JP2009071298A - 相変化メモリ装置及び半導体記憶装置 - Google Patents
相変化メモリ装置及び半導体記憶装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009071298A JP2009071298A JP2008211942A JP2008211942A JP2009071298A JP 2009071298 A JP2009071298 A JP 2009071298A JP 2008211942 A JP2008211942 A JP 2008211942A JP 2008211942 A JP2008211942 A JP 2008211942A JP 2009071298 A JP2009071298 A JP 2009071298A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- line
- wiring
- common drain
- memory device
- phase change
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0021—Auxiliary circuits
- G11C13/003—Cell access
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0004—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements comprising amorphous/crystalline phase transition cells
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B63/00—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices
- H10B63/20—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices comprising selection components having two electrodes, e.g. diodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B63/00—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices
- H10B63/80—Arrangements comprising multiple bistable or multi-stable switching components of the same type on a plane parallel to the substrate, e.g. cross-point arrays
- H10B63/82—Arrangements comprising multiple bistable or multi-stable switching components of the same type on a plane parallel to the substrate, e.g. cross-point arrays the switching components having a common active material layer
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/20—Multistable switching devices, e.g. memristors
- H10N70/231—Multistable switching devices, e.g. memristors based on solid-state phase change, e.g. between amorphous and crystalline phases, Ovshinsky effect
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/821—Device geometry
- H10N70/826—Device geometry adapted for essentially vertical current flow, e.g. sandwich or pillar type devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/841—Electrodes
- H10N70/8413—Electrodes adapted for resistive heating
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/881—Switching materials
- H10N70/882—Compounds of sulfur, selenium or tellurium, e.g. chalcogenides
- H10N70/8828—Tellurides, e.g. GeSbTe
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C2213/00—Indexing scheme relating to G11C13/00 for features not covered by this group
- G11C2213/70—Resistive array aspects
- G11C2213/72—Array wherein the access device being a diode
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C2213/00—Indexing scheme relating to G11C13/00 for features not covered by this group
- G11C2213/70—Resistive array aspects
