JP2009081420A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】微細なパターンの配線分離を行うことができる半導体装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】基板に素子分離領域を形成し第1及び第2の拡散領域に分ける工程と、前記基板上に被加工対象膜を形成する工程と、前記被加工対象膜上にハードマスク層と第1レジスト層を形成する工程と、前記第1レジスト層に第1パターンを形成する工程と、前記第1パターンをマスクとして前記ハードマスク層をエッチングする工程と、前記ハードマスク層上に第2レジスト層を形成する工程と、前記第2レジスト層に前記第1パターンを分離する第1スペース幅を有する第2パターンを形成する工程と、前記第2レジスト層に形成された前記第2パターンをマスクとして寸法変換エッチングを行うことにより前記ハードマスク層に第1スペース幅から縮小された第2スペース幅を有する第3パターンを形成する工程と、前記ハードマスク層に形成された第3パターンを用いて前記被加工対象膜をエッチングする工程と、を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【選択図】図1
【解決手段】基板に素子分離領域を形成し第1及び第2の拡散領域に分ける工程と、前記基板上に被加工対象膜を形成する工程と、前記被加工対象膜上にハードマスク層と第1レジスト層を形成する工程と、前記第1レジスト層に第1パターンを形成する工程と、前記第1パターンをマスクとして前記ハードマスク層をエッチングする工程と、前記ハードマスク層上に第2レジスト層を形成する工程と、前記第2レジスト層に前記第1パターンを分離する第1スペース幅を有する第2パターンを形成する工程と、前記第2レジスト層に形成された前記第2パターンをマスクとして寸法変換エッチングを行うことにより前記ハードマスク層に第1スペース幅から縮小された第2スペース幅を有する第3パターンを形成する工程と、前記ハードマスク層に形成された第3パターンを用いて前記被加工対象膜をエッチングする工程と、を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置の製造方法に関する。より詳細には、本発明は、トランジスタ等の配線分離において寸法制御手法を使用することにより、微細パターンを有する集積度の高い半導体装置を製造する方法に関する。
近年、半導体装置はますます微細化と高集積化が進んでいる。これに伴って、半導体装置に搭載されるMOSトランジスタのゲート長が短くなるとともに、隣り合う配線間隔およびピッチも小さくなっている。同じく半導体装置に搭載されるSRAMなどのメモリセルにおいても、高集積化に伴い、面積縮小によるビットコストの低減が求められている。そのため、レベンソン位相シフト露光法などの超解像技術を用いて、微細化要求に応えようとしているが、半導体装置の微細化要求のスピードが解像度の向上を上回って速い。そこで、リゾグラフィー技術以外の手法、例えば、ライン・アンド・スペースで配列されているゲート長を、レジストシュリンク技術によりエッチングして、リゾグラフィー解像寸法より小さく加工する技術などが実用化されている。特許文献1には、第1のパターンを形成し、第2のパターンとなる微細なスペースパターンを露光・現像して形成し、回路パターンを形成する技術が開示されている。一方、特許文献2には、リソグラフィーの解像技術以上の微細スペース形成のためにスペース制御膜とレジストマスクを用いて被加工膜の加工を行っている。
特許文献3には、反射防止膜をCHF3とCF4とO2からなるガスでエッチングすることを特徴とする、配線を形成する方法が開示されている。同文献では、CHF3:O2=1:1から9:1のエッチングガスを用いて反射防止膜をエッチングすると、寸法変換差無くエッチングできることが示されている。
特許文献4には、導電膜上に第1パターンをリゾグラフィーの解像度内で形成し、その後、パターンピッチバランス調整を行うためのトリムエッチングを行って、この第1パターンを細らせる技術が開示されている(図9)。
特許文献5および特許文献6には、エッチング促進ガスであるO2に加えてデポ物を形成しやすいデポガス(CH2F2ガス、CHF3等)を供給しながらエッチングガスを用いてコンタクトホールを形成する方法が開示されている。同文献において、CH2F2ガスの流量を調整することにより、コンタクトホール径を制御することが記載されている。
第1のパターンを第2のパターンによって分けることによって、配線パターンを形成する際に、第2のパターンの目ずれが生じると配線パターンと上層または下層の重なりが必要な部分でずれが生じるため半導体装置の所望の特性が得られない。
