JP2009064511A - 強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体および強磁性金属薄膜型磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

【課題】寸法安定性や電磁変換特性、走行耐久性に優れた強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体であって、特に強磁性金属薄膜型磁気記録媒体とした際に温度や湿度の環境変化による寸法変化が小さい記録媒体を提供する。
【解決手段】ポリエステルフィルムの少なくとも片面に金属または合金からなる層（Ｍ層）が設けられており、表面粗さＲａが０．５〜５ｎｍのＡ面と５〜２０ｎｍのＢ面からなる強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体であって、Ｍ層がＢ面側のみ、あるいは、Ｍ層が両面に設けられてＡ面側のＭ層の厚さＴａとＢ面側のＭ層の厚さＴｂがＴａ／Ｔｂ＜１の関係を満たしており、さらに、長手方向と幅方向のヤング率の和が１３〜２２ＧＰａで、長手方向のヤング率Ｅｍが６．５〜１１ＧＰａであり、かつ、長手方向のヤング率Ｅｍと幅方向のヤング率Ｅｔの比Ｅｍ／Ｅｔが０．５〜１．０である強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、磁気テープなどの強磁性金属薄膜型磁気記録媒体に用いられる支持体と、該支持体上に磁性層を設けた強磁性金属薄膜型磁気記録媒体に関するものであり、例えば、寸法安定性や電磁変換特性、走行耐久性に優れた強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体であって、特に強磁性金属薄膜型磁気記録媒体とした際に温度や湿度の環境変化による寸法変化が小さい強磁性金属薄膜型磁気記録媒体とすることができる支持体およびそれからなる強磁性金属薄膜型磁気記録媒体に関するものである。

二軸延伸ポリエステルフィルムはその優れた熱特性、寸法安定性、機械特性および表面形態の制御のし易さから各種用途に使用されており、特に強磁性金属薄膜型磁気記録媒体などの支持体としての有用性がよく知られている。近年、磁気テープなどの強磁性金属薄膜型磁気記録媒体は、機材の軽量化、小型化、大容量化のため、ベースフィルムの薄膜化や高密度記録化が要求されている。高密度記録化のためには、記録波長を短くし、記録トラックを小さくすることが有用である。しかしながら、記録トラックを小さくすると、テープ走行時における熱やテープ保管時の温湿度変化による変形により、記録トラックのずれが起こりやすくなるという問題がある。したがって、テープの使用環境および保管環境での寸法安定性といった特性の改善に対する要求がますます強まっている。また一方で、磁気テープとしたときの走行耐久性の改善要求がますます強くなっている。しかしながら、薄膜化すると機械的強度が不十分となってフィルムの腰の強さが弱くなったり、長手方向に伸びやすく、幅方向に縮みやすくなるため、トラックずれを起こしたり、ヘッドタッチが悪化し電磁変換特性が低下したり、ヘッドやテープが削れたりするといったような問題点がある。

この観点から、支持体には、強度、寸法安定性の点で二軸延伸ポリエステルフィルムよりも優れた剛性の高い芳香族ポリアミドが用いられることがある。しかしながら芳香族ポリアミドは、剛性が高くすぎてヘッド削れを引き起こしたりすることがある。さらに高価格でコストがかかり、汎用記録媒体の支持体としては現実的ではない。

一方、ポリエチレンテレフタレートやポリエチレンナフタレートなどを用いたポリエステルフィルムにおいても、延伸技術を用いて高強度化した強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体が開発されている。しかしながら、温度や湿度に対する寸法安定性などの厳しい要求を満足することはいまだ困難である。

ポリエステルフィルムの片面または両面に金属などの補強層を設ける方法（特許文献１または２など）が開示されている。しかしながら、特許文献１では、長手方向のヤング率に不足しているため、特に、長手方向に張力のかかりやすいＬＴＯ（リニアテープオープン）などのリニア記録方式のデータストレージテープとして使用すると、寸法安定性や電磁変換特性、走行耐久性が不十分であることがある。また、特許文献２では、磁性面側に補強層を設けるため、カッピングの制御が困難となり、特に、リニア記録方式のデータストレージテープでは電磁変換特性が不十分であることがある。

また、カッピング制御や剛性のために補強層を設けた強磁性金属薄膜型磁気記録媒体（特許文献３または４など）が開示されている。しかしながら、特許文献３や４では、ベースフィルムのヤング率などのバランスや補強層の厚みを制御することでリニア記録型データストレージテープに適した寸法安定性を得る方法などが開示されておらず、その示唆も記載されていない。
特開平１１−４８４３４号公報 特開２００２−３１９１２３号公報 特開２００５−３０２１８４号公報 特開２００１−３４４７３６号公報

本発明の目的は、上記の問題を解決し、寸法安定性や電磁変換特性、走行耐久性に優れた強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体であって、特に強磁性金属薄膜型磁気記録媒体とした際に温度や湿度の環境変化による寸法変化が小さい強磁性金属薄膜型磁気記録媒体とすることができる支持体およびそれからなる強磁性金属薄膜型磁気記録媒体を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明は、次の（１）〜（７）を特徴とするものである。

（１）ポリエステルフィルムの少なくとも片面に金属または合金からなる層（Ｍ層）が設けられており、表面粗さＲａが０．５〜５ｎｍのＡ面と５〜２０ｎｍのＢ面からなる強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体であって、Ｍ層がＢ面側のみに設けられているか、または、Ｍ層が両面に設けられてＡ面側のＭ層の厚さＴａとＢ面側のＭ層の厚さＴｂがＴａ／Ｔｂ＜１の関係を満たしており、さらに、長手方向と幅方向のヤング率の和が１３〜２２ＧＰａであり、長手方向のヤング率Ｅｍが６．５〜１１ＧＰａであり、長手方向のヤング率Ｅｍと幅方向のヤング率Ｅｔの比Ｅｍ／Ｅｔが０．５〜１．０である強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体。

（２）Ｍ層の厚みの総和が３０〜３００ｎｍである上記（１）に記載の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体。

（３）厚みが３〜６μｍである上記（１）または（２）に記載の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体。

（４）幅方向の湿度膨張係数が１〜６ｐｐｍ／％ＲＨである上記（１）〜（３）のいずれかに記載の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体。

（５）幅方向の温度膨張係数が−５〜１０ｐｐｍ／℃である上記（１）〜（４）のいずれかに記載の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体。

（６）Ｍ層が銅を含んでいる、上記（１）〜（５）のいずれかに記載の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体。

（７）上記（１）〜（６）のいずれかに記載の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体の表面に強磁性金属薄膜からなる磁性層を設けた強磁性金属薄膜型磁気記録媒体。

（８）記録方式がリニア記録方式である上記（７）に記載の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体。

本発明によれば、磁気テープなどの強磁性金属薄膜型磁気記録媒体に用いられる支持体と、該支持体を用いた磁性層を有する磁気記録媒体に関するものであり、例えば、寸法安定性や電磁変換特性、走行耐久性に優れた強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体であって、特に磁気記録媒体とした際に温度や湿度の環境変化による寸法変化が小さい磁気記録媒体とすることができる強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体およびそれからなる強磁性金属薄膜型磁気記録媒体を得ることができる。

本発明の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体は、ポリエステルフィルムの少なくとも片表面上に金属または合金からなる層（Ｍ層）が設けられてなる。Ｍ層を形成する金属または合金には、例えば、Ａｌ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｎｉ、Ａｇ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｍｎなどの金属、これらの金属の合金としては、Ｆｅ−Ｃｏ、Ｆｅ−Ｎｉ、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｕ、Ｃｏ−Ｃｕ、Ｃｏ−Ａｕ、Ｃｏ−Ｙ、Ｃｏ−Ｌａ、Ｃｏ−Ｐｒ、Ｃｏ−Ｇｄ、Ｃｏ−Ｓｍ、Ｃｏ−Ｐｔ、Ｎｉ−Ｃｕ、Ｍｎ−Ｂｉ、Ｍｎ−Ｓｂ、Ｍｎ−Ａｌ、Ｆｅ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃｒ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃｏ−Ｃｒ等が挙げられる。本発明の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体として、Ｍ層は非磁性金属であることが好ましく、例えば、Ａｌ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ａｇ、Ｍｎなどの金属、およびこれらの金属を含む合金が挙げられる。特に、銅（Ｃｕ）を用いることが寸法安定性に必要な補強効果を高める上で好ましい。

上記のＭ層は片面でも両面でもよく、両表面に設ける場合、両表面で異なる金属成分を含んでいてもよく、また、複数種の金属成分を混合して含んでいても構わないが、より好ましくは両表面で同一種の金属成分を含む方が良い。

Ｍ層の厚みの総和は、３０〜３００ｎｍであることが好ましい。Ｍ層の厚みの総和が３０ｎｍより小さい場合、補強効果が小さく、温度・湿度による環境変化や荷重が付加された場合の寸法変化が大きくなりやすい。Ｍ層の厚みの総和の下限は、好ましくは６０ｎｍ、より好ましくは１００ｎｍである。一方、Ｍ層の厚みの総和が３００ｎｍより大きい場合は、曲げ剛性が大きくなりやすく、磁気ヘッドあたりにおいてエッジ部で浮き上がり現象が発生することで読み取り不良や電磁変換特性の低下が起こることがある。Ｍ層の厚みの上限は、好ましくは２３０ｎｍ、より好ましくは１８０ｎｍである。好ましい範囲としては、６０〜２３０ｎｍ、より好ましい範囲としては、１００〜１８０ｎｍである。Ｍ層の厚みの総和が上記の範囲であれば、磁性層を設けない側の表面、すなわちバックコート層側の表面（Ｂ面）側の片面だけもよいし、両表面に設けられてもよい。両表面に設ける場合、磁性層を設ける側の表面（Ａ面）側に強磁性金属薄膜からなる磁性層が設けられるので、Ａ面側のＭ層の厚さＴａとＢ面側のＭ層の厚さＴｂがＴａ／Ｔｂ＜１の関係を満たすように制御すると、該支持体を用いて作製された強磁性金属薄膜型磁気記録媒体がフラットな形状になり好ましい。また、カッピングを起こすことがあるが、磁気記録媒体に使用するために、必要に応じて、カッピングを有すると、磁気ヘッドあたりが良好であることがある。その場合、磁性層を設ける側の表面（Ａ）と磁性層を設けない側の表面、すなわちバックコート層側の表面（Ｂ）とでは、磁性層を設ける側の表面（Ａ）が凸面になるカッピング形状であることが好ましい。また、Ｔａ／Ｔｂの好ましい範囲は、０．７５未満であり、さらに好ましい範囲は０．５未満である。

