JP2009080090A - 圧電センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加圧されることにより電位を生じる、第1の面a1と第1の面a1に対して表裏の関係にある第2の面a2を有する圧電体1と、圧電体1の第1の面a1と対向するシグナル電極4をその一方の面g1に有し、シグナル電極4を有する面g1が圧電体1の第1の面a1に貼接されるように配設された第1の基材5と、圧電体1の第2の面a2と対向する第1のグランド電極7をその一方の面d1に有し、第1のグランド電極7を有する面d1が圧電体1の第2の面a2に貼接されるように配設された第2の基材8と、一方の面b1が第1の基材5のシグナル電極4を有する面g1に貼接し、他方の面b2が第2の基材8の第1のグランド電極7を有する面d1に貼接され、圧電体1が配設された部分以外(例えば、h)に配設されたスペーサ部材6とを備える。
【選択図】図1
Description
加圧されることにより電位を生じる、第1の面a1と第1の面a1に対して表裏の関係にある第2の面a2を有する圧電体1と;
圧電体1の第1の面a1と対向するシグナル電極4をその一方の面g1に有し、シグナル電極4を有する面g1が圧電体1の第1の面a1に貼接されるように配設された第1の基材5と、圧電体1の第2の面a2と対向する第1のグランド電極7をその一方の面d1に有し、第1のグランド電極7を有する面d1が圧電体1の第2の面a2に貼接されるように配設された第2の基材8と、一方の面b1が第1の基材5のシグナル電極4を有する面g1に貼接し、他方の面b2が第2の基材8の第1のグランド電極7を有する面d1に貼接され、圧電体1が配設された部分以外(例えば、h)に配設されたスペーサ部材6(6’)とを備える。
「貼接」とは、二つの部材が互いに貼り合わされていることをいい、その基材間に接着用の部材(接着材、接着剤)が挟まれている場合、二つの前記基材の何れかがそれ自身で接着性を有する場合、その面を接して当該部材が固定されている場合、も互いの関係は貼接されていると言う。
「対向する」とは、二つの面が略平行に置かれ、その面と垂直の方向から見たとき、これら二つの面(又は面上)の二つの形状が重なり合う状態を言う。尚、ここで、「重なり合う」とは、二つの形状のうち、一つの形状が他の形状より大きい場合を含む。また、一方が複数の形状からなる場合に他方の形状の一つが複数の形状をカバーする場合を含む。
ここで、厚さとは、各部材の貼り合わせ後の厚さであり、例えば、接着剤の硬化等による体積変化後の厚さである。
ここで保護膜11は、第1の基材5’、及び第2の基材8の全面に設けてもよいし、部分的に設けてもよい。
まず、図1及び図2を参照して、本発明の実施の形態としての圧電センサ100について説明する。図1は圧電センサ100の組み立て構造図。図2は圧電センサ100の長手方向に直交する面での断面図である。圧電センサ100は、第1の面a1と第2の面a2を有する高分子圧電体としての板状の圧電体1と、圧電体1の第1の面a1に接して配置される板状の接着材2、第2の面a2に接して配置される板状の接着材3、シグナル電極4が圧電体1の第1の面a1に対向するようにその一方の面g1に配設された第1の基材5、グランド電極7がその一方の面d1に配設された第2の基材8、圧電体1(又は、更に第1及び第2の接着材2,3も含む)の配置される部分を除いて第1の基材5と第2の基材8の間の空間を充填するスペーサ部材6から成る。スペーサ部材6は熱可塑性を有することが望ましい。このようにして、圧電体1、第1の基材5、及び第2の基材8は、上下から適当な圧力をかけられ、第1の接着材2、第2の接着材3、及びスペーサ部材6により貼り合わされる。尚、圧電体1の検知電圧はシグナル電極4とグランド電極7の両端から出力される。
尚、本実施の形態では、シグナル電極4と第1の接着材2の形状が略同じ場合について説明したが、その大きさは互いに異なっていてもよい。
図3、及び図4に、第2の実施の形態における圧電センサ200を示す。図3は、組み立て構造図であり、図4は、圧電センサ200の断面図である。図3、図4は第1の基材5’がその裏面にグランド面10を有する構成である点、保護膜材9が設けられている点を除いて図1と同じである。