上記課題を解決する本発明によれば、基板に素子分離領域を形成し第1及び第2の拡散領域に分ける工程と、基板上に被加工対象膜を形成する工程と、被加工対象膜上にハードマスク層と第1レジスト層を形成する工程と、第1レジスト層に第1パターンを形成する工程と第1パターンをマスクとして前記ハードマスク層をエッチングする工程と、ハードマスク層上に第2レジスト層を形成する工程と、第2レジスト層に前記第1パターンを分離する第1スペースを有する第2パターンを形成する工程と、第2レジスト層に形成された前記第2パターンをマスクとして寸法変換エッチングを行うことによりハードマスク層に第1スペースから縮小された第2スペースを有する第3パターンを形成する工程と、ハードマスク層に形成された第3パターンを用いて被加工対象膜をエッチングする工程を含む半導体装置の製造方法が提供される。
また、本発明によれば、基板上に被加工対象膜を形成する工程と、被加工対象膜上にハードマスク層と第1レジスト層を形成する工程と、第1レジスト層に第1パターンを形成する工程と、第1パターンをマスクとしてハードマスク層をエッチングする工程と、ハードマスク層上に第2レジスト層を形成する工程と、第2レジスト層に前記第1パターンを分離する第1スペースを有する第2パターンを形成する工程と、第2レジスト層に形成された第2パターンをマスクとして寸法変換エッチングを行うことによりハードマスク層に第1スペースから縮小された第2スペースを有する第3パターンを形成する工程と、ハードマスク層に形成された第3パターンを用いて被加工対象膜をエッチングして第1配線パターンと第2配線パターンを形成する工程と、被加工対象膜上に層間絶縁膜を形成する工程と、層間膜に前記第1配線パターン及び第2配線パターンとそれぞれ接続する第1及び第2コンタクトホールを形成する工程とを含む半導体装置の製造方法が提供される。
本発明によれば、微細なパターンの配線分離を行うことができる半導体装置の製造方法が提供される。
図面を参照しつつ、本発明による半導体装置の製造方法の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
(第1の実施形態)
図1は、本発明による半導体装置の製造方法の一実施形態を示す工程断面図である。
本実施形態の半導体装置の製造方法は、第1パターンを有するレジスト70aを用いて、基板50上のマスク層10を第2パターンに加工する第1の工程(図1(A)〜(C))と、第2パターンに加工されたマスク層10aをマスクとして、基板50上に形成された配線層40をエッチングする第2の工程(図1(D))とを含む。ここで、第1工程において、第2パターンのスペース幅cが、第1パターンのスペース幅bより狭くなるように加工される。
図1は、本発明による半導体装置の製造方法の一実施形態を示す工程断面図である。
本実施形態の半導体装置の製造方法は、第1パターンを有するレジスト70aを用いて、基板50上のマスク層10を第2パターンに加工する第1の工程(図1(A)〜(C))と、第2パターンに加工されたマスク層10aをマスクとして、基板50上に形成された配線層40をエッチングする第2の工程(図1(D))とを含む。ここで、第1工程において、第2パターンのスペース幅cが、第1パターンのスペース幅bより狭くなるように加工される。
本実施形態における半導体装置の製造方法における各工程を、以下により詳細に説明する。
まず、図1(A)に示すように、所定のピッチで拡散領域80が形成され、拡散領域80間に素子分離(STI)膜(酸化膜)55が形成された基板50上に、ゲート絶縁膜45を形成する。次いで、このゲート絶縁膜45の上に、配線層としてのポリシリコン膜40を形成し、次いで、このポリシリコン膜40上に、第1のハードマスク層30、第2のハードマスク層20、および第3のハードマスク層10をこの順で形成する。次いで、第3のハードマスク層10上に、反射防止膜(ARC)60を形成し、続いて、レジスト(例えば、ArFレジスト)70を塗布成膜する。次いで、図1(B)に示すように、このレジストを第1のパターンを有するフォトマスク(図示せず)を用いて露光し、現像することによって、第1のパターンを有するレジスト70aを形成する。この第1パターンを有するレジスト70aを形成する工程において、レジスト70のうち、ポリシリコン膜40の除去予定部分の直上領域が、幅bで除去される。
第1、第2および第3のハードマスク層30、20および10としては、例えば、SiOC、SiO2、SiON、SiN、SiC、SiOF、またはSiCNを使用することができる。
次いで、図1(C)に示すように、第1のパターンが転写されたレジスト70aをマスクとして、反射防止膜60と第3のハードマスク層10をエッチングする。これにより、第2のハードマスク層20を露出させるとともに、第2のパターンを有する第3のハードマスク層10aを形成する。ここで、第3のハードマスク層10aのスペース幅cは、レジスト70aのスペース幅bより狭くなるようにエッチングされる。
エッチングに用いることができるエッチングガスとしては、CxHyFz(x=1〜5、y=0〜3、z=1〜8)で表されるフルオロカーボンガス、またはその混合物が挙げられる。このようなフルオロカーボンガスとして、好ましくは、CHF3もしくはCH2F2、またはこれらの混合ガスが用いられる。また、このようなフルオロカーボンガスに加えて、He、Ar、O2、N2、およびCF4から選択される1種以上のガスを用いてもよい。