また、本発明の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体においては、磁性層を設ける側の表面（Ａ）の中心線平均粗さＲａ_Ａが０．５ｎｍ〜５ｎｍである。磁性層を設ける側の表面（Ａ）のＲａ_Ａが０．５ｎｍより小さい場合は、フィルム製造、加工工程などで、搬送ロールなどとの摩擦係数が大きくなり、工程トラブルを起こすことがあり、磁気テープとして用いる場合に、磁気ヘッドとの摩擦が大きくなり、磁気テープ特性が低下しやすい。また、Ｒａ_Ａが５ｎｍより大きい場合は、高密度記録の強磁性金属薄膜型磁気テープとして用いる場合に、電磁変換特性が低下することがある。磁性層を設ける側の表面（Ａ）のＲａ_Ａの好ましい下限は、１ｎｍであり、好ましい上限は４ｎｍである。好ましい範囲としては、１〜４ｎｍである。

一方、バックコート層側の表面（Ｂ）の中心線平均粗さＲａ_Ｂは５〜２０ｎｍである。バックコート層側の表面（Ｂ）のＲａ_Ｂが５ｎｍより小さい場合は、フィルム製造、加工工程などで、搬送ロールなどとの摩擦係数が大きくなり、工程トラブルを起こすことがあり、磁気テープとして用いる場合に、ガイドロールとの摩擦が大きくなり、テープ走行性が低下することがある。また、Ｒａ_Ｂが２０ｎｍより大きい場合は、フィルムロールやパンケーキとして保管する際に、表面突起が反対側の表面に転写し、電磁変換特性が低下する傾向がある。バックコート層側の表面（Ｂ）のＲａ_Ｂの好ましい下限は７ｎｍであり、好ましい上限は１５ｎｍである。より好ましい範囲としては、７〜１５ｎｍである。

本発明の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体に用いられるポリエステルフィルムは、マット面とフィラー面とを有することが好ましい。ここで、マット面とは、粒子と有機化合物を含有する被膜が形成された面を言い、通常、該被膜上には微細突起が形成されている。また、フィラー面とは、フィルムに内在する粒子により表面突起が形成される面を言う。中でも、マット面を磁性層を設ける側の表面（Ａ）として、フィラー面を磁性層を設けない側の表面、すなわちバックコート層側の表面（Ｂ）とすることが上記の表面粗さに制御しやすい。

マット面の被膜に用いられる粒子の平均粒子径はフィラー面の粒子の平均粒子径の１／２ 以下であり、好ましくは５〜５０ｎｍ、より好ましくは８〜３０ｎｍであり、シリカ、炭酸カルシウム、アルミナ、ポリアクリル酸球、ポリスチレン球等が用いられるが、これらに限定されない。被膜中には該粒子は好ましくは０．０１〜１２．０質量％、より好ましくは０．０２〜１０．０質量％含まれる。また、有機化合物としては、有機高分子が好ましく、例えばポリビニルアルコール、トラガントゴム、カゼイン、ゼラチン、セルロース誘導体、水溶性ポリエステル、ポリウレタン等の有機高分子又はこれらのブレンド体が使用できる。

磁気記録媒体の磁性層の耐久性を更に増すために、必要に応じて、マット面を形成する被膜下のポリエステルフィルム層内には平均粒子径が３０〜１５０ｎｍ、好ましくは４０〜１００ｎｍの粒子を０．０１〜１．０質量％、好ましくは０．０２〜０．８質量％含ませマット面上に更に表面突起を持たせてもよい。ここで使用される粒子は炭酸カルシウム、シリカ、アルミナ、ポリスチレン等が例示されるがこれらに限定されない。

一方、フィラー面に用いられる粒子は炭酸カルシウム、シリカ、アルミナ、ポリスチレン等が例示される。この粒子の平均粒子径は好ましくは１００〜１，０００ｎｍであり、より好ましくは１５０〜９００ｎｍのものが用いられる。粒子の添加量は、好ましくは、フィラー面を構成するポリエステル層の０．０５〜１．０質量％であり、より好ましくは０．０８〜０．８質量％である。

上記平均粒子径は下記の方法により測定されたものである。即ち、電顕試験台上に粒子粉体を、この粒子ができるだけ重ならないように散在せしめ、電子顕微鏡（好ましくは透過型電子顕微鏡）により倍率１００万倍程度で観測し、少なくとも１００個の粒子の面積円相当径を求め、この数平均値をもって平均粒子径とする。

なお、この平均粒子径をフィルムから求める場合下記の手法等により求められる。

ａ）フィルムマット面に金スパッター装置により金薄膜蒸着層を２０〜３０ｎｍ（Ａｎｍ）設け、電子顕微鏡（好ましくは走査型電子顕微鏡）により倍率１０万倍程度で観測し、少なくとも１００個の粒子の面積円相当径を求め、この数平均値より２Ａｎｍ減じた値をもって平均粒子径とする。

ｂ）フィルムフィラー面をイオンエッチングしフィラー面の微粒子をフィルム表面から暴露し電子顕微鏡（好ましくは走査型電子顕微鏡）により倍率１万倍程度で観測し、少なくとも１００個の粒子の面積円相当径を求め、この数平均値をもって平均粒子径とする。

本発明の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体は、長手方向のヤング率と幅方向のヤング率の和が１３〜２２ＧＰａである。ヤング率の和の好ましい範囲は、１４〜２０ＧＰａである。ヤング率の和が１３ＧＰａより小さい場合、後述するように、長手方向や幅方向のヤング率が不足するために、伸び変形により幅方向に収縮し、記録トラックずれという問題が発生したり、エッジダメージが発生したりしやすくなる。また、ヤング率の和が２２ＧＰａより大きい場合、二軸配向ポリエステルフィルムに対してＭ層の厚みを厚くして設ける必要があり、走行を繰り返すことで剥離や脱落が発生し易く、磁気ヘッドや磁気テープの削れが発生しやすく、十分な走行耐久性が得られないことがある。

長手方向のヤング率と幅方向のヤング率の和を上述の範囲内とするためには、磁気記録媒体用支持体の長手方向のヤング率を６．５〜１１ＧＰａとする。長手方向のヤング率が６．５ＧＰａより小さい場合、テープドライブ内での長手方向への張力によって長手方向に伸び、この伸び変形により幅方向に収縮し、記録トラックずれという問題が発生しやすい。長手方向のヤング率の下限は、より好ましくは７ＧＰａである。一方、長手方向のヤング率が１１ＧＰａより大きい場合、幅方向のヤング率を好ましい範囲に制御することが難しくなり、幅方向のヤング率が不足し、エッジダメージの原因となったり、幅方向の寸法安定性として本発明の効果が得られにくかったりすることがある。長手方向のヤング率の上限は、より好ましくは１０ＧＰａである。より好ましい範囲としては、７〜１０ＧＰａである。

また、幅方向のヤング率は６．５〜１３ＧＰａの範囲とすることが好ましい。幅方向のヤング率が６．５ＧＰａより小さい場合、エッジダメージの原因となったり、幅方向の寸法安定性として本発明の効果が得られにくかったりすることがある。幅方向のヤング率の下限は、より好ましくは７ＧＰａ、さらに好ましくは８ＧＰａである。一方、幅方向のヤング率が１３ＧＰａより大きい場合、長手方向のヤング率を好ましい範囲に制御することが難しくなり長手方向の張力により変形しやすくなったり、スリット性が悪化したりすることがある。幅方向のヤング率の上限は、より好ましくは１２ＧＰａ、さらに好ましくは１１ＧＰａである。より好ましい範囲としては、７〜１２ＧＰａ、さらに好ましい範囲としては８〜１１ＧＰａである。

また、本発明の磁気記録媒体用支持体は、長手方向のヤング率Ｅｍと幅方向のヤング率Ｅｔの比Ｅｍ／Ｅｔが０．５〜１．０の範囲内である。Ｅｍ／Ｅｔは、０．６〜１．０の範囲内であることがより好ましく、０．６〜０．８の範囲内であることがさらに好ましい。特に、長手方向のヤング率より幅方向のヤング率が大きいほうが、幅方向の寸法安定性として本発明の効果を得やすい。

なお、本発明において、支持体の長手方向とは、一般的にＭＤ方向といわれる方向であって、ポリエステルフィルム製造工程時の長手方向と同じ方向を指し、支持体の幅方向とは、一般的にＴＤ方向といわれる方向であって、ポリエステルフィルム製造工程時の幅方向と同じ方向を指す。

そして、最近の磁気材料用途においては、長時間記録化のためのベースフィルムのいっそうの薄膜化と高密度記録化が要求されている。本発明では、その要求を満たすための最も重要な特性として、磁気テープへの加工工程や、テープ使用環境の温度、湿度、張力等の条件下でのテープの長手方向の伸び変形、および幅方向の寸法安定性を最適な範囲に制御することに着目した。その寸法安定性の指標として、金属系酸化物を含む層（Ｍ層）を二軸配向ポリエステルフィルムに設けて、湿度膨張係数や温度膨張係数を本発明の範囲にすることによって、テープ使用環境の温度、湿度、張力に対する長手方向および幅方向の変形が少ない、寸法安定性に優れた二軸配向ポリエステルフィルムが得られることを見出した。

本発明の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体は、幅方向の湿度膨張係数が１〜６ｐｐｍ／％ＲＨであることが好ましい。湿度膨張係数が上記範囲内であることは、磁気記録媒体の記録再生時の湿度変化による寸法安定性や高湿条件での保存後の寸法安定性の観点から好ましい。幅方向の湿度膨張係数の上限は、好ましくは５．５ｐｐｍ／％ＲＨ、さらに好ましくは５ｐｐｍ／％ＲＨである。幅方向の湿度膨張係数の下限を１ｐｐｍ／％ＲＨより小さくするためには、幅方向の配向をかなり高める必要があり、実質的に二軸配向ポリエステルフィルムを得ることが困難である場合がある。より好ましい範囲としては、１〜５．５ｐｐｍ／％ＲＨ、さらに好ましい範囲としては１〜５ｐｐｍ／％ＲＨである。

