基板16の表面に銅箔14とめっき層19が広い範囲で被着していると、その上層に絶縁層を形成した際に、絶縁層と基板16との密着性が阻害されるおそれがあるからである。
図8(a)は、下孔18に樹脂20を充填した後、基板16の両面にフォトレジストをラミネートし、露光および現像してレジストパターン72を形成した状態を示す。レジストパターン72は、下孔18の外周縁に沿って、所定幅で被覆するように形成する。
レジストパターン72をパターニングする際には、基板16の両面にガス抜き穴140を形成した工程と同様に、銅箔14およびめっき層19をエッチングする際の側面エッチング量を考慮して、下孔18の外周縁に沿って残すレジストのパターン幅を設定する。
配線層48は、図5に示した方法と同様に、プリプレグ40、配線シート42、プリプレグ44、銅箔46をこの順に積層配置し、加熱および加圧して基板16に一体に接合して形成する。基板16の表面には、下孔18の外周縁に沿ってランド142が被着形成されているのみであるから、基板16のコア部10から発生する分解性のガスあるいは基板に吸湿された水分によって生じる水蒸気を外部に排出する経路は十分に確保される。
コア基板58の両面に形成された配線パターン56は導通スルーホール52を介して電気的に接続されている。また、コア部10に形成された下孔18の外周縁に沿ってリング状のランド142が設けられた構成となっている。
配線基板はコア基板58の両面に、たとえばビルドアップ法により配線層を積層して形成することによって得られる。
図10は、図6(b)に示した、基板16の表面にガス抜き穴140を備えたコア基板58の両面に、2層のビルドアップ層60a、60bを積層したビルドアップ層60を備える。
コア基板58の両面に形成されたビルドアップ層60の配線パターン62a、62bは導通スルーホール52およびビア63a、63bを介して電気的に導通される。
次に、デスミア処理によりビア穴の内面を粗化し、無電解銅めっきを施してビア穴の内面および絶縁層61aの表面に無電解銅めっき層を形成する。
次に、無電解銅めっき層の表面にフォトレジストを被着し、露光および現像操作により、無電解銅めっき層の配線パターン62aとなる部位を露出させたレジストパターンを形成する。
次に、レジストパターンを除去し、無電解銅めっき層の露出領域をエッチングして除去することにより、絶縁層61aの表面に配線パターン62aが形成される。
2層目のビルドアップ層60bについても、同様にして形成することができる。
配線層の最上層では、半導体素子を接続するための電極、あるいは外部接続端子を接合するための接続パッドをパターン形成し、外部に露出する電極あるいは接続パッドを除いて保護膜によって被覆する。外部に露出する電極あるいは接続パッドについては、金めっき等の所要の保護めっきが施される。
配線基板の製造方法には多種の方法がある。コア基板58の両面に形成する配線層の形成方法も上述した方法に限定されるものではない。
11 切粉
12 プリプレグ
14 銅箔
16 基板
18 下孔
19 めっき層
20 樹脂
21 絶縁被膜
40、44 プリプレグ
41 絶縁樹脂シート
42 配線シート
42a 配線パターン
46 銅箔
48 配線層
50 貫通孔
52 導通スルーホール
52a めっき層
52b 膨張部
54 樹脂
56 配線パターン
58 コア基板
60、60a、60b ビルドアップ層
62a、62b 配線パターン
63a、63b ビア
70、72 レジストパターン
Claims (10)
- 導通スルーホールが貫通する下孔が設けられた、導電性を有するコア部と、
前記下孔の内壁面と前記コア部の表面に被着形成された導体層と、
前記コア部の表面に被着形成された導体層を開口して設けられたガス抜き穴と、
前記下孔の内壁面と前記導通スルーホールの外周面との間に充填された絶縁材と、
前記コア部の両面に積層して形成された配線層と
を備えることを特徴とするコア基板。 - 前記コア部の両面に、絶縁層を介して銅箔が被着形成され、前記下孔は、該銅箔が被着した基板を貫通して設けられ、
前記導体層は、前記下孔の内壁面と前記基板の表面に被着した銅箔の表面を被覆し、
前記ガス抜き穴は、前記基板の表面に被着した銅箔と導体層とを開口して設けられていることを特徴とする請求項1記載のコア基板。 - 前記下孔の内壁面を被覆する導体層に積層して絶縁被膜が被着形成されていることを特徴とする請求項1または2記載のコア基板。
- 前記ガス抜き穴は、前記下穴の開口縁の近傍に配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載のコア基板。
- 前記コア部は、カーボンファイバを含有するプリプレグを複数枚積層し、加圧および加熱して平板体に形成されたカーボンファイバ強化プラスチックからなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載のコア基板。
- 導電性を有するコア部に下孔を形成する工程と、
該下孔が形成された基板にめっきを施し、前記下孔の内壁面と該基板の表面にめっき層を被着形成する工程と、
前記めっき層が被着形成された基板の表面に被着する導体層をエッチングしてガス抜き穴を形成する工程と、
該ガス抜き穴が形成された基板の前記下孔に絶縁材を充填する工程と
を備えることを特徴とするコア基板の製造方法。 - 前記下孔の内壁面と基板の表面にめっき層を被着形成する工程に続いて、前記めっき層を電源供給層とする電着法により、前記めっき層に積層して絶縁被膜を被着させる工程を備えることを特徴とする請求項6記載のコア基板の製造方法。
- 基板の下孔に絶縁材を充填する工程に続いて、前記基板の表面に被着する導体層を所定パターンにエッチングする工程を備えることを特徴とする請求項6または7記載のコア基板の製造方法。
- 前記下孔に絶縁材を充填する工程に続いて、基板の両面に基板と一体に配線層を形成する工程を備え、
該配線層が一体形成された基板に、前記下孔内を貫通する貫通孔を形成し、貫通孔の内壁面にめっき層を被着形成して前記導通スルーホールを形成することを特徴とする請求項6〜8のいずれか一項記載のコア基板の製造方法。 - 請求項6〜9のいずれか一項記載のコア基板の製造方法により形成したコア基板に配線層を積層して多層配線基板を形成する工程を備えることを特徴とする配線基板の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007267157A JP2009099620A (ja) | 2007-10-12 | 2007-10-12 | コア基板およびその製造方法 |
US12/170,963 US8035037B2 (en) | 2007-10-12 | 2008-07-10 | Core substrate and method of producing the same |
KR1020080075355A KR101003341B1 (ko) | 2007-10-12 | 2008-07-31 | 코어 기판 및 그 제조 방법 |
CN2008101454044A CN101409986B (zh) | 2007-10-12 | 2008-08-05 | 芯衬底及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007267157A JP2009099620A (ja) | 2007-10-12 | 2007-10-12 | コア基板およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009099620A true JP2009099620A (ja) | 2009-05-07 |
Family
ID=40533082
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007267157A Pending JP2009099620A (ja) | 2007-10-12 | 2007-10-12 | コア基板およびその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8035037B2 (ja) |
JP (1) | JP2009099620A (ja) |
KR (1) | KR101003341B1 (ja) |
CN (1) | CN101409986B (ja) |
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2008
- 2008-07-10 US US12/170,963 patent/US8035037B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-07-31 KR KR1020080075355A patent/KR101003341B1/ko not_active IP Right Cessation
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CN101409986B (zh) | 2011-03-23 |
US20090095524A1 (en) | 2009-04-16 |
KR101003341B1 (ko) | 2010-12-23 |
US8035037B2 (en) | 2011-10-11 |
KR20090037792A (ko) | 2009-04-16 |
CN101409986A (zh) | 2009-04-15 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100715 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120117 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120313 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120814 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20121218 |