JP2009050853A - ペースト塗布方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数のノズル24A〜26Aのそれぞれが吐出するペーストを基板1上の複数位置のそれぞれに塗布し、基板1上に複数のペーストパターンを描画するペースト塗布装置10において、各ノズル24A〜26Aによるペーストの実塗布位置P1〜P3を検出する検出装置31〜33と、各ノズル24A〜26A毎に、検出したペーストの実塗布位置P1〜P3が予め定めてあるペーストの目標塗布位置P10〜P30に対する位置ずれを演算し、上記位置ずれを解消するように各ノズル24A〜26Aを基板1に対し相対移動する制御手段30を有してなるもの。
【選択図】 図2
Description
(1)吸着台13上に供給された基板1を吸着台13の吸着によって保持する。
(a)ノズル24A〜26A毎に、ペーストの目標塗布位置P10〜P30に対する実塗布位置P1〜P3の位置ずれを演算し、この塗布位置の位置ずれを解消するように各ノズル24A〜26Aを基板1に対し相対移動させる。これにより、複数のノズル24A〜26Aの吐出口の位置がそれらの交換前後で位置ずれし、結果として各ノズル24A〜26Aによるペーストの塗布位置P1〜P3がずれたとしても、各ノズル24A〜26Aの吐出口の位置ずれを解消し、ペーストパターンP1〜P3の描画精度を向上させることができる。
10 ペースト塗布装置
11 架台
12 XYテーブル(第1移動手段)
13 吸着台
15 固定テーブル
16、17 XYテーブル(第2移動手段)
18〜20 Zテーブル
21〜23 塗布ヘッド
24A〜26A ノズル
30 制御装置(制御手段)
31〜33 カメラ(検出装置)
P1〜P3 実塗布位置
P10〜P30 目標塗布位置
L1〜L3 実ペーストパターン
L10〜L30 目標ペーストパターン
Claims (10)
- 複数のノズルのそれぞれが吐出するペーストを基板上の複数位置のそれぞれに塗布し、基板上に複数のペーストパターンを描画するペースト塗布方法において、
各ノズルによるペーストの実塗布位置が予め定めてあるペーストの目標塗布位置に対する位置ずれを検出し、
ノズル毎の上記位置ずれを解消するように各ノズルを基板に対し相対移動させることを特徴とするペースト塗布方法。 - 前記複数のノズルのうちの1つを基準ノズルとするとともに、他のノズルを可動ノズルとし、
各可動ノズルについて演算した前記位置ずれが基準ノズルについて演算した前記位置ずれに対する位置ずれの差を解消するように当該可動ノズルを移動させ、
基準ノズルについて演算した前記位置ずれを解消するように基板を移動させる請求項1に記載のペースト塗布方法。 - 前記位置ずれが、前記基板の表面に平行なX方向及び前記基板の表面に平行で前記X方向と直交するY方向の位置ずれのとき、
前記可動ノズルのXY方向の移動、及び前記基板のXY方向の移動により、各ノズルの前記位置ずれを解消し、
前記基板のXY方向の移動により、各ノズルによるペーストパターンの描画を行なう請求項2に記載のペースト塗布方法。 - 前記位置ずれが、前記基板の表面に平行なX方向及び前記基板の表面に平行で前記X方向と直交するY方向の位置ずれのとき、
前記基準ノズルのX方向の移動、前記可動ノズルのXY方向の移動、及び前記基板のY方向の移動により、各ノズルの前記位置ずれを解消し、
前記基準ノズル及び可動ノズルのX方向の移動、及び前記基板のY方向の移動により、各ノズルによるペーストパターンの描画を行なう請求項2に記載のペースト塗布方法。 - 複数のノズルのそれぞれが吐出するペーストを基板上の複数位置のそれぞれに塗布し、基板上に複数のペーストパターンを描画するペースト塗布装置において、
前記複数のノズルと前記基板とを前記基板の表面に平行なX方向及び前記基板の表面に平行で前記X方向に直交するY方向に相対的に移動させる第1移動手段と、
前記複数のノズル同士のXY方向における相対的な位置関係を変更する第2移動手段と、
各ノズルによるペーストの実塗布位置が予め定めてあるペーストの目標塗布位置に対する位置ずれを検出する検出装置と、
ノズル毎の上記位置ずれを解消するように各ノズルを基板に対し相対移動する制御装置とを有してなることを特徴とするペースト塗布装置。 - 前記複数のノズルのうちの1つを基準ノズルとするとともに、他のノズルを可動ノズルとし、
前記制御手段が、各可動ノズルについて演算した前記位置ずれが基準ノズルについて演算した前記位置ずれに対する位置ずれの差を解消するように当該可動ノズルを移動させ、かつ基準ノズルについて演算した前記位置ずれを解消するように基板を移動させる請求項5に記載のペースト塗布装置。 - 前記第1移動手段が、前記基板をXY方向に移動させるものであり、
前記第2移動手段が、前記基準ノズルに対して前記可動ノズルを個別にXY方向に移動させるものであり、
前記制御手段が、前記可動ノズルのXY方向の移動、及び前記基板のXY方向の移動により、各ノズルの前記位置ずれを解消するとともに、前記基板のXY方向の移動により、各ノズルによるペーストパターンの描画を行なう請求項6に記載のペースト塗布装置。 - 前記第1移動手段が、前記各ノズルをそれぞれX方向に移動させ、前記基板をY方向に移動させるものであり、
前記第2移動手段が、前記基準ノズルに対して前記可動ノズルを個別にXY方向に移動させるものであり、
前記制御手段が、前記基準ノズルのX方向の移動、前記可動ノズルのXY方向の移動、及び前記基板のY方向の移動により、各ノズルの前記位置ずれを解消するとともに、前記基準ノズル及び可動ノズルのX方向の移動、及び前記基板のY方向の移動により、各ノズルによるペーストパターンの描画を行なう請求項6に記載のペースト塗布装置。 - 複数のノズルのそれぞれが吐出するペーストを基板上の複数位置のそれぞれに塗布し、基板上に複数のペーストパターンを描画するペースト塗布方法において、
前記複数のノズルは、1つを基準ノズルとするとともに他のノズルを可動ノズルとし、
前記基準ノズルの実塗布位置と前記可動ノズルの実塗布位置との予め定めてある相対的な位置関係に対する位置ずれを前記可動ノズル毎に検出し、上記位置ずれを解消するように前記可動ノズルを前記基板に対して個別に相対移動させることを特徴とするペースト塗布方法。 - 複数のノズルのそれぞれが吐出するペーストを基板上の複数位置のそれぞれに塗布し、基板上に複数のペーストパターンを描画するペースト塗布装置において、
前記複数のノズルは、1つを基準ノズルとするとともに他のノズルを可動ノズルとし、
前記複数のノズルと前記基板とを前記基板の表面に平行なX方向及び前記基板の表面に平行で前記X方向に直交するY方向に相対的に移動させる第1移動手段と、
前記可動ノズルを前記基準ノズルに対してXY方向に相対的に移動させる第2移動手段と、
前記基準ノズルの実塗布位置と前記可動ノズルの実塗布位置との予め定めてある相対的な位置関係に対する位置ずれを前記可動ノズル毎に検出する検出装置と、
上記位置ずれを解消するように前記第2移動手段を制御する制御装置とを有してなることを特徴とするペースト塗布装置。
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