本発明の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体は、幅方向の温度膨張係数が−５〜１０ｐｐｍ／℃であることが好ましい。温度膨張係数が上記範囲内であることは、磁気記録媒体の記録再生時の温度変化による寸法安定性や高温条件での保存後の寸法安定性の観点から好ましい。幅方向の温度膨張係数の上限は、好ましくは８ｐｐｍ／℃、さらに好ましくは７ｐｐｍ／℃である。幅方向の温度膨張係数の下限は、好ましくは−３ｐｐｍ／℃、さらに好ましくは０ｐｐｍ／℃である。より好ましい範囲としては、−３〜８ｐｐｍ／％ＲＨ、さらに好ましい範囲としては０〜７ｐｐｍ／％ＲＨである。磁気ヘッドの材質として、Ａｌ_２Ｏ_３−ＴｉＣが用いられることが多く、それを用いた磁気ヘッドの温度膨張係数は７ｐｐｍ／℃であるため、強磁性金属薄膜型磁気記録媒体の温度膨張を７ｐｐｍ／℃近傍に制御すると、見かけ上の温度膨張を低減させることができる。支持体として、上記範囲の温度膨張係数に制御すると、その支持体を用いて作製された強磁性金属薄膜型磁気記録媒体の温度膨張を制御しやすい。

本発明において、ポリエステルフィルムとは、例えば、芳香族ジカルボン酸、脂環族ジカルボン酸または脂肪族ジカルボン酸などの酸成分やジオール成分を構成単位（重合単位）とするポリマーで構成されたものである。

芳香族ジカルボン酸成分としては、例えば、テレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、１，４−ナフタレンジカルボン酸、１，５−ナフタレンジカルボン酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸、４，４’−ジフェニルジカルボン酸、４，４’−ジフェニルエーテルジカルボン酸、４，４’−ジフェニルスルホンジカルボン酸等を用いることができ、なかでも好ましくは、テレフタル酸、フタル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸を用いることができる。脂環族ジカルボン酸成分としては、例えば、シクロヘキサンジカルボン酸等を用いることができる。脂肪族ジカルボン酸成分としては、例えば、アジピン酸、スベリン酸、セバシン酸、ドデカンジオン酸等を用いることができる。これらの酸成分は一種のみを用いてもよく、二種以上を併用してもよい。

ジオール成分としては、例えば、エチレングリコール、１，２−プロパンジオール、１，３−プロパンジオール、ネオペンチルグリコール、１，３−ブタンジオール、１，４−ブタンジオール、１，５−ペンタンジオール、１，６−ヘキサンジオール、１，２−シクロヘキサンジメタノール、１，３−シクロヘキサンジメタノール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ポリアルキレングリコール、２，２’−ビス（４’−β−ヒドロキシエトキシフェニル）プロパン等を用いることができ、なかでも、エチレングリコール、１，４−ブタンジオール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、ジエチレングリコール等を好ましく用いることができ、特に好ましくは、エチレングリコール等を用いることができる。これらのジオール成分は一種のみを用いてもよく、二種以上を併用してもよい。

ポリエステルには、ラウリルアルコール、イソシアン酸フェニル等の単官能化合物が共重合されていてもよいし、トリメリット酸、ピロメリット酸、グリセロール、ペンタエリスリトール、２，４−ジオキシ安息香酸、等の３官能化合物などが、過度に分枝や架橋をせずポリマーが実質的に線状である範囲内で共重合されていてもよい。さらに酸成分、ジオール成分以外に、ｐ−ヒドロキシ安息香酸、ｍ−ヒドロキシ安息香酸、２，６−ヒドロキシナフトエ酸などの芳香族ヒドロキシカルボン酸およびｐ−アミノフェノール、ｐ−アミノ安息香酸などを本発明の効果が損なわれない程度の少量であればさらに共重合せしめることができる。

ポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートが好ましい。また、これらの共重合体、および変性体でもよく、他の熱可塑性樹脂とのポリマーアロイでもよい。ここでいうポリマーアロイとは高分子多成分系のことであり、共重合によるブロックコポリマーであってもよいし、混合などによるポリマーブレンドでもよい。

特に、上記ポリエステル樹脂とポリイミド系樹脂のポリマーアロイは混合割合によってガラス転移温度を制御できるため、使用条件に合わせたポリマー設計ができるため好ましい。ポリマーの混合割合はＮＭＲ法（核磁気共鳴法）や顕微ＦＴ−ＩＲ法（フーリエ変換顕微赤外分光法）を用いて調べることができる。

ポリイミド系樹脂としては、例えば、下記一般式で示されるような構造単位を含有するものが好ましい。

ただし、式中のＲ^１は、

などの脂肪族炭化水素基、脂環族炭化水素基、芳香族炭化水素基から選ばれた一種もしくは二種以上の基を表している。また、式中のＲ^２は、

などの脂肪族炭化水素基、脂環族炭化水素基、芳香族炭化水素基から選ばれた一種もしくは二種以上の基を表している。

溶融成形性やポリエステルとの親和性などの点から、下記一般式で示されるような、ポリイミド構成成分にエーテル結合を含有するポリエーテルイミドが特に好ましい。

（ただし、上記式中Ｒ^３は、６〜３０個の炭素原子を有する２価の芳香族または脂肪族残基、Ｒ^４は６〜３０個の炭素原子を有する２価の芳香族残基、２〜２０個の炭素原子を有するアルキレン基、２〜２０個の炭素原子を有するシクロアルキレン基、および２〜８個の炭素原子を有するアルキレン基で連鎖停止されたポリジオルガノシロキサン基からなる群より選択された２価の有機基である。）
上記Ｒ^３、Ｒ^４としては、例えば、下記式群に示される芳香族残基を挙げることができる。

本発明では、ポリエステルとの親和性、コスト、溶融成形性等の観点から、２，２−ビス［４−（２，３−ジカルボキシフェノキシ）フェニル］プロパン二無水物とｍ−フェニレンジアミン、またはｐ−フェニレンジアミンとの縮合物である、下記式で示される繰り返し単位を有するポリマーが好ましい

または

（ｎは２以上の整数、好ましくは２０〜５０の整数）
このポリエーテルイミドは、“ウルテム”（登録商標）の商品名で、ジーイープラスチックス社より入手可能である。

本発明において、例えば、ポリエステル樹脂とポリイミド樹脂とを混合する方法としては、溶融押出前に、ポリエステル樹脂とポリイミド樹脂の混合物を予備溶融混練（ペレタイズ）してマスターチップ化する方法や、溶融押出時に混合して溶融混練させる方法などがある。中でも、二軸押出機などのせん断応力のかかる高せん断混合機を用いて予備混練してマスターチップ化する方法などが好ましく例示される。その場合、通常の一軸押出機に該混合されたマスターチップ原料を投入して溶融製膜してもよいし、高せん断を付加した状態でマスターチップ化せずに直接にシーティングしてもよい。二軸押出機で混合する場合、分散不良物を低減させる観点から、３条二軸タイプまたは２条二軸タイプのスクリューを装備したものが好ましい。また、ポリエステル樹脂とポリイミド樹脂を混合する場合、溶融粘度の差があるため、ポリイミド樹脂を高濃度に混合したマスターチップを作製することが好ましく、特に、ポリエステル樹脂／ポリイミド樹脂の混合質量比率を１０／９０〜７０／３０とするのが好ましく、より好ましい範囲は３０／７０〜６０／４０の範囲である。

混練部の温度範囲を好ましい範囲にすることは、せん断応力を高めやすく、分散不良物を低減しやすくなる。そのときの滞留時間は１〜５分の範囲が好ましい。また、スクリュー回転数を１００〜５００回転／分とすることが好ましく、さらに好ましくは２００〜４００回転／分の範囲である。スクリュー回転数を好ましい範囲に設定することでも、高いせん断応力が付加され易く、分散不良物を低減しやすくなる。また、二軸押出機の（スクリュー軸長さ／スクリュー軸径）の比率は２０〜６０の範囲であることが好ましく、さらに好ましくは３０〜５０の範囲である。

さらに、二軸スクリューにおいて、混練力を高めるためにニーディングパドルなどによる混練部を設けることは好ましく、その混練部を好ましくは２箇所以上、さらに好ましくは３箇所以上設けたスクリュー形状にする。この際、原料の混合順序には特に制限はなく、全ての原材料を配合後上記の方法により溶融混練する方法、一部の原材料を配合後上記の方法により溶融混練し更に残りの原材料を配合し溶融混練する方法、あるいは一部の原材料を配合後単軸あるいは２軸の押出機により溶融混練中にサイドフィーダーを用いて残りの原材料を混合する方法など、いずれの方法を用いてもよい。また、プラスチック成形加工学会誌「成形加工」第１５巻第６号、３８２〜３８５頁（２００３年）に記載された超臨界流体を利用する方法なども好ましく例示することができる。

本発明において、ポリエステルフィルムは２層以上の積層構成であることが好ましい。特に、本発明の支持体は、磁気記録媒体に用いるため、一方の表面には、優れた電磁変換特性を得るための平滑さが求められ、他方の表面には、製膜・加工工程での搬送や、磁気テープの走行性や走行耐久性を付与するための粗さが求められる。そのため、ポリエステルフィルムを２層以上の積層構成にすることが好ましい。

ポリエステルフィルムには、その表面に易滑性や耐摩耗性、耐スクラッチ性などを付与するため、無機粒子、有機粒子、例えば、クレー、マイカ、酸化チタン、炭酸カルシウム、カリオン、タルク、湿式シリカ、乾式シリカ、コロイド状シリカ、リン酸カルシウム、硫酸バリウム、アルミナ、ジルコニア等の無機粒子、アクリル酸類、スチレン系樹脂、熱硬化樹脂、シリコーン、イミド系化合物等を構成成分とする有機粒子、ポリエステル重合反応時に添加する触媒等によって析出する粒子（いわゆる内部粒子）などが添加されていてもよい。粒子の粒径はＴＥＭなどによって調べることができ、粒子の添加量はＸ線マイクロアナライザーや熱分解ガスクロマト質量分析などによって調べることができる。

本発明の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体としての厚みは、３〜６μｍが好ましい。この厚みが３μｍより小さい場合、曲げ剛性が小さくなりすぎて、磁気テープにした際にヘッドあたりが不足して電磁変換特性が低下することがある。一方、この厚みが６μｍより大きい場合は、曲げ剛性が高くなりすぎて、ヘッドのエッジ近傍でテープ浮き上がりによる電磁変換特性の不良があったり、カートリッジで保存した後に巻きじまりによる転写が起こったりして電磁変換特性の低下を引き起こすことがある。したがって、強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用途の場合、厚みの下限は、好ましくは４μｍであり、上限は、好ましくは５．５μｍである。より好ましい範囲としては４〜５．５μｍである。