- G11C2213/74—Array wherein each memory cell has more than one access device
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C2213/00—Indexing scheme relating to G11C13/00 for features not covered by this group
- G11C2213/70—Resistive array aspects
- G11C2213/78—Array wherein the memory cells of a group share an access device, all the memory cells of the group having a common electrode and the access device being not part of a word line or a bit line driver
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
【解決手段】ビット線BLと直交する方向に並ぶ所定数のメモリセルMCをワード線WLと平行に配置された複数の共通ドレイン線DLによって共通に接続し、これら共通ドレイン線DLの下方に複数のグランド線GNDを共通ドレイン線DLと平行に配置し、共通ドレイン線DLの一端側に接続された選択用トランジスタTr1と、共通ドレイン線DLの他端側に接続された選択用トランジスタTr2とを1つ置きに交互に並んで配置し、なお且つ、これら選択用トランジスタTr1,Tr2を異なるグランド線GNDに接続する。
【選択図】図3
Description
このメモリセル構造では、図7、図8及び図9に示すように、シリコン(Si)基板201に埋め込み形成された拡散層202の上にPN接合されたダイオード203を形成している。また、このダイオード203上にコンタクト204及びMidコンタクト205を介して下部電極206を形成し、この下部電極206上に相変化膜(GST)207を形成し、その上に上部電極208を形成することによって、ダイオード203に直列に接続された相変化素子209が形成されている。この相変化素子209とダイオード203とを直列に接続したメモリセルMCは、ワード線WLとなる拡散層202と、ビット線BLとなる上部電極208との各交点に配置されている。また、下部電極206は、相変化を起こすためのヒータープラグ(電流を集中し発熱する部分)を形成している。さらに、このメモリセル構造では、下部電極206が配置される開口部内に絶縁膜(サイドウォール)210を設けることによって、ヒータサイズを開口部径よりも小さくし、書き込み電流を小さくすることが行われている。
(1) 所定の間隔で平行に並んで配置された複数のワード線と、
前記ワード線の上方且つ前記ワード線と直交する方向において所定の間隔で平行に並んで配置された複数のビット線と、
前記ワード線と平行な方向及び前記ビット線と平行な方向に並んで配置されると共に、前記ビット線に相変化素子及びダイオードを直列に接続した複数のメモリセルと、
前記複数のメモリセルの下方において前記ワード線と平行に配置されると共に、前記ビット線と直交する方向に並ぶ所定数のメモリセルを共通に接続した複数の共通ドレイン線と、
前記共通ドレイン線の下方において前記共通ドレイン線と平行に並んで配置された複数のグランド線と、
前記ワード線にゲート、前記共通ドレイン線にドレイン、前記グランド線にソースをそれぞれ接続した複数の選択用トランジスタとを備え、
前記共通ドレイン線の一端側に接続された選択用トランジスタと、前記共通ドレイン線の他端側に接続された選択用トランジスタとが1つ置きに交互に並んで配置され、なお且つ、前記共通ドレイン線の一端側に接続された選択用トランジスタと、前記共通ドレイン線の他端側に接続された選択用トランジスタとがそれぞれ異なるグランド線に接続されていることを特徴とする相変化メモリ装置。
(2) 前記メモリセルは、前記ワード線と平行な方向の間隔及び前記ビット線と平行な方向の間隔がそれぞれ前記ワード線及び前記ビット線の最小加工寸法の2倍となるように配置されていることを特徴とする前記(1)に記載の相変化メモリ装置。
(3) 前記共通ドレイン線は、前記選択用トランジスタのゲート幅の2倍に相当する領域に亘って前記ビット線と直交する方向に並ぶ所定数のメモリセルを共通に接続していることを特徴とする前記(1)又は(2)に記載の相変化メモリ装置。
(4) 前記複数のグランド線のうち少なくとも一部又は全てが相互に接続されていることを特徴とする前記(1)〜(3)の何れか一項に記載の相変化メモリ装置。
(5) 所定の間隔で平行に並んで配置された複数のワード線と、
前記ワード線の上方且つ前記ワード線と直交する方向において所定の間隔で平行に並んで配置された複数のローカルビット線と、
前記ワード線と平行な方向及び前記ローカルビット線と平行な方向に並んで配置されると共に、前記ローカルビット線に相変化素子及びダイオードを直列に接続した複数のメモリセルと、
前記複数のメモリセルの下方において前記ワード線と平行に配置されると共に、前記ローカルビット線と直交する方向に並ぶ所定数のメモリセルを共通に接続した複数の共通ドレイン線と、
前記共通ドレイン線の下方において前記共通ドレイン線と平行に並んで配置された複数のグローバルビット線と、
前記ワード線にゲート、前記グローバルビット線にドレイン、前記共通ドレイン線にソースをそれぞれ接続した複数の選択用トランジスタとを備え、
前記共通ドレイン線の一端側に接続された選択用トランジスタと、前記共通ドレイン線の他端側に接続された選択用トランジスタとが1つ置きに交互に並んで配置され、なお且つ、前記共通ドレイン線の一端側に接続された選択用トランジスタと、前記共通ドレイン線の他端側に接続された選択用トランジスタとがそれぞれ異なるグローバルビット線に接続されていることを特徴とする相変化メモリ装置。
(6) 前記メモリセルは、前記ワード線と平行な方向の間隔及び前記ローカルビット線と平行な方向の間隔がそれぞれ前記ワード線及び前記ローカルビット線の最小加工寸法の2倍となるように配置されていることを特徴とする前記(5)に記載の相変化メモリ装置。
