JP2009076776A - プローブ装置及びプローブ方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】プローブカードを用いてウエハ上のICチップの電気的特性を調べるプローブ装置において、プローブカードが帯電していることに基づくICチップの静電破壊を防止する手段の提供。
【解決手段】イオナイザー5によりイオン化された空気をプローブカード3にその上方側または下方側から供給する。例えばテストヘッド4の外にイオナイザーを配置すると共にここからテストヘッド中央部の開口部4aを介してプローブカードの上方近傍までガス供給管を引き回し、その先端部にノズル部61を設ける。あるいはウエハ上のICチップの電極パッドを撮像するためのカメラを搭載し、プローブカードとウエハW載置台との間において水平移動される移動部材にノズル部を設けてここからプローブカードに向けて、イオン化された空気を吐出する。
【選択図】図1
【解決手段】イオナイザー5によりイオン化された空気をプローブカード3にその上方側または下方側から供給する。例えばテストヘッド4の外にイオナイザーを配置すると共にここからテストヘッド中央部の開口部4aを介してプローブカードの上方近傍までガス供給管を引き回し、その先端部にノズル部61を設ける。あるいはウエハ上のICチップの電極パッドを撮像するためのカメラを搭載し、プローブカードとウエハW載置台との間において水平移動される移動部材にノズル部を設けてここからプローブカードに向けて、イオン化された空気を吐出する。
【選択図】図1
Description
本発明は、プローブを被検査体の電極パッドに電気的に接触させて当該被検査体の電気的特性を測定する技術に関する。
半導体ウエハ(以下ウエハという)上に被検査チップであるIC(集積回路)チップが形成された後、ICチップの電気的特性を調べるためにウエハの状態でプローブ装置によるプローブテストが行われる。またこのプローブテストは、ICチップの製造工程途中でそれまで作成した回路部分が適正なものであるか否かを判定するために行われる。この種のプローブ装置は、図11に示すようにX,Y,Z方向に移動自在かつZ軸周りに回転自在なウエハチャック101にウエハWを載せ、ウエハチャック101の上方に設けられているプローブカード102のプローブ例えばプローブ針103とウエハWのICチップの電極パッドとが接触するようにウエハチャック101の位置を制御するように構成されている。そして装置の外装部を構成する筐体104の上方にテストヘッド105を位置させ、このテストヘッド105とプローブカード102とを中間リング106を介して電気的に接続し、テストヘッド105とウエハWとの間で信号の授受を行うことでウエハW上の回路の電気的特性を調べるようにしている。
ところでウエハチャック101は移動時における空気との摩擦や駆動部の摩擦などにより帯電する場合があり、またプローブカード102についてもカード本体が絶縁材例えばガラスエポキシなどの樹脂材により構成されていることから、帯電している場合がある。図12は、プローブカード102が帯電している場合に、コンタクト(プローブ針103とウエハW側の電極パッドとを接触させること)する直前の電荷の状態を示した模式図である。このような帯電が生じている状態でウエハW上の回路の電極パッドとプローブ針103とを接触させると、前記回路例えば完成されているICチップの回路が静電破壊してしまうし、また静電気が測定の外乱になって電気的測定の妨げの要因になる。
こうしたことから、ウエハチャック101を測定時以外に接地することを検討している。このようにすればウエハチャック101の帯電は抑えられるし、またプローブカード10が帯電していてもその電荷はプローブ針103、ウエハW及びウエハチャック101を介してアースに流れるので、ウエハW上の回路の静電破壊やノイズの発生を抑えることができる。
しかしながらこの手法によってもプローブカード102の電荷を完全無くすことはできない。そしてICチップの薄膜化、小型化などにより回路の耐圧が小さくなってきており、部品の帯電をより一層低減することが要求されている。また最近では2枚のウエハを絶縁層を介して張り合わせた基板が使用されるようになり、このような基板では、ウエハWの表面側から裏面側に電荷が流れないため、プローブカード102が帯電していると、ウエハチャック101を接地してもコンタクト時にプローブカード102からICチップに電荷が流れ、これにより回路の静電破壊を引き起こす懸念が大きい。