また、本発明の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体を構成するポリエステルフィルムの厚みは、３〜６μｍであることが好ましい。この厚みが３μｍより小さい場合は、曲げ剛性が小さくなりすぎて、磁気テープにした際にヘッドあたりが不足して電磁変換特性が低下することがある。ポリエステルフィルムの厚みの下限は、より好ましくは４μｍである。一方、ポリエステルフィルムの厚みが６μｍより大きい場合は、曲げ剛性が大きくなりすぎて、ヘッドのエッジ近傍でテープ浮き上がりによる電磁変換特性の不良があったり、カートリッジで保存した後に巻きじまりによる転写が起こったりして電磁変換特性の低下を引き起こすことがある。ポリエステルフィルムの厚みの上限は、より好ましくは５．５μｍである。より好ましい範囲としては４〜５．５μｍである。

上記したような本発明の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体は、たとえば次のように製造される。

まず、支持体を構成するポリエステルフィルムを製造する。ポリエステルフィルムを製造するには、たとえばポリエステルのペレットを、押出機を用いて溶融し、口金から吐出した後、冷却固化してシート状に成形する。このとき、繊維焼結ステンレス金属フィルターによりポリマーを濾過することが、ポリマー中の未溶融物を除去するために好ましい。また、ポリエステルフィルムの表面に易滑性や耐摩耗性、耐スクラッチ性などを付与するため、無機粒子、有機粒子、例えば、クレー、マイカ、酸化チタン、炭酸カルシウム、カリオン、タルク、湿式シリカ、乾式シリカ、コロイド状シリカ、リン酸カルシウム、硫酸バリウム、アルミナ、ジルコニア等の無機粒子、アクリル酸類、スチレン系樹脂、熱硬化樹脂、シリコーン、イミド系化合物等を構成成分とする有機粒子、ポリエステル重合反応時に添加する触媒等によって析出する粒子（いわゆる内部粒子）などを添加することも好ましい。さらに、本発明を阻害しない範囲内であれば、各種添加剤、例えば、相溶化剤、可塑剤、耐候剤、酸化防止剤、熱安定剤、滑剤、帯電防止剤、増白剤、着色剤、導電剤、結晶核剤、紫外線吸収剤、難燃剤、難燃助剤、顔料、染料、などが添加されてもよい。

続いて、上記シートを長手方向と幅方向の二軸に延伸した後、熱処理する。延伸工程は、特に限定されないが、各方向において２段階以上に分けることが好ましい。すなわち再縦、再横延伸を行う方法が高密度記録の磁気テープとして最適な高強度のフィルムが得られ易いために好ましい。

そして、支持体の長手方向のヤング率は、ポリエステルフィルムの長手方向のヤング率でほとんど決まる。一方、支持体の幅方向のヤング率も、ポリエステルフィルムの幅方向のヤング率でほとんど決まる。したがって、ポリエステルフィルムの長手方向、幅方向のヤング率を、延伸倍率や延伸温度によって制御することが好ましい。基本的には、後述する総面積延伸倍率を高くしたり、延伸温度を低くしたりすれば、製造したポリエステルフィルムのヤング率を高くすることができる。

延伸形式としては、長手方向に延伸した後に幅方向に延伸を行うなどの逐次二軸延伸法や、同時二軸テンター等を用いて長手方向と幅方向を同時に延伸する同時二軸延伸法、さらに、逐次二軸延伸法と同時二軸延伸法を組み合わせた方法などが包含される。中でも、逐次二軸延伸法を用いて、縦延伸後に片側表面Ａ面にマット面を形成させるための水溶液を塗付してから横延伸を施すことが好ましく例示される。

熱処理温度はポリエステルの融点を目安にして決定することができる。熱処理温度は、１５０℃〜［ポリエステルの融点（Ｔｍ）−１５］℃が好ましく、熱処理時間は０．５〜１０秒の範囲で行うのが好ましい。特に、１段目の熱処理温度を好ましくは（Ｔｍ−６５）〜（Ｔｍ−１５）℃、さらに好ましくは（Ｔｍ−５５）〜（Ｔｍ−２５）℃に設定して、２段目の熱処理温度を１段目より低温に設定する。さらに、２段目の熱処理工程のみを幅方向に１〜５％の弛緩率で弛緩処理するとさらに好ましい。上述の多段階の熱処理工程によると、ヤング率や温度・湿度変化に対する寸法安定性を高めつつ、分子鎖緩和が効果的に進行するので、本発明の効果である荷重が負荷された状態で保存したときの寸法変化を表す保存安定性を高めやすくなる
そして、このようにして製造されたポリエステルフィルムはロールに巻き取られる。

次に、上記のようにして熱処理が行われたポリエステルフィルムの両面に金属または合金からなる層（Ｍ層）を設ける。

Ｍ層の形成方法としては物理蒸着法や化学蒸着法を用いることができる。ポリエステルフィルムへの物理蒸着法には真空蒸着法、スパッタリング法があり、特に生産性の観点から真空蒸着法が好ましく、さらに金属蒸気の高エネルギー化が可能な電子ビーム蒸着法が好ましい。

そして、支持体の湿度膨張係数は、蒸着前のポリエステルフィルムのヤング率などに反映されるフィルムの配向状態や、Ｍ層の金属成分や厚みを制御することで本発明の範囲内とすることが可能である。

また、支持体のヤング率は、Ｍ層を構成する金属成分の種類やＭ層の厚みによっても制御できる。Ｍ層自体の強度を高く、膜厚を厚くすることで支持体のヤング率を高めることができる。

なお、本発明においては、ポリエステルフィルムやそのポリエステルフィルムを用いて得られた支持体に、必要に応じて、熱処理、マイクロ波加熱、成形、表面処理、ラミネート、コーティング、印刷、エンボス加工、エッチング、などの任意の加工を行ってもよい。

以下、本発明の支持体の製造方法について、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）をポリエステルとして用いた例を代表例として説明する。もちろん、本願はＰＥＴフィルムを用いた支持体に限定されるものではなく、他のポリマーを用いたものものでもよい。例えば、ガラス転移温度や融点の高いポリエチレン−２，６−ナフタレンジカルボキシレートなどを用いてポリエステルフィルムを構成する場合は、以下に示す温度よりも高温で押出や延伸を行えばよい。

まず、ポリエチレンテレフタレートを準備する。ポリエチレンテレフタレートは、次のいずれかのプロセスで製造される。すなわち、（１）テレフタル酸とエチレングリコールを原料とし、直接エステル化反応によって低分子量のポリエチレンテレフタレートまたはオリゴマーを得、さらにその後の三酸化アンチモンやチタン化合物を触媒に用いた重縮合反応によってポリマーを得るプロセス、（２）ジメチルテレフタレートとエチレングリコールを原料とし、エステル交換反応によって低分子量体を得、さらにその後の三酸化アンチモンやチタン化合物を触媒に用いた重縮合反応によってポリマーを得るプロセスである。ここで、エステル化は無触媒でも反応は進行するが、エステル交換反応においては、通常、マンガン、カルシウム、マグネシウム、亜鉛、リチウム、チタン等の化合物を触媒に用いて進行させ、またエステル交換反応が実質的に完結した後に、該反応に用いた触媒を不活性化する目的で、リン化合物を添加する場合もある。

フィルムを構成するポリエステルに不活性粒子を含有させる場合には、エチレングリコールに不活性粒子を所定割合にてスラリーの形で分散させ、このエチレングリコールを重合時に添加する方法が好ましい。不活性粒子を添加する際には、例えば、不活性粒子の合成時に得られる水ゾルやアルコールゾル状態の粒子を一旦乾燥させることなく添加すると粒子の分散性がよい。また、不活性粒子の水スラリーを直接ＰＥＴペレットと混合し、ベント式二軸混練押出機を用いて、ＰＥＴに練り込む方法も有効である。不活性粒子の含有量を調節する方法としては、上記方法で高濃度の不活性粒子のマスターペレットを作っておき、それを製膜時に不活性粒子を実質的に含有しないＰＥＴで希釈して不活性粒子の含有量を調節する方法が有効である。

次に、得られたＰＥＴのペレットを、１８０℃で３時間以上減圧乾燥した後、固有粘度が低下しないように窒素気流下あるいは減圧下で、２７０〜３２０℃に加熱された押出機に供給し、スリット状のダイから押出し、キャスティングロール上で冷却して未延伸フィルムを得る。この際、異物や変質ポリマーを除去するために各種のフィルター、例えば、焼結金属、多孔性セラミック、サンド、金網などの素材からなるフィルターを用いることが好ましい。また、必要に応じて、定量供給性を向上させるためにギアポンプを設けてもよい。フィルムを積層する場合には、２台以上の押出機およびマニホールドまたは合流ブロックを用いて、複数の異なるポリマーを溶融積層する。特に、マット面用のポリエステル原料（Ａ）と、平均粒子径１００〜１，０００ｎｍの粒子を０．０５〜１．０質量％含有させたフィラー面用のポリエステル原料（Ｂ）を用いたＡ／Ｂ積層フィルムを押出しすることが好ましい。

未延伸ポリエステルフィルムを加熱ロール群で加熱し、長手方向に２〜５倍、好ましくは２．５〜４．５倍、さらに好ましくは３〜４倍に１段もしくは２段以上の多段で延伸する（ＭＤ延伸１）。延伸温度はＴｇ（未延伸ポリエステルフィルムのガラス転移温度）〜（Ｔｇ＋６０）℃、好ましくは（Ｔｇ＋１０）〜（Ｔｇ＋５０）℃、さらに好ましくは（Ｔｇ＋１５）〜（Ｔｇ＋４０）℃の範囲である。その後２０〜５０℃の冷却ロール群で冷却する。ＭＤ延伸１の前に微延伸工程を設けてもよい。その場合の延伸温度は（Ｔｇ＋１０）〜（Ｔｇ＋７０）℃が好ましく、より好ましくは、（Ｔｇ＋１５）〜（Ｔｇ＋６０）℃で、延伸倍率は、１．０５〜１．８倍が好ましく、より好ましくは１．１〜１．５倍、さらに好ましくは、１．１５〜１．３倍である。この微延伸工程は、ポリマー鎖内およびポリマー鎖間に蓄積されたひずみを除去し、その後の延伸をしやすくするために有効である。ＭＤ延伸１に続いて、マット面を形成するために、Ａ層表面に平均粒子径が５〜５０ｎｍ、好ましくは８〜３０ｎｍの微細粒子を０．０１〜１２．０質量％、好ましくは０．０２〜１０．０質量％含む有機化合物からなる塗液を塗布する。その後、幅方向に延伸を実施するが、幅方向の延伸方法としては、例えば、テンターを用いる方法が一般的である。このフィルムの両端部をクリップで把持して、テンターに導き、幅方向の延伸を行う（ＴＤ延伸１）。延伸温度はＴｇ〜（Ｔｇ＋８０）℃が好ましく、より好ましくは（Ｔｇ＋１０）〜（Ｔｇ＋７０）℃、さらに好ましくは（Ｔｇ＋２０）〜（Ｔｇ＋６０）℃の範囲である。特に、縦延伸温度より５〜２０℃低温で延伸することが好ましく、１０〜２０℃低温で延伸することがさらに好ましい。延伸倍率は、２．０〜６．０倍が好ましく、より好ましくは３．０〜５．０倍、さらに好ましくは３．５〜４．５倍の範囲である。

