JP2009045528A - 同軸型真空アーク蒸着源を備えたナノ粒子担持装置およびナノ粒子坦持方法 - Google Patents
同軸型真空アーク蒸着源を備えたナノ粒子担持装置およびナノ粒子坦持方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009045528A JP2009045528A JP2007212205A JP2007212205A JP2009045528A JP 2009045528 A JP2009045528 A JP 2009045528A JP 2007212205 A JP2007212205 A JP 2007212205A JP 2007212205 A JP2007212205 A JP 2007212205A JP 2009045528 A JP2009045528 A JP 2009045528A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nanoparticle
- charge
- source
- amount
- cathode electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 title claims abstract description 59
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 38
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 title abstract description 6
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 26
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 25
- 239000002082 metal nanoparticle Substances 0.000 claims description 23
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 18
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 claims description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 230000003472 neutralizing effect Effects 0.000 claims description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 53
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 abstract description 40
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 abstract description 29
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 abstract description 16
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 8
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 abstract 2
- 235000019241 carbon black Nutrition 0.000 description 37
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 23
- -1 amine compound Chemical class 0.000 description 10
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical class [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 4
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 3
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 150000003058 platinum compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 239000011882 ultra-fine particle Substances 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UEEJHVSXFDXPFK-UHFFFAOYSA-N N-dimethylaminoethanol Chemical compound CN(C)CCO UEEJHVSXFDXPFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 1
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 1
- 229960002887 deanol Drugs 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 239000000779 smoke Substances 0.000 description 1
- CSMWJXBSXGUPGY-UHFFFAOYSA-L sodium dithionate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S(=O)(=O)S([O-])(=O)=O CSMWJXBSXGUPGY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229940075931 sodium dithionate Drugs 0.000 description 1
- 229910052716 thallium Inorganic materials 0.000 description 1
- BKVIYDNLLOSFOA-UHFFFAOYSA-N thallium Chemical compound [Tl] BKVIYDNLLOSFOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/30—Hydrogen technology
- Y02E60/50—Fuel cells
Abstract
【課題】 同軸型真空アーク蒸発源を備えた坦持装置によって触媒用のナノ粒子を粒子状担体に担持させるに際し、粒子状担体が容器内から外へ飛散しないナノ粒子担持装置、およびナノ粒子担持方法を提供すること。
【解決手段】 カソード電極22の白金をアーク放電によって粒子状担体であるカーボンブラックCに蒸着させて担持させるに際し、ナノ粒子担持装置1のアーク放電用コンデンサユニット28の容量を4400μF以下、アーク放電用直流電源27の放電電圧を100V以下、放電周期を2Hz以上に設定してカーボンブラックCのチャージアップを抑制する。更には、同担持装置1の真空チャンバ11内に設置した熱電子放出機器41から電子を放出させてカーボンブラックCのチャージアップを抑制する。
【選択図】 図1
Description
R ∝ E(=CV2/2) (式1)
式(1)において成膜量Rは単位面積・単位時間当たりの蒸着膜の厚さである。また、Cはコンデンサユニット28の容量であり、Vは直流電源27の放電電圧である。
21・・・同軸型真空アーク蒸発源、 22・・・カソード電極、
23・・・絶縁碍子、 24・・・トリガ電極、
25・・・アノード電極、 26・・・トリガ電源、
27・・・アーク用直流電源、 28・・・コンデンサユニット、
31・・・容器、 32・・・回転駆動源、
33・・・回転軸、 36・・・固定羽根、
41・・・熱電子放出機器、 42・・・フィラメント、
43・・・加熱用直流電源、 51・・・プラズマによる電子供給機器、
52・・・中心電極、 53・・・外周電極、
54・・・筒状絶縁体、 55・・・高周波交流電源、
56・・・Heガス導入管、 57・・・放電空間、
58・・・磁石.
