JP2009047740A - 現像装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】吐出供給および噴霧供給のいずれによっても基板に現像液を供給することができる現像装置を提供する。
【解決手段】基板Wに現像液を吐出する吐出供給が可能で、かつ、現像液の液滴を窒素ガスとともに基板Wに噴射する噴霧供給が可能なノズル5と、ノズル5に現像液を供給する現像液配管11と、ノズル5に窒素ガスを供給するガス配管21と、各配管11、21に設けられる開閉弁15、25と、各開閉弁15、25を開閉させる制御部41を備えている。制御部41は各開閉弁15、25を開閉させることで、吐出供給と噴霧供給を切り換えて基板Wに現像液を供給できる。これにより、、多様なバリエーションで基板を現像することができので、種々の基板に対してそれぞれ適切に現像することができる。
【選択図】図1
【解決手段】基板Wに現像液を吐出する吐出供給が可能で、かつ、現像液の液滴を窒素ガスとともに基板Wに噴射する噴霧供給が可能なノズル5と、ノズル5に現像液を供給する現像液配管11と、ノズル5に窒素ガスを供給するガス配管21と、各配管11、21に設けられる開閉弁15、25と、各開閉弁15、25を開閉させる制御部41を備えている。制御部41は各開閉弁15、25を開閉させることで、吐出供給と噴霧供給を切り換えて基板Wに現像液を供給できる。これにより、、多様なバリエーションで基板を現像することができので、種々の基板に対してそれぞれ適切に現像することができる。
【選択図】図1
Description
この発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等(以下、単に「基板」と称する)を現像する現像装置に関する。
現像装置は、基板を回転可能に保持するスピンチャックと基板に現像液を供給するノズル等を備えているものがある。この装置では、スピンチャックに保持された基板に現像液を供給して、基板の表面に形成されたレジスト膜のうちパターン部以外を溶解する。引き続いて基板に洗浄処理と乾燥処理を行って、溶解したレジスト膜を除去する(例えば、特許文献1参照)。
ここで、現像装置は、現像液の供給態様によって主に2つの種類に分けられる。すなわち、現像液を吐出(滴下)する(以下、吐出供給という)ノズルを備えた装置と、現像液の液滴をキャリアガスとともに噴射する(以下、噴霧供給という)ノズルを備えた装置である。
噴霧供給では、基板に比較的大きな物理力を与えつつ、現像液を供給できる一方、吐出供給では比較的静かに基板に現像液を着液させることができる。このため、例えば、溶解速度の遅いレジスト膜に対しては噴霧供給可能な現像装置で基板を現像するといったように、レジスト膜の特性や処理の要求精度(ファインな工程であるか、または、ラフな工程であるか)等に応じて、供給態様の異なる2以上の現像装置が使い分けられている。
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、露光装置の光源の変化に応じてレジスト膜の材料も変化し、近年その種類も増加している。このため、数十種類のレジスト膜材料の中から適宜に選択して基板に塗布可能に構成されている塗布装置もある。このように現像する基板が多様となるに従って、現像装置の構成や現像処理レシピも多様化してきている。その中で吐出供給専用と噴霧供給専用とでさらに現像装置を異にしているので、現像装置の種類が増大してしまい、現像装置が多種多様な処理に対応できないという不都合が顕著になる。また、現像装置の種類が増えると、生産面でコストがかかるという不都合がある。
すなわち、露光装置の光源の変化に応じてレジスト膜の材料も変化し、近年その種類も増加している。このため、数十種類のレジスト膜材料の中から適宜に選択して基板に塗布可能に構成されている塗布装置もある。このように現像する基板が多様となるに従って、現像装置の構成や現像処理レシピも多様化してきている。その中で吐出供給専用と噴霧供給専用とでさらに現像装置を異にしているので、現像装置の種類が増大してしまい、現像装置が多種多様な処理に対応できないという不都合が顕著になる。また、現像装置の種類が増えると、生産面でコストがかかるという不都合がある。
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、吐出供給および噴霧供給のいずれによっても基板に現像液を供給することができる現像装置を提供することを目的とする。
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項1に記載の発明は、基板を現像する現像装置において、基板に現像液を吐出する吐出供給が可能で、かつ、現像液の液滴をキャリアガスとともに基板に噴射する噴霧供給が可能なノズルと、前記ノズルに現像液を供給する現像液供給手段と、前記ノズルにキャリアガスを供給するガス供給手段と、前記吐出供給及び前記噴霧供給のいずれかに切り換える制御手段と、を備えていることを特徴とするものである。
すなわち、請求項1に記載の発明は、基板を現像する現像装置において、基板に現像液を吐出する吐出供給が可能で、かつ、現像液の液滴をキャリアガスとともに基板に噴射する噴霧供給が可能なノズルと、前記ノズルに現像液を供給する現像液供給手段と、前記ノズルにキャリアガスを供給するガス供給手段と、前記吐出供給及び前記噴霧供給のいずれかに切り換える制御手段と、を備えていることを特徴とするものである。
[作用・効果]請求項1に記載の発明によれば、現像液を吐出供給可能かつ噴霧供給可能な単一のノズルを備え、制御手段がこれを切り換えるので、単一のノズルで吐出供給、噴霧供給、または、吐出供給及び噴霧供給によって基板に現像液を供給することができる。よって、基板を現像する処理のバリエーションが多く、種々の基板に対してそれぞれ適切に現像することができる。
本発明において、前記制御手段は、基板の処理情報に応じて、前記吐出供給及び前記噴霧供給のいずれかに切り換えつつ、現像液を基板に供給させることが好ましい(請求項2)。各基板をそれぞれ好適に現像処理することができる。