さらに必要に応じて、再縦延伸および／または再横延伸を行う。その場合、フィルムを加熱ロール群で加熱し、長手方向に１．１〜２．５倍、好ましくは１．２〜２．４倍、さらに好ましくは１．３〜２．３倍に再縦延伸し（ＭＤ延伸２）、２０〜５０℃の冷却ロール群で冷却する。延伸温度はＴｇ〜（Ｔｇ＋１００）℃の範囲が好ましく、より好ましくは（Ｔｇ＋２０）〜（Ｔｇ＋８０）℃の範囲、さらに好ましくは（Ｔｇ＋４０）〜（Ｔｇ＋６０）℃の範囲である。次に、ステンターを用いて再び幅方向の延伸を行う（ＴＤ延伸２）。延伸温度はＴｇ〜２５０℃の範囲が好ましく、より好ましくは（Ｔｇ＋２０）〜２４０℃の範囲、さらに好ましくは（Ｔｇ＋４０）〜２２０℃の範囲である。延伸倍率は１．１〜２．５倍の範囲が好ましく、より好ましくは１．１５〜２．２倍、さらに好ましくは１．２〜２．０倍である。

本発明では、長手方向のヤング率Ｅｍと幅方向のヤング率Ｅｔの比Ｅｍ／Ｅｔが０．５〜１．０である二軸配向ポリエステルフィルムを得るために、幅方向の延伸倍率が長手方向の延伸倍率より大きいことが必要である。その場合、幅方向の総延伸倍率が長手方向の総延伸倍率の１．３〜１．５倍であることが好ましい。特に、１段目の延伸において、幅方向の延伸倍率が、長手方向の延伸倍率の１．１〜１．３倍として、さらに、２段目の延伸において、幅方向のみに熱処理と同時に延伸することが幅方向の分子鎖配向を高めるうえでより好ましい。

続いて、この延伸フィルムを緊張下または幅方向に弛緩しながら熱処理する。熱処理条件は、熱処理温度は、１５０℃〜２３０℃が好ましく、熱処理時間は０．５〜１０秒の範囲で行うのが好ましい。熱処理工程を２段階以上の多段階で行うことが好ましく、特に、１段目の熱処理温度を好ましくは１８０〜２３０℃、さらに好ましくは１９０〜２２０℃に設定して、２段目の熱処理温度を１段目より低温にして、好ましくは１５０〜２００℃、さらに好ましくは１５０〜１８０℃に設定する。さらに、２段目の熱処理工程のみを幅方向に１〜５％の弛緩率で弛緩処理するとさらに好ましい。上述の多段階の熱処理工程によると、ヤング率や温度・湿度変化に対する寸法安定性を高めつつ、分子鎖緩和が効果的に進行するので、本発明の効果である荷重が負荷された状態で保存したときの寸法変化を表す保存安定性を高めやすくなる。

その後、フィルムエッジを除去し、ロールに巻き取る。また、フィルムをコアに巻いた状態（ロール状フィルム）で、熱風オーブンなどで加熱処理してもよい。

このように作製されたポリエステルフィルムは、水分を吸湿しないように、低湿度の環境下で保存することが好ましく、搬送時などもできるだけ吸湿を防ぐような梱包が好ましい。ポリエステルフィルムの吸湿はＭ層形成時に悪影響を及ぼすためである。

本発明の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体は、上記の本発明の支持体のマット面側に少なくとも一層の強磁性金属薄膜からなる磁性層を有する。磁性層は、本発明の支持体のＭ層自体からなるか該Ｍ層を含んで構成され、或いは該Ｍ層上に形成された少なくとも１層の強磁性金属薄膜から構成される。

本発明において、金属薄膜型の磁性層を形成する磁性材料としては、通常の金属薄膜型の磁気記録媒体の製造に用いられる強磁性金属材料が挙げられ、例えばＣｏ、Ｎｉ、Ｆｅ等の強磁性金属、また、Ｆｅ−Ｃｏ、Ｆｅ−Ｎｉ、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｕ、Ｃｏ−Ｃｕ、Ｃｏ−Ａｕ、Ｃｏ−Ｙ、Ｃｏ−Ｌａ、Ｃｏ−Ｐｒ、Ｃｏ−Ｇｄ、Ｃｏ−Ｓｍ、Ｃｏ−Ｐｔ、Ｎｉ−Ｃｕ、Ｍｎ−Ｂｉ、Ｍｎ−Ｓｂ、Ｍｎ−Ａｌ、Ｆｅ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃｒ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃｏ−Ｃｒ等の強磁性合金が挙げられる。また、これら金属もしくは金属合金の窒化物、炭化物、酸化物も好ましい。高密度記録のためには磁気記録媒体の磁性層は、斜め蒸着又はスパッタなどにより基材上に形成される。斜め蒸着やスパッタの方法は特に限定されず、従来公知の方法に準ずる。蒸着の際の減圧度は１０^−４〜１０^−７Ｔｏｒｒ程度である。

特に、支持体の強化膜がコバルト等の強磁性金属から形成されている場合は、当該Ｍ層を磁性層としてもよく、特に本発明では、減圧雰囲気下での斜め蒸着により、支持体の一面にコバルトを主体とする強磁性金属を付着させて形成したＭ層を磁性層とすることが好ましい。この場合、蒸着中に酸素ガスを導入してコバルトを主体とする強磁性金属の酸化物が含まれるようにすることが一層望ましい。

更に、支持体上にバックコート層を形成することができる。バックコート層は、カーボンブラックやバインダーを主成分とする厚さ０．２〜１．０μｍ程度の塗布型のバックコート層でもよいし、蒸着法、直流スパッタ法、交流スパッタ法、高周波スパッタ法、直流マグネトロンスパッタ法、高周波マグネトロンスパッタ法、イオンビームスパッタ法などの乾式メッキ手段により、減圧雰囲気下で金属又は半金属を支持体に付着させて形成された金属薄膜型のバックコート層でもよい。後者の場合、バックコート層として付着する金属としては、いろいろ考えられるが、Ａｌ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｎｉ、Ａｇ、Ｃｏなど及びこれらの合金が用いられ、Ａｌ、ＣｏやＣｕ−Ａｌ合金が好適である。また、バックコート層を形成する半金属としては、Ｓｉ、Ｇｅ、Ａｓ、Ｓｃ、Ｓｂなどが用いられ、Ｓｉが好適である。更に蒸着時に前記金属又は半金属に酸化反応、炭化反応等をさせた酸化膜、炭化膜などのようにセラミックス化したものも好適である。また、更に添加物をドープし、導電率を向上させることは好ましい。金属薄膜型のバックコート層の厚さは、０．０５〜１．０μｍ程度である。バックコート層は金属薄膜型が好ましく、かかるバックコート層は、本発明の支持体のＭ層自体からなるか該Ｍ層を含んで構成され、或いは該Ｍ層上に形成された少なくとも１層の強磁性金属薄膜から構成されることが好ましい。特に支持体の強化膜をバックコート層とすることが好ましい。

また、本発明の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体においては、磁性層上に厚さが１〜５０ｎｍの保護膜が設けられるのが好ましい。保護層を構成する材料として、Ａｌ等の金属の酸化物、窒化物、あるいは炭化物などの他、ＳｉＣ等、及びそれを含む化合物などが考えられる。また、特に、炭素膜、中でもダイヤモンドライクカーボンが好ましい。ダイヤモンドライクカーボンよりなる保護層はフィジカルベーパーデポジション（ＰＶＤ）法又はケミカルベーパーデポジション（ＣＶＤ）法により形成される。特に、ＥＣＲプラズマＣＶＤ装置により形成される。即ち、真空槽内に配設された支持体上の磁性層に対してＥＣＲプラズマＣＶＤ装置を作動させ、磁性層に炭化水素系ガスのプラズマを吹き付ける。これにより、磁性層表面に保護層（ダイヤモンドライクカーボン層）が形成される。

更に、本発明の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体においては、磁性層又は保護層上に適当な潤滑剤からなる潤滑剤層を形成することが好ましい。特にパーフルオロポリエーテル等のフッ素系の潤滑剤が好ましく、潤滑剤層の厚さは０．５〜１０ｎｍ程度である。潤滑剤としては、例えば−[C(R)F-CF_２-O]p−（但し、RはF、CF_３、CH_３などの基) 、特にHOOC-CF_２(OC_２F_４)p(OCF_２)q-OCF_２COOH、F-(CF_２CF_２CF_２O)n-CF_２CF_２COOH 等のカルボキシル基変性パーフルオロポリエーテル、HOCH_２-CF_２(OC_２F_４)p(OCF_２)q-OCF_２-CH_２OH、 HO-(C_２H_４O)m-CH_２-(OC_２F_４)p(OCF_２)q-OCH_２-(OCH_２CH_２)n-OH、F-(CF_２CF_２CF_２O)n-CF_２CF_２CH_２OH等のアルコール変性パーフルオロポリエーテルが挙げられる。分子量は５００〜５０，０００のものが好ましい。具体的には、モンテカチーニ社の商品名「ＦＯＭＢＬＩＮ Ｚ ＤＩＡＣ」や「ＦＯＭＢＬＩＮ Ｚ ＤＯＬ」、ダイキン工業社の商品名「デムナムＳＡ」等がある。特に耐久性の面ではフッ素系アルキル基とアルキル基の両方を持つ潤滑剤の使用が好ましい。また、これらの潤滑剤を混合して使用することも好ましい。なお、本発明においては、バックコート層上にも上記のような潤滑剤層を形成することが走行性の面から好ましい。