Claims (6)
- 真空チャンバと、蒸着材料であり触媒活性を有する金属からなるカソード電極、トリガ電極、アノード電極、トリガ電源、およびアーク発生用の並列に設けられた直流電源とコンデンサを備えた同軸型真空アーク蒸発源と、被蒸着材料である粒子状担体を収容する容器とを備えたナノ粒子担持装置において、
真空アーク蒸着時に前記カソード電極から蒸発し前記容器内の前記粒子状担体へ向かって飛翔する金属ナノ粒子が有する電荷量の調整手段が設けられていることを特徴とするナノ粒子担持装置。 - 前記電荷量の調整手段が前記コンデンサの静電容量と前記直流電源の放電電圧との少なくとも何れか一方を調整する手段であることを特徴とする請求項1に記載のナノ粒子担持装置。
- 前記電荷量の調整手段が前記真空チャンバ内に設置され、前記金属ナノ粒子が有する電荷の少なくとも一部を中和させるための電子を放出する電子放出源であることを特徴とする請求項1に記載のナノ粒子担持装置。
- 真空チャンバ内において、蒸着材料であり触媒活性を有する金属からなるカソード電極、トリガ電極、アノード電極、トリガ電源、およびアーク発生用の並列に設けられた直流電源とコンデンサを備えた同軸型真空アーク蒸発源を用いて、容器に収容された被蒸着材料である粒子状担体に金属ナノ粒子を担持させるナノ粒子担持方法であって、
真空アーク蒸着時に前記カソード電極から蒸発し形成される金属ナノ粒子が有する電荷量を調整して前記粒子状担体に蒸着させることを特徴とするナノ粒子担持方法。 - 前記電荷量を調整する方法が、前記コンデンサの静電容量と前記直流電源の放電電圧との少なくとも何れか一方を調整する方法であることを特徴とする請求項4に記載のナノ粒子担持方法。
- 前記電荷量を調整する方法が、電子放出源から放出される電子によって前記金属ナノ粒子が有する電荷の少なくとも一部を中和させる方法であることを特徴とする請求項4に記載のナノ粒子担持方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007212205A JP5017017B2 (ja) | 2007-08-16 | 2007-08-16 | 同軸型真空アーク蒸着源を備えたナノ粒子担持装置およびナノ粒子坦持方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007212205A JP5017017B2 (ja) | 2007-08-16 | 2007-08-16 | 同軸型真空アーク蒸着源を備えたナノ粒子担持装置およびナノ粒子坦持方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009045528A true JP2009045528A (ja) | 2009-03-05 |
JP5017017B2 JP5017017B2 (ja) | 2012-09-05 |
Family
ID=40498260
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007212205A Active JP5017017B2 (ja) | 2007-08-16 | 2007-08-16 | 同軸型真空アーク蒸着源を備えたナノ粒子担持装置およびナノ粒子坦持方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5017017B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101272844B1 (ko) | 2011-01-31 | 2013-06-11 | 한국기초과학지원연구원 | 그라파이트 페블에 대한 SiC 코팅장치 및 코팅방법 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63203760A (ja) * | 1987-02-19 | 1988-08-23 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス基板面への無機質膜の形成方法及びその装置 |
JPH07150349A (ja) * | 1993-11-30 | 1995-06-13 | Futaba Corp | 粉体攪拌器 |
JPH1136073A (ja) * | 1997-07-15 | 1999-02-09 | Shinko Seiki Co Ltd | イオンプレーティング装置 |
JPH1161388A (ja) * | 1997-08-07 | 1999-03-05 | Kobe Steel Ltd | 真空アーク蒸着装置 |
JP2000008157A (ja) * | 1998-06-19 | 2000-01-11 | Ulvac Corp | 同軸型真空アーク蒸着源を用いた蒸着装置 |
JP2002110181A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-12 | Sony Corp | ガス拡散電極及びその製造方法、並びに、燃料電池及びその製造方法 |
JP2002212714A (ja) * | 2001-01-18 | 2002-07-31 | Shimadzu Corp | 陰極アーク放電を用いた成膜装置 |
JP2002220655A (ja) * | 2001-01-26 | 2002-08-09 | Ulvac Japan Ltd | 蒸着源及び蒸着装置 |
JP2005509752A (ja) * | 2001-11-15 | 2005-04-14 | アイオニック フュージョン コーポレイション | イオンプラズマ蒸着装置 |
JP2006028563A (ja) * | 2004-07-14 | 2006-02-02 | Shimadzu Corp | カソーディックアーク成膜方法および成膜装置 |
JP2008308735A (ja) * | 2007-06-15 | 2008-12-25 | Ulvac Japan Ltd | 同軸型真空アーク蒸着源を用いるナノ粒子の担持方法 |
JP2008311054A (ja) * | 2007-06-14 | 2008-12-25 | Ulvac Japan Ltd | 触媒材料及びその作製方法 |
-
2007
- 2007-08-16 JP JP2007212205A patent/JP5017017B2/ja active Active
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63203760A (ja) * | 1987-02-19 | 1988-08-23 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス基板面への無機質膜の形成方法及びその装置 |
