JP2009094357A - 露光装置およびデバイス製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】
ステージが搭載される除振台の初期化を従来よりも短時間に行うことができる露光装置を提供する。
【解決手段】
露光装置の電源をオン状態にし、第1のアクチュエータを駆動することによりベローズに前記気体圧力を供給して、除振台を水平状態にする場合において、電源がオフ状態におけるステージの位置と予め用意した計算式とを用いてベローズへの負荷に対応する第1の気体圧力を計算し、第1の電磁弁が閉状態のまま、第1の圧力計測手段および第1のアクチュエータを用いて第1の気体圧力を供給した後で、第1の電磁弁を開状態にして、除振台の位置に基づいて第1のアクチェエータによりベローズに気体圧力を供給することにより、記除振台を水平状態にすることを特徴とする。
【選択図】図1

Description

本発明は、ステージを載置する除振台を有する露光装置に関するものである。
従来、例えば、特開2000−12435号公報(特許文献1)により、空気バネの推力調節に際して生じる傾きや揺れを抑制可能な除振装置および露光装置が提案されている。
この従来例の露光装置は、ベローズとエアアクチュエータによって支持される除振台を持つ。この除振台上には、リニアモーターで駆動され且つウェハ等の基板を載置して移動するステージと、このステージの位置を計測する手段と、がある。
この露光装置の電源がオフ状態(リセット状態がある場合は、その状態も含む)になった後の除振台の初期化方法は、除振台に設けられる位置計測手段から得た位置情報を基に、除振台が水平状態になるように、ベローズへエアアクチュエータからエア供給を行う。
特開2000−12435号公報
しかし、この従来例の露光装置の電源がオフ状態、又は、リセット状態になると、エアアクチュエータおよびリニアモーターは制御不能となる。
そのため、除振台を支持するベローズへのエア圧力供給は不定となり、除振台上に設けられたステージの位置も不定となり、この結果、除振台は床へ着座状態となり、除振台上に設けられたステージの位置決め精度が劣化する。
特に、除振台の初期化において、除振台に設けられる位置計測手段からの位置情報のみを基に、床への着座状態から除振台の初期化(水平状態化)を行おうとすると、初期化完了までに時間を要する。
そこで、本発明は、ステージが搭載される除振台の初期化を従来よりも短時間に行うことができる露光装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決する本発明の露光装置は、床に設けられる複数のベローズと、前記複数のベローズにより支持される除振台と、前記除振台の位置を計測する第1計測手段と、前記ベローズに気体圧力を供給するための第1のアクチュエータと、前記ベローズと前記第1のアクチュエータの間に在り、露光装置の電源がオフ状態となるとき、連動して閉状態にされる第1の電磁弁と、前記気体圧力を計測する第1の圧力計測手段と、前記除振台上に設けられるパッドと、前記パッドにより支持されるステージと、前記ステージの位置を計測する第2計測手段と、前記パッドに気体圧力を供給し、前記ステージを浮上させるための第2のアクチュエータと、前記パッドと前記第2のアクチュエータの間に在り、前記露光装置の電源がオフ状態となるとき、連動して閉状態にされる第2の電磁弁と、を有し、前記露光装置の前記電源をオン状態にし、前記第1のアクチュエータを駆動することにより前記ベローズに前記気体圧力を供給して、前記除振台を水平状態にする場合において、前記電源がオフ状態における前記ステージの位置と予め用意した計算式とを用いて前記ベローズへの負荷に対応する第1の気体圧力を計算し、前記第1の電磁弁が閉状態のまま、前記第1の圧力計測手段および前記第1のアクチュエータを用いて前記第1の気体圧力を供給した後で、前記第1の電磁弁を開状態にして、前記除振台の位置に基づいて前記第1のアクチェエータにより前記ベローズに気体圧力を供給することにより、前記除振台を水平状態にすることを特徴とする。
さらに、本発明の露光装置は、複数のベローズと、前記複数のベローズにより支持される除振台と、前記ベローズに気体圧力を供給するためのアクチュエータと、前記除振台の位置を計測する第1計測手段と、前記ベローズと前記アクチュエータの間に設けた電磁弁と、