本発明において、各磁性層の厚さは、２層の場合、下層の磁性層の厚さが１０〜２００ｎｍ、上層の磁性層の厚さが５〜１００ｎｍが好ましく、３層の場合、下層の磁性層の厚さが１０〜２００ｎｍ、中間の磁性層の厚さが１０〜１００ｎｍ、上層の磁性層の厚さが５〜１００ｎｍが好ましい。また磁性層の数は高周波記録媒体程多い方が良いが、実用的な範囲としては２〜５層、特に２〜３層が適当と考えられる。多層の磁性層は、一層ずつ形成しても、二以上の装置を用いて連続的に成膜してもよい。

また、本発明の磁気記録媒体の保磁力は、磁性層全体の保磁力として１，２００（Ｏｅ）（９５ＫＡ／ｍ）以上であるのが好ましく、特に１，３００（Ｏｅ）（１０３ＫＡ／ｍ）以上が好ましい。

本発明の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体は、例えば、データ記録用途、具体的にはコンピュータデータのバックアップ用途（例えばリニアテープ式の記録媒体（ＬＴＯ４やＬＴＯ５など））や映像などのデジタル画像の記録用途などに好適に用いることができる。

（物性の測定方法ならびに効果の評価方法）
本発明における特性値の測定方法並びに効果の評価方法は次の通りである。例えば、磁気テープから本願の支持体を取り出すためには、フッ化水素酸や塩酸を用いて磁性層やＭ層を除去して、メチルエチルケトンを用いてバックコート層を拭き剥がすことで評価が可能となる。

（１）ヤング率
ＡＳＴＭ−Ｄ８８２（１９９７年）に準拠して支持体のヤング率を測定する。なお、インストロンタイプの引張試験機を用い、条件は下記のとおりとする。５回の測定結果の平均値を本発明におけるヤング率とする。
・測定装置：インストロン社製超精密材料試験機ＭＯＤＥＬ５８４８
・試料サイズ：
支持体幅方向のヤング率測定の場合
支持体長手方向２ｍｍ×支持体幅方向１２．６ｍｍ
（つかみ間隔は支持体幅方向に８ｍｍ）
支持体長手方向のヤング率測定の場合
支持体幅方向２ｍｍ×支持体長手方向１２．６ｍｍ
（つかみ間隔は支持体長手方向に８ｍｍ）
・引張り速度：１ｍｍ／分
・測定環境：温度２３℃、湿度６５％ＲＨ
・測定回数：５回測定し、平均値から算出する。

（２）Ｍ層の厚み
下記条件にて断面観察を行い、得られた合計９点の厚み（ｎｍ）の平均値を算出し、Ｍ層の厚み（ｎｍ）とする。
・測定装置：透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ） 日立製Ｈ−７１００ＦＡ型
・測定条件：加速電圧 １００ｋＶ
・測定倍率：２０万倍
・試料調整：超薄膜切片法
・観察面 ：ＴＤ−ＺＤ断面
・測定回数：１視野につき３点、３視野を測定する。

（３）中心線平均粗さＲａ
触針式表面粗さ計を用いて下記条件にて支持体の中心線平均粗さＲａを測定する。フィルム幅方向に２０回走査して測定を行い、得られた結果の平均値を本発明における中心線平均粗さＲａとする。
・測定装置 ：小坂研究所製高精度薄膜段差測定器ＥＴ−１０
・触針先端半径：０．５μｍ
・触針荷重 ：５ｍｇ
・測定長 ：１ｍｍ
・カットオフ値：０．０８ｍｍ
・測定環境 ：温度２３℃湿度６５％ＲＨ
（４）湿度膨張係数
支持体の幅方向に対して、下記条件にて測定を行い、３回の測定結果の平均値を本発明における湿度膨張係数とする。
・測定装置：島津製作所製熱機械分析装置ＴＭＡ−５０（湿度発生器：アルバック理工製湿度雰囲気調節装置ＨＣ−１）
・試料サイズ：支持体長手方向１０ｍｍ×支持体幅方向１２．６ｍｍ
・荷重：０．５ｇ
・測定回数：３回
・測定温度：３０℃
・測定湿度：４０％ＲＨで６時間保持し寸法を測定し時間４０分で８０％ＲＨまで昇湿し、８０％ＲＨで６時間保持したあと支持体幅方向の寸法変化量ΔＬ（ｍｍ）を測定する。次式から湿度膨張係数（ｐｐｍ／％ＲＨ）を算出する。

湿度膨張係数（ｐｐｍ／％ＲＨ）＝１０^６×｛（ΔＬ／１２．６）／（８０−４０）｝
（５）温度膨張係数
熱機械測定装置ＴＭＡ／ＳＳ６１００（セイコーインスツルメンツ社製）を用い、試料幅４mm、試料長さ（チャック間距離）２０mmのサンプルに対し、荷重３ｇを負荷した。室温から５０℃まで昇温速度１０℃／分で昇温させ、１０分間保持した。その後、２５℃まで１０℃／分で降温させ、２０分間保持した。このときの降温部分４０℃から３０℃までの寸法変化量から、下記式により熱膨張係数を求めた。

温度膨張係数（ｐｐｍ／℃）＝｛（Ｌ４０−Ｌ３０）／Ｌ０｝／△Ｔ
Ｌ０：２３℃におけるフィルム長さ
Ｌ４０：降温時の４０℃におけるフィルム長さ
Ｌ３０：降温時の３０℃におけるフィルム長さ
△Ｔ：温度変化量（４０−３０＝１０）。

（６）ガラス転移温度（Ｔｇ）
下記装置および条件で比熱測定を行い、ＪＩＳ Ｋ７１２１（１９８７年）に従って決定する。
・装置 ：ＴＡ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ社製温度変調ＤＳＣ
・測定条件：
・加熱温度 ：２７０〜５７０Ｋ（ＲＣＳ冷却法）
・温度校正 ：高純度インジウムおよびスズの融点
・温度変調振幅：±１Ｋ
・温度変調周期：６０秒
・昇温ステップ：５Ｋ
・試料重量 ：５ｍｇ
・試料容器 ：アルミニウム製開放型容器（２２ｍｇ）
・参照容器 ：アルミニウム製開放型容器（１８ｍｇ）
なお、ガラス転移温度は下記式により算出する。
ガラス転移温度＝（補外ガラス転移開始温度＋補外ガラス転移終了温度）／２
（７）融点（Ｔｍ）
示差走査熱量計としてセイコーインスツルメンツ社製ＤＳＣ（ＲＤＣ２２０）、データ解析装置として同社製ディスクステーション（ＳＳＣ／５２００）を用いて、サンプル約５ｍｇをアルミニウム製受皿上３００℃で５分間溶融保持し、急冷固化した後、室温から昇温速度２０℃／分で昇温する。そのとき、観測される融解の吸熱ピークのピーク温度を融点（Ｔｍ）とする。

（８）幅寸法測定
１ｍ幅にスリットした支持体を、張力２００Ｎで搬送させ、支持体の一方の表面（Ａ）にに、厚さ６０ｎｍのコバルト磁性層を形成した。この時の蒸着条件は、フィルム走行速度１．３ｍ／分、電子銃パワー１５ｋＷ、ノズル１４ｃからの酸素ガス流量５０ＳＣＣＭであった。次いで、該コバルト磁性層上にＣＶＤ法によりダイヤモンドライクカーボンからなる厚さ１０ｎｍの保護層を形成した。更に該保護層上とＡ面とは反対側のＢ面上に、フッ素系潤滑剤〔商品名：ＡＭ２００１（ダイキン工業社製）〕をそれぞれ厚さが２ｎｍとなるように付着して潤滑剤層を形成した。上記により得られた、コバルト磁性層、ダイヤモンドライクカーボン保護層及びフッ素系潤滑層が形成されたテープ原反を１／２インチ（１２．６５ｍｍ）幅にスリットし、パンケーキを作成する。次いで、このパンケーキから長さ２００ｍ分をカセットに組み込んで、カセットテープとする。

カセットテープのカートリッジからテープを取り出し、下記恒温恒湿槽内へ図１のように作製したシート幅測定装置を入れ、幅寸法測定を行う。なお、図１に示すシート幅測定装置は、レーザーを使って幅方向の寸法を測定する装置で、磁気テープ９をフリーロール５〜８上にセットしつつ荷重検出器３に固定し、端部に荷重となる分銅４を吊す。この磁気テープ９にレーザー光１０を照射すると、レーザー発振器１から幅方向に線状に発振されたレーザー光１０が磁気テープ９の部分だけ遮られ、受光部２に入り、その遮られたレーザーの幅が磁気テープの幅として測定される。３回の測定結果の平均値を本発明における幅とする。
・測定装置：（株）アヤハエンジニアリング社製シート幅測定装置
・レーザー発振器１、受光部２：レーザー寸法測定機 キーエンス社製ＬＳ−５０４０
・荷重検出器３：ロードセル ＮＭＢ社製ＣＢＥ１−１０Ｋ
・恒温恒湿槽：（株）カトー社製ＳＥ−２５ＶＬ−Ａ
・荷重４：分銅（長手方向）
・試料サイズ：幅１／２ｉｎｃｈ×長さ２５０ｍｍ
・保持時間：５時間
・測定回数：３回測定する。
（幅寸法変化率）
２つの条件でそれぞれ幅寸法（ｌ_Ａ，ｌ_Ｂ）を測定し、次式にて寸法変化率を算出する。次の基準で寸法安定性を評価する。Ａ条件で２４時間経過後ｌ_Ａを測定して、その後Ｂ条件で２４時間経過後にｌ_Ｂを測定する。×を不合格とする。
Ａ条件：１０℃１０％ＲＨ 張力１．０Ｎ
Ｂ条件：２９℃８０％ＲＨ 張力０．６Ｎ
幅寸法変化率（ｐｐｍ）＝１０^６×（（ｌ_Ｂ−ｌ_Ａ）／ｌ_Ａ）
○：幅寸法変化率が５００（ｐｐｍ）未満
△：幅寸法変化率が５００（ｐｐｍ）以上６００（ｐｐｍ）未満
×：幅寸法変化率が６００（ｐｐｍ）以上
（９）電磁変換特性（Ｃ／Ｎ）
上記（８）と同様にカセットテープ作製し、Ｃ／Ｎの測定にはリールｔｏリールテスタを用い、市販のＭＲヘッドを搭載して下記の条件で実施した。