(7) 前記共通ドレイン線は、前記選択用トランジスタのゲート幅の2倍に相当する領域に亘って前記ローカルビット線と直交する方向に並ぶ所定数のメモリセルを共通に接続していることを特徴とする前記(5)又は(6)に記載の相変化メモリ装置。
なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。また、以下の説明において例示される材料、寸法等は一例であって、本発明はそれらに必ずしも限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することが可能である。
更に、本実施形態の半導体記憶装置は、第1の配線に対して第1の半導体領域とは反対側に形成された第5の半導体領域と、第2の配線に対して第3の半導体領域とは反対側に形成された第6の半導体領域と、第1および第5の半導体領域を互いに分離するために第1の配線の下に形成された第1の分離領域と、第3および第6の半導体領域を互いに分離するために第2の配線の下に形成された第2の分離領域とをさらに含み、第4の配線が第6の半導体領域との電気接点をさらに有している。
更にまた、本実施形態の半導体記憶装置においては、第2の記憶素子の一つが、第7の配線の関連する一つと第3の配線との間に第2の配線の作動水準の電力を印加することにより選択される。また、第1の記憶素子の一つは、第7の配線の関連する一つと第4の配線との間に第1の配線の作動水準の電力を印加することにより選択される。
また、本実施形態の半導体記憶装置では、第1および第2の配線がそれぞれワード線として働き、第7の配線がそれぞれビット線として働く。
更に、本実施形態の半導体記憶装置は、半導体記憶装置は多層の配線構造を有している。第1および第2の配線はそれぞれ第1の層に形成される。第3および第4の配線はそれぞれ第1の層よりも高い第2の層に形成される。第5および第6の配線はそれぞれ第2の層よりも高い第3の層に形成される。第7の配線はそれぞれ第3の層よりも高い第4の層に形成される。
先ず、本発明の第1の実施形態として図1〜図5に示す相変化メモリ装置1について説明する。
この相変化メモリ装置1は、図1、図2及び図3に示すように、所定の間隔で平行に並んで配置された複数のワード線WL1、WL2(第1の配線WL1、第2の配線WL2)と、ワード線WL1、WL2の上方且つワード線WL1、WL2と直交する方向において所定の間隔で平行に並んで配置された複数のビット線BL(第7の配線BL)と、ワード線WL1、WL2と平行な方向及びビット線BLと平行な方向に並んで配置されると共に、ビット線BLに相変化素子2及びダイオード3を直列に接続した複数のメモリセルMC(第1の記憶素子MC1、第2の記憶素子MC2)と、複数のメモリセルMC1、MC2の下方においてワード線WL1、WL2と平行に配置されると共に、ビット線BLと直交する方向に並ぶ所定数のメモリセルMC1、MC2を共通に接続した複数の共通ドレイン線DL5、DL6(第5の配線DL5、第6の配線DL6)と、共通ドレイン線DL5、DL6の下方において共通ドレイン線DL5、DL6と平行に並んで配置された複数のグランド線GND3、GND4(第3の配線GND3、第4の配線GND4)とを備えている。
次に、本発明の第2の実施形態として図7に示す相変化メモリ装置51について説明する。なお、以下の説明では、上記半導体メモリ装置1と同等の部位については説明を省略すると共に、図面において同じ符号を付すものとする。
なお、この構成の場合、ソース側にメモリセルMC1、MC2の相変化素子(抵抗)2とダイオード3のVBE等で電位上昇があるため、実効的な電流が低下することになるが、もともと選択トランジスタTr1,Tr2のゲート幅は大きいので、ソース電位の浮きによる損失分を差し引いても、十分な電流を確保することが可能である。
Claims (13)
- 所定の間隔で平行に並んで配置された複数のワード線と、
前記ワード線の上方且つ前記ワード線と直交する方向において所定の間隔で平行に並んで配置された複数のビット線と、
前記ワード線と平行な方向及び前記ビット線と平行な方向に並んで配置されると共に、前記ビット線に相変化素子及びダイオードを直列に接続した複数のメモリセルと、
前記複数のメモリセルの下方において前記ワード線と平行に配置されると共に、前記ビット線と直交する方向に並ぶ所定数のメモリセルを共通に接続した複数の共通ドレイン線と、
前記共通ドレイン線の下方において前記共通ドレイン線と平行に並んで配置された複数のグランド線と、
前記ワード線にゲート、前記共通ドレイン線にドレイン、前記グランド線にソースをそれぞれ接続した複数の選択用トランジスタとを備え、
前記共通ドレイン線の一端側に接続された選択用トランジスタと、前記共通ドレイン線の他端側に接続された選択用トランジスタとが1つ置きに交互に並んで配置され、なお且つ、前記共通ドレイン線の一端側に接続された選択用トランジスタと、前記共通ドレイン線の他端側に接続された選択用トランジスタとがそれぞれ異なるグランド線に接続されていることを特徴とする相変化メモリ装置。 - 前記メモリセルは、前記ワード線と平行な方向の間隔及び前記ビット線と平行な方向の間隔がそれぞれ前記ワード線及び前記ビット線の最小加工寸法の2倍となるように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の相変化メモリ装置。
- 前記共通ドレイン線は、前記選択用トランジスタのゲート幅の2倍に相当する領域に亘って前記ビット線と直交する方向に並ぶ所定数のメモリセルを共通に接続していることを特徴とする請求項1又は2に記載の相変化メモリ装置。
- 前記複数のグランド線のうち少なくとも一部又は全てが相互に接続されていることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の相変化メモリ装置。
- 所定の間隔で平行に並んで配置された複数のワード線と、
前記ワード線の上方且つ前記ワード線と直交する方向において所定の間隔で平行に並んで配置された複数のローカルビット線と、
