JP2009038706A - ブランキング回路 - Google Patents
ブランキング回路 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009038706A JP2009038706A JP2007202749A JP2007202749A JP2009038706A JP 2009038706 A JP2009038706 A JP 2009038706A JP 2007202749 A JP2007202749 A JP 2007202749A JP 2007202749 A JP2007202749 A JP 2007202749A JP 2009038706 A JP2009038706 A JP 2009038706A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- channel mosfet
- channel
- mosfet
- signal
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Details Of Television Scanning (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
【課題】セトリングタイムの高速化を図ることができるブランキング回路を提供する。
【解決手段】2つのPチャンネルMOSFETQ1,Q3と2つのNチャンネルMOSFETQ2,Q4とをそれぞれ交互に接続し、第一のPチャンネルMOSFETと第一のNチャンネルMOSFETとの接続点、及び、第二のPチャンネルMOSFETと第二のNチャンネルMOSFETとの接続点とを電極OUTに接続し、第一のPチャンネルMOSFETと第二のNチャンネルMOSFETとがオンする場合に、第二のPチャンネルMOSFETと第一のNチャンネルMOSFETとがオフし、第一のPチャンネルMOSFETと第二のNチャンネルMOSFETとがオフした場合に、デッドタイム経過後に第二のPチャンネルMOSFETと第一のNチャンネルMOSFETとがオンして負荷容量を短絡するように構成してあることを特徴とするブランキング回路。
【選択図】図1
【解決手段】2つのPチャンネルMOSFETQ1,Q3と2つのNチャンネルMOSFETQ2,Q4とをそれぞれ交互に接続し、第一のPチャンネルMOSFETと第一のNチャンネルMOSFETとの接続点、及び、第二のPチャンネルMOSFETと第二のNチャンネルMOSFETとの接続点とを電極OUTに接続し、第一のPチャンネルMOSFETと第二のNチャンネルMOSFETとがオンする場合に、第二のPチャンネルMOSFETと第一のNチャンネルMOSFETとがオフし、第一のPチャンネルMOSFETと第二のNチャンネルMOSFETとがオフした場合に、デッドタイム経過後に第二のPチャンネルMOSFETと第一のNチャンネルMOSFETとがオンして負荷容量を短絡するように構成してあることを特徴とするブランキング回路。
【選択図】図1
Description
本発明は、描画装置における試料の測定時間外、言い換えればブランキング時間において、描画ビームが試料を照射しないように描画ビームを曲げるブランキング回路に関するものである。
描画装置において、試料の測定時間外に描画ビームを試料に照射すると、試料が帯電するおそれがあることから、ブランキング回路を使用して、試料の測定時間外においては、描画ビームを曲げて試料に描画ビームを照射しないようにし、使用の測定時間と同時に描画ビームを元の位置に高速に戻す必要がある。このような作用をするために、ブランキング回路を使用していた(例えば、特許文献1参照)。
特開2004−180268号公報
例えば、ブランキング回路の出力が±200Vの場合、OFF時のノイズは6mVp−p(15ppm)以下、セトリング時間は200Vから3mV以下になるまで10μs以下である必要があり、さらに描画装置内に実装されるため、低発熱が要求される。
しかし、従来のブランキング回路において、出力が±100V以上の場合が多く、この場合高圧オペアンプを用いる必要があった。高速オペアンプはコストがかかる上、発熱も多い。又、フィードバック制御している為、セトリングタイムが遅い。更に入力信号のノイズも増幅してしまう為、S/N比が悪いという問題があった。
そこで、本願発明者は下記のブランキング回路を発明した。このブランキング回路を図3に示す。このブランキング回路は、入力端INをNチャンネルMOSFETQ5のゲート端子に接続する。このMOSFETQ5のソース端子は後述する第四のMOSFETQ14のゲート端子と接続してあるとともに、接地してある。同ドレイン端子は後述する第三のMOSFETQ13のゲート端子と接続してあるとともに、R16を介して電流源+Vと接続してある。
前記4つのMOSFETQ11〜Q14のうち2つはPチャンネルMOSFETで、他の2つはNチャンネルMOSFETである。本実施例においては、MOSFETQ11,Q14がPチャンネルMOSFETであり、MOSFETQ12,Q13がNチャンネルMOSFETである。第三のMOSFETQ13のソース端子は抵抗R15を介して第四のMOSFETQ14のソース端子に接続してある。また、ドレイン端子は抵抗R13を介して正の電流源+Vsに接続してあるとともに、第一のMOSFETQ11のゲート端子に接続してある。第四のMOSFETQ14のドレイン端子は第二のMOSFETQ12のゲート端子に接続してあるとともに、抵抗R14を介して負の電流源−Vsに接続してある。
第一のMOSFETQ11のドレイン端子は電極OUTと接続してあるとともに、抵抗R11を介して接地GNDしてある。ソース端子は正の電流源+Vsに接続してある。第二のMOSFETQ12のソース端子は負の電流源−Vsに接続してあり、ドレイン端子は電極OUTと接続してあるともに、抵抗R12を介して接地GNDしてある。