しかしながらこの手法によってもプローブカード102の電荷を完全無くすことはできない。そしてICチップの薄膜化、小型化などにより回路の耐圧が小さくなってきており、部品の帯電をより一層低減することが要求されている。また最近では2枚のウエハを絶縁層を介して張り合わせた基板が使用されるようになり、このような基板では、ウエハWの表面側から裏面側に電荷が流れないため、プローブカード102が帯電していると、ウエハチャック101を接地してもコンタクト時にプローブカード102からICチップに電荷が流れ、これにより回路の静電破壊を引き起こす懸念が大きい。
なお、特許文献1には、ウエハチャックの横に導電性シートを設けてこの導電性シートを接地し、ウエハチャックを上昇させてプローブ針をこの導電性シートに接触させる手法が記載されているが、コンタクト回数を減らすためにプローブ針の数が多くなっていることから、ウエハチャックの横に広いスペースを確保しなければならない。そうするとウエハ上の電極パッドの位置を求めるためにウエハ表面を撮像するときに、ウエハチャックの移動半径が大きくなり、小型化の妨げになる。更にまた導電性シートを頻繁に交換しなければならないという不具合もある。
本発明はこのような事情の下になされたものであり、その目的は基板上の被検査チップ(目的とする集積回路の製造途中段階の回路も含む)の静電破壊を抑え、また静電気による電気的特性の検査の悪影響を抑えることのできるプローブ装置、プローブ方法及びプログラムを格納した記憶媒体を提供することにある。
本発明は、多数の被検査チップが配列された基板を移動可能な載置台に載せ、プローブカードのプローブに前記被検査チップの電極パッドを接触させて被検査チップの検査を行うプローブ装置において、
ガスをイオン化するためのイオナイザーと、
このイオナイザーにてイオン化されたガスをプローブカードに除電のために供給するノズル部と、を備えたことを特徴とする。
ガスをイオン化するためのイオナイザーと、
このイオナイザーにてイオン化されたガスをプローブカードに除電のために供給するノズル部と、を備えたことを特徴とする。
前記ノズル部は、例えばプローブカードの上方からイオン化されたガスを供給するように設けられている。このような具体例として次の構成が挙げられる。
前記プローブカードは、載置台を囲む筐体の天板に設けられ、
前記天板の上方には、前記プローブカードに電気的に接触すると共に中央に上下に貫通する開口部を有するテストヘッドが設けられ、
前記ノズル部にガスを供給するガス供給管は前記開口部を通って外部に引き出されている構成である。この場合例えばイオナイザーは、前記テストヘッドの外に設けられる。
前記プローブカードは、載置台を囲む筐体の天板に設けられ、
前記天板の上方には、前記プローブカードに電気的に接触すると共に中央に上下に貫通する開口部を有するテストヘッドが設けられ、
前記ノズル部にガスを供給するガス供給管は前記開口部を通って外部に引き出されている構成である。この場合例えばイオナイザーは、前記テストヘッドの外に設けられる。
更に、前記プローブカードは、載置台を囲む筐体の天板に設けられ、
前記天板の上方には、前記プローブカードに電気的に接触するテストヘッドが設けられ、
前記ノズル部にガスを供給するガス供給管は前記テストヘッドと前記天板との間を通って外部に引き出されている構成を挙げることができる。この場合例えば、イオナイザーは、前記テストヘッドの下方領域から外れた位置に設けられる。
前記天板の上方には、前記プローブカードに電気的に接触するテストヘッドが設けられ、
前記ノズル部にガスを供給するガス供給管は前記テストヘッドと前記天板との間を通って外部に引き出されている構成を挙げることができる。この場合例えば、イオナイザーは、前記テストヘッドの下方領域から外れた位置に設けられる。
また前記ノズル部は、プローブカードの下方からイオン化されたガスを供給するように設けられていてもよい。このような具体例として次の構成を挙げることができる。