エッチングに用いることができるエッチングガスとしては、CxHyFz(x=1〜5、y=0〜3、z=1〜8)で表されるフルオロカーボンガス、またはその混合物が挙げられる。このようなフルオロカーボンガスとして、好ましくは、CHF3もしくはCH2F2、またはこれらの混合ガスが用いられる。また、このようなフルオロカーボンガスに加えて、He、Ar、O2、N2、およびCF4から選択される1種以上のガスを用いてもよい。
次いで、図1(D)に示すように、第2のパターンを有する第3のハードマスク層10aをマスクとして、残りのレジスト70a、残りの反射防止膜60a、第2のハードマスク層20、第1のハードマスク層30、および配線層40をエッチングする。これにより、ゲート絶縁膜45を露出させるとともに、スペース幅dの配線層40aを形成する。スペース幅dは、スペース幅cとほぼ等しい。配線層のスペース幅dは、bより小さく加工され、配線突き出し寸法はa1となり、配線端部と拡散領域との距離を十分に確保することができる。
ここで、本実施形態の製造方法と従来技術の製造方法を比較する。図10(A)〜(B)は、従来技術のエッチング工程を示す工程断面図である。従来技術においては、スペース幅eのレジスト70aをマスクとしてエッチングを行い、第3のハードマスク層10aを形成する際、得られる第3のハードマスク層10aのスペース幅もeとなる(図10(A))。したがって、この第3のハードマスク層10aをマスクとして、配線層40をエッチングすると、eとほぼ等しいスペース幅fを有する配線層40aが形成される(図10(B))。この場合、配線突き出し寸法a2を十分に確保することができない。
一方、本発明によれば、レジスト70aのスペース幅bより、配線層40aのスペース幅dを狭くすることができる(図1)。これにより、レジストのパターンよりも微細なパターンの配線分離を行うことができる。
一方、本発明によれば、レジスト70aのスペース幅bより、配線層40aのスペース幅dを狭くすることができる(図1)。これにより、レジストのパターンよりも微細なパターンの配線分離を行うことができる。
(第2の実施形態)
本実施形態では、図1に示す半導体装置の製造方法を用いてSRAMメモリセルを製造する方法を説明する。本実施形態において、図1(A)に示す拡散領域80間距離が200nmである回路において、配線層をトリムエッチングにより配線分離して、SRAM対抗ゲート電極を形成する場合について説明する。
本実施形態では、図1に示す半導体装置の製造方法を用いてSRAMメモリセルを製造する方法を説明する。本実施形態において、図1(A)に示す拡散領域80間距離が200nmである回路において、配線層をトリムエッチングにより配線分離して、SRAM対抗ゲート電極を形成する場合について説明する。
図2に本実施形態の半導体装置の製造方法のフロー図を示す。また、図3及び図5は各工程フローの断面図であり、図4は図3に対応した上視図、図6は図5に対応した上視図である。なお、図3が基板に対してX方向断面とすると、図5はY方向断面である。また、説明のため、図3(C)(図4(C))と図5(A)(図6(A))は同一ステップの切断面が異なる図であり、図3(C)のAA'の断面図が図5(A)に相当する。
図7(A)〜(C)は、それぞれ、図1(B)〜(D)または図5(A)〜(C)の上視図であり、図6(A)〜(C)に相当する。説明のため、図7では拡散領域80、ハードマスク層10、第2パターン70aの開口部100、被加工対象膜に形成された第3パターン40aのみを示している。
図7(A)〜(C)は、それぞれ、図1(B)〜(D)または図5(A)〜(C)の上視図であり、図6(A)〜(C)に相当する。説明のため、図7では拡散領域80、ハードマスク層10、第2パターン70aの開口部100、被加工対象膜に形成された第3パターン40aのみを示している。
図2に従って、被加工対象膜を加工する方法を、断面図及び上視図の図3から図7を併せて参照して説明する。まず、図3(A)に示すように、基板50に素子分離膜55を形成し拡散領域80を、第1および第2の拡散領域に分離する(S1)。この基板50上にゲート絶縁膜45を形成した後、被加工対象膜である配線層40の形成を行い(S2)、単層もしくは複数の層からなるハードマスク層(例えば図3の10、20、30)を形成し(S3)、次いで、このハードマスク層の上に第1レジスト層を形成する(S4)。第1レジスト層には、レジスト層70だけでなく反射防止膜60を用いても良い。この場合、第1レジスト層に第1パターン(図3(A)の70c)を形成する(S5)と、図4(A)に示される上視図となる。この第1パターン70cを用いてハードマスク層10をエッチングすることによりハードマスク層10に第1パターン10bを形成する(S6、図3(B))。この上視図は図4(B)で示される。
