JP2009054993A - 位置検出用治具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】位置検出用ウェハSは、位置調整の目標物との間の静電容量を検出する静電容量検出センサ50を有する。静電容量検出センサ50は、目標物との間で静電容量を形成する複数の静電容量検出電極52と、静電容量検出電極52と通信し、静電容量検出電極52による静電容量の検出を制御する制御回路51を有する。静電容量検出電極52は、位置検出用ウェハSの裏面側に設けられ、制御回路51は、表面側に設けられている。
【選択図】図4
Description
11 搬送装置
20 搬送アーム
50 静電容量検出センサ
51 制御回路
52 静電容量検出電極
71 増幅回路
80 無線回路
S 位置検出用ウェハ
W ウェハ
Claims (14)
- 基板を保持して搬送する搬送アームの搬送先の位置調整を行うための位置検出用治具であって、
搬送アームが搬送可能な基板形状を有し、
位置調整の目標物との間の静電容量を検出する静電容量検出センサを有し、
前記静電容量検出センサは、目標物との間で静電容量を形成する複数の静電容量検出電極と、前記静電容量検出電極と通信し、静電容量検出電極による静電容量の検出を制御する制御回路と、を有し、
前記静電容量検出電極は、基板形状の裏面側に設けられ、
前記制御回路は、基板形状の表面側に設けられていることを特徴とする、位置検出用治具。 - 前記基板形状には、裏面側から表面側に通じる複数の通電路が形成され、
前記各静電容量検出電極は、前記通電路を通って前記制御回路に接続されていることを特徴とする、請求項1に記載の位置検出用治具。 - 前記複数の通電路は、前記基板形状の外周部に形成されていることを特徴とする、請求項2に記載の位置検出用治具。
- 前記複数の通電路は、前記基板形状の外周部に環状に配置され、
前記静電容量検出電極は、前記通電路よりも前記基板形状の裏面の中央側に配置され、
前記基板形状の裏面において、前記各静電容量検出電極と各導電路とを接続する配線は放射状に形成されていることを特徴とする、請求項3に記載の位置検出用治具。 - 前記各静電容量検出電極と前記制御回路を接続する各配線には、静電容量検出電極により検出された静電容量の信号を増幅する増幅回路が設けられ、
前記増幅回路は、前記基板形状の表面側に設けられていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の位置検出用治具。 - 前記各静電容量検出電極と前記増幅回路とを接続する各配線と、前記各静電容量検出電極は、当該配線や静電容量検出電極と同電位に維持可能なガード配線によって覆われていることを特徴とする、請求項5に記載の位置検出用治具。
- 前記基板形状の表面側には、搬送アームの位置調整を行うための外部の制御部と前記制御回路との間で通信する無線回路が設けられていることを特徴とする、請求項1〜6のいずれかに記載の位置検出用治具。
- 前記静電容量検出電極は、前記基板形状の裏面側の搬送アームに支持される位置にも設けられていることを特徴とする、請求項1〜7のいずれかに記載の位置検出用治具。
- 前記静電容量検出電極は、フォトリソグラフィー工程により形成されていることを特徴とする、請求項1〜8のいずれかに記載の位置検出用治具。
- 前記静電容量検出電極は、スクリーン印刷工程により形成されていることを特徴とする、請求項1〜8のいずれかに記載の位置検出用治具。
- 前記基板形状の裏面には、前記静電容量検出電極を覆うように絶縁材からなる保護膜が形成されていることを特徴とする、請求項1〜10のいずれかに記載の位置検査用治具。
- 前記搬送アームの搬送先は、基板を保持して回転させる回転保持部であって、
前記基板形状の表面側の中心部には、基板形状が前記回転保持部に保持され回転された状態で、当該基板形状の中心部の加速度を測定する加速度センサが設けられていることを特徴とする、請求項1〜11のいずれかに記載の位置検出用治具。 - 前記基板形状の表面側には、前記基板形状周囲の雰囲気の湿度を測定する湿度センサが設けられていることを特徴とする、請求項1〜12のいずれかに記載の位置検出用治具。
- 前記基板形状の表面側には、前記基板形状周囲の雰囲気の温度を測定する温度センサが設けられていることを特徴とする、請求項1〜13のいずれかに記載の位置検出用治具。
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