また、本発明において、前記ノズルは、現像液を吐出するための現像液吐出孔と、前記現像液吐出孔から吐出される現像液に向けてキャリアガスを噴出させるためのガス噴出孔と、を備え、吐出された現像液にキャリアガスを吹き付けて現像液の液滴を生成し、この液滴を基板に噴射することが好ましい(請求項3)。単一のノズルで吐出供給及び噴霧供給の双方を好適に行うことができる。
また、本発明において、前記ガス供給手段は、前記ノズルにキャリアガスを供給するガス配管と、前記ガス配管のキャリアガスの流路を開閉する第1開閉手段と、を備え、前記制御手段は、前記第1開閉手段を操作して、前記吐出供給または前記噴霧供給に切り換えることが好ましい(請求項4)。吐出供給と噴霧供給とを好適に切り換えることができる。
また、本発明において、前記現像液供給手段は、前記ノズルに現像液を供給する現像液配管と、前記現像液配管の現像液の流路を開閉する第2開閉手段と、を備え、前記制御手段は、前記第2開閉手段を操作して、現像液の供給及びその停止を切り換えることが好ましい(請求項5)。好適に基板を現像することができる。
また、本発明において、前記現像液供給手段は、少なくとも2以上の異なる流量で現像液を前記ノズルに供給可能であり、前記制御手段は、前記吐出供給では、前記ノズルに供給する現像液の流量を前記噴霧供給に比べて大きくすることが好ましい(請求項6)。吐出供給及び噴霧供給をそれぞれ適切に行うことができる。
また、本発明において、前記ノズルに純水を供給する純水供給手段を備え、前記制御手段は、前記純水供給手段から供給される純水によって、基板上の現像液の濃度を調整することが好ましい(請求項7)。より適切に基板を現像することができる。
なお、本明細書は、次のような現像装置に係る発明も開示している。
(1)請求項2に記載の現像装置において、前記基板の処理情報は、基板に被着したレジスト膜の特性を含むことを特徴とする現像装置。
前記(1)に記載の発明によれば、好適に基板を現像することができる。
(2)請求項1または請求項2に記載の現像装置において、前記ノズルは、現像液にキャリアガスを混合させて現像液の液滴を生成可能な混合室を備え、生成した現像液の液滴を噴射することを特徴とする現像装置。
前記(2)に記載の発明によれば、単一のノズルで吐出供給及び噴霧供給をそれぞれ好適に行うことができる。
(3)前記(2)に記載の現像装置において、前記ノズルの吐出孔は、スリットまたは小孔列であることを特徴とする現像装置。
前記(3)に記載の発明によれば、基板に均一に現像液を供給することができる。
(4)前記(2)に記載の現像装置において、前記ノズルの吐出孔の縁部には、テーパー形状を呈する側壁が形成されていることを特徴とする現像装置。
前記(4)に記載の発明によれば、吐出供給及び噴霧供給を安定して行うことができる。
(5)請求項3に記載の現像装置において、前記ガス噴出孔は、キャリアガスを鉛直下方に噴出させることを特徴とする現像装置。
前記(5)に記載の発明によれば、噴霧供給の際に基板に現像液の適切に供給することができる。
(6)請求項3に記載の現像装置において、前記現像液吐出孔およびガス噴出孔は、それぞれスリットまたは小孔列であることを特徴とする現像装置。
前記(6)に記載の発明によれば、基板に均一に現像液を供給することができる。
(7)請求項3に記載の現像装置において、前記ノズルは、現像液用の内管とキャリアガス用の外管とからなる二重管構造を有することを特徴とする現像装置。
(8)請求項3に記載の現像装置において、前記現像液吐出孔の縁部には、テーパー形状を呈する側壁が形成されていることを特徴とする現像装置。
前記(8)に記載の発明によれば、現像液の吐出を安定して行うことができる。
(9)請求項1から請求項3のいずれかに記載の現像装置において、前記ノズルは、前記ノズル内のキャリアガスの流路を開閉するノズル内ガス開閉手段を備え、前記制御手段は、前記ノズル内ガス開閉手段を操作して、前記吐出供給または前記噴霧供給に切り換えることを特徴とする現像装置。
前記(9)に記載の発明によれば、吐出供給及び噴霧供給を好適に切り換えることができる
(10)請求項1から請求項4のいずれかに記載の現像装置において、前記ノズルは、前記ノズル内の現像液の流路を開閉するノズル内現像液開閉手段を備え、前記制御手段は、前記ノズル内現像液開閉手段を操作して、現像液の供給及びその停止を切り換えることを特徴とする現像装置。
前記(10)に記載の発明によれば、好適に基板を現像することができる。
(11)請求項6に記載の現像装置において、前記現像液配管は、第1配管と、この第1配管に並列に設けられ、前記第1配管より小さい流量で現像液を供給する第2配管とを有し、前記制御手段は、前記吐出供給のときは第1配管から現像液を供給させ、かつ、前記噴霧供給のときは前記第2配管から現像液を供給させることを特徴とする現像装置。
前記(11)に記載の発明によれば、吐出供給及び噴霧供給をより適切に行うことができる。
(12)請求項6に記載の現像装置において、前記第2開閉手段は、前記現像液配管に流れる現像液の流量を調節可能であり、前記制御手段は、前記第2開閉手段を操作して、前記吐出供給では、前記噴霧供給に比べて現像液の流量を大きくすることを特徴とする現像装置。
前記(12)に記載の発明によれば、吐出供給及び噴霧供給をより適切に行うことができる。
(13)請求項7に記載の現像装置において、前記ノズルは、専ら純水を吐出するための純水吐出孔を備えて、現像液及び純水を同時に基板に供給可能であることを特徴とする現像装置。
前記(13)に記載の発明によれば、好適に基板を現像することができる。
(14)請求項7に記載の現像装置において、前記ノズル内の現像液の流路は、前記純水供給手段から供給された純水も流入可能に形成されており、前記ノズルは、純水と現像液の混合液を基板に供給可能であることを特徴とすることを特徴とする現像装置。
前記(14)に記載の発明によれば、好適に濃度を調整できる。
(15)請求項7に記載の現像装置において、前記ノズルは、前記ノズル内の純水の流路を開閉するノズル内純水開閉手段を備え、前記制御手段は、前記ノズル内純水開閉手段を操作して、基板上の現像液の濃度を調整することを特徴とする現像装置。