相対速度：２ｍ／ｓｅｃ、記録トラック幅：１８μｍ、再生トラック幅：１０μｍ
シールド間距離：０．２７μｍ
記録用信号発生器：ＨＰ社製 ８１１８Ａ
再生信号処理：スペクトラムアナライザ
このＣ／Ｎを市販のＬＴＯ４テープ（富士フィルム社製）と比較して、−１ｄＢ以上は○、−２以上−１ｄＢ未満は△、−２ｄＢ未満は×と判定した。○が望ましいが、△でも実用的には使用可能である。

次の実施例に基づき、本発明の実施形態を説明する。なお、ここでポリエチレンテレフタレートをＰＥＴ、ポリ（エチレン−２，６−ナフタレンジカルボキシレート）をＰＥＮと表記する。

（実施例１）
テレフタル酸ジメチル１９４質量部とエチレングリコール１２４質量部とをエステル交換反応装置に仕込み、内容物を１４０℃に加熱して溶解した。その後、内容物を撹拌しながら酢酸マグネシウム４水塩０．１質量部および三酸化アンチモン０．０５質量部を加え、１４０〜２３０℃でメタノールを留出しつつエステル交換反応を行った。次いで、リン酸トリメチルの５質量％エチレングリコール溶液を１質量部（リン酸トリメチルとして０．０５質量部）添加した。

トリメチルリン酸のエチレングリコール溶液を添加すると反応内容物の温度が低下する。そこで余剰のエチレングリコールを留出させながら反応内容物の温度が２３０℃に復帰するまで撹拌を継続した。このようにしてエステル交換反応装置内の反応内容物の温度が２３０℃に達したら、反応内容物を重合装置へ移行した。

移行後、反応系を２３０℃から２９０℃まで徐々に昇温するとともに、圧力を０．１ｋＰａまで下げた。最終温度、最終圧力到達までの時間はともに６０分とした。最終温度、最終圧力に到達した後、２時間（重合を始めて３時間）反応させたところ、重合装置の撹拌トルクが所定の値（重合装置の仕様によって具体的な値は異なるが、本重合装置にて固有粘度０．６２のポリエチレンテレフタレートが示す値を所定の値とした）を示した。そこで反応系を窒素パージし常圧に戻して重縮合反応を停止し、冷水にストランド状に吐出、直ちにカッティングして固有粘度０．６２のポリエチレンテレフタレートのＰＥＴペレットＸを得た。

また、２８０℃に加熱された同方向回転タイプのベント式２軸混練押出機に、ＰＥＴペレットＸを９８質量部と平均径６０ｎｍのシリカ粒子の１０質量％水スラリーを２０質量部（シリカとして２質量部）供給し、ベント孔を１ｋＰａ以下の減圧度に保持し水分を除去し、平均径６０ｎｍのシリカ粒子を２質量％含有する固有粘度０．６２のＰＥＴペレットＹを得た。

さらに、平均径６０ｎｍのシリカ粒子ではなく、平均径０．３μmの炭酸カルシウム粒子を用いたこと以外、ＰＥＴペレットＹを作製する方法と同様の方法にて、平均径０．３μmの炭酸カルシウム粒子を２質量％含有する固有粘度０．６２のＰＥＴペレットＺを得た。

押出機Ｅ１，Ｅ２の２台を用い、２８０℃に加熱された押出機Ｅ１には、得られたＰＥＴペレットＸ９８．５質量部、ＰＥＴペレットＹ１．５質量部を１８０℃で３時間減圧乾燥した後に供給し、同じく２８０℃に加熱された押出機Ｅ２には、得られたＰＥＴペレットＸ９０質量部、ＰＥＴペレットＺ１０質量部を１８０℃で３時間減圧乾燥した後に供給した。これらを２層積層するべくＴダイ中で合流させ（積層比Ｅ１（Ａ面側）／Ｅ２（Ｂ面側）＝５／１）、表面温度２５℃のキャストドラムに静電荷を印加させながら密着冷却固化し、積層未延伸フィルムを作製した。なお、未延伸フィルムのガラス転移温度（Ｔｇ）は８０℃であった。

この積層未延伸フィルムを、ロール式延伸機にて長手方向に、温度１１５℃で３．０倍延伸した。縦延伸の後の工程で、片側表面Ａの外側に下記水溶液を塗布した。

Ａ面外側：メチルセルロース ０．１０質量％
水溶性ポリエステル ０．３０質量％（テレフタル酸７０モル％、５−ナトリウムスルホイソフタル酸３０モル％の酸成分とエチレングリコールとの１：１の共重合体）
アミノエチルシランカップリング剤 ０．０１質量％
平均粒子径１８ｎｍのシリカ ０．０２質量％（固形分濃度２０ｍｇ／ｍ^２）
続いて温度１００℃で３．６倍延伸し、さらに、テンターを用いて、幅方向に温度２１５℃で１．２倍横方向に再延伸しながら、１０秒間熱処理後、幅方向に１％の弛緩処理を施し、厚さ５μｍの二軸配向ポリエステルフィルムを得た。その二軸配向ポリエステルフィルムを２５℃３０％ＲＨにて保管した。なお、二軸延伸フィルムのガラス転移温度（Ｔｇ）は１０５℃であり、融点（Ｔｍ）は２５５℃であった。その後は、このＰＥＴフィルムのＡ面側に厚さ３０ｎｍの銅補強膜を成膜し、反対側のＢ面側に厚さ９０ｎｍの補強膜が形成されたＭ層の総厚みが１２０ｎｍとなる強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体を製造した。この時の蒸着条件は、最大入射角６０°、フィルム走行速度１．５ｍ／分、電子銃パワー１６ｋＷであった。

得られた強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体を評価したところ、表１〜３に示すように、磁気テープとして使用した際に寸法変化率が小さく、電磁変換特性に優れた特性を有していた。

（実施例２〜７）
実施例１と同様にして得た二軸配向ポリエステルフィルムに対して、表１に示すようにＭ層の厚みを変更した。得られた強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体は、磁気テープとして使用した際に寸法安定性や電磁変換特性は、表３に示すような結果であった。

（実施例８）
実施例１で得られた積層未延伸フィルムを、ロール式延伸機にて長手方向に、温度１１５℃で３．３倍延伸した。縦延伸の後の工程で、片側表面Ａの外側に下記水溶液を塗布した。

Ａ面外側：メチルセルロース ０．１０質量％
水溶性ポリエステル ０．３０質量％（テレフタル酸７０モル％、５−ナトリウムスルホイソフタル酸３０モル％の酸成分とエチレングリコールとの１：１の共重合体）
アミノエチルシランカップリング剤 ０．０１質量％
平均粒子径１８ｎｍのシリカ ０．０２質量％（固形分濃度２０ｍｇ／ｍ^２）
続いて温度１００℃で３．６倍延伸し、さらに、テンターを用いて、幅方向に温度２１５℃で１．１倍横方向に再延伸しながら、１０秒間熱処理後、幅方向に１％の弛緩処理を施し、厚さ５μｍの二軸配向ポリエステルフィルムを得た。以降、実施例１と同様にして、Ｍ層を設けて強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体を得た。磁気テープとして使用した際に寸法安定性や電磁変換特性は、表３に示すような結果であった。

（実施例９）
３００℃に加熱されたニーディングパドル混練部を３箇所設けた同方向回転タイプのベント式２軸混練押出機（日本製鋼所製、スクリュー直径３０ｍｍ、スクリュー長さ／スクリュー直径＝４５．５）に、実施例１で得られたＰＥＴペレットＸ５０質量％とＧＥ Ｐｌａｓｔｉｃｓ社製のポリエーテルイミド“Ｕｌｔｅｍ１０１０”のペレット５０質量％を供給し、スクリュー回転数３００回転／分で溶融押出してストランド状に吐出し、温度２５℃の水で冷却した後、直ちにカッティングしてブレンドチップ（Ｉ）を作製した。

押出機Ｅ１，Ｅ２の２台を用い、２９５℃に加熱された押出機Ｅ１には、実施例１で得られたＰＥＴペレットＸ８８．５質量部、ＰＥＴペレットＹ１．５質量部、ブレンドチップ（Ｉ）１０質量部を１８０℃で３時間減圧乾燥した後に供給し、同じく２９５℃に加熱された押出機Ｅ２には、実施例１で得られたＰＥＴペレットＸ８０質量部、ＰＥＴペレットＺ１０質量部、およびブレンドチップ（Ｉ）１０質量部を１８０℃で３時間減圧乾燥した後に供給した。これらを２層積層するべくＴダイ中で合流させ（積層比Ｅ１（Ａ面側）／Ｅ２（Ｂ面側）＝５／１）、表面温度２５℃のキャストドラムに静電荷を印加させながら密着冷却固化し、積層未延伸フィルムを作製した。なお、未延伸フィルムのガラス転移温度（Ｔｇ）は９０℃であった。

この積層未延伸フィルムを、ロール式延伸機にて長手方向に、温度１２５℃で３．０倍延伸した。縦延伸の後の工程で、片側表面Ａの外側に下記水溶液を塗布した。

Ａ面外側：メチルセルロース ０．１０質量％
水溶性ポリエステル ０．３０質量％（テレフタル酸７０モル％、５−ナトリウムスルホイソフタル酸３０モル％の酸成分とエチレングリコールとの１：１の共重合体）
アミノエチルシランカップリング剤 ０．０１質量％
平均粒子径１８ｎｍのシリカ ０．０２質量％（固形分濃度２０ｍｇ／ｍ^２）
続いて温度１１０℃で３．６倍延伸し、さらに、テンターを用いて、幅方向に温度２１５℃で１．２倍横方向に再延伸しながら、１０秒間熱処理後、幅方向に１％の弛緩処理を施し、厚さ５μｍの二軸配向ポリエステルフィルムを得た。その二軸配向ポリエステルフィルムを２５℃３０％ＲＨにて保管した。なお、二軸延伸フィルムのガラス転移温度（Ｔｇ）は１１５℃であり、融点（Ｔｍ）は２５５℃であった。以降、実施例１と同様にして、Ｍ層を設けて強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体を得た。磁気テープとして使用した際に寸法安定性や電磁変換特性は、表３に示すような結果であった。