前記プローブカードのプローブと載置台上の基板との間の高さ位置において、前記基板の被検査チップの電極パッドを撮像するための撮像手段を備えた、水平方向に移動自在な移動体が設けられ、
前記ノズル部は、前記移動体に設けられている。この場合、前記イオナイザーは、前記移動体に設けられている例を挙げることができる。
前記ノズル部は、前記移動体に設けられている。この場合、前記イオナイザーは、前記移動体に設けられている例を挙げることができる。
他の発明は、多数の被検査チップが配列された基板を移動可能な載置台に載せ、プローブカードにより検査を行うプローブ方法において、
イオナイザーによりイオン化されたガスを前記プローブカードに供給して当該プローブカードを除電する工程と、
次いで、前記載置台に載置された基板の被検査チップの電極パッドをプローブカードのプローブに接触させて被検査チップの検査を行う工程と、を含むことを特徴とする。また本発明は、このプローブ方法を実施するための、コンピュータ上で動作するプログラムを格納した記憶媒体においても成立する。
イオナイザーによりイオン化されたガスを前記プローブカードに供給して当該プローブカードを除電する工程と、
次いで、前記載置台に載置された基板の被検査チップの電極パッドをプローブカードのプローブに接触させて被検査チップの検査を行う工程と、を含むことを特徴とする。また本発明は、このプローブ方法を実施するための、コンピュータ上で動作するプログラムを格納した記憶媒体においても成立する。
本発明は、多数の被検査チップが配列された基板を載置台に載せ、プローブカードにより検査を行うにあたって、イオナイザーにてイオン化されたガスをノズル部からプローブカードに供給しているため、プローブカードが帯電していても除電されるので、プローブカードの帯電に起因する基板の被検査チップの回路を静電破壊するおそれが少なくなり、また帯電によるノイズも低減されるので安定した検査を行うことができる。
[第1の実施の形態]
本発明の実施の形態に係るプローブ装置は、図1及び図2に示すようにプローブ装置本体を構成する外装体である筐体1を備えている。この筐体1の底部の基台11上には、Y方向(紙面の表裏方向)に伸びるガイドレールに沿って、例えばボールネジなどによりY方向に駆動されるYステージ21と、X方向に伸びるガイドレールに沿って、例えばボールネジによりX方向に駆動されるXステージ22と、が下からこの順番で設けられている。このXステージ22とYステージ21とには、それぞれエンコーダが組み合わされたモーターが設けられているが、ここでは省略している。
本発明の実施の形態に係るプローブ装置は、図1及び図2に示すようにプローブ装置本体を構成する外装体である筐体1を備えている。この筐体1の底部の基台11上には、Y方向(紙面の表裏方向)に伸びるガイドレールに沿って、例えばボールネジなどによりY方向に駆動されるYステージ21と、X方向に伸びるガイドレールに沿って、例えばボールネジによりX方向に駆動されるXステージ22と、が下からこの順番で設けられている。このXステージ22とYステージ21とには、それぞれエンコーダが組み合わされたモーターが設けられているが、ここでは省略している。
Xステージ22上には、エンコーダが組み合わされた図示しないモータによりZ方向(上下方向)に駆動されるZ移動部23が設けられており、このZ移動部23には、Z軸のまわりに回転自在な(θ方向に移動自在な)載置台であるウエハチャック2が設けられている。従ってこのウェハチャック2は、X、Y、Z、θ方向に移動できることになる。
ウェハチャック2の移動領域の上方には、プローブカード3が筐体1の天板であるヘッドプレート12に着脱自在に取り付けられている。プローブカード3の上面側には、電極群が形成されており、ヘッドプレート12の上方に配置されたテストヘッド4と前記電極群との間において電気的導通を取るために、中間リング41が介在している。テストヘッド4の中央部には、覗き穴である開口部4aが上下に貫通して形成されており、この開口部4aと中間リング41の開口部41aとが重なるようになっている。中間リング41は、プローブカード3の電極群の配置位置に対応するように電極部であるいわゆるポゴピン41bが下面に多数形成されたポゴピンユニットとして構成されており、例えばテストヘッド4側に固定されている。テストヘッド4は、例えば筐体1の横に設けられた図示しないヒンジ機構により、図1に示す水平な測定位置と中間リング41側が上に向いた退避位置との間で水平な回転軸の回りを回転するように構成されている。