続いて、図3(C)および図4(C)、ならびに図5(A)および図6(A)に示すように、第1パターンが形成されたハードマスク層10上に第2レジスト層を形成する。第2レジスト層が、第1レジスト層と同様にして、例えば、レジスト層70と反射防止膜60を用いて形成される(S7)。この第2レジスト層に第2パターン70aが図4(C)(図6(A)と同じ)に示される上視図のようにレジスト70に形成される(S8)。第2パターン70aは第1パターンを分離する第1スペース幅bを有するパターンである。この第2パターン70aを用いて後述する条件で寸法変換のトリムエッチングを行うことによりハードマスク層10に第3パターン10aが形成される(S9、図5(B))。図6(B)は第3パターン10aを形成し、第2レジスト層を除去した後の上視図である。すなわちS1〜S9により被加工対象膜上にハードマスク層10からなる第3パターン10aが形成された状態を示している。第3パターン10aは第2パターン70aにより第1パターン10bに対し第2スペース幅cを有するパターンである。この第2スペースcは第2パターン70aを用いた寸法変換エッチングの際に第1スペース幅bよりも狭く形成される。
第3パターン10aを用いた被加工対象膜40の加工(S10)により、被加工対象膜40に第3パターン40aが形成される(S11、図5(C))。ここで第2スペース幅cは第3スペース幅dとなる、すなわち、第2スペースcと第3スペース幅dは同じ幅であることが望ましいが、被加工対象膜のエッチング時に若干広がることがある。図6(C)は図5(C)の上視図であり、被加工対象膜40で形成された第3パターン40aおよびゲート絶縁膜45とその下層の拡散領域80を示している。以上の製造方法により、第2スペース幅cは後述の寸法変換を行う寸法変換エッチングにより、拡散領域80に乗り上げないで拡散領域間の素子分離領域内に形成される。
本実施形態では、半導体基板を用い、被加工対象膜である配線層としてポリシリコン膜40、第1のハードマスク層30としてアモルファスカーボン膜、第2のハードマスク層20としてSi膜、第3のハードマスク層10としてSiOC膜(25nm)を用い、反射防止膜60の膜厚は65nmとする。この反射防止膜60の上に、レジスト70を形成し、このレジスト70をトリム露光し、現像を行うことによって、スペース幅bが120nmである第2パターン開口部100を形成する(図5(A)および図7(A))。次いで、ICPタイプのエッチング装置を用いて、CHF3流量:75sccm/He流量:75sccmで、反射防止膜60およびSiOC膜10をトリムエッチングすると、SiOC膜10を、スペース幅cが104nmで加工することができる(図5(B)および図7(B))。このように形成されたSiOC膜10aをマスクとして用いて、ポリシリコン膜40をエッチングすると、スペース幅dが106nmの配線層40aが、SRAM対抗ゲート電極として形成される(図5(C)および図7(C))。また、拡散領域80からのゲート電極端部の突き出し寸法a1は47nmとなる。
しかし、実際の製造工程では、トリム露光時の露光位置や露光寸法、拡散領域の位置等においてウェハ面内/ウェハ間のばらつきがあるため、以下の4項目のばらつき要因を考慮しなければならない。
(1)拡散領域80とトリム露光位置の位置ずれ:両側で最大50nm(片側で最大25nm)
(2)拡散領域80の寸法のウェハ面内+ウェハ間ばらつきレンジ:15nm(片側で最大7.5nm)
(3)トリム露光寸法bのウェハ面内+ウェハ間ばらつきレンジ:15nm(片側で最大7.5nm)
(4)配線層40のトリムエッチング後寸法dのウェハ面内+ウェハ間ばらつきレンジ:15nm(片側で最大7.5nm)。
上記の数値は、本実施形態における例示である。これらの数値は、デザインルールや製品に応じて適宜設定されるものである。
(1)拡散領域80とトリム露光位置の位置ずれ:両側で最大50nm(片側で最大25nm)
(2)拡散領域80の寸法のウェハ面内+ウェハ間ばらつきレンジ:15nm(片側で最大7.5nm)
(3)トリム露光寸法bのウェハ面内+ウェハ間ばらつきレンジ:15nm(片側で最大7.5nm)
(4)配線層40のトリムエッチング後寸法dのウェハ面内+ウェハ間ばらつきレンジ:15nm(片側で最大7.5nm)。
上記の数値は、本実施形態における例示である。これらの数値は、デザインルールや製品に応じて適宜設定されるものである。
上記(1)〜(4)の全てのばらつきが同時に発生する可能性は非常に低いため、仮に二乗和でばらつきを考えると、ゲート電極40aの位置と拡散領域80との位置において、片側で28nmのばらつきが発生し得ると考えられる。例えば、トリム露光寸法bを120nmとし、寸法変換差が無いトリムエッチングを行うと、トリムエッチング後のSRAM対抗ゲート電極間距離dも約120nmとなる。片側28nmのばらつきを含めて考えると、拡散領域80間距離200nmに対して、ゲート電極40a端部が拡散領域80から突き出す寸法a1は、11nmとなる。
さらに、ビットコスト低減のために、上記SRAMメモリセルを90%に縮小する場合を考えると、拡散領域80間距離は180nmに縮小され、ゲート電極40a端部が拡散領域80から突き出す寸法a1は、片側28nmのばらつき分を含めると、僅か1nmとなり、製造上マージンがほとんど無くなる。さらに、拡散領域80上にゲート電極40a端部が乗り上げる箇所が発生した場合には、トランジスタとしての性能が失われ、SRAM回路は作動不可能となる。
そこで、レジスト70aのトリム露光寸法bを小さくする必要があるが、図8に示すとおり、トリム露光寸法bを小さくして、SRAM対抗電極間寸法dを小さくしようとすると、焦点深度(DOF)が小さくなる問題が発生する。図8のグラフによると、0.2μm以上の焦点深度が製造上必要である場合、トリム露光寸法は最低120nm以上である必要がある。このトリム露光寸法は、露光機器の解像度により規定されるため、さらに大きな寸法となる場合もある。