前記除振台上に搭載されたステージと、前記ステージの位置を計測する第2計測手段と、前記装置の前記電源をオン状態にし、前記アクチュエータを駆動することにより前記ベローズに前記気体圧力を供給して前記除振台を水平状態にする場合において、前記電源がオフ状態における前記ステージの位置と予め用意した計算式とを用いて前記ベローズの負荷に対応する第1の気体圧力を計算し、前記電磁弁が閉状態のまま前記第1の気体圧力を供給した後で、前記第1の電磁弁を開状態にして前記除振台の位置に基づいて前記ベローズに気体圧力を供給することにより、前記除振台を水平状態にすることを特徴とする。
本発明によれば、ステージが搭載される除振台の初期化を従来よりも短時間に行うことができる。
以下、添付図面を参照して、本発明の実施例を説明する。
図1、図2を参照して、本発明の実施例の露光装置を説明する。
複数のベローズ3、4、5、6は、工場などの床31に設けられ、除振台1は、複数のベローズ3、4、5、6により支持される。
第1計測手段14は、除振台1の下に設けられ、非接触マイクロあるいは光学スケールから成り、除振台1の位置を計測する手段である。
第1のアクチュエータであるエアアクチュエータ7a,7b,7c,7dは、サーボ弁あるいは電空変換機から成り、ベローズ3、4、5、6にエア元圧30から第1の気体圧力を供給する手段である。
第1の電磁弁11a,11b,11c,11dは、ベローズ3、4、5、6とエアアクチュエータ7a,7b,7c,7dの間に配管17を介して在り、露光装置の電源がオフ状態となるとき、連動して閉状態にされる。
第1の圧力計測手段である圧力センサ9a,9b,9c,9dは、配管17を介してエアアクチュエータ7a,7b,7c,7dと第1の電磁弁11a,11b,11c,11d接続され、第1の気体圧力であるエア圧力を計測する手段である。
パッド13は、除振台1の上に設けられる。
ステージ2は、パッド13により支持され、基板2aが載置され、図示されないリニアモーターにより駆動され移動される手段である。
第2計測手段15は、除振台1の上に設けられ、レーザー干渉計あるいは光学スケールから成り、ステージ2の位置を計測する手段である。
第2のアクチュエータであるエアアクチュエータ8は、サーボ弁あるいは電空変換機から成り、パッド13にエア元圧30から第2の気体圧力であるエア圧力を供給し、ステージ2を浮上させる。
第2の圧力計測手段である圧力センサ10は、第2のアクチュエータ8と第2の電磁弁12の間に配管17を介して接続される。
第2の電磁弁12は、パッド13と圧力センサ10、第2のアクチュエータ8の間に配管17を介して在り、露光装置の電源がオフ状態となるとき、連動して閉状態にされる。
コントローラ16は、第1のアクチュエータであるエアアクチュエータ7a,7b,7c,7dおよび第2のアクチュエータ8を制御する手段である。
次に、図1、図2を参照して、さらに、除振台1を説明する。
除振台1は、エアアクチュエータ7a,7b,7c,7dによって各ベローズ3,4,5,6を駆動する推力を与えられる。
さらに、コントローラ16が、第1計測手段14からの位置情報を基に、除振台1が水平状態になるように各エアアクチュエータ7a,7b,7c,7dを駆動して、ベローズ3,4,5,6への第1の気体圧力の調整を行い、除振台1の位置決め制御をする。
ここで、各ベローズ3,4,5,6に接続された第1の電磁弁である電磁弁11a,11b,11c,11dは、位置決め制御が行われている間は開状態である。
第1計測手段14および第2計測手段15から、除振台1およびステージ2のいずれかの位置情報に異常を確認すると、エアアクチュエータ7a,7b,7c,7dは、各ベローズ3,4,5,6へのエア圧力の供給を停止する。
また、位置情報に異常を確認したとき、ベローズ3,4,5,6に接続された電磁弁11a,11b,11c,11dは閉状態になる。
除振台1のエアアクチュエータ7a,7b,7c,7dは、露光装置の電源がオフ状態になると、それと連動して各ベローズ3,4,5,6への第1の気体圧力の供給を停止する。
ベローズ3,4,5,6に接続された電磁弁11a,11b,11c,11dは、露光装置の電源がオフ状態になると閉状態となる。
図1、図2を参照して、さらに、ステージ2を説明する。
ステージ2は、図示されないリニアモーターにより駆動される。
ステージ2の位置決め制御を行うコントローラ16が、第2計測手段15からの位置情報を基にサーボ制御を行い、除振台1の上をXY方向に自由に移動して位置決めする。
また、ステージ2は、サーボ制御がなされている間、ステージ2の下部に有するパッド13に配管17を介して接続されている電磁弁12を開状態にし、エアアクチュエータ8から第2の気体圧力が与えられ、ステージ2は除振台1上に浮上する。