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また、プローブカード3の下面側には、上面側の電極群に夫々電気的に接続された、プローブ例えばウエハWの表面に対して斜め下方に伸びる金属線よりなるいわゆる横針などと呼ばれているプローブ針31がウエハWの電極パッドの配列に対応して設けられている。プローブとしては、ウェハWの表面に対して垂直に伸びる垂直針やフレキシブルなフィルムに形成された金バンプ電極などであってもよい。
更にこのプローブ装置は、ウエハWとプローブ針31との位置合わせを行うためにプローブ針31の針先を撮像する第1の撮像手段とウエハW上の電極パッドを撮像する第2の撮像手段と、を備えている。これら撮像手段は第3の実施の形態にて図示してあり、この実施の形態では図面の煩雑をさけるために記載を省略してあるが、簡単に述べると、第1の撮像手段はウエハチャック2の下のZ移動部23に固定され、第2の撮像手段はプローブカード3とウエハチャック2との間を水平に移動できるように設けられている。
そしてこのプローブ装置は例えばイオナイザー5と、このイオナイザー5にてイオン化されたガス例えば乾燥空気をプローブカード3に吹き付けるためのノズル部61と、イオナイザー5とノズル部61とを結ぶガス供給管である空気供給管62と、を備えている。この実施の形態では、イオナイザー5は筐体1の上面の縁部に設けられており、空気供給管62は前記テストヘッド4の開口部4aの上から挿入されてその下方側に突出するように引き回されている。なお便宜上図1、図2ではイオナイザー5は筐体1から外れた箇所に示してある。
イオナイザー5の取り付け位置としては、例えばテストヘッド4の上面であってもよいしあるいは開口部4a内であってもよい。ノズル部61はこの空気供給管62の先端部に、プローブカード3の上面に吹き付けられるように例えばラッパ状に構成されている。空気供給管62は、ノズル部61の位置がプローブカード3から少し上方側に離れた所に設定されるように、例えば取り付け部材62aによりテストヘッド4の上面に着脱自在に取り付けられる。
この取り付け部材62aの取り付け構造としては、開口部4aを跨ぐ大きさのプレートに空気供給管62を貫通した状態で固定し、このプレートの両端部に被係合部を設ける一方、開口部4aの口縁部に前記被係合部と係合する係合部を設ける構成とすることができる。この場合、テストヘッド4を退避位置まで回転させるときには、例えば前記取り付け部材62aをテストヘッド4から取り外して空気供給管62及びノズル部61を開口部4aから引き出すようにする。
イオナイザー5の上流側における空気供給管62には空気供給制御機構の一部をなすバルブ63が設けられ、更にその上流側には乾燥空気の供給源である例えば空気ボンベ64が設けられる。バルブ63は例えば筐体1に設けられ、空気ボンベ64は例えば筐体1から離れたところに設置される。
イオナイザー5は、図3に示すように電界形成空間を形成する本体51内に電極52が設けられ、この電極52を直流電源53に接続して構成される。電極52の形状としては、本体51内を通るエアに効率よく接触するように例えば複数の棒状電極を空気の流路と交差して配列したものを用いることができる。この電極52に高電圧が印加されると、電極52の周囲に不平等電界が形成され、この状態で乾燥空気が供給されると、この乾燥空気は電界によりイオン化し、ノズル部61に送られる。イオナイザー5は、基本的にプラスのイオンとマイナスのイオンとを等量発生させるものであり、帯電物と同極性を持ったイオンはその帯電物と反発する一方、逆極性を持ったイオンはその帯電物に引き寄せられて電荷が中和され除電される。
またこのプローブ装置は、コンピュータなどを含む制御部10を備えており、この制御部10は、メモリ内のプログラムによりウエハチャック2の移動、既述の図示しない撮像手段の撮像操作、その撮像結果に基づくコンタクト位置の計算、イオナイザー5及びバルブ63の作動などのための制御信号を出力する機能を有する。前記プログラムはハードディスク、コンパクトディスク、MO(光磁気ディスク)などの記憶媒体に格納されて制御部10にインストールされる。
