JP2009055490A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010018499A1 (de) * 2010-04-22 2011-10-27 Schweizer Electronic Ag Leiterplatte mit Hohlraum
JP2012039272A (ja) * 2010-08-05 2012-02-23 Funai Electric Co Ltd マイクロホンユニット
US9078063B2 (en) * 2012-08-10 2015-07-07 Knowles Electronics, Llc Microphone assembly with barrier to prevent contaminant infiltration
JP6594397B2 (ja) * 2017-10-31 2019-10-23 キヤノン株式会社 マイクロホン保持構造

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0697184B2 (ja) * 1988-07-23 1994-11-30 松下電器産業株式会社 エレクトレット・コンデンサ型振動センサ
JPH0425203A (ja) * 1990-05-18 1992-01-29 Inax Corp 導波管の防塵用フィルム及びその製造方法
JPH08186894A (ja) * 1994-12-27 1996-07-16 Kyocera Corp 電磁型音響変換器
JP4134995B2 (ja) * 1997-07-28 2008-08-20 株式会社日立製作所 配線板及びその製造方法並びに無電解めっき方法
JP4436946B2 (ja) * 1999-06-25 2010-03-24 イビデン株式会社 片面回路基板の製造方法、および多層プリント配線板の製造方法
US7434305B2 (en) * 2000-11-28 2008-10-14 Knowles Electronics, Llc. Method of manufacturing a microphone
JP4188325B2 (ja) * 2005-02-09 2008-11-26 ホシデン株式会社 防塵板内蔵マイクロホン
US20090129612A1 (en) * 2005-06-06 2009-05-21 Yusuke Takeuchi Electretization method of condenser microphone, electretization apparatus, and manufacturing method of condenser microphone using it
JP2007124449A (ja) * 2005-10-31 2007-05-17 Sanyo Electric Co Ltd マイクロフォンおよびマイクロフォンモジュール

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