そこで、レジストのトリム露光寸法bよりも第3ハードマスク層のトリム露光寸法dを小さくする寸法変換トリムエッチングを行い、この第3ハードマスク層をマスクとしてエッチングを行うことにより、トリム露光寸法bが120nmに対して、SRAM対抗ゲート電極40a間寸法dを106nmにすることが可能である。また、SRAM対抗ゲート電極40a端部が拡散領域80から突き出す寸法a1は、8nmとすることができる。
図11は、レジストのトリム露光寸法bとトリムエッチング後の第3のハードマスク層10aの露光寸法cとの差である、寸法変換差と、エッチングガスであるCHF3とHeの流量比との関係を示すグラフである。例えば、CHF3:Heを75:75sccmから150:50sccmへ変更することで、寸法変換差は16nmから22nmにすることができる。したがって、ゲート電極端部が拡散領域から突き出す寸法a1をより大きく取ることができる。
図12は、エッチングガスとして、CHF3流量:75sccm/He流量:75sccmを使用して、25nmおよび50nmの膜厚を有する第3のハードマスク層10をトリムエッチングした場合の、寸法変換差(nm)を表すグラフである。膜厚25nmのハードマスク層10をトリムエッチングした場合には、寸法変換差(b−c)を約17nmとすることができ、膜厚50nmのハードマスク層10を用いた場合には、寸法変換差を約30nmとすることができる。
本実施形態では、第3のハードマスク層10として、SiOCを用いたが、SiOC以外の材料、例えば、SiO2、SiON、SiN、SiC、SiOF、SiCNを用いることもできる。これらの材料を用いた場合でも、SiOCの場合と同様にトリムエッチングが可能である。さらに、本実施形態では、CHF3とHeの混合ガスを用いたが、その他のエッチングガスを用いることができる。このようなエッチングガスとしては、CHF3もしくはCH2F2、またはこれらの混合ガスが挙げられる。また、これらのエッチングガスに加えて、He、Ar、O2、N2、およびCF4から選択される1種以上のガスを用いてもよい。
CHF3ガスやCH2F2ガスのようなハイドロフルオロカーボン系のガスを用いて反射防止膜60やハードマスク層10のエッチングを行うと、反射防止膜60aおよびハードマスク層10aのエッチング面側に、膜状の堆積物が形成されることが確認されている。この堆積物は、エッチングガスから供給される炭化フッ素を含むポリマーからなると考えられる。このようにして得られた堆積物は、ハードマスク層10aの保護膜の役割を果たし、エッチングが深く進行するに連れて細く加工されていき、最終的にテーパー形状の凹部が得られる。
このように、寸法変換差は、エッチングガスの種類および流量比、ハードマスク層の膜厚等に依存する。したがって、これらの条件を変更することにより、所望のスペース幅を得ることが可能である。
さらに、寸法変換エッチング条件の設定方法を説明する。設定のための準備として、例えば、図11に示されるガスの組成比と寸法変換差の関係を取得する。また、ゲートラインを分離するための第2パターンのスペース幅bの実際の露光での限界値を取得する。ここで、拡散領域およびゲートライン幅やゲートライン分離幅はデザインルールや製品に応じて設計値が決まっているので、取得した露光の限界値とゲートラインの分離幅を比較して必要な寸法変換量が決定される。必要な寸法変換量から図11を基に適切なガスの組成比が決定される。
さらに、寸法変換エッチング条件の設定方法を説明する。設定のための準備として、例えば、図11に示されるガスの組成比と寸法変換差の関係を取得する。また、ゲートラインを分離するための第2パターンのスペース幅bの実際の露光での限界値を取得する。ここで、拡散領域およびゲートライン幅やゲートライン分離幅はデザインルールや製品に応じて設計値が決まっているので、取得した露光の限界値とゲートラインの分離幅を比較して必要な寸法変換量が決定される。必要な寸法変換量から図11を基に適切なガスの組成比が決定される。
寸法変換差はガスの組成比だけではなく、図12で説明を行ったとおりハードマスクの膜厚でも調整できる。したがって図12のハードマスクの膜厚と寸法変換差のデータを予め取得し、必要な寸法変換量から図12を基に適切なハードマスクの膜厚を決定することもできる。さらに、図12ではハードマスク膜厚と寸法変換差の関係を示したが、反射防止膜の膜厚を変更した場合も同様な関係を得ることができる。すなわち、第2レジスト層として用いられる反射防止膜の膜厚が厚いほど寸法変換差が大きくなるという関係である。
(第3の実施形態)
本実施例では、ゲートライン90のコンタクトホール形成領域に寸法変換エッチングを行う方法について説明する。コンタクト形成領域はゲートライン90の幅とコンタクトホール120の大きさに合わせて必要に応じてパッドとして形成される。本実施形態では、図15に示すように、基板50上にゲートライン90、コンタクトパッド110が設けられている。コンタクトパッド110の上部にはコンタクトホール120が設けられ、これらを覆うようにSiN層間膜およびSiO2層間膜が存在する。本実施形態においても、第1の実施形態と同様、ハードマスク層、反射防止膜およびレジストを用いてトリムエッチングを行う。