次に上述実施の形態の作用について述べる。先ず図示しない搬送アームによりウエハチャック2にウエハWを載置する。次いで既述の第1の撮像手段及び第2の撮像手段を用いてコンタクト位置を計算し(この点については第3の実施の形態にて図を用いて説明する)する。一方、イオナイザー5及びバルブ63を作動させ、イオン化された空気をノズル部61からプローブカード3に例えば20秒程度供給する。図4(a)はプローブカード3が帯電している状態であり、この段階ではコンタクトは行われていない。ここで既述のようにイオン化された空気をプローブカード3に供給すると、図4(b)に示すようにプローブカード3に帯電している電荷が中和され除電されていく。
その後、ウエハチャック2を上昇させて、ウエハW上の被検査チップに形成された電極パッドにプローブ針31を順次接触させ、テストヘッド4から中間リング41、プローブカード3及びプローブ針31を介して電極パッドに電気信号を供給することで電気的特性の検査を行う。そして順次ウエハW上の電極パッドにプローブ31を接触させて各チップについての検査を行う。なおウエハの各被検査チップの全ての電極パッドに一括してプローブ針を接触させる方式であってもよい。またコンタクトを行う前にウエハチャック2についても例えば接地するなどにより除電を行っておくことが好ましい。
こうしてウエハW上の全ての被検査チップについて検査が終了すると、ウエハチャック2が初期位置に移動して図示しない搬送アームにより当該ウエハWが搬出されると共に次のウエハWがウエハチャック2上に載置される。
イオナイザー5によるプローブカード3の除電工程は、ウエハWを検査する度にその検査前に行ってもよいが、例えば筐体1に隣接したキャリアポートに搬入されるキャリア1個分(1ロット分)のウエハを検査する前に行っておいて、その後は除電工程を行わずに1ロット分のウエハの検査を行うようにしてもよい。
イオナイザー5によるプローブカード3の除電工程は、ウエハWを検査する度にその検査前に行ってもよいが、例えば筐体1に隣接したキャリアポートに搬入されるキャリア1個分(1ロット分)のウエハを検査する前に行っておいて、その後は除電工程を行わずに1ロット分のウエハの検査を行うようにしてもよい。
上述の実施の形態によれば、イオナイザー5にてイオン化されたガスをノズル部61からプローブカード3に供給しているため、プローブカード3が帯電していても除電されるので、プローブカード3の帯電に起因するウエハWの被検査チップの回路を静電破壊するおそれが少なくなり、また帯電によるノイズも低減されるので安定した検査を行うことができる。
[第2の実施の形態]
この実施の形態では、図5に示すようにプローブカード3を取り付けるためのヘッドプレート12の開口部の口縁部に、プローブカード3に向けてイオン化された空気が吐出されるようにノズル部61を設けると共に、ノズル部61からイオナイザー5までの空気供給管62の引き回しはテストヘッド4とヘッドプレート12との間の隙間にて行われている。このような構成においても同様の作用効果がある。
この実施の形態では、図5に示すようにプローブカード3を取り付けるためのヘッドプレート12の開口部の口縁部に、プローブカード3に向けてイオン化された空気が吐出されるようにノズル部61を設けると共に、ノズル部61からイオナイザー5までの空気供給管62の引き回しはテストヘッド4とヘッドプレート12との間の隙間にて行われている。このような構成においても同様の作用効果がある。
[第3の実施の形態]
既述のように先の実施の形態では、いわゆるウエハアライメントのための撮像手段に関しては図示していないが、この実施の形態では図6及び図7に全体構成と共に撮像手段を記載してある。第1の撮像手段であるマイクロカメラ7は図7に示すように、ウエハチャック2の下のZ移動部23に固定されている。更にウエハチャック2とプローブ針31の針先との間の高さ位置において、ウエハチャック2と対向しながら水平に移動できる横長の角筒状の移動体8が設けられている。この移動体8は例えばヘッドプレート12の下面に取り付けられたガイドレール81に案内されながら図示しない駆動機構により水平移動できるように構成されている。