図5は、第3の実施の形態の圧電センサ300の組み立て構造図を示したものである。本実施の形態は、第1及び第2の接着材2’3’が導電性の接着材を用いている点を除いて図1と同じである。第1及び第2の接着材2’3’として、例えば、スクリーン印刷で形成する異方性導電接着剤や 異方導電性接着フィルム、等方性導電接着剤や 等方導電性接着フィルム接着材を用いることができる。尚、導電性接着材の適用は第1の接着材と第2の接着材の一方であっても双方でもよい。
図6は、第4の実施の形態の圧電センサ400の断面図を示したものである。本実施の形態は、図1、図3、図5のスペーサ部材6の厚さが、スペーサ部材6の収納窓hに収納されるもの(図6では、シグナル電極4、第1の接着材2、圧電体1、及び第2の接着材3)の厚さの合計より薄くなるように設定したものである。このような寸法関係から、図6に示すように熱圧着組み立て後、第2の基材8の圧電体1収納側と反対の面に圧電体の厚さに対応して高さjの凸部iが生じる。
図7、図8は、第5の実施の形態の圧電センサ500の組み立て構造図、及び断面図である。本実施の形態は、図8に示すようにシグナル電極の配線ライン13上に保護膜11を設けたものである。尚、図8では、保護膜11は、シグナル電極4の部分を除いて設けられているが、電極上に設けることも出来る。この保護膜11は、圧電センサ500が高温多湿下での長期使用などの使用環境下で圧電センサ500の側面k’(図8参照)から湿気が侵入してシグナル電極4とグランド電極7間の絶縁抵抗が低下すること軽減し、絶縁抵抗の低下による感度低下や短絡等の不具合を防止するものである。これにより、圧電センサ500の耐環境性を向上することができる。尚、ここでは、シグナル電極4側の一部の面に保護膜11を設ける構成を示したが、第1の基材5’のシグナル電極4が配設された面の全面に形成することも可能であり、また、必要に応じてグランド電極7側にも設けることが出来ることは当然である。
図10、図11は、第6の実施の形態の圧電センサ600の組み立て構造図、及び断面図である。本実施の形態は、図10に示すようにスペーサ部材6’として接着性のない絶縁体を用い、第1の接着材2’’、及び第2の接着材3’’をスペーサ部材6’の両面に貼接すると共に、各々、第1の基材5、第2の基材8の全面に貼付するようにしたものである。尚、スペーサ部材6’には圧電体1が収納される収納窓hを有している。図11に示すように、圧電体1、スペーサ部材6、及び基材5,8が、第1の接着材2’’、第2の接着材3’’で貼り合わされている。尚、本実施の形態では第2に接着材3’’に導電性の材質を使用することができるが、第1の接着材2’’については複数の圧電体11〜1nが短絡するため導電性材質のものを使用しない。
図12、図13は、第7の実施の形態の圧電センサ700の組み立て構造図、及び断面図である。本実施の形態は、図13に示すように圧電体1と第1の基材5を第1Aの接着材2’で貼接し、圧電体1と第2の基材8を第2Aの接着材3’で貼接し、スペーサ部材6’と第1の基材5を第1Bの接着材2’’’で貼接し、スペーサ部材6’と第2の基材8を第2Bの接着材3’’’で貼接したものである。図12に示すように、第1B及び第2Bの接着材2’’’,3’’’は、スペーサ6’の収納窓hに重なるように窓(h1a〜hna)、(h1b〜hnb)が設けられている。本実施の形態は図10で示した第6の実施の形態の第1の接着材2’’、第2の接着材3’’が、各々、2つの接着材2’、2’’’、及び、接着材3’、3’’’で構成されていると見なすことが出来る。また、図12に示すようにスペーサ部材6’として、接着性の無い材質である絶縁体の一方の面b1及び他方の面b2に接着材2’’’及び接着材3’’’が貼接された三層構造体であり、その三層構造体のスペーサ部材6を貫通する収納窓h(例えば、h1b、h1、h1a)を有するともみなせる。収納窓hには圧電体1及び第1及び第2の接着材2’,3’が収納される。
2 2’2’’2’’’ 第1の接着材
3 3’3’’3’’’ 第2の接着材
4 シグナル電極
5 5’ 第1の基材
6 6’スペーサ部材
7 第1のグランド電極
8 第2の基材
9 保護膜材
10 第2のグランド電極
11 保護膜
13 配線ライン(シグナル)
14 配線ライン(グランド)
15 接着層
51 高分子圧電体(従来技術)
52 シグナル電極(従来技術)
53 グランド電極(従来技術)
54,55 基材(従来技術)
56,57 接着層(従来技術)
58 未接着部分(従来技術)
59 電極配線ライン(従来技術)
100,100’,200,300,400,500,600,700 圧電センサ
h 収納窓