（実施例１０）
２，６−ナフタレンジカルボン酸ジメチル１００質量部とエチレングリコール６０質量部の混合物に、酢酸マンガン・４水和物塩０．０３質量部を添加し、１５０℃の温度から２４０℃の温度に徐々に昇温しながらエステル交換反応を行った。途中、反応温度が１７０℃に達した時点で三酸化アンチモン０．０２４質量部を添加した。また、反応温度が２２０℃に達した時点で３，５−ジカルボキシベンゼンスルホン酸テトラブチルホスホニウム塩０．０４２質量部（２ｍｍｏｌ％に相当）を添加した。その後、引き続いてエステル交換反応を行い、トリメチルリン酸０．０２３質量部を添加した。次いで、反応生成物を重合装置に移し、２９０℃の温度まで昇温し、３０Ｐａの高減圧下にて重縮合反応を行い、重合装置の撹拌トルクが所定の値（重合装置の仕様によって具体的な値は異なるが、本重合装置にて固有粘度０．６５のポリエチレン−２，６−ナフタレートが示す値を所定の値とした）を示した。そこで反応系を窒素パージし常圧に戻して重縮合反応を停止し、冷水にストランド状に吐出、直ちにカッティングして固有粘度０．６５のＰＥＮ（ポリエチレン−２，６−ナフタレート）ペレットＰを得た。

２８０℃に加熱された同方向回転タイプのベント式２軸混練押出機に、ペレットＰを９８質量部と平均径６０ｎｍのシリカ粒子の１０質量％水スラリーを２０質量部（シリカとして２質量部）供給し、ベント孔を１ｋＰａ以下の減圧度に保持し水分を除去し、平均径６０ｎｍのシリカ粒子を２質量％含有する固有粘度０．６５のＰＥＮペレットＱを得た。

平均径６０ｎｍのシリカ粒子ではなく平均径０．３μmの炭酸カルシウム粒子を用いたこと以外、ＰＥＮペレットＱを作製する方法と同様の方法にて、平均径０．３μmの炭酸カルシウム粒子を２質量％含有する固有粘度０．６５のＰＥＮペレットＲを得た。

押出機Ｅ１，Ｅ２の２台を用い、２８０℃に加熱された押出機Ｅ１には、得られたＰＥＮペレットＰ９８．５質量部、ＰＥＮペレットＱ１．５質量部を１８０℃で３時間減圧乾燥した後に供給し、同じく２８０℃に加熱された押出機Ｅ２には、得られたＰＥＮペレットＰ９０質量部、ＰＥＮペレットＲ１０質量部を１８０℃で３時間減圧乾燥した後に供給した。これらを２層積層するべくＴダイ中で合流させ（積層比Ｅ１（Ａ面側）／Ｅ２（Ｂ面側）＝５／１）、表面温度２５℃のキャストドラムに静電荷を印加させながら密着冷却固化し、積層未延伸フィルムを作製した。なお、未延伸フィルムのガラス転移温度（Ｔｇ）は１２０℃であった。

この積層未延伸フィルムを、ロール式延伸機にて長手方向に、温度１４０℃で３．０倍延伸した。縦延伸の後の工程で、片側表面Ａの外側に下記水溶液を塗布した。

Ａ面外側：メチルセルロース ０．１０質量％
水溶性ポリエステル ０．３０質量％（テレフタル酸７０モル％、５−ナトリウムスルホイソフタル酸３０モル％の酸成分とエチレングリコールとの１：１の共重合体）
アミノエチルシランカップリング剤 ０．０１質量％
平均粒子径１８ｎｍのシリカ ０．０２質量％（固形分濃度２０ｍｇ／ｍ^２）
続いて温度１８０℃で３．６倍延伸し、さらに、テンターを用いて、幅方向に温度２１５℃で１．２倍横方向に再延伸しながら、１０秒間熱処理後、幅方向に１％の弛緩処理を施し、厚さ５μｍの二軸配向ポリエステルフィルムを得た。その二軸配向ポリエステルフィルムを２５℃３０％ＲＨにて保管した。なお、二軸延伸フィルムのガラス転移温度（Ｔｇ）は１３５℃であり、融点（Ｔｍ）は２６５℃であった。以降、実施例１と同様にして、Ｍ層を設けて強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体を得た。磁気テープとして使用した際に寸法変化率や電磁変換特性は、表３に示すような結果であった。

（実施例１１）
蒸着工程での金属材料をアルミに変更した以外は実施例１と同様の方法にて強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体を得た。得られた強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体は表３に示すように磁気テープとして使用した際の特性を有していた。

（実施例１２）
押出機Ｅ１，Ｅ２の２台を用い、２８０℃に加熱された押出機Ｅ１には、実施例１で得られたＰＥＴペレットＸ９０質量部、ＰＥＴペレットＹ１０質量部を１８０℃で３時間減圧乾燥した後に供給し、同じく２８０℃に加熱された押出機Ｅ２には、実施例１で得られたＰＥＴペレットＸ９０質量部、ＰＥＴペレットＺ１０質量部を１８０℃で３時間減圧乾燥した後に供給した。これらを２層積層するべくＴダイ中で合流させ（積層比Ｅ１（Ａ面側）／Ｅ２（Ｂ面側）＝５／１）、表面温度２５℃のキャストドラムに静電荷を印加させながら密着冷却固化し、積層未延伸フィルムを作製した。なお、未延伸フィルムのガラス転移温度（Ｔｇ）は８０℃であった。

この積層未延伸フィルムを、ロール式延伸機にて長手方向に、温度１１５℃で３．０倍延伸した。続いて温度１００℃で３．６倍延伸し、さらに、テンターを用いて、幅方向に温度２１５℃で１．２倍横方向に再延伸しながら、１０秒間熱処理後、幅方向に１％の弛緩処理を施し、厚さ５μｍの二軸配向ポリエステルフィルムを得た。その二軸配向ポリエステルフィルムを２５℃３０％ＲＨにて保管した。以降、実施例１と同様にして、Ｍ層を設けて強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体を得た。磁気テープとして使用した際に寸法安定性や電磁変換特性は、表３に示すような結果であった。

（比較例１）
実施例１で得られた厚さ５μｍの二軸配向ポリエステルフィルムに対して、蒸着薄膜層を設けない以外は実施例１と同様の方法にて強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体を得た。得られた支持体は、酸化金属層（Ｍ層）を有しておらず、表１〜３に示すような特性となった。

（比較例２）
実施例１と同様にして得た二軸配向ポリエステルフィルムに対して、表１に示すようにＭ層の厚みを変更した。得られた強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体は、磁気テープとして使用した際に寸法安定性や電磁変換特性は、表３に示すような結果であった。

（比較例３）
実施例１で得られた積層未延伸フィルムを、ロール式延伸機にて長手方向に、温度１１５℃で３．６倍延伸した。縦延伸の後の工程で、片側表面Ａの外側に下記水溶液を塗布した。

Ａ面外側：メチルセルロース ０．１０質量％
水溶性ポリエステル ０．３０質量％（テレフタル酸７０モル％、５−ナトリウムスルホイソフタル酸３０モル％の酸成分とエチレングリコールとの１：１の共重合体）
アミノエチルシランカップリング剤 ０．０１質量％
平均粒子径１８ｎｍのシリカ ０．０２質量％（固形分濃度２０ｍｇ／ｍ^２）
続いて温度１００℃で３．１倍延伸し、さらに、テンターを用いて、幅方向に温度２１５℃で１．２倍横方向に再延伸しながら、１０秒間熱処理後、幅方向に１％の弛緩処理を施し、厚さ５μｍの二軸配向ポリエステルフィルムを得た。その二軸配向ポリエステルフィルムを２５℃３０％ＲＨにて保管した。以降、実施例１と同様にして、Ｍ層を設けて強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体を得た。磁気テープとして使用した際に寸法安定性や電磁変換特性は、表３に示すような結果であった。

（比較例４）
実施例１で得られた積層未延伸フィルムを、ロール式延伸機にて長手方向に、温度１１５℃で３．０倍延伸した。縦延伸の後の工程で、片側表面Ａの外側に下記水溶液を塗布した。

Ａ面外側：メチルセルロース ０．１０質量％
水溶性ポリエステル ０．３０質量％（テレフタル酸７０モル％、５−ナトリウムスルホイソフタル酸３０モル％の酸成分とエチレングリコールとの１：１の共重合体）
アミノエチルシランカップリング剤 ０．０１質量％
平均粒子径１８ｎｍのシリカ ０．０２質量％（固形分濃度２０ｍｇ／ｍ^２）
続いて温度１００℃で３．７倍延伸し、さらに、テンターを用いて、幅方向に温度２１５℃で１．３倍横方向に再延伸しながら、１０秒間熱処理後、幅方向に１％の弛緩処理を施し、厚さ５μｍの二軸配向ポリエステルフィルムを得た。その二軸配向ポリエステルフィルムを２５℃３０％ＲＨにて保管した。以降、実施例１と同様にして、Ｍ層を設けて強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体を得た。磁気テープとして使用した際に寸法安定性や電磁変換特性は、表３に示すような結果であった。

幅寸法を測定する際に用いるシート幅測定装置の模式図である。

符号の説明

１：レーザー発振器
２：受光部
３：荷重検出器
４：荷重
５：フリーロール
６：フリーロール
７：フリーロール
８：フリーロール
９：磁気テープ
１０：レーザー光

Claims (8)

1. ポリエステルフィルムの少なくとも片面に金属または合金からなる層（Ｍ層）が設けられており、表面粗さＲａが０．５〜５ｎｍのＡ面と５〜２０ｎｍのＢ面からなる強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体であって、Ｍ層がＢ面側のみに設けられているか、または、Ｍ層が両面に設けられかつＡ面側のＭ層の厚さＴａとＢ面側のＭ層の厚さＴｂがＴａ／Ｔｂ＜１の関係を満たしており、さらに、長手方向と幅方向のヤング率の和が１３〜２２ＧＰａであり、長手方向のヤング率Ｅｍが６．５〜１１ＧＰａであり、長手方向のヤング率Ｅｍと幅方向のヤング率Ｅｔの比Ｅｍ／Ｅｔが０．５〜１．０である強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体。
2. Ｍ層の厚みの総和が３０〜３００ｎｍである、請求項１に記載の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体。
3. 厚みが３〜６μｍである、請求項１または２に記載の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体。
4. 幅方向の湿度膨張係数が１〜６ｐｐｍ／％ＲＨである、請求項１〜３のいずれかに記載の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体。
5. 幅方向の温度膨張係数が−５〜１０ｐｐｍ／℃である、請求項１〜４のいずれかに記載の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体。
6. Ｍ層が銅を含んでいる、請求項１〜５のいずれかに記載の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体。
7. 請求項１〜６のいずれかに記載の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体用支持体の表面に強磁性金属薄膜からなる磁性層を設けた強磁性金属薄膜型磁気記録媒体。
8. 記録方式がリニア記録方式である、請求項７に記載の強磁性金属薄膜型磁気記録媒体。

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