本実施例では、ゲートライン90のコンタクトホール形成領域に寸法変換エッチングを行う方法について説明する。コンタクト形成領域はゲートライン90の幅とコンタクトホール120の大きさに合わせて必要に応じてパッドとして形成される。本実施形態では、図15に示すように、基板50上にゲートライン90、コンタクトパッド110が設けられている。コンタクトパッド110の上部にはコンタクトホール120が設けられ、これらを覆うようにSiN層間膜およびSiO2層間膜が存在する。本実施形態においても、第1の実施形態と同様、ハードマスク層、反射防止膜およびレジストを用いてトリムエッチングを行う。
図13に本実施形態の半導体装置の製造方法のフロー図を示す。まず、基板50上にゲートライン90のような下層配線形成用の被加工対象膜を形成し、実施形態1と同様に、被加工対象膜上に形成した第1レジスト層に形成された第1パターンをマスクとしてハードマスク層に第1パターンを形成する(S21〜S25)。次いで、第2レジスト層に第1配線及び第2配線として分離を行うための第1スペース幅bを有する第2パターン開口部100を形成する(S26およびS27)。この第2パターン開口部100をマスクとして寸法変換トリムエッチングを行ってハードマスク層に第3パターンを形成する。この寸法変換エッチングにより第3パターンには第2パターン開口部100の第1スペース幅bから縮小された第2スペース幅cが形成されることになる(S28)。第3パターンが形成されたハードマスクにより被加工対象膜をさらにエッチングし(S29)、第3パターンが被加工対象膜に形成され(S30)、第1配線91及び第2配線92が形成される。
続いて、ゲートライン90に対するサイドウォールの形成(S31)、および層間絶縁膜の形成(S32)が行われる。S31やS32の間にはトランジスタ形成のためのイオン注入など適切に行われる。第2スペース幅cを有するマスクで分割された第1および第2の配線91および92に接続されるコンタクトホール120が開口され、金属膜の埋め込みが行われ上層配線と接続される(S33)。以上により、寸法変換のトリムエッチングが行うことによりコンタクトホール120を形成する際の目ずれマージンが増加し、コンタクト抵抗の増加を抑制することができる。
続いて、ゲートライン90に対するサイドウォールの形成(S31)、および層間絶縁膜の形成(S32)が行われる。S31やS32の間にはトランジスタ形成のためのイオン注入など適切に行われる。第2スペース幅cを有するマスクで分割された第1および第2の配線91および92に接続されるコンタクトホール120が開口され、金属膜の埋め込みが行われ上層配線と接続される(S33)。以上により、寸法変換のトリムエッチングが行うことによりコンタクトホール120を形成する際の目ずれマージンが増加し、コンタクト抵抗の増加を抑制することができる。
図14(A1)は、理想型のトリム露光状態を示す図である。ここで、ゲートライン90のピッチは300nmである。トリム露光パターン開口部100は矩形であり、コンタクトパッド110の中心に位置する。図14(A1)に示されるように、コンタクトホール120の直径が90nmであり、ピッチが300nmであり、トリム露光パターン100の短軸寸法が140nmである場合、トリム露光パターン開口部100の端部とコンタクトホール120の端部との距離は35nmである。
しかし、実際のトリム露光においては、図14(A2)に示すように、トリム露光パターン開口部100は楕円形である。図14(A2)は、図14(A1)のトリム露光パターン開口部100が楕円形である場合を示す図である。さらに、実際には、トリム露光パターン開口部100の位置ずれや各部材位置のウェハ面内/ウェハ間のばらつきが存在するため、以下の6項目を考慮する必要がある。
(1)コンタクトパッド110とレジストのトリム露光パターン開口部100位置の位置ずれ:両側で最大50nm(片側で最大25nm)
(2)コンタクトパッド110のトリム露光パターン開口部100の位置ずれ:両側で最大50nm(片側で最大25nm)
(3)トリム露光パターン開口部100の寸法のウェハ面内+ウェハ間ばらつきレンジ:15nm(片側で最大7.5nm)
(4)レジストのトリムエッチング後寸法のウェハ面内+ウェハ間ばらつきレンジ:15nm(片側で最大7.5nm)
(5)コンタクトパッド110のトリム露光位置のウェハ面内+ウェハ間ばらつきレンジ:10nm(片側で最大5nm)
(6)コンタクトホール120のエッチング後寸法のウェハ面内+ウェハ間ばらつきレンジ10nm(片側で最大5nm)。
上記の数値は、本実施形態における例示である。これらの数値は、デザインルールや製品に応じて適宜設定されるものである。
(1)コンタクトパッド110とレジストのトリム露光パターン開口部100位置の位置ずれ:両側で最大50nm(片側で最大25nm)
(2)コンタクトパッド110のトリム露光パターン開口部100の位置ずれ:両側で最大50nm(片側で最大25nm)