前記(15)に記載の発明によれば、好適に濃度を調整できる。
(16)請求項7に記載の現像装置において、前記純水供給手段は、前記ノズルに純水を供給する純水配管と、前記純水配管の純水の流路を開閉する第3開閉手段と、を備え、前記制御手段は、前記第3開閉手段を操作して、基板上の現像液の濃度を調整することを特徴とする現像装置。
前記(16)に記載の発明によれば、好適に濃度を調整できる。
(17)請求項1から請求項7のいずれかに記載の現像装置において、前記キャリアガスは、不活性ガス、反応性ガス、クリーンエア及び圧縮空気のいずれかであることを特徴とする現像装置。
(18)請求項1から請求項7のいずれかに記載の現像装置において、基板を回転可能に保持する回転保持手段を備え、前記制御手段は、現像液を基板に供給させる際に基板の回転速度を制御することを特徴とする現像装置。
前記(18)に記載の発明によれば、好適に基板を現像することができる。
この発明に係る現像装置によれば、現像液を吐出供給可能かつ噴霧供給可能な単一のノズルを備え、制御手段がこれを切り換えるので、単一のノズルで吐出供給、噴霧供給、または、吐出供給及び噴霧供給によって基板に現像液を供給することができる。よって、基板を現像する処理のバリエーションが多く、種々の基板に対してそれぞれ適切に現像することができる。
以下、図面を参照してこの発明の実施例1を説明する。図1は、実施例1に係る現像装置の概略構成を示すブロック図である。
本実施例に係る現像装置は、基板Wの下面を吸着して、基板Wを水平姿勢で保持するスピンチャック1を備えている。スピンチャック1にはモータ3の出力軸3aが連結されており、モータ3は基板Wを鉛直軸周りに回転させる。スピンチャック1及びモータ3は、この発明における回転保持手段に相当する。なお、回転保持手段は、上記の例に限らず、基板Wの端縁を保持する複数のピンが設けられた回転板で構成してもよい。
また、本装置は、基板Wに現像液を供給するノズル5を備えている。ノズル5は、平面視略矩形形状を呈しており、その長手方向の長さは基板Wの半径よりも短い。また、ノズル5の下端部にかけて先細りのテーパー形状を呈している。ノズル5は移動機構7に支持されている。移動機構7は、モータ、スライド機構、支持アームなど(図示省略)で構成されている。そして、平面視で基板Wの中心と周縁との間を半径方向にノズル5を前後移動させるとともに、基板Wの上方から外れた待機位置にノズル5を退避させる。
ノズル5の一方側には現像液配管11が連通接続され、ノズル5の他方側にはガス配管21が連通接続されている。現像液配管11の他端は、現像液供給源13に連通接続されており、ガス配管21の他端は窒素ガス供給源23に連通接続されている。現像液配管11には現像液の流路を開閉する開閉弁15が設けられており、ガス配管21には窒素ガスの流路を開閉する開閉弁25が設けられている。開閉弁15はこの発明における第2開閉手段に相当し、現像液配管11と現像液供給源13と開閉弁15は、この発明における現像液供給手段に相当する。また、窒素ガスはこの発明におけるキャリアガスに相当し、開閉弁25は、この発明における第1開閉手段に相当し、ガス配管21と窒素ガス供給源23と開閉弁25は、この発明におけるガス供給手段に相当する。
図2を参照して、ノズル5の構造を説明する。図2はノズル5の垂直断面図である。ノズル5の下端部には、現像液吐出孔31とガス噴出孔35とが設けられている。現像液吐出孔31とガス噴出孔35とは、それぞれノズル5の長手方向に延びるスリット形状を呈し、互いに平行な位置に形成されている。
ノズル5内には、現像液吐出孔31に通じる現像液の流路33と、ガス噴出孔35に通じる窒素ガスの流路37とが別個に形成されている。窒素ガスの流路37は、ガス噴出孔35から鉛直下方に窒素ガスが噴出されるように形成されている。現像液の流路33は、現像液吐出孔31から吐出された現像液が、噴出された窒素ガスに吹き付けられるように、斜め下方向に傾斜して形成されている。また、現像液吐出孔31の縁部には、テーパー形状を呈する側壁5aが形成されている。なお、現像液吐出孔31及びガス噴出孔35をスリットから小孔列に適宜に変更してもよい。
このほかに、本装置は基板Wに洗浄液を供給する洗浄液ノズル(図示省略)や、スピンチャック1の周囲に配置され、基板Wから振り切られた純水や現像液等を回収するカップ(図示省略)などを備えている。
さらに、本装置は、上述した各構成を操作する制御部41を備えている。具体的には、モータ3を駆動さえて基板Wの回転数を制御し、移動機構7を駆動させてノズル5の位置を制御し、開閉弁15、25を開放・閉止させて現像液、窒素の供給量を制御する。この制御部41には各基板Wの表面に被着したレジスト膜の特性や、現像の要求精度等に関する基板Wの処理情報がロット単位で入力され、制御部41は、基板の処理情報に応じて予め設定されている処理レシピ(処理プログラム)を選択して、選択した処理レシピに基づいて各構成を統括的に制御する。制御部41は、各種処理を実行する中央演算処理装置(CPU)や、演算処理の作業領域となるRAM(Random-Access Memory)や、各種情報を記憶する固定ディスク等の記憶媒体等によって実現されている。
次に、図を参照して現像装置の2つの処理例1、2を例示する。ここで、スピンチャック1には、外部装置において露光等の処理が行われた基板Wが既に吸着されているものとする。そして、この基板Wの処理情報に応じて選択された処理レシピに基づいて、以下の処理例1、2を行うものとする。
<処理例1>
図3は、基板に現像を行う処理例1の手順を示すタイミングチャートであり、(a)はノズルから吐出される現像液の流量、(b)はノズルから噴出される窒素ガスの流量、(c)は基板の回転数(回転速度)についてのものである。この処理例1は、基板Wを回転させつつ、噴霧供給によって現像液を基板Wに供給する現像過程と、基板Wを回転させつつ、基板Wに洗浄液を供給する洗浄過程と、基板Wを回転させつつ、基板Wに窒素ガスを供給する乾燥過程とを備えている。以下、各過程について説明する。