ステージ2を駆動する図示されないリニアモーターは、第1計測手段14と第2計測手段15により、除振台1およびステージ2のいずれかの位置情報に異常を確認すると、それと連動してステージ2への推力の供給を停止する。
ステージ2を駆動する図示されないリニアモーターは、露光装置の電源がオフ状態になると、それと連動してステージ2への推力の供給を停止する。
ステージ2の下部のパッド13に配管17を介して接続された第2の電磁弁である電磁弁12は、ステージ2を駆動する図示されないリニアモーターによるステージ2への推力の供給が停止すると、それと連動して閉状態となる。
以下、本実施例において、位置決め装置の制御性能を劣化させている要因である除振台の床への着座を回避し、位置決め装置の制御性能を向上することを説明する。
まず、図2に示される位置にステージ2が位置決めされる。
露光装置の電源がオフ状態では、除振台1に設けられるエアアクチュエータ7a,7b,7c,7d及びステージ2に設けられる図示されないリニアモーターは制御不能となる。
このため、ベローズ3,4,5,6へのエア圧力供給は不定となり、ステージ2の位置も不定となり、除振台1は床31に着座状態となる。
この除振台1の床31への着座を防止する方法として、露光装置の電源がオフ状態になったときに、ステージ2を除振台1の上に着座させさる。
それと同時にベローズ3,4,5,6に配管17を介して接続された第1の電磁弁11a,11b,11c,11dを閉状態にする。
除振台1の上に設けられたステージ2の下部に設けられるパッド13に接続された第2の電磁弁12は、露光装置の電源がオフ状態になると、それと連動して閉状態となる。
このため、ステージ2は除振台1の上に着座し、ステージ2の位置は不定とならない。
ベローズ3,4,5,6に接続された第1の電磁弁11a,11b,11c,11dは、露光装置の電源がオフ状態になると、それと連動して閉状態となる。
そのため、ベローズ3,4,5,6は、除振台1が水平状態であったときのエア圧力が保たれたままになっている。
このため、露光装置の電源がオフ状態になっても、ベローズ3,4,5,6には水平状態でのエア圧が保たれ、且つ、ステージ2は除振台1の上に着座状態にあるので、ベローズ3,4,5,6への負荷は変動しない。
この結果、除振台1は水平状態のまま床31へ着座することはない。
次に、図1、図2、図3を参照して、露光装置の初期化方法について説明する。
ここで露光装置の初期化とは、露光装置の電源のオフ状態から、電源をオン状態にすることをいう。
さらに、第1計測手段14からの除振台1の位置情報を基に、エアアクチュエータ7a,7b,7c,7dを駆動し、ベローズ3,4,5,6に第1の気体圧力を供給して、除振台1が水平状態になるように制御することをいう。
以下、第1計測手段14からの除振台1の位置情報のみを基にするよりも、効率良く短時間に除振台1を初期化できる初期化手順について説明する。
まず、露光装置の電源をオンにしたとき、ベローズ3,4,5,6に接続される電磁弁11a,11b,11c,11dは閉の状態のままにする。(ステップ101)
次に、第2計測手段15により除振台1上のステージ2の位置を計測する。(ステップ102)
次に、ステージ2の位置情報からベローズ3,4,5,6にかかる負荷を予め用意した計算式より求める。(ステップ103)
次に、ステップ103で求められたベローズ3,4,5,6にかかる負荷に対応するように、ベローズ3,4,5,6へ供給する第1の気体圧力を計算式より求める。(ステップ104)
次に、第1の圧力計測手段である圧力センサ9a,9b,9c,9dによる第1の気体圧力の情報を基に、ステップ104で求めた第1の気体圧力になるまで、エアアクチュエータ7a,7b,7c,7dを駆動する。(ステップ105)
次に、圧力センサ9a,9b,9c,9dの値が、全てステップ104で求めた第1の気体圧力値になると、第1の電磁弁11a,11b,11c,11dを開状態にする。(ステップ106)
次に、第1計測手段14からの除振台1の位置情報を基に、ベローズ3,4,5,6と、エアアクチュエータ7a,7b,7c,7dを駆動して除振台1が水平状態になるように制御する。(ステップ107)
以上の手順によると、本実施例において、除振台1の水平状態に維持されるため、第1計測手段14からの除振台1の位置情報のみを基に、除振台1の床31への着座状態から初期化する場合よりも、短時間で初期化され、効率が向上する。
次に、図4及び図5を参照して、上述の露光装置を利用したデバイス製造方法の実施例を説明する。