(3)トリム露光パターン開口部100の寸法のウェハ面内+ウェハ間ばらつきレンジ:15nm(片側で最大7.5nm)
(4)レジストのトリムエッチング後寸法のウェハ面内+ウェハ間ばらつきレンジ:15nm(片側で最大7.5nm)
(5)コンタクトパッド110のトリム露光位置のウェハ面内+ウェハ間ばらつきレンジ:10nm(片側で最大5nm)
(6)コンタクトホール120のエッチング後寸法のウェハ面内+ウェハ間ばらつきレンジ10nm(片側で最大5nm)。
上記の数値は、本実施形態における例示である。これらの数値は、デザインルールや製品に応じて適宜設定されるものである。
上記(1)〜(6)のばらつきが同時に発生する可能性は非常に低いため、仮に二乗和でばらつきを考えると、トリム露光開口部100の位置において、片側で38nmのばらつきが発生し得ると考えられる。例えば、トリム露光寸法bを140nmとし、寸法変換差が無いエッチングを行うと、ばらつき分を考慮しなければ、図14(B1)に示すように、コンタクトパッド110も約140nmだけエッチングされ、コンタクトホール120は残る。ここで、図14(B1)において、エッチングされた寸法Aはbとほぼ等しい。しかし、トリム露光位置の片側38nmのばらつきが存在する場合、図14(B2)および図15(A)に示すように、コンタクトホール120を3nm削ってしまい、ゲート/コンタクト抵抗が上昇してしまう。
そこで、トリム露光寸法bより小さく加工する寸法変換エッチングを用いる。ここでは、露光スペース幅Aを140nmとし、コンタクトパッド110のエッチング幅Bは120nmとなるようにトリムエッチングを行う。コンタクトホール120とコンタクトパッド110とトリム露光位置100のずれがない場合(図14(C1))、コンタクトパッド110の端部とコンタクトホール120の端部との距離は十分に存在する。また、図14(C2)に示すように、片側38nmのばらつきが存在する場合でも、コンタクトパッド110の端部とコンタクトホール120の端部との距離は存在する。したがって、ゲート/コンタクト抵抗の上昇を防ぐことができる。さらに、コンタクトホール120間の距離がさらに小さい場合であっても、本発明の方法を用いることにより、コンタクトパッドの削れによるゲート/コンタクト抵抗の上昇を防ぐことができる。
エッチング寸法Bは、実施形態1もしくは実施形態2に開示された方法を適用し、用いる反射防止膜やハードマスク層の膜厚、エッチングガスを変化させることにより制御可能である。
実施形態3での寸法変換エッチング条件の設定方法は2実施形態と同様に行う。コンタクトホール形成領域のゲートラインの分離幅は設計データから取得する。この設計データ及び取得した露光の限界値から必要な寸法変換量を決定し、予め取得した寸法変換差とガスの組成比もしくは第2レジスト層の膜厚の関係からエッチング条件が設定される。
実施形態3での寸法変換エッチング条件の設定方法は2実施形態と同様に行う。コンタクトホール形成領域のゲートラインの分離幅は設計データから取得する。この設計データ及び取得した露光の限界値から必要な寸法変換量を決定し、予め取得した寸法変換差とガスの組成比もしくは第2レジスト層の膜厚の関係からエッチング条件が設定される。
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、多層配線における配線パターンの分離など、上記以外の様々な構成を採用することができる。
10 第3のハードマスク層
10a 加工された第3のハードマスク層
10b 第1パターンを有するハードマスク層
11 レジスト寸法
11a ライン配線
20 第2のハードマスク層
30 第1のハードマスク層
40 配線層・ポリシリコン膜
40a 加工された配線層
45 ゲート絶縁膜
50 基板
55 素子分離膜
60 反射防止膜
70 レジスト
70a 露光されたレジスト
70c 露光されたレジスト
80 拡散領域
90 ゲートライン
91 第1配線
92 第2配線
100 露光パターン
110 コンタクトパッド
120 コンタクトホール
150 サイドウォール
170 層間膜
180 SiO2層間膜
10a 加工された第3のハードマスク層
10b 第1パターンを有するハードマスク層
11 レジスト寸法
11a ライン配線
20 第2のハードマスク層
30 第1のハードマスク層
40 配線層・ポリシリコン膜
40a 加工された配線層
45 ゲート絶縁膜
50 基板
55 素子分離膜
60 反射防止膜
70 レジスト
70a 露光されたレジスト
70c 露光されたレジスト
80 拡散領域
90 ゲートライン
91 第1配線
92 第2配線
100 露光パターン
110 コンタクトパッド
120 コンタクトホール
150 サイドウォール
170 層間膜
180 SiO2層間膜
Claims (16)
- 基板に素子分離領域を形成し第1及び第2の拡散領域に分ける工程と、
前記基板上に被加工対象膜を形成する工程と、
前記被加工対象膜上にハードマスク層と第1レジスト層を形成する工程と、
前記第1レジスト層に第1パターンを形成する工程と
前記第1パターンをマスクとして前記ハードマスク層をエッチングする工程と、
