TWI655444B

TWI655444B - IC inspection machine with temporary fixing effect

Info

Publication number: TWI655444B
Application number: TW106144745A
Authority: TW
Inventors: 鄭瑞峰
Original assignee: 亞亞科技股份有限公司
Priority date: 2017-12-20
Filing date: 2017-12-20
Publication date: 2019-04-01
Also published as: TW201928374A

Abstract

一種具有暫固定效果的IC檢查機，包含有：一安裝台；一微調Z軸平台，設於該安裝台；一攝影單元，設於該微調Z軸平台，該攝影單元主要具有一相機、一光源、一光學模組以及一鏡頭，該鏡頭設於該光學模組頂端且朝上，該相機及該光源設於該光學模組；以及一承座，設於該安裝台，該承座具有一鏤空部以及複數氣孔，該複數氣孔位於該鏤空部旁，該鏤空部係位於該鏡頭上方，該鏡頭係由下往上通過該鏤空部來取像。

Description

具有暫固定效果的IC檢查機

本發明係與積體電路(IC)之檢查技術有關，特別是指一種具有暫固定效果的IC檢查機。

目前已知的IC檢查技術，大多是進行電性導通來量測電阻值或使其運作以判斷功能是否正常，例如中華民國第I 364832號專利，即揭露了以電性導通來量測電阻值的技術。這樣的技術可以確認IC的功能是否正常。

上述的檢測技術主要是針對已經完成製造的IC來進行檢測，藉以確認其是否能正常工作，然而，在IC尚未完成製造之前，若能有一個檢測技術能先確認IC的打線狀況是否正常，則可以預先將打線不良的產品過濾出來，以免持續對不良品持在製程中進行不必要的加工，形成不必要的浪費。此外，後續產品製作良率也可以進一步的提高。

本發明之主要目的乃在於提供一種具有暫固定效果的IC檢查機，其可以檢查IC的打線狀況是否良好。

本發明之再一目的乃在於提供一種具有暫固定效果的IC檢查機，其可以在檢查IC時，對IC載帶進行真空吸引而將之暫時固定，藉以提高檢查的品質。

為了達成上述目的，本發明提供一種具有暫固定效果的IC檢查機，包含有：一安裝台；一微調Z軸平台，設於該安裝台；一攝影單元，設於該微調Z軸平台，該攝影單元主要具有一相機、一光源、一光學模組以及一鏡頭，該鏡頭設於該光學模組頂端且朝上，該相機及該光源設於該光學模組；以及一承座，設於該安裝台，該承座具有一鏤空部以及複數氣孔，該複數氣孔位於該鏤空部旁，該鏤空部係位於該鏡頭上方，該鏡頭係由下往上通過該鏤空部來取像。

藉此，本發明不僅可以檢查IC的打線狀況是否良好，還能夠配合連續進給的方式來對大量的IC進行檢查。此外，本發明還可以在檢查時藉由該複數氣孔來對IC載帶進行真空吸引而將之暫時固定，藉以提高檢查的品質。

為了詳細說明本發明之技術特點所在，茲舉以下之較佳實施例並配合圖式說明如後，其中：

如第1圖至第3圖所示，本發明一較佳實施例所提供之一種具有暫固定效果的IC檢查機10，主要由一安裝台11、一微調Z軸平台21、一攝影單元31以及一承座41所組成，其中：

該安裝台11，可以是固定於某個基座上而不動的狀態。不過在本實施例中，則以該安裝台11設於一XYZ軸平台51為例，該XYZ軸平台51由一X軸平台52、一Y軸平台54以及一Z軸平台56聯合組合，該安裝台11設於該XYZ軸平台51，該XYZ軸平台51則固定於一基座58，可供操作而使該安裝台11產生X軸方向、Y軸方向及Z軸方向的移動。

該微調Z軸平台21，設於該安裝台11。

該攝影單元31，主要具有一相機32、一光源34、一光學模組36以及一鏡頭38，該鏡頭38設於該光學模組36頂端且朝上，該相機32及該光源34設於該光學模組36。該光學模組36在實際實施時，係具有一分叉管37、複數反射鏡(圖中未示)以及複數透鏡(圖中未示)，該複數反射鏡及複數透鏡係位於該分叉管37內，分叉管37係由一主管371以及一支管372所組成，該支管372係以一端結合於該主管371之管身，且該支管372之末端係朝下，該鏡頭38設於該主管371頂端且朝上，該相機32設於該主管371底端，藉由該複數反射鏡及複數透鏡的導引而與該鏡頭38在光學上同軸，藉以配合取像，該光源34設於該支管372末端，所發出的光係藉由該複數反射鏡及複數透鏡的導引而與該鏡頭38的光學軸同軸，並由該鏡頭38照射出去。該攝影單元31係以該分叉管37設於該微調Z軸單元。其中，兩個分叉光軸藉由複數透鏡及反射鏡來合併為同軸的技術係為光學領域的習知技術，容不再以圖式表示透鏡與反射鏡的位置。

該承座41，設於該安裝台11，該承座41具有一鏤空部42以及複數氣孔44，該複數氣孔44位於該鏤空部42旁，該鏤空部42係位於該鏡頭38上方，該鏡頭38係由下往上通過該鏤空部42來取像。