図4は、デバイス(ICやLSIなどの半導体チップ、LCD、CCD等)の製造を説明するためのフローチャートである。ここでは、半導体チップの製造方法を例に説明する。
露光装置を用いてウェハを露光する工程と、前記ウェハを現像する工程とを備え、具体的には、以下の工程から成る。
ステップ1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行う。
ステップ2(マスク製作)では設計した回路パターンに基づいてマスクを製作する。
ステップ3(ウェハ製造)ではシリコン等の材料を用いてウェハを製造する。
ステップ4(ウェハプロセス)は前工程と呼ばれ、マスクとウェハを用いて、上記の露光装置によりリソグラフィ技術を利用してウェハ上に実際の回路を形成する。
ステップ5(組立)は、後工程と呼ばれ、ステップ4によって作製されたウェハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の組み立て工程を含む。
ステップ6(検査)では、ステップ5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。
こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、それが出荷(ステップ7)される。
図5は、ステップ4のウェハプロセスの詳細なフローチャートである。
ステップ11(酸化)では、ウェハの表面を酸化させる。
ステップ12(CVD)では、ウェハの表面に絶縁膜を形成する。
ステップ13(電極形成)では、ウェハに電極を形成する。
ステップ14(イオン打込み)では、ウェハにイオンを打ち込む。
ステップ15(レジスト処理)では、ウェハに感光剤を塗布する。
ステップ16(露光)では、露光装置によってマスクの回路パターンをウェハに露光する。
ステップ17(現像)では、露光したウェハを現像する。
ステップ18(エッチング)では、現像したレジスト像以外の部分を削り取る。
ステップ19(レジスト剥離)では、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。
これらのステップを繰り返し行うことによってウェハ上に多重に回路パターンが形成される。
除振台およびステージを有する本発明の実施例の露光装置の側面図である。 除振台およびステージを有する本発明の実施例の露光装置の平面図である。 本発明の実施例の露光装置の初期化方法のフローチャートである。 露光装置を使用したデバイスの製造を説明するためのフローチャートである。 図4に示すフローチャートのステップ4のウェハプロセスの詳細なフローチャートである。
符号の説明
1:除振台
2:ステージ 2a:基板
3,4,5,6: ベローズ
7a,7b,7c,7d:エアアクチュエータ
8:エアアクチュエータ
9a,9b,9c,9d:圧力センサ
10:圧力センサ
11a,11b,11c,11d:電磁弁
12:電磁弁
13:パッド
14:第1計測手段
15:第2計測手段
16:コントローラ
17:配管
18,19,20,21,22,23,24,25:信号線

Claims (8)

  1. 床に設けられる複数のベローズと、
    前記複数のベローズにより支持される除振台と、
    前記除振台の位置を計測する第1計測手段と、
    前記ベローズに気体圧力を供給するための第1のアクチュエータと、
    前記ベローズと前記第1のアクチュエータの間に在り、露光装置の電源がオフ状態となるとき、連動して閉状態にされる第1の電磁弁と、
    前記気体圧力を計測する第1の圧力計測手段と、
    前記除振台上に設けられるパッドと、
    前記パッドにより支持されるステージと、
    前記ステージの位置を計測する第2計測手段と、
    前記パッドに気体圧力を供給し、前記ステージを浮上させるための第2のアクチュエータと、
    前記パッドと前記第2のアクチュエータの間に在り、前記露光装置の電源がオフ状態となるとき、連動して閉状態にされる第2の電磁弁と、を有し、
    前記露光装置の前記電源をオン状態にし、前記第1のアクチュエータを駆動することにより前記ベローズに前記気体圧力を供給して、前記除振台を水平状態にする場合において、
    前記電源がオフ状態における前記ステージの位置と予め用意した計算式とを用いて前記ベローズへの負荷に対応する第1の気体圧力を計算し、前記第1の電磁弁が閉状態のまま、前記第1の圧力計測手段および前記第1のアクチュエータを用いて前記第1の気体圧力を供給した後で、前記第1の電磁弁を開状態にして、前記除振台の位置に基づいて前記第1のアクチュエータにより前記ベローズに気体圧力を供給することにより、前記除振台を水平状態にすることを特徴とする露光装置。