i 凸部(第2の基材)
k,k’ 側面(圧電センサ)
Claims (17)
- 加圧されることにより電位を生じる、第1の面と前記第1の面に対して表裏の関係にある第2の面を有する圧電体と;
前記圧電体の前記第1の面と対向するシグナル電極をその一方の面に有し、前記シグナル電極を有する面が前記圧電体の第1の面に貼接されるように配設された第1の基材と;
前記圧電体の前記第2の面と対向する第1のグランド電極をその一方の面に有し、前記第1のグランド電極を有する面が前記圧電体の第2の面に貼接されるように配設された第2の基材と;
一方の面が前記第1の基材のシグナル電極を有する面に貼接し、他方の面が前記第2の基材の前記第1のグランド電極を有する面に貼接され、前記圧電体が配設された部分以外に配設されたスペーサ部材と;を備える、
圧電センサ。 - 前記圧電体の前記第1の面と前記第1の基材の前記シグナル電極を有する面を貼接し、更に、前記スペーサ部材の前記一方の面と前記第1の基材の前記シグナル電極を有する面を貼接する第1の接着材と;
前記圧電体の前記第2の面と前記第2の基材の前記グランド電極を有する面を貼接し、更に、前記スペーサ部材の前記他方の面と前記第2の基材の前記グランド電極を有する面を貼接する第2の接着材と;を備え、
前記スペーサ部材には、前記圧電体を収納する収納窓が形成されている、
請求項1に記載の圧電センサ。 - 前記スペーサ部材の前記一方の面、及び前記圧電体の前記第1の面の全体が、前記第1の接着材を介して、前記第1の基材の前記シグナル電極を有する面と貼接し、
前記スペーサ部材の前記他方の面、及び前記圧電体の前記第2の面の全体が、前記第2の接着材を介して、前記第2の基材の前記グランド電極を有する面と貼接する、
請求項2に記載の圧電センサ。 - 前記第1の接着材は、前記圧電体の前記第1の面と前記第1の基材の前記シグナル電極を有する面を貼接する第1Aの接着材と、前記スペーサ部材の前記収納窓に重なる収納窓を有する前記第1Aの接着材とは別体の第1Bの接着材を含んで構成される、
請求項3に記載の圧電センサ。 - 前記第2の接着材が導電性である、
請求項2又は請求項3に記載の圧電センサ。 - 前記第1Aの接着材が導電性である、
請求項4に記載の圧電センサ。 - 前記第1の接着材、前記第2の接着材、又は、前記スペーサ部材が、組み立て環境において非タック性を有する、
請求項2乃至請求項6に記載の圧電センサ。 - 前記スペーサ部材の前記収納窓に収納される部材の厚さの合計が、前記スペーサ部材の厚さより厚い、
請求項2乃至請求項7に記載の圧電センサ。 - 前記第1の基材は、前記圧電体の前記第1の面と対向する面の裏面に第2のグランド電極を有する、
請求項1乃至請求項8に記載の圧電センサ。 - 前記シグナル電極、前記グランド電極、又は、それらの配線ラインに保護膜を設けた、
請求項1乃至請求項9に記載の圧電センサ。 - 前記圧電体の前記第1の面と前記第1の基材の前記シグナル電極を有する面を貼接する第1の接着材とを備え;
前記圧電体の前記第2の面と前記第2の基材の前記グランド電極を有する面を貼接する第2の接着材と;
前記スペーサ部材は、それ自身が接着性を有すると共に、前記圧電体を収納する収納窓が形成されている、
請求項1に記載の圧電センサ。 - 前記第1の接着材が前記圧電体の前記第1の面と同一の形状及び同一の面積であり、
又は、前記第2の接着材が前記圧電体の前記第2の面と同一の形状及び同一の面積であり、
前記圧電体と共に、前記第1の接着材、又は、第2の接着材が前記収納窓に収納される、
請求項11に記載の圧電センサ。 - 前記第1の接着材、又は前記第2の接着材が導電性である、
請求項11又は請求項12に記載の圧電センサ。 - 前記第1の接着材、前記第2の接着材、又は、前記スペーサ部材が、組み立て環境において非タック性を有する、
請求項11乃至請求項13に記載の圧電センサ。 - 前記収納窓に収納される部材の厚さの合計が、前記スペーサ部材の厚さより厚い、
請求項11乃至請求項14に記載の圧電センサ。 - 前記第1の基材は、前記圧電体の前記第1の面と対向する面の裏面に第2のグランド電極を有する、
請求項11乃至請求項15に記載の圧電センサ。 - 前記シグナル電極、前記グランド電極、又は、それらの配線ラインに保護膜を設けた、
請求項11乃至請求項16に記載の圧電センサ。
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