JPH07150349A (ja) * | 1993-11-30 | 1995-06-13 | Futaba Corp | 粉体攪拌器 |
JPH1136073A (ja) * | 1997-07-15 | 1999-02-09 | Shinko Seiki Co Ltd | イオンプレーティング装置 |
JPH1161388A (ja) * | 1997-08-07 | 1999-03-05 | Kobe Steel Ltd | 真空アーク蒸着装置 |
JP2000008157A (ja) * | 1998-06-19 | 2000-01-11 | Ulvac Corp | 同軸型真空アーク蒸着源を用いた蒸着装置 |
JP2002110181A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-12 | Sony Corp | ガス拡散電極及びその製造方法、並びに、燃料電池及びその製造方法 |
JP2002212714A (ja) * | 2001-01-18 | 2002-07-31 | Shimadzu Corp | 陰極アーク放電を用いた成膜装置 |
JP2002220655A (ja) * | 2001-01-26 | 2002-08-09 | Ulvac Japan Ltd | 蒸着源及び蒸着装置 |
JP2005509752A (ja) * | 2001-11-15 | 2005-04-14 | アイオニック フュージョン コーポレイション | イオンプラズマ蒸着装置 |
JP2006028563A (ja) * | 2004-07-14 | 2006-02-02 | Shimadzu Corp | カソーディックアーク成膜方法および成膜装置 |
JP2008311054A (ja) * | 2007-06-14 | 2008-12-25 | Ulvac Japan Ltd | 触媒材料及びその作製方法 |
JP2008308735A (ja) * | 2007-06-15 | 2008-12-25 | Ulvac Japan Ltd | 同軸型真空アーク蒸着源を用いるナノ粒子の担持方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101272844B1 (ko) | 2011-01-31 | 2013-06-11 | 한국기초과학지원연구원 | 그라파이트 페블에 대한 SiC 코팅장치 및 코팅방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5017017B2 (ja) | 2012-09-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4999167B2 (ja) | 同軸型真空アーク蒸着源を用いるナノ粒子の担持方法 | |
EP2277189B1 (en) | X-ray tube with passive ion collecting electrode | |
JPH08227688A (ja) | イオン注入機に使用するイオン発生装置とその方法 | |
JP2007179963A (ja) | 燃料電池用触媒の製造方法及び触媒の担持方法 | |
JP2009079251A (ja) | 金属蒸着装置および同装置における粉体状担体の撹拌方法 | |
JP5017017B2 (ja) | 同軸型真空アーク蒸着源を備えたナノ粒子担持装置およびナノ粒子坦持方法 | |
JP5604234B2 (ja) | 微粒子形成装置およびその方法 | |
JP4837409B2 (ja) | ナノ粒子製造方法 | |
JP5008434B2 (ja) | 粉体攪拌機構、金属微粒子担持粉体の作製方法及び燃料電池用触媒 | |
AU2016330046A1 (en) | Apparatus and method for electron irradiation scrubbing | |
JP5404950B1 (ja) | 堆積装置および堆積方法 | |
JP2008105136A (ja) | ナノ粒子作製方法及び燃料電池用触媒 | |
US20090295269A1 (en) | Electron beam generator | |
JP2009285644A (ja) | 触媒材料の製造方法及び真空アーク蒸着装置 | |
JP5191691B2 (ja) | 触媒材料の作製方法 | |
US3705998A (en) | Negative ion generator | |
JP5923547B2 (ja) | 微粒子形成装置およびその方法 | |
JP5502617B2 (ja) | 燃料電池用電極製造装置およびその方法 | |
JP5016976B2 (ja) | 微粒子膜の製造方法 | |
JP2019049035A (ja) | 微粒子形成装置およびその方法 | |
JP5048538B2 (ja) | 同軸型真空アーク蒸着源及び真空蒸着装置 | |
JP5274768B2 (ja) | 成膜装置および該成膜装置に用いる筒状陰極での異常放電発生防止方法 | |
JP5436198B2 (ja) | 微粒子形成装置およびその方法 | |
RU2468989C1 (ru) | Способ получения наночастиц | |
JPH0665200B2 (ja) | 高速原子線源装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100208 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110722 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110802 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110929 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120522 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120611 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150615 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5017017 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |