JP2009042275A - プロセスモデル作成方法、プロセスモデル作成プログラム及びパターン補正方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 マスクパターンが形成されたテストマスクを露光してテストパターンを被処理膜に形成する工程と、異なるモデルパラメータを有する複数のプロセスモデルを作成する工程と、前記複数のプロセスモデルそれぞれを利用して前記マスクパターンのシミュレーションを行い、複数のモデルパターンを予測する工程と、前記テストパターンと前記複数のモデルパターンそれぞれとの寸法差を計算する工程と、前記複数のモデルパターンのうち前記テストパターンとの寸法差が仕様範囲内に収まるモデルパターンを抽出する工程と、前記マスクパターンのパターン情報ごとに、抽出された前記モデルパターンを予測した前記プロセスモデルを規定する工程と、を備えたことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
101:マスクパターン
102:テストパターン
103:被処理膜
104:エッジ構成部
105:測定ポイント
106:モデルパターン
106a:第一のモデルパターン
106b:第二のモデルパターン
l:テストパターンとモデルパターンとの寸法差
l1:テストパターンと第一のモデルパターンとの寸法差
l2:テストパターンと第二のモデルパターンとの寸法差
Claims (5)
- マスクパターンが形成されたテストマスクを露光してテストパターンを被処理膜に形成する工程と、
異なるモデルパラメータを有する複数のプロセスモデルを作成する工程と、
前記複数のプロセスモデルそれぞれを利用して前記マスクパターンのシミュレーションを行い、複数のモデルパターンを予測する工程と、
前記テストパターンと前記複数のモデルパターンそれぞれとの寸法差を計算する工程と、
前記複数のモデルパターンのうち前記テストパターンとの寸法差が仕様範囲内に収まるモデルパターンを抽出する工程と、
前記マスクパターンのパターン情報ごとに、抽出された前記モデルパターンを予測した前記プロセスモデルを規定する工程と、
を備えたことを特徴とするプロセスモデル作成方法。 - 前記複数のプロセスモデルを作成する工程では、前記テストパターンのパターン情報に基づいてモデルパラメータを調整することを特徴とする請求項1記載のプロセスモデル作成方法。
- 前記プロセスモデルを規定する工程では、前記テストパターンとの寸法差が最小となった前記モデルパターンを予測したプロセスモデルを規定することを特徴とする請求項1又は2記載のプロセスモデル作成方法。
- マスクパターンを有するテストマスクを露光することにより被処理膜に形成されたテストパターンのパターン情報を入力する手順と、
入力された前記テストパターン情報に基づき、異なるモデルパラメータを有する複数のプロセスモデルを作成する手順と、
前記複数のプロセスモデルそれぞれを利用して前記マスクパターンのシミュレーションを行い、複数のモデルパターンを予測する手順と、
前記テストパターンと前記複数のモデルパターンそれぞれとの寸法差を計算する手順と、
前記複数のモデルパターンのうち前記テストパターンとの寸法差が仕様範囲内に収まるモデルパターンを抽出する手順と、
前記マスクパターンのパターン情報ごとに、抽出された前記モデルパターンを予測した前記プロセスモデルを規定する手順と、
をコンピュータに実行させるためのプロセスモデル作成プログラム。 - マスクパターンが形成されたテストマスクを露光してテストパターンを被処理膜に形成する工程と、
前記テストパターンのパターン情報を取得する工程と、
前記テストパターンの情報に基づき、異なるモデルパラメータを有する複数のプロセスモデルを作成する工程と、
前記複数のプロセスモデルそれぞれを利用して前記マスクパターンのシミュレーションを行い、複数のモデルパターンを予測する工程と、
前記テストパターンと前記複数のモデルパターンそれぞれとの寸法差を計算する工程と、
前記複数のモデルパターンのうち前記テストパターンとの寸法差が仕様範囲内に収まるモデルパターンを抽出する工程と、
前記マスクパターンのパターン情報ごとに、抽出された前記モデルパターンを予測した前記プロセスモデルを規定する工程と、
設計パターンをデータ出力する工程と、
前記設計パターンデータの情報を取得する工程と、
前記設計パターンデータの情報に応じて、前記マスクパターン情報ごとに規定した前記プロセスモデルを抽出する工程と、
抽出した前記プロセスモデルを用いて前記設計パターンデータのシミュレーションを行い、前記設計パターンを補正する工程と、
を備えたことを特徴とするパターン補正方法。
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