JP2009079302A - 液体材料気化装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液体材料とキャリアガスとが供給され、前記液体材料を流量制御しながらキャリアガスと混合する流量制御機能を備えた制御バルブよりなる気液混合部1と、この気液混合部1と独立して設けられ、管路3を介して導入される気液混合部1からの気液混合体をノズル部から放出して減圧することにより前記液体材料を気化し、この気化によって生じたガスを前記キャリアガスによって導出する気化部2とから構成されている。
【選択図】図1
Description
2 気化部
3 管路
26 ノズル部
LM 液体材料
CG キャリアガス
GL 気液混合体
Claims (2)
- 液体材料とキャリアガスとが供給され、前記液体材料を流量制御しながらキャリアガスと混合する流量制御機能を備えた制御バルブよりなる気液混合部と、この気液混合部と独立して設けられ、管路を介して導入される気液混合部からの気液混合体をノズル部から放出して減圧することにより前記液体材料を気化し、この気化によって生じたガスを前記キャリアガスによって導出する気化部とからなることを特徴とする液体材料気化装置。
- 気液混合部と気化部をそれぞれの機能が発揮されるのに適した温度になるようにしてなる請求項1に記載の液体材料気化装置。
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2008
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