図3は、基板に現像を行う処理例1の手順を示すタイミングチャートであり、(a)はノズルから吐出される現像液の流量、(b)はノズルから噴出される窒素ガスの流量、(c)は基板の回転数(回転速度)についてのものである。この処理例1は、基板Wを回転させつつ、噴霧供給によって現像液を基板Wに供給する現像過程と、基板Wを回転させつつ、基板Wに洗浄液を供給する洗浄過程と、基板Wを回転させつつ、基板Wに窒素ガスを供給する乾燥過程とを備えている。以下、各過程について説明する。
<現像過程 時刻t11〜時刻t12>
制御部41はモータ3を駆動させて基板Wを回転させつつ、移動機構7を駆動させて待機位置にあったノズル5を基板Wの傍らまで移動させる。そして、開閉弁15、25をそれぞれ開放させる。これにより、現像液配管11からノズル5に現像液が供給されるとともに、ガス配管21からノズル5に窒素ガスが供給される。ノズル5は、ノズル5内の現像液の流路33を通じた現像液を現像液吐出孔31から斜め下方向に吐出するとともに、ノズル5内の窒素ガスの流路37を通じた窒素ガスをガス噴出孔35から鉛直下方に噴出する。吐出された現像液は噴出する窒素ガスに吹き付けられて液滴状になり、この現像液の液滴が窒素ガスとともに鉛直下方に向けて噴射される。以下では、現像液の液滴を窒素ガスとともに基板Wに噴射することを噴霧供給という。
制御部41はモータ3を駆動させて基板Wを回転させつつ、移動機構7を駆動させて待機位置にあったノズル5を基板Wの傍らまで移動させる。そして、開閉弁15、25をそれぞれ開放させる。これにより、現像液配管11からノズル5に現像液が供給されるとともに、ガス配管21からノズル5に窒素ガスが供給される。ノズル5は、ノズル5内の現像液の流路33を通じた現像液を現像液吐出孔31から斜め下方向に吐出するとともに、ノズル5内の窒素ガスの流路37を通じた窒素ガスをガス噴出孔35から鉛直下方に噴出する。吐出された現像液は噴出する窒素ガスに吹き付けられて液滴状になり、この現像液の液滴が窒素ガスとともに鉛直下方に向けて噴射される。以下では、現像液の液滴を窒素ガスとともに基板Wに噴射することを噴霧供給という。
このようにノズル5が現像液を鉛直下方に噴霧供給した状態で、制御部41はさらに移動機構7を駆動させてノズル5を平面視で基板Wの周縁から中心まで前進移動させる。これにより、現像液を基板Wの全面に供給し、基板Wの周縁から振り切った現像液を基板W外に捨てる。本明細書では、基板W上に現像液のパドルを形成することなく、基板Wを回転させた状態で現像液を供給し続けて基板Wを現像することを回転現像と呼び、現像液の供給が噴霧供給である場合には、特に噴霧供給による回転現像と呼ぶ。ノズル5が基板Wの中心まで移動すると、制御部41は開閉弁15、25をそれぞれ閉止させる。これにより、ノズル5による噴霧供給が停止され、回転現像が終了する(時刻t12)。
<洗浄過程 時刻t12〜時刻t13>
制御部41は、基板Wを回転させたままで、図示省略の洗浄液ノズルから基板Wに洗浄液を供給させる(時刻t12)。これにより、基板Wに洗浄処理を行う。所定の時間が経過すると、制御部41は洗浄液の供給を停止させ、洗浄処理を終了する(時刻t13)。
制御部41は、基板Wを回転させたままで、図示省略の洗浄液ノズルから基板Wに洗浄液を供給させる(時刻t12)。これにより、基板Wに洗浄処理を行う。所定の時間が経過すると、制御部41は洗浄液の供給を停止させ、洗浄処理を終了する(時刻t13)。
<乾燥過程 時刻t13〜時刻t14>
制御部41は基板Wをより高速に回転させる。また、移動機構7を駆動して平面視で基板Wの中心から基板Wの周縁までノズル5を移動させつつ、開閉弁25を開放させる。これにより、ノズル5から窒素ガスのみを基板Wに向けて噴出させて、基板Wに乾燥処理を行う。
制御部41は基板Wをより高速に回転させる。また、移動機構7を駆動して平面視で基板Wの中心から基板Wの周縁までノズル5を移動させつつ、開閉弁25を開放させる。これにより、ノズル5から窒素ガスのみを基板Wに向けて噴出させて、基板Wに乾燥処理を行う。
このような処理例1によれば、現像過程で現像液を噴霧供給するため、現像液を供給する際に基板Wに物理的エネルギーを加味することができ、現像効率を向上させることができる。また、基板W上にパドルを形成することなく、基板Wを回転させつつ現像液の供給を継続するので、パドルを形成する場合に比べて現像時間を短縮することができる。
また、乾燥過程では窒素ガスを基板Wに噴出するため、基板Wの乾燥を促進することができる。同時に、ノズル5自体も乾燥させることができるので、動作時にノズル5から現像液がぼた落ちするおそれがない。
<処理例2>
図4は、基板に現像を行う処理例2の手順を示すタイミングチャートであり、(a)はノズルから吐出される現像液の流量、(b)はノズルから噴出される窒素ガスの流量、(c)は基板Wの回転数についてのものである。この処理例2は、噴霧供給によって基板W上に現像液のパドルを形成し、この状態を維持する第1過程と、基板Wを回転させつつ、吐出供給によって基板Wに現像液を供給する第2過程とを有する現像過程と、基板Wを回転させつつ、基板Wに洗浄液を供給する洗浄過程と、基板Wを回転させつつ、基板Wに窒素ガスを供給する乾燥過程とに分けられる。なお、洗浄過程(t23〜t24)と乾燥過程(t24〜t25)は処理例1と同様であるので、以下では現像過程について説明する。
図4は、基板に現像を行う処理例2の手順を示すタイミングチャートであり、(a)はノズルから吐出される現像液の流量、(b)はノズルから噴出される窒素ガスの流量、(c)は基板Wの回転数についてのものである。この処理例2は、噴霧供給によって基板W上に現像液のパドルを形成し、この状態を維持する第1過程と、基板Wを回転させつつ、吐出供給によって基板Wに現像液を供給する第2過程とを有する現像過程と、基板Wを回転させつつ、基板Wに洗浄液を供給する洗浄過程と、基板Wを回転させつつ、基板Wに窒素ガスを供給する乾燥過程とに分けられる。なお、洗浄過程(t23〜t24)と乾燥過程(t24〜t25)は処理例1と同様であるので、以下では現像過程について説明する。
<第1過程 時刻t21〜時刻t22>