既述のように先の実施の形態では、いわゆるウエハアライメントのための撮像手段に関しては図示していないが、この実施の形態では図6及び図7に全体構成と共に撮像手段を記載してある。第1の撮像手段であるマイクロカメラ7は図7に示すように、ウエハチャック2の下のZ移動部23に固定されている。更にウエハチャック2とプローブ針31の針先との間の高さ位置において、ウエハチャック2と対向しながら水平に移動できる横長の角筒状の移動体8が設けられている。この移動体8は例えばヘッドプレート12の下面に取り付けられたガイドレール81に案内されながら図示しない駆動機構により水平移動できるように構成されている。
前記移動体8には、ウエハWを撮像する第2の撮像手段であるマイクロカメラ82が設けられており、この移動体8を所定のアライメント位置まで移動させておき、その下方側でウエハチャック2を移動させることにより、マイクロカメラ82によりウエハW上の被検査チップの電極パッドを撮像することができる。これらマイクロカメラ7及び82の光軸を合わせたとき、マイクロカメラ7によりプローブ針31の針先を撮像したとき、マイクロカメラ82によりウエハW側の電極パッドを撮像したとき、の夫々のウエハチャック2の座標位置を求めておくことで、コンタクトするときのウエハチャック2の座標位置を計算できることになる。
ここでこの実施の形態では、前記移動体8にイオナイザー5、ノズル部61及びバルブ63とを設けるようにしている。この例におけるノズル部61は、一端が閉塞され、プローブカード3の概ね直径の長さのパイプに、空気が上向きに吐出されるように長さ方向に間隔をおいて複数の吐出孔61aが穿設されている。イオナイザー5の上流側の空気供給管62は筐体1内を引き回されて外部に引き出されている。
このような構成においては、プローブカード3の下方側にて、当該プローブカード3を走査するように移動体8を移動させながらノズル部61から図6の点線で示すようにイオン化された空気をプローブカード3に向けて吐出させ、こうしてプローブカード3の除電を行う。この実施の形態によっても同様の作用効果がある。
[確認試験]
図1に示した装置において、イオナイザー5を作動させずにつまりプローブカード3を除電せずにコンタクトさせたときのウエハチャック2の電位を計測したところ図8に示す結果が得られた。図8においてプローブ針撮像とは、ウエハチャック2の下のZ移動部3に設けられたカメラによりプローブ針31を撮像している段階であり、ウエハ撮像とは、筐体1内を移動するカメラによりウエハW上の被検査チップの電極パッドを撮像している段階である。
図1に示した装置において、イオナイザー5を作動させずにつまりプローブカード3を除電せずにコンタクトさせたときのウエハチャック2の電位を計測したところ図8に示す結果が得られた。図8においてプローブ針撮像とは、ウエハチャック2の下のZ移動部3に設けられたカメラによりプローブ針31を撮像している段階であり、ウエハ撮像とは、筐体1内を移動するカメラによりウエハW上の被検査チップの電極パッドを撮像している段階である。
更に同装置において、コンタクトを行った後にイオナイザー5を作動させてプローブカード3の除電を行ったときのウエハチャック2の電位を計測したところ図9に示す結果が得られた。これらの結果から、プローブカード3は帯電していること、イオナイザー5により除電を行うとその帯電量が減少することが分かる。
また同装置において、コンタクトを行う直前にイオナイザー5を作動させてプローブカード3の除電を行ったときのウエハチャック2の電位を計測したところ図10に示す結果が得られた。この結果から本発明によれば、ウエハWがプローブカード3に接近してもウエハWの帯電が抑えられ、静電破壊のおそれが少ないことがわかる。
1 筐体
12 ヘッドプレート
2 ウエハチャック
W ウエハ
3 プローブカード
31 プローブ針
4 テストヘッド
4a 開口部
5 イオナイザー
61 ノズル部
62 空気供給管
7、82 マイクロカメラ
12 ヘッドプレート
2 ウエハチャック
W ウエハ
3 プローブカード
31 プローブ針
4 テストヘッド
4a 開口部
5 イオナイザー
61 ノズル部
62 空気供給管
7、82 マイクロカメラ
Claims (14)
- 多数の被検査チップが配列された基板を移動可能な載置台に載せ、プローブカードのプローブに前記被検査チップの電極パッドを接触させて被検査チップの検査を行うプローブ装置において、
ガスをイオン化するためのイオナイザーと、
このイオナイザーにてイオン化されたガスをプローブカードに除電のために供給するノズル部と、を備えたことを特徴とするプローブ装置。 - 前記ノズル部は、プローブカードの上方からイオン化されたガスを供給するように設けられている請求項1記載のプローブ装置。
- 前記プローブカードは、載置台を囲む筐体の天板に設けられ、
前記天板の上方には、前記プローブカードに電気的に接触すると共に中央に上下に貫通する開口部を有するテストヘッドが設けられ、
前記ノズル部にガスを供給するガス供給管は前記開口部を通って外部に引き出されていることを特徴とする請求項2記載のプローブ装置。 - 前記イオナイザーは、前記テストヘッドの外に設けられたことを特徴とする請求項3記載のプローブ装置。
- 前記プローブカードは、載置台を囲む筐体の天板に設けられ、
前記天板の上方には、前記プローブカードに電気的に接触するテストヘッドが設けられ、
前記ノズル部にガスを供給するガス供給管は前記テストヘッドと前記天板との間を通って外部に引き出されていることを特徴とする請求項2記載のプローブ装置。 - 前記イオナイザーは、前記テストヘッドの下方領域から外れた位置に設けられていることを特徴とする請求項5記載のプローブ装置。
- 前記ノズル部は、プローブカードの下方からイオン化されたガスを供給するように設けられている請求項1記載のプローブ装置。
- 前記プローブカードのプローブと載置台上の基板との間の高さ位置において、前記基板の被検査チップの電極パッドを撮像するための撮像手段を備えた、水平方向に移動自在な移動体が設けられ、
前記ノズル部は、前記移動体に設けられていることを特徴とする請求項7記載のプローブ装置。 - 前記イオナイザーは、前記移動体に設けられていることを特徴とする請求項8記載のプローブ装置。
- 多数の被検査チップが配列された基板を移動可能な載置台に載せ、プローブカードにより検査を行うプローブ方法において、
イオナイザーによりイオン化されたガスを前記プローブカードに供給して当該プローブカードを除電する工程と、
次いで、前記載置台に載置された基板の被検査チップの電極パッドをプローブカードのプローブに接触させて被検査チップの検査を行う工程と、を含むことを特徴とするプローブ方法。 - 前記プローブカードは、載置台を囲む筐体の天板に設けられ、
前記天板の上方には、前記プローブカードに電気的に接触すると共に中央に上下に貫通する開口部を有するテストヘッドが設けられ、
前記プローブカードを除電する工程は、前記開口部を介して外部から引き回されたガス供給管の先端部に設けられたノズル部から、前記イオン化されたガスを前記プローブカードに供給する工程であることを特徴とする請求項10記載のプローブ方法。 - 前記プローブカードは、載置台を囲む筐体の天板に設けられ、
前記天板の上方には、前記プローブカードに電気的に接触するテストヘッドが設けられ、
前記プローブカードを除電する工程は、外部から前記テストヘッドの下方側を引き回されたガス供給管の先端部に設けられたノズル部から、前記イオン化されたガスを前記プローブカードに供給する工程であることを特徴とする請求項10記載のプローブ方法。 - 前記プローブカードのプローブと載置台上の基板との間の高さ位置において、前記基板の被検査チップの電極パッドを撮像するための撮像手段を備えた、水平方向に移動自在な移動体が設けられ、
前記プローブカードを除電する工程は、前記移動体に設けられたノズル部から前記イオン化されたガスをプローブカードに向けて上方に吐出する工程であることを特徴とする請求項10記載のプローブ方法。 - 多数の被検査チップが配列された基板を水平方向及び鉛直方向に移動可能な載置台に載せ、プローブカードにより検査を行うプローブ装置に用いられる、コンピュータ上で動作するプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記プログラムは、請求項10ないし14のいずれか一つに記載のプローブ方法を実施するようにステップ群が組まれていることを特徴とする記憶媒体。
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