JP2009055490A - マイクロホン装置 - Google Patents

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012017805A1 (ja) * 2010-08-05 2012-02-09 船井電機株式会社 マイクロホンユニット
CN102948266A (zh) * 2010-04-22 2013-02-27 施韦策电子公司 具有空腔的印制电路板
JP2015530030A (ja) * 2012-08-10 2015-10-08 ノールズ エレクトロニクス，リミテッド ライアビリティ カンパニー 汚染物質の浸入を防ぐためのバリアを備えたマイクアセンブリ
JP2019083479A (ja) * 2017-10-31 2019-05-30 キヤノン株式会社 マイクロホン保持構造

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0235319A (ja) * 1988-07-23 1990-02-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd エレクトレット・コンデンサ型振動センサ
JPH0425203A (ja) * 1990-05-18 1992-01-29 Inax Corp 導波管の防塵用フィルム及びその製造方法
JPH08186894A (ja) * 1994-12-27 1996-07-16 Kyocera Corp 電磁型音響変換器
JP2001015913A (ja) * 1999-06-25 2001-01-19 Ibiden Co Ltd 片面回路基板とその製造方法、および多層プリント配線板の製造方法
JP2005260257A (ja) * 1997-07-28 2005-09-22 Hitachi Ltd 配線板及びその製造方法並びに無電解めっき方法
WO2006023016A1 (en) * 2004-08-19 2006-03-02 Knowles Electronics, Llc Silicon condenser microphone and manufacturing method
JP2006222641A (ja) * 2005-02-09 2006-08-24 Hosiden Corp 防塵板内蔵マイクロホン
WO2006132193A1 (ja) * 2005-06-06 2006-12-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. コンデンサマイクロホンのエレクトレット化方法、エレクトレット化装置およびこれを用いたコンデンサマイクロホンの製造方法
JP2007124449A (ja) * 2005-10-31 2007-05-17 Sanyo Electric Co Ltd マイクロフォンおよびマイクロフォンモジュール

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0235319A (ja) * 1988-07-23 1990-02-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd エレクトレット・コンデンサ型振動センサ
JPH0425203A (ja) * 1990-05-18 1992-01-29 Inax Corp 導波管の防塵用フィルム及びその製造方法
JPH08186894A (ja) * 1994-12-27 1996-07-16 Kyocera Corp 電磁型音響変換器
JP2005260257A (ja) * 1997-07-28 2005-09-22 Hitachi Ltd 配線板及びその製造方法並びに無電解めっき方法
JP2001015913A (ja) * 1999-06-25 2001-01-19 Ibiden Co Ltd 片面回路基板とその製造方法、および多層プリント配線板の製造方法
WO2006023016A1 (en) * 2004-08-19 2006-03-02 Knowles Electronics, Llc Silicon condenser microphone and manufacturing method
JP2008510427A (ja) * 2004-08-19 2008-04-03 ノールズ エレクトロニクス エルエルシー シリコンコンデンサーマイクロホンおよびその製造方法
JP2006222641A (ja) * 2005-02-09 2006-08-24 Hosiden Corp 防塵板内蔵マイクロホン
WO2006132193A1 (ja) * 2005-06-06 2006-12-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. コンデンサマイクロホンのエレクトレット化方法、エレクトレット化装置およびこれを用いたコンデンサマイクロホンの製造方法
JP2007124449A (ja) * 2005-10-31 2007-05-17 Sanyo Electric Co Ltd マイクロフォンおよびマイクロフォンモジュール

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102948266A (zh) * 2010-04-22 2013-02-27 施韦策电子公司 具有空腔的印制电路板
US9232647B2 (en) 2010-04-22 2016-01-05 Schweizer Electronic Ag Printed circuit board with cavity
EP2561729B1 (de) * 2010-04-22 2016-10-26 Schweizer Electronic AG Leiterplatte mit hohlraum
WO2012017805A1 (ja) * 2010-08-05 2012-02-09 船井電機株式会社 マイクロホンユニット
JP2012039272A (ja) * 2010-08-05 2012-02-23 Funai Electric Co Ltd マイクロホンユニット
JP2015530030A (ja) * 2012-08-10 2015-10-08 ノールズ エレクトロニクス，リミテッド ライアビリティ カンパニー 汚染物質の浸入を防ぐためのバリアを備えたマイクアセンブリ
JP2019083479A (ja) * 2017-10-31 2019-05-30 キヤノン株式会社 マイクロホン保持構造

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