制御部41はモータ3を駆動して基板Wを低速で回転させつつ、移動機構7を駆動させて待機位置にあったノズル5を基板Wの傍らまで移動させる。そして、開閉弁15、25をそれぞれ開放させてから、ノズル5を基板Wの周縁から中心まで前進移動させる。これにより、ノズル5からの噴霧供給によって基板Wの全面に現像液を供給する。
制御部41はモータ3を駆動して基板Wを低速で回転させつつ、移動機構7を駆動させて待機位置にあったノズル5を基板Wの傍らまで移動させる。そして、開閉弁15、25をそれぞれ開放させてから、ノズル5を基板Wの周縁から中心まで前進移動させる。これにより、ノズル5からの噴霧供給によって基板Wの全面に現像液を供給する。
続いて、制御部41は開閉弁15、25および移動機構7を操作して、ノズル5からの噴霧供給を停止させるとともに基板Wを静止させる。これにより、基板W上に噴霧供給による現像液のパドルを形成する。そして、この状態を所定の期間が経過するとき(時刻t22)まで維持する。本明細書では、基板W上に形成された現像液のパドルによって基板Wを現像することをパドル現像と呼び、そのパドルが噴霧供給によって形成された場合には、特に噴霧供給によるパドル現像と呼ぶこととする。
<第2過程 時刻t22〜時刻t23>
噴霧供給によるパドル現像が終了すると、制御部41は基板Wを再び回転させ始めるとともに、開閉弁15のみを開放させる。これにより、現像液のみをノズル5から基板Wの略中心に向けて吐出(滴下)する。以下では、基板Wに現像液を吐出することを吐出供給という。回転する基板Wの略中心に着液した現像液は基板Wの全面に広がり、基板Wの周縁から基板W外に捨てられる。現像液の吐出供給は所定の期間が経過するとき(時刻t23)まで継続するので、第2過程では、基板Wに対して吐出供給による回転現像が行われる。
噴霧供給によるパドル現像が終了すると、制御部41は基板Wを再び回転させ始めるとともに、開閉弁15のみを開放させる。これにより、現像液のみをノズル5から基板Wの略中心に向けて吐出(滴下)する。以下では、基板Wに現像液を吐出することを吐出供給という。回転する基板Wの略中心に着液した現像液は基板Wの全面に広がり、基板Wの周縁から基板W外に捨てられる。現像液の吐出供給は所定の期間が経過するとき(時刻t23)まで継続するので、第2過程では、基板Wに対して吐出供給による回転現像が行われる。
このような処理例2によれば、現像過程において噴霧供給によるパドル現像と吐出供給による回転現像とを行うことができる。
このように、実施例1に係る現像装置によれば、基板Wに現像液を吐出する吐出供給と噴霧供給とのいずれによっても基板Wに現像液を供給することができる単一のノズル5と、吐出供給及び噴霧供給のいずれかに切り換える制御部41とを備えているので、現像過程において吐出供給、噴霧供給、または、吐出供給及び噴霧供給によって基板Wに現像液を供給することができ、基板Wを現像する処理のバリエーションが多い。また、制御部41は、基板Wの表面に形成されたレジスト膜の特性や、現像の要求精度等の基板Wの処理情報に応じた処理レシピを選択し、選択した処理レシピに基づいて基板Wを現像するので、各種の基板Wに対してそれぞれ適切に現像することができる。よって、現像欠陥等が生じることを好適に防ぐことができる。
また、現像液の吐出と窒素ガスの噴射とを単一のノズル5で行うように構成したので、安定したノズル5の性能を発揮させることができ、かつ、製造時の組み立て工数も削減できる。
また、窒素ガス配管21と開閉弁25を備え、制御部41が開閉弁25を開閉させることで、噴霧供給と吐出供給との切り換えを容易かつ迅速に行うことができる。また、現像液配管11と開閉弁15を備え、制御部41が開閉弁15を開閉させることで、現像液の供給及びその停止を容易かつ迅速に切り換えることができる。
また、現像液の流路33を斜め下方向に傾斜させて形成しているので、現像液吐出孔31から吐出された現像液に窒素ガスを吹き付けること、これにより現像液の液滴を生成することを簡易な構成で実現できる。
また、ノズル5は窒素ガスを鉛直下方に噴出するように構成されているので、ノズル5から鉛直下方に向けて噴霧供給することができる。
また、現像液吐出孔31はスリット形状を呈するので、基板Wの全体に均一に現像液を供給することができる。また、ガス噴出孔35もスリット形状を呈するので乾燥処理において、エアナイフとして使用できる。
また、側壁5aによって現像液吐出孔31の縁部をテーパー形状としているので、現像液の吐出時に表面張力によって吐出が不安定になることやノズル5の下端に現像液が付着することを防止できる。
ノズル5の長手方向の長さは基板Wの半径よりも短いので、現像液及び窒素ガスの使用量を抑制することができる。
以下、図面を参照してこの発明の実施例2を説明する。図5は、実施例2に係る現像装置の概略構成を示すブロック図である。なお、実施例1と同じ構成については同符号を付すことで詳細な説明を省略する。
本装置は、現像液および純水を吐出可能、かつ、窒素ガスを噴出可能なノズル6を備えている。ノズル6の一方側には共通配管18が連通接続され、ノズル6の他方側には純水配管51が連通接続されており、ノズル6の上端中央にガス配管21が連通接続されている。
共通配管18の他端側は、第1配管12aと第2配管12bとに分岐されている。各第1、第2配管12a、12bの他端側はそれぞれ現像液供給源13に連通接続されている。第1配管12aには開閉弁16aと流量計17aが設けられており、第2配管12bには開閉弁16bと流量計17bが設けられている。流量計17a、流量計17bは、それぞれ第1、第2配管12a、12b内を流れる現像液の流量を制限する手段として機能する。本実施例では、流量計17aは流量計17bに比べて大きな流量まで許容するように設定されており、第1配管12aは比較的大きな流量で、第2配管12bは比較的小さい流量で、それぞれノズル6に現像液を供給可能に構成されている。共通配管18と第1、第2配管12a、12bとは、この発明における現像液配管に相当する。また、開閉弁16a、16bは、それぞれこの発明における第2開閉手段に相当する。さらに、これら現像液配管および第2開閉手段に相当する各構成と現像液供給源13と流量計17a、17bは、この発明における現像液供給手段に相当する。