前記ワード線と平行な方向及び前記ローカルビット線と平行な方向に並んで配置されると共に、前記ローカルビット線に相変化素子及びダイオードを直列に接続した複数のメモリセルと、
前記複数のメモリセルの下方において前記ワード線と平行に配置されると共に、前記ローカルビット線と直交する方向に並ぶ所定数のメモリセルを共通に接続した複数の共通ドレイン線と、
前記共通ドレイン線の下方において前記共通ドレイン線と平行に並んで配置された複数のグローバルビット線と、
前記ワード線にゲート、前記グローバルビット線にドレイン、前記共通ドレイン線にソースをそれぞれ接続した複数の選択用トランジスタとを備え、
前記共通ドレイン線の一端側に接続された選択用トランジスタと、前記共通ドレイン線の他端側に接続された選択用トランジスタとが1つ置きに交互に並んで配置され、なお且つ、前記共通ドレイン線の一端側に接続された選択用トランジスタと、前記共通ドレイン線の他端側に接続された選択用トランジスタとがそれぞれ異なるグローバルビット線に接続されていることを特徴とする相変化メモリ装置。 - 前記メモリセルは、前記ワード線と平行な方向の間隔及び前記ローカルビット線と平行な方向の間隔がそれぞれ前記ワード線及び前記ローカルビット線の最小加工寸法の2倍となるように配置されていることを特徴とする請求項5に記載の相変化メモリ装置。
- 前記共通ドレイン線は、前記選択用トランジスタのゲート幅の2倍に相当する領域に亘って前記ローカルビット線と直交する方向に並ぶ所定数のメモリセルを共通に接続していることを特徴とする請求項5又は6に記載の相変化メモリ装置。
- 第1の方向に互いに実質的に平行に伸びる第1および第2の配線と、
前記第1および第2の配線の間の部分の一部に形成された第1の半導体領域と、
前記第2の配線に対して前記第1の半導体領域とは反対側に形成され、前記第1の半導体領域と対になる第2の半導体領域と、
前記第1および第2の配線の間の前記部分の別の一部に形成された第3の半導体領域と、
前記第1の配線に対して前記第3の半導体領域とは反対側に形成され、前記第3の半導体領域と対になる第4の半導体領域と、
前記第1の方向と交差する第2の方向に伸び、前記第1の半導体領域と電気接点を有する第3の配線と、
前記第2の方向に伸び、前記第4の半導体領域との電気接点を有する第4の配線と、
前記第1及び第3の半導体領域を越えるように前記第1の方向に伸びる第5の配線と、
前記第2の半導体領域を越えるように、実質的に前記第5の配線に平行に前記第1の方向に伸びる第6の配線と、
互いに実質的に平行に第2の方向に伸び、それぞれが前記第5および第6の配線のそれぞれと交差する複数の第7の配線と、
前記第7の配線の関連する一つと前記第5の配線との交点にそれぞれ配置される複数の第1の記憶素子と、
前記第7の配線の関連する一つと前記第6の配線との交点にそれぞれ配置される複数の第2の記憶素子とを含む半導体記憶装置。 - 請求項8に記載の半導体記憶装置であって、前記第1および第2の記憶素子のそれぞれが、互いに直列に接続された相変化層とダイオードとを有する半導体記憶装置。
- 請求項8に記載の半導体記憶装置であって、前記第1の配線に対して前記第1の半導体領域とは反対側に形成された第5の半導体領域と、前記第2の配線に対して前記第3の半導体領域とは反対側に形成された第6の半導体領域と、前記第1および第5の半導体領域を互いに分離するために前記第1の配線の下に形成された第1の分離領域と、前記第3および第6の半導体領域を互いに分離するために前記第2の配線の下に形成された第2の分離領域とをさらに含み、前記第4の配線が前記第6の半導体領域との電気接点をさらに有する半導体記憶装置。
- 請求項8に記載の半導体記憶装置であって、前記第2の記憶素子の一つは、前記第7の配線の関連する一つと前記第3の配線との間に前記第2の配線の作動水準の電力を印加することにより選択され、前記第1の記憶素子の一つは、前記第7の配線の関連する一つと前記第4の配線との間に前記第1の配線の作動水準の電力を印加することにより選択される半導体記憶装置。
- 請求項11に記載の半導体記憶装置であって、前記第1および第2の配線はそれぞれワード線として働き、前記第7の配線はそれぞれビット線として働く半導体記憶装置。
- 請求項8に記載の半導体記憶装置であって、前記半導体記憶装置は多層の配線構造を有し、前記第1および第2の配線はそれぞれ第1の層に形成され、前記第3および第4の配線はそれぞれ前記第1の層よりも高い第2の層に形成され、前記第5および第6の配線はそれぞれ前記第2の層よりも高い第3の層に形成され、前記第7の配線はそれぞれ前記第3の層よりも高い第4の層に形成される半導体記憶装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008211942A JP5674263B2 (ja) | 2007-08-21 | 2008-08-20 | 相変化メモリ装置及び半導体記憶装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007214521 | 2007-08-21 | ||
JP2007214521 | 2007-08-21 | ||
JP2008211942A JP5674263B2 (ja) | 2007-08-21 | 2008-08-20 | 相変化メモリ装置及び半導体記憶装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009071298A true JP2009071298A (ja) | 2009-04-02 |
JP5674263B2 JP5674263B2 (ja) | 2015-02-25 |
Family
ID=40381989
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008211942A Expired - Fee Related JP5674263B2 (ja) | 2007-08-21 | 2008-08-20 | 相変化メモリ装置及び半導体記憶装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7742332B2 (ja) |