前記ハードマスク層上に第2レジスト層を形成する工程と、
前記第2レジスト層に前記第1パターンを分離する第1スペース幅を有する第2パターンを形成する工程と、
前記第2レジスト層に形成された前記第2パターンをマスクとして寸法変換エッチングを行うことにより前記ハードマスク層に第1スペース幅から縮小された第2スペース幅を有する第3パターンを形成する工程と、
前記ハードマスク層に形成された第3パターンを用いて前記被加工対象膜をエッチングする工程と、を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第2スペースを前記第1及び第2の拡散領域間の素子分離領域に形成することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第3パターンがゲート電極パターンであることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ハードマスク層の上に反射防止膜が形成されることを特徴とする、請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ハードマスク層は、SiOC、SiO2、SiON、SiN、SiC、SiOF、またはSiCNから選択される少なくとも一種を含むことを特徴とする、請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ハードマスク層の寸法変換エッチング工程において使用されるエッチングガスは、CxHyFz(x=1〜5、y=0〜3、z=1〜8)で表されるフルオロカーボンガス、またはその混合物であることを特徴とする、請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記フルオロカーボンガスは、CHF3もしくはCH2F2、またはこれらの混合ガスであることを特徴とする、請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記エッチングガスは、He、Ar、O2、N2、およびCF4から選択される1種以上をさらに含むことを特徴とする、請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
- 基板上に被加工対象膜を形成する工程と、
前記被加工対象膜上にハードマスク層と第1レジスト層を形成する工程と、
前記第1レジスト層に第1パターンを形成する工程と、
前記第1パターンをマスクとして前記ハードマスク層をエッチングする工程と、
前記ハードマスク層上に第2レジスト層を形成する工程と、
前記第2レジスト層に前記第1パターンを分離する第1スペースを有する第2パターンを形成する工程と、
前記第2レジスト層に形成された前記第2パターンをマスクとして寸法変換エッチングを行うことにより前記ハードマスク層に第1スペースから縮小された第2スペースを有する第3パターンを形成する工程と、
前記ハードマスク層に形成された第3パターンを用いて前記被加工対象膜をエッチングして第1配線パターンと第2配線パターンを形成する工程と、
前記被加工対象膜上に層間絶縁膜を形成する工程と、
前記層間絶縁膜に前記第1配線パターン及び前記第2配線パターンとそれぞれ接続する第1及び第2コンタクトホールを形成する工程とを含んだ半導体装置の製造方法。 - 前記第3パターンがゲート電極パターンであることを特徴とする請求項9に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第3パターンはコンタクトホール形成領域にパッドを有し、前記パッド部分に前記第2パターンの第2スペースを形成することを特徴とする請求項9に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ハードマスク層の上に反射防止膜が形成されることを特徴とする、請求項9に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ハードマスク層は、SiOC、SiO2、SiON、SiN、SiC、SiOF、またはSiCNから選択される少なくとも一種を含むことを特徴とする、請求項9に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ハードマスク層の寸法変換エッチング工程において使用されるエッチングガスは、CxHyFz(x=1〜5、y=0〜3、z=1〜8)で表されるフルオロカーボンガス、またはその混合物であることを特徴とする、請求項9に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記フルオロカーボンガスは、CHF3もしくはCH2F2、またはこれらの混合ガスであることを特徴とする、請求項14に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記エッチングガスは、He、Ar、O2、N2、およびCF4から選択される1種以上をさらに含むことを特徴とする、請求項14に記載の半導体装置の製造方法。
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