純水配管51の他端は純水供給源53に連通接続されて、ノズル6に純水を供給可能に構成されている。純水配管51には開閉弁55が設けられている。開閉弁55は、この発明における第3開閉手段に相当し、純水配管51、純水供給源53及び開閉弁55は、この発明における純水供給手段に相当する。
図6を参照して、ノズル6の構造を説明する。図6はノズル6の垂直断面図である。ノズル6の下端部には、現像液吐出孔31とガス噴出孔35と純水吐出孔38が設けられている。ガス噴出孔35は下端部の略中央に配置され、このガス噴出孔35の両側にそれぞれ現像液吐出孔31と純水吐出孔38とが配置されている。各吐出孔31、38と噴出孔35はそれぞれノズル6の長手方向に延びるスリット形状を呈し、互いに平行な位置に形成されている。
ノズル6内には純水吐出孔38に通じる純水の流路39が、現像液の流路33および窒素ガスの流路37とは別個に形成されている。この純水の流路39は、純水吐出孔38から吐出された純水が窒素ガスに吹き付けられるように、斜め下方向に傾斜して形成されている。なお、純水吐出孔38についてもスリットから小孔列に適宜に変更してもよい。
制御部42は、処理する基板Wの処理情報に対応する処理レシピを選択して、この処理レシピに従ってモータ3、移動機構7、開閉弁16a、16b、25、55などを統括的に制御して各基板Wを処理する。
次に、図を参照して現像装置の処理例について説明する。ここで、スピンチャック1には基板Wが既に吸着されているものとする。そして、この基板Wの処理情報に応じて選択された処理レシピに基づいて、以下の処理例3を行うものとする。
<処理例3>
図7は、基板に現像を行う処理例3の手順を示すタイミングチャートであり、(a)はノズルから吐出される現像液の流量、(b)はノズルから噴出される窒素ガスの流量、(c)は基板の回転数についてのものである。この処理例3は、基板Wを回転させつつ、吐出供給によって基板Wに現像液を供給する第3過程と、基板Wを回転させつつ、噴霧供給によって基板Wに現像液を供給する第4過程とを有する現像過程と、基板Wを回転させつつ、基板Wに純水を供給する洗浄過程と、基板Wを回転させる乾燥過程とに分けられる。以下、各過程について説明する。
図7は、基板に現像を行う処理例3の手順を示すタイミングチャートであり、(a)はノズルから吐出される現像液の流量、(b)はノズルから噴出される窒素ガスの流量、(c)は基板の回転数についてのものである。この処理例3は、基板Wを回転させつつ、吐出供給によって基板Wに現像液を供給する第3過程と、基板Wを回転させつつ、噴霧供給によって基板Wに現像液を供給する第4過程とを有する現像過程と、基板Wを回転させつつ、基板Wに純水を供給する洗浄過程と、基板Wを回転させる乾燥過程とに分けられる。以下、各過程について説明する。
<第3過程 時刻t31〜時刻t32>
制御部42はモータ3と移動機構7を操作して、基板Wを回転させつつ、待機位置にあったノズル6を基板Wの傍らまで移動させる。そして、開閉弁16b、55をそれぞれ開放させる。これにより、第2配管12bを通じてノズル6に現像液が供給されるとともに、純水配管51からノズル6に純水が供給される。ノズル6は、現像液吐出孔31と純水吐出孔38からそれぞれ現像液と純水を同時に吐出する。
制御部42はモータ3と移動機構7を操作して、基板Wを回転させつつ、待機位置にあったノズル6を基板Wの傍らまで移動させる。そして、開閉弁16b、55をそれぞれ開放させる。これにより、第2配管12bを通じてノズル6に現像液が供給されるとともに、純水配管51からノズル6に純水が供給される。ノズル6は、現像液吐出孔31と純水吐出孔38からそれぞれ現像液と純水を同時に吐出する。
制御部42は、ノズル6が現像液と純水を下方に吐出供給している状態で、ノズル6を平面視で基板Wの周縁から中心まで前進移動させる。これにより、吐出された現像液と純水はそれぞれ基板Wに着液して基板Wの全面に広がる。このとき、現像液は純水と混合して濃度が低下するとともに、この現像液と純水の混合液は振り切られて基板W外に捨てられる。
ノズル6が基板Wの中心まで移動すると(時刻t32)、制御部42は開閉弁16b、55を閉止するとともに、開閉弁16aを開放させる。これにより、現像液をより大きな流量で吐出供給させるとともに、純水の吐出を停止させる。基板Wの略中心に供給された現像液は遠心力によって基板Wの全面に広がって基板Wの周縁から捨てられる。現像液の吐出供給は所定の期間が経過するまで(時刻t33まで)継続される。
したがって、時刻t31から時刻t33は、吐出供給による回転現像を基板Wに対して行っているが、時刻t31〜t32の期間は低濃度(現像液を純水で薄めた濃度)で、時刻t32〜t33の期間は高濃度(現像液自体の濃度)の現像液で基板Wを現像していることになる。
<第4過程 時刻t33〜時刻t34>
引き続いて、制御部42は開閉弁16aを閉止するとともに、開閉弁16b、25を開放させる。これにより、噴霧供給による回転現像を行う。所定の時間が経過すると、制御部42は開閉弁16bを閉止して回転現像を終了する(時刻t34)。
引き続いて、制御部42は開閉弁16aを閉止するとともに、開閉弁16b、25を開放させる。これにより、噴霧供給による回転現像を行う。所定の時間が経過すると、制御部42は開閉弁16bを閉止して回転現像を終了する(時刻t34)。
<洗浄過程 時刻t34〜時刻t35>
制御部42は、開閉弁25を開放したままで、時刻t34において開閉弁16bを閉止すると同時に開閉弁55を開放させて、純水の液滴を窒素ガスとともに基板Wに噴射させる。このようなスプレー洗浄によって基板Wに洗浄処理を行う。所定の時間が経過すると、制御部42は開閉弁55を閉止させて純水の供給を停止させ、洗浄処理を終了する(時刻t35)。
制御部42は、開閉弁25を開放したままで、時刻t34において開閉弁16bを閉止すると同時に開閉弁55を開放させて、純水の液滴を窒素ガスとともに基板Wに噴射させる。このようなスプレー洗浄によって基板Wに洗浄処理を行う。所定の時間が経過すると、制御部42は開閉弁55を閉止させて純水の供給を停止させ、洗浄処理を終了する(時刻t35)。
<乾燥過程 時刻t35〜時刻t36>
制御部42はモータ3を駆動させて基板Wをより高速に回転させて、基板Wに乾燥処理を行う。なお、処理例3では、乾燥過程において窒素ガスを供給しない。
制御部42はモータ3を駆動させて基板Wをより高速に回転させて、基板Wに乾燥処理を行う。なお、処理例3では、乾燥過程において窒素ガスを供給しない。
このように、実施例3に係る現像装置によれば、ノズル6は純水吐出孔38を備えて、基板W上に現像液と純水を同時に吐出可能であるので、基板W上で現像液の濃度を低下させるように調整できる。また、ノズル6から純水を単独で吐出することで基板Wに洗浄処理を行うことができるので、実施例1で説明した洗浄液ノズル(不図示)を省略できる。また、純水を吐出することでノズル6自体も洗浄することができる。
また、吐出供給のときは第1配管12aから現像液を供給させ、噴霧供給のときは第2配管12bから現像液を供給させて、吐出供給では噴霧供給に比べてノズル6に供給する現像液の流量が大きくなるように制御部42が制御するので、吐出供給および噴霧供給をそれぞれ好適に行うことができる。
また、ノズル6内の純水の流路39を斜め下方向に傾斜させて形成しているので、純水吐出孔38から吐出された純水に窒素ガスを吹き付けることを簡易な構成で実現できる。これにより、純水の液滴を窒素ガスとともに基板Wに噴射させてスプレー洗浄を行うことができる。
この発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
(1)上述した各実施例では、ノズル5、6を具体的に説明したが、これに限られない。例えば、現像液又は/及び純水に窒素ガスを混合して現像液の液滴を生成可能な混合室を内部に備えたノズルに変更してもよい。このようなノズルによっても、窒素ガスを混合室に供給することで生成した現像液/純水の液滴を噴射(噴霧供給)でき、かつ、窒素ガスを混合室に供給しないときは現像液/純水をそのまま吐出(吐出供給)できる。この場合には、現像液及び窒素ガス、または、現像液、窒素ガス及び純水に対して共通の単一の吐出孔に変更してもよい。
または、現像液用の内管とキャリアガス用の外管とからなる二重管構造を有するノズル、または、これに純水用の管が付設された3重管構造を有するノズルに変更してもよい。
あるいは、ノズル6内の現像液の流路33と純水の流路39とは別個に形成されていたが、これに限られない。たとえば、純水が流入可能な現像液の流路をノズル6内に形成して、ノズルから純水と現像液の混合液を吐出可能に変更してもよい。
(2)上述した各実施例では、ノズル5、6は窒素ガスを鉛直下方に噴出するものであったが、これに限られることなく、斜め下方向など適宜な方向に窒素ガスを噴出してもよい。
(3)上述した各実施例では、ノズル5、6の長手方向の長さは基板Wの半径よりも短かったが、これに限られない。たとえば、ノズル5、6の長手方向の長さが基板Wの直径と同等以上に長いノズルに変更してもよい。これにより、効率よく基板Wの全面に現像液を供給することができる。
(4)上述した各実施例では、現像液吐出孔31、ガス噴出孔35、純水吐出孔38はそれぞれスリット形状と説明したが、円形などその他の形状に適宜に変更してもよい。
(5)上述した各実施例では、ノズル5、6は、その現像液、窒素ガス、純水の各流路33、37、39を開閉する手段を備えていなかったが、以下に説明するようにこれらを備えるように変更してもよい。これにより、それぞれ残留する現像液や純水または窒素ガスを少なくすることができる。
たとえば、窒素ガスの流路37を開閉するノズル内ガス開閉部(たとえば、バルブ)を備えて、制御部41、42がこのノズル内ガス開閉部を開閉させて吐出供給と噴霧供給を切り換えるように構成してもよい。これにより、開閉弁25を省略できる。
同様に、現像液の流路33を開閉するノズル内現像液開閉部を備えて、制御部41、42がこのノズル内現像液開閉部を開閉させて、現像液の供給及びその停止を切り換えるように構成してもよい。これにより、開閉弁15を省略することができる。
同様に、純水の流路39を開閉するノズル内純水開閉部を備えて、制御部41、42がこのノズル内純水開閉部を開閉して、基板W上の現像液の濃度を調整するように変更してもよい。これにより、開閉弁55を省略することができる。
(6)上述した各実施例では、開閉弁15、16a、16b、25、55を備える構成を説明したが、これに限られず、それぞれ流量調節弁に変更してもよい。たとえば、開閉弁15を流量調節弁に変更することにより、現像液の流量を任意の値に調節でき、基板Wを現像する処理のバリエーションをさらに増やすことができる。また、第1、第2配管12a、12b及びこれらに設けられる開閉弁16a、16b等を省略することができる。また、開閉弁25を流量調節弁に変更することで、窒素ガスの流量を任意の値に調節でき、現像液と純水の液滴の粒径を制御することができる。特に洗浄処理において純水の液滴の粒径を制御することで、基板Wにウォータマークが発生することを好適に防止できる。
(7)上述した実施例2では、第1、第2配管12a、12b内を流れる現像液の流量を制限する手段として流量計17a、17bを例示したが、これに限られない。たとえば、定流量弁に変更してもよい。または、第1、第2配管12a、12bの管径を変えるなどして圧力損失を意図的に異ならせて、互いに異なる流量で現像液をノズル6に供給可能に構成してもよい。
(8)上述した各実施例において、現像液配管11、第1、第2配管12a、12b、共通配管18にフィルタ等を設けてもよい。また、ガス配管21に圧力計等を設けるように変更してもよい。
(9)上述した各実施例において、処理例1〜3を例示したが、現像過程、洗浄過程、乾燥過程における処理はそれぞれ適宜に変更することができる。特に、現像過程においては、回転現像およびパドル現像をそれぞれ噴霧供給と吐出供給によって行うことができるため、噴霧供給と吐出供給の順番を変えることにより、少なくとも4通りの処理がある。そして、このうち複数の処理を行う場合は適宜に順番や回数を変更してもよい。
(10)上述した実施例2では、制御部42は現像液と純水とを同時に吐出させることで、吐出供給における現像液の濃度を調整したが、これに限られない。例えば、現像液と純水とを同時に吐出させるときに窒素ガスも噴出させることで、噴霧供給においても現像液の濃度を調整することができる。