JP (1) | JP5674263B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8766226B2 (en) | 2011-03-18 | 2014-07-01 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Non-volatile semiconductor storage device and manufacturing method of non-volatile semiconductor storage device |
US8908410B2 (en) | 2012-08-24 | 2014-12-09 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Nonvolatile semiconductor memory device |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5100554B2 (ja) * | 2008-07-30 | 2012-12-19 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置 |
US8488362B2 (en) * | 2009-04-29 | 2013-07-16 | Macronix International Co., Ltd. | Graded metal oxide resistance based semiconductor memory device |
US8699258B2 (en) | 2011-01-21 | 2014-04-15 | Macronix International Co., Ltd. | Verification algorithm for metal-oxide resistive memory |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005353257A (ja) * | 2004-06-08 | 2005-12-22 | Samsung Electronics Co Ltd | 半導体メモリ装置 |
JP2006127583A (ja) * | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Elpida Memory Inc | 不揮発性半導体記憶装置及び相変化メモリ |
JP2007012160A (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-18 | Sharp Corp | 半導体記憶装置 |
JP2007184086A (ja) * | 2006-01-04 | 2007-07-19 | Samsung Electronics Co Ltd | 相変化メモリ装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG54456A1 (en) * | 1996-01-12 | 1998-11-16 | Hitachi Ltd | Semconductor integrated circuit device and method for manufacturing the same |
US20070111429A1 (en) * | 2005-11-14 | 2007-05-17 | Macronix International Co., Ltd. | Method of manufacturing a pipe shaped phase change memory |
US7714315B2 (en) * | 2006-02-07 | 2010-05-11 | Qimonda North America Corp. | Thermal isolation of phase change memory cells |
-
2008
- 2008-08-20 US US12/222,953 patent/US7742332B2/en active Active
- 2008-08-20 JP JP2008211942A patent/JP5674263B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005353257A (ja) * | 2004-06-08 | 2005-12-22 | Samsung Electronics Co Ltd | 半導体メモリ装置 |
JP2006127583A (ja) * | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Elpida Memory Inc | 不揮発性半導体記憶装置及び相変化メモリ |
JP2007012160A (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-18 | Sharp Corp | 半導体記憶装置 |
JP2007184086A (ja) * | 2006-01-04 | 2007-07-19 | Samsung Electronics Co Ltd | 相変化メモリ装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8766226B2 (en) | 2011-03-18 | 2014-07-01 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Non-volatile semiconductor storage device and manufacturing method of non-volatile semiconductor storage device |
US8908410B2 (en) | 2012-08-24 | 2014-12-09 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Nonvolatile semiconductor memory device |