以上說明了本發明之結構，接下來說明本發明之操作狀態。

請參閱第1圖至第5圖，在使用前，如第4圖及第5圖所示，先將本發明10安裝於一壓制裝置90下方，該壓制裝置90可對一IC載帶91進行壓制，該IC載帶91係以串列的方式裝載複數IC 92。

在使用時，將一IC載帶91以可移動的方式設置於該壓制裝置90上，該複數IC 92位於該IC載帶91上方的表面，調整該XYZ軸平台51來移動該安裝台11，藉以使承座41位於該IC載帶的正下方，而如第5圖所示。再藉由該微調Z軸平台21來調整該攝影單元31相對於該承座41的高度，藉以調整攝影的焦距。

如第4圖至第5圖所示，在檢查時，移動該IC載帶91，使該IC載帶91上的各該IC 92一個個經過本發明之鏡頭38，當一個IC 92對正於本發明之鏡頭38時，該壓制裝置90即壓制該IC載帶91，並藉由一空氣源(圖中未示)經由該複數氣孔44吸氣而將該IC載帶91吸住而暫時固定，此時該光源34所發出的光即通過該鏡頭38照射於該IC載帶91，反射的光即經由該鏡頭38進入而由該相機32拍攝，所拍攝的影像即可供後台來對目前的IC 92進行打線狀況的判斷。在該相機32拍攝完成後，並控制該空氣源使該複數氣孔44不再吸氣而釋放該IC載帶91而呈可移動狀態，該壓制裝置90也解除其壓制動作，接著即可再移動該IC載帶91使下一個IC 92對正於本發明之鏡頭38，藉以重覆上述動作來進行檢查。須補充的一點是，在並控制該空氣源釋放該IC載帶91時，除了不吸氣之外，也可以控制該空氣源使該複數氣孔44噴氣，藉此可以使該IC載帶91受到空氣的推力而略微的浮在該承座41上方而不接觸，這可以進一步的協助該IC載帶91以更無阻力且無磨擦的方式移動。

由上述說明可知，本發明乃是在IC載帶91的底面對位於該IC載帶91頂面的該複數IC 92進行檢查，檢查時係使光照射於該IC載帶91底面並拍攝，進而透過該IC載帶91取得該複數IC 92的影像，而以影像處理的方式進行檢查。

綜上可知，本發明可檢查IC的打線狀況是否良好，此外，還能夠以連續進給的方式來對大量的IC進行檢查。並且還可以在檢查時對IC載帶進行真空吸引而將之暫時固定，藉以提高檢查的品質。

10‧‧‧具有暫固定效果的IC檢查機

11‧‧‧安裝台

21‧‧‧微調Z軸平台

31‧‧‧攝影單元

32‧‧‧相機

34‧‧‧光源

36‧‧‧光學模組

37‧‧‧分叉管

371‧‧‧主管

372‧‧‧支管

38‧‧‧鏡頭

41‧‧‧承座

42‧‧‧鏤空部

44‧‧‧氣孔

51‧‧‧XYZ軸平台

52‧‧‧X軸平台

54‧‧‧Y軸平台

56‧‧‧ Z軸平台

58‧‧‧基座

90‧‧‧壓制裝置

91‧‧‧IC載帶

92‧‧‧IC

第1圖係本發明一較佳實施例之立體圖。第2圖係本發明一較佳實施例之另一立體圖，顯示不同視角。第3圖係本發明一較佳實施例之前視圖。第4圖係本發明一較佳實施例之組裝示意圖。第5圖係本發明一較佳實施例之動作示意圖。

Claims

一種具有暫固定效果的IC檢查機，包含有：一安裝台；一微調Z軸平台，設於該安裝台；一攝影單元，設於該微調Z軸平台，該攝影單元主要具有一相機、一光源、一光學模組以及一鏡頭，該鏡頭設於該光學模組頂端且朝上，該相機及該光源設於該光學模組；以及一承座，設於該安裝台，該承座具有一鏤空部以及複數氣孔，該複數氣孔位於該鏤空部旁，該鏤空部係位於該鏡頭上方，該鏡頭係由下往上通過該鏤空部來取像。
依據申請專利範圍第1項之具有暫固定效果的IC檢查機，其中：該光學模組係具有一分叉管、複數反射鏡及複數透鏡，該複數反射鏡以及複數透鏡係位於該分叉管內，該鏡頭設於該分叉管頂端且朝上，該相機設於該分叉管，藉由該複數反射鏡及複數透鏡的導引而與該鏡頭在光學上同軸，藉以配合取像，該光源設於該分叉管，所發出之光係藉由該複數反射鏡及複數透鏡的導引而與該鏡頭的光學軸同軸，並由該鏡頭照射出去。
依據申請專利範圍第2項之具有暫固定效果的IC檢查機，其中：該攝影單元係以該分叉管設於該微調Z軸單元。
依據申請專利範圍第2項之具有暫固定效果的IC檢查機，其中：該分叉管係由一主管以及一支管所組成，該支管係以一端結合於該主管之管身，且該支管之末端係朝下，該鏡頭位於該主管頂端，該相機位於該主管底端，該光源位於該支管末端。
依據申請專利範圍第1項之具有暫固定效果的IC檢查機，其中，更包含有：一基座以及一XYZ軸平台，該XYZ軸平台由一X軸平台、一Y軸平台以及一Z軸平台聯合組成，該安裝台設於該XYZ軸平台，該XYZ軸平台設於該基座，可供操作而使該安裝台產生X軸方向、Y軸方向及Z軸方向的移動。