(11)上述した各実施例では、制御部41、42は、現像液を基板Wに供給させる際や、洗浄処理あるいは乾燥処理において基板Wの回転数を制御することを例示したが、これに限られることなく、適宜に選択、設計可能である。たとえば、ノズル5、6が基板Wの周縁から中心にわたって移動する際に、ノズル5、6と対向する基板Wの周速度が一定となるように基板Wの回転数を制御するように変更してもよい。これにより、各種処理を基板Wの全面にわたって均一に行うことができる。洗浄処理および乾燥処理において基板W上の残滴が発生することを防止できる。
(12)上述した各実施例では、制御部41、42は、現像過程、洗浄過程および乾燥過程で、ノズル5、6と基板Wとの相対的な位置を簡単に説明したが、これらは適宜に設計選択される事項である。また、ノズル5、6が移動する速度については説明していないが、これも適宜に設定変更してもよい。たとえば、ノズル5、6と基板Wとの相対的な位置関係に応じて、ノズル5、6の移動速度を制御してもよい。
(13)上述した各実施例では、キャリアガスとして窒素ガスを例示したが、これに限られず、その他の不活性ガスや、反応性ガス、クリーンエアまたは圧縮空気に適宜に変更してもよい。ここで、反応性ガスとは二酸化炭素などが例示され、この場合は基板Wの帯電を有効に防止することができる。
1 … スピンチャック
3 … モータ
5、6 … ノズル
11 … 現像液配管
12a … 第1配管
12b … 第2配管
13 … 現像液供給源
15 … 開閉弁
16a、16b …開閉弁
18 … 共通配管
21 … ガス配管
23 … 窒素ガス供給源
25 … 開閉弁
31 … 現像液吐出孔
35 … ガス噴出孔
38 … 純水吐出孔
41、42 … 制御部
51 … 純水配管
53 … 純水供給源
55 … 開閉弁
3 … モータ
5、6 … ノズル
11 … 現像液配管
12a … 第1配管
12b … 第2配管
13 … 現像液供給源
15 … 開閉弁
16a、16b …開閉弁
18 … 共通配管
21 … ガス配管
23 … 窒素ガス供給源
25 … 開閉弁
31 … 現像液吐出孔
35 … ガス噴出孔
38 … 純水吐出孔
41、42 … 制御部
51 … 純水配管
53 … 純水供給源
55 … 開閉弁
Claims (7)
- 基板を現像する現像装置において、
基板に現像液を吐出する吐出供給が可能で、かつ、現像液の液滴をキャリアガスとともに基板に噴射する噴霧供給が可能なノズルと、
前記ノズルに現像液を供給する現像液供給手段と、
前記ノズルにキャリアガスを供給するガス供給手段と、
前記吐出供給及び前記噴霧供給のいずれかに切り換える制御手段と、
を備えていることを特徴とする現像装置。 - 請求項1に記載の現像装置において、
前記制御手段は、基板の処理情報に応じて、前記吐出供給及び前記噴霧供給のいずれかに切り換えつつ、現像液を基板に供給させることを特徴とする現像装置。 - 請求項1または請求項2に記載の現像装置において、
前記ノズルは、現像液を吐出するための現像液吐出孔と、前記現像液吐出孔から吐出される現像液に向けてキャリアガスを噴出させるためのガス噴出孔と、を備え、吐出された現像液にキャリアガスを吹き付けて現像液の液滴を生成し、この液滴を基板に噴射することを特徴とする現像装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の現像装置において、
前記ガス供給手段は、
前記ノズルにキャリアガスを供給するガス配管と、
前記ガス配管のキャリアガスの流路を開閉する第1開閉手段と、
を備え、
前記制御手段は、前記第1開閉手段を操作して、前記吐出供給または前記噴霧供給に切り換えることを特徴とする現像装置。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の現像装置において、
前記現像液供給手段は、
前記ノズルに現像液を供給する現像液配管と、
前記現像液配管の現像液の流路を開閉する第2開閉手段と、
を備え、
前記制御手段は、前記第2開閉手段を操作して、現像液の供給及びその停止を切り換えることを特徴とする現像装置。 - 請求項5に記載の現像装置において、
前記現像液供給手段は、
少なくとも2以上の異なる流量で現像液を前記ノズルに供給可能であり、
前記制御手段は、前記吐出供給では、前記ノズルに供給する現像液の流量を前記噴霧供給に比べて大きくすることを特徴とする現像装置。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載の現像装置において、
前記ノズルに純水を供給する純水供給手段を備え、
前記制御手段は、前記純水供給手段から供給される純水によって、基板上の現像液の濃度を調整することを特徴とする現像装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2016111345A (ja) * | 2014-12-01 | 2016-06-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 現像処理方法、コンピュータ記憶媒体及び現像処理装置 |
JP2018107475A (ja) * | 2018-03-19 | 2018-07-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 現像方法、現像装置、及び記憶媒体 |
JP2019071385A (ja) * | 2017-10-11 | 2019-05-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 現像処理装置、現像処理方法及び記憶媒体 |
-
2007
- 2007-08-13 JP JP2007210999A patent/JP2009047740A/ja active Pending
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