US9165643B2 (en) | 2012-08-24 | 2015-10-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Nonvolatile semiconductor memory device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5674263B2 (ja) | 2015-02-25 |
US20090052234A1 (en) | 2009-02-26 |
US7742332B2 (en) | 2010-06-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6356477B1 (en) | Cross point memory array including shared devices for blocking sneak path currents | |
US8508975B2 (en) | Resistive storage-based semiconductor memory device | |
KR101128620B1 (ko) | 불휘발성 반도체 기억 장치 및 그 제조 방법 | |
TWI545729B (zh) | Semiconductor memory device | |
JP5557419B2 (ja) | 半導体装置 | |
TWI549126B (zh) | 半導體儲存裝置 | |
US8233310B2 (en) | Resistance-change memory | |
US7923812B2 (en) | Quad memory cell and method of making same | |
JP2016167332A (ja) | 記憶装置 | |
US8743595B2 (en) | Size-reduced magnetic memory cell | |
US8427864B2 (en) | Semiconductor storage device | |
US11222923B2 (en) | Resistance variable memory | |
JP2010192718A (ja) | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 | |
JP5674263B2 (ja) | 相変化メモリ装置及び半導体記憶装置 | |
JP2008123641A (ja) | 不揮発性半導体記憶装置 | |
JP5279879B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置 | |
US9196340B2 (en) | Magnetic random access memory having increased on/off ratio and methods of manufacturing and operating the same | |
JP2011155222A (ja) | 磁気ランダムアクセスメモリ | |
US20170372779A1 (en) | Ots for nvm array select lines | |
US7910407B2 (en) | Quad memory cell and method of making same | |
US8860103B2 (en) | Semiconductor memory device | |
KR100929628B1 (ko) | 상변환 기억 소자 | |
US11929105B2 (en) | Method of fabricating a semiconductor device | |
JP2012195038A (ja) | 半導体記憶装置 | |
KR100696766B1 (ko) | 차지 트랩 인슐레이터 메모리 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110606 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20130731 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20130801 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130905 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20131108 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20131217 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140121 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140414 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140417 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140520 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140523 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140623 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141202 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141222 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5674263 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |