JP4966564B2 - 半導体素子の検査システム及び検査方法 - Google Patents
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Description
12 プローブカード
14 ステージ
16 プローブ
22 駆動部
24 制御部
W ウェハー
Claims (8)
- ウエハ上に形成された複数の半導体素子の電気的測定を行う検査方法において、
第1の電圧によって第1の半導体素子の電気的測定を行う工程と;
前記第1の電圧よりも低い第2の電圧によって、前記第1の半導体素子とは異なる第2の半導体素子の電気的測定を行う工程とを含み、
前記第1の半導体素子の電気的測定の前に前記第2の半導体素子の電気的測定を行うことを特徴とする検査方法。 - 前記第2の半導体素子は、抵抗素子であることを特徴とすると請求項1に記載の検査方法。
- 前記第1の半導体素子はトランジスタ及びキャパシタの少なくとも一方であることを特徴とする請求項1又は2に記載の検査方法。
- 前記第1の半導体素子及び前記第2の半導体素子は、各々同時に測定されるTEG(Test Element Group)を構成することを特徴とする請求項1,2又は3に記載の検査方法。
- ウェハー上に形成された半導体素子に接触させるプローブ針を有するプローブカードと;
前記ウェハーを載せて移動可能なステージと;
前記ステージの挙動を制御する制御部とを備え、
前記制御部においては、第1の電圧によって前記ウェハー上の第1の半導体素子の電気的測定を行い;前記第1の電圧よりも低い第2の電圧によって、前記第1の半導体素子とは異なる前記ウェハー上の第2の半導体素子の電気的測定を行い;前記第1の半導体素子の電気的測定の前に前記第2の半導体素子の電気的測定を行う制御をすることを特徴とする検査システム。 - 前記第2の半導体素子は、抵抗素子であることを特徴とすると請求項5に記載の検査システム。
- 前記第1の半導体素子はトランジスタ及びキャパシタの少なくとも一方であることを特徴とする請求項5又は6に記載の検査システム。
- 前記第1の半導体素子及び前記第2の半導体素子は、各々同時に測定されるTEG(Test Element Group)を構成することを特徴とする請求項5,6又は7に記載の検査システム。
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