  2. 前記第1のアクチュエータおよび前記第2のアクチュエータは、サーボ弁あるいは電空変換機から成ることを特徴とする請求項1記載の露光装置。
  3. 前記第1のアクチュエータは、配管を介して前記第1の圧力計測手段と接続されることを特徴とする請求項1または2に記載の露光装置。
  4. 前記第2のアクチュエータは、配管を介して第2の圧力計測手段と接続されることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の露光装置。
  5. 前記第1計測手段は、非接触マイクロあるいは光学スケールから成ることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の露光装置。
  6. 前記第2計測手段は、レーザー干渉計あるいは光学スケールから成ることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の露光装置。
  7. 複数のベローズと、
    前記複数のベローズにより支持される除振台と、
    前記ベローズに気体圧力を供給するためのアクチュエータと、
    前記除振台の位置を計測する第1計測手段と、
    前記ベローズと前記アクチュエータの間に設けた電磁弁と、
    前記除振台上に搭載されたステージと、
    前記ステージの位置を計測する第2計測手段と、
    前記装置の前記電源をオン状態にし、前記アクチュエータを駆動することにより前記ベローズに前記気体圧力を供給して前記除振台を水平状態にする場合において、
    前記電源がオフ状態における前記ステージの位置と予め用意した計算式とを用いて前記ベローズの負荷に対応する第1の気体圧力を計算し、前記電磁弁が閉状態のまま前記第1の気体圧力を供給した後で、前記第1の電磁弁を開状態にして前記除振台の位置に基づいて前記ベローズに気体圧力を供給することにより、前記除振台を水平状態にすることを特徴とする露光装置。
  8. 請求項1から7のいずれかに記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
    前記基板を現像する工程と、を備えることを特徴とするデバイス製造方法。
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000012435A (ja) * 1998-06-23 2000-01-14 Nikon Corp 除振装置および露光装置
JP2006070928A (ja) * 2004-08-31 2006-03-16 Nikon Corp 防振装置の制御方法及び露光方法
JP2006266761A (ja) * 2005-03-22 2006-10-05 Olympus Corp 計測装置
JP2006266353A (ja) * 2005-03-23 2006-10-05 Nabeya:Kk アクティブ姿勢制御方法
JP2006307932A (ja) * 2005-04-27 2006-11-09 Sumitomo Heavy Ind Ltd 除振装置
JP2007010002A (ja) * 2005-06-29 2007-01-18 Nikon Corp 防振装置及び露光装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000012435A (ja) * 1998-06-23 2000-01-14 Nikon Corp 除振装置および露光装置
JP2006070928A (ja) * 2004-08-31 2006-03-16 Nikon Corp 防振装置の制御方法及び露光方法
JP2006266761A (ja) * 2005-03-22 2006-10-05 Olympus Corp 計測装置
JP2006266353A (ja) * 2005-03-23 2006-10-05 Nabeya:Kk アクティブ姿勢制御方法
JP2006307932A (ja) * 2005-04-27 2006-11-09 Sumitomo Heavy Ind Ltd 除振装置
JP2007010002A (ja) * 2005-06-29 2007-01-18 Nikon Corp 防振装置及び露光装置

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