この発明は、第一のPチャンネルMOSFETQ11と第二のNチャンネルMOSFETQ12とが同時にオン・オフする。入力源INからハイ信号が入力されると、第一のMOSFETQ11及び第二のMOSFETQ12はオフとなり、電極OUTに蓄えられた電荷は抵抗R1,R2を介して接地部分GNDに流れる。これにより、描画ビームは曲がらずに試料を照射することとなる。
一方、入力源INからロー信号が入力されると、第一のMOSFETQ11及び第二のMOSFETQ12はオンとなる。このとき、正の電流源+VsからMOSFETQ11及び抵抗R11を経由して接地部分GNDへ電流が流れるとともに、電極OUTに正電位がかかる。一方、負の電流源−VsからMOSFETQ12及び抵抗R12を経由して接地部分GNDへ電流が流れるとともに、電極OUTに負電位がかかる。これにより、描画ビームが曲がり、試料から外れた位置に照射することとなる。
以上のような、構成よりこの発明は高圧オペアンプを使用せずに、低発熱、低ノイズで、セトリングタイムの高速化を図ることができる。
しかし、この発明は、第一のMOSFETQ1は抵抗R11を介して、第二のMOSFETQ2は抵抗R12を介して接地しているため、FETがオンすることにより抵抗R11,R12が発熱する。また、セトリングタイムを早めるには、抵抗R11,R12を小さくしなければならないとともに、消費電流が大きくなってしまう。さらに、電流源+Vや電流源+Vsで電流が発生するとともに補助電源ノイズも発生する。この発明においては、このノイズも電流とともに電極OUTに伝わってしまうという課題を有する。
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、高圧オペアンプを使用せずに、低発熱、低ノイズで、セトリングタイムの高速化を図ることができるブランキング回路を提供する。
上記課題を解決するために、本発明に係るブランキング回路は、PチャンネルMOSFETとNチャンネルMOSFETをそれぞれ2つ設け、これらを交互に設け、隣合う前記MOSFETのソースとドレインとを接続し、第一の前記PチャンネルMOSFETと第一の前記NチャンネルMOSFETとの接続点、及び、第二の前記PチャンネルMOSFETと、前記第一のPチャンネルMOSFETと前記第二のNチャンネルMOSFETとがオンする場合に、前記第二のPチャンネルMOSFETと前記第一のNチャンネルMOSFETとがオフし、前記第一のPチャンネルMOSFETと前記第二のNチャンネル第二の前記NチャンネルMOSFETとの接続点とを電極に接続してありMOSFETとがオフした場合に、デッドタイム経過後に前記第二のPチャンネルMOSFETと前記第一のNチャンネルMOSFETとがオンして、負荷容量を短絡するように構成してあることを特徴とする。
前記PチャンネルMOSFET及びNチャンネルMOSFETのゲート端子に絶縁素子を接続して前記PチャンネルMOSFET及びNチャンネルMOSFETを駆動するように構成してあることを特徴とする。
また、前記絶縁素子として磁気カプラを用いていることを特徴とする。
さらに、前記磁気カプラの二次側の電源としてツェナーダイオードを用いていることを特徴とする。
また、前記絶縁素子として磁気カプラを用いていることを特徴とする。
さらに、前記磁気カプラの二次側の電源としてツェナーダイオードを用いていることを特徴とする。
前記絶縁素子の一次側にEORゲート回路を接続し、このEORゲート回路を用いて、前記PチャンネルMOSFET及びNチャンネルMOSFETのオンのタイミングを図るように構成してあることを特徴とする。
本発明によれば、上記構成により、高圧オペアンプを使用せずに、シンプルな回路構成で低コスト化が図れる上、セトリングタイムの高速化を図ることが可能である。また、従来の発明と異なり、PチャンネルMOSFETとNチャンネルMOSFETをそれぞれ2つ設け、これらを交互に設けたことにより、消費電流を抑えながらセトリングタイムの高速化を図ることができる。
さらに、絶縁素子特に磁気カプラとツェナーダイオードを用いてMOSFETを駆動することにより、補助電源ノイズを電極に伝えることを防ぐことができる。また、フィードバック制御をする必要がなく、さらに負荷容量をMOSFETで放電することにより、さらに、セトリングタイムの高速化を図ることが可能である。
発明を実施するための最良の形態に係る回路図を図1に示す。この実施形態に係るブランキング回路は、一次−二次間を4つの磁気カプラUP,MN,MP,DNで絶縁し、一次側から二次側へ電力を供給する。磁気カプラUP,MN,MP,DNで絶縁された一次側は、4つのEOR回路IC1〜IC4で構成したEORゲート回路を設けてある。なお、本発明においては、一次・二次間に設けた絶縁素子として磁気カプラが最適であるが、必ずしも限定せず、例えば、フォトカプラやトランスであってもよい。具体的には、入力源INは2つのEOR回路IC1,IC2の入力端子に接続してある。第一のEOR回路IC1,IC2の一方の入力端子は入力源INと直接接続し、他方の入力端子はコンデンサC11,C12を介して接続してある。また、第一のEOR回路IC1の他方の入力端子は正の電圧源VCCと接続し、第二のEOR回路IC2の他方の入力端子は負の電圧源VCCと接続してある。
第一のEOR回路IC1の出力端子は第二の磁気カプラMNの一次側入力端子に接続してあるとともに、第四のEOR回路IC4を介して第三の磁気カプラDNの一次側入力端子に接続してある。また、第四のEOR回路IC4の他方の入力端子は電圧源VCCに接続してある。第二のEOR回路IC2の出力端子は第四の磁気カプラDNの一次側入力端子に接続してあるとともに、第三のEOR回路IC3を介して第一の磁気カプラUPの一次側入力端子に接続してある。また、第三のEOR回路IC3の他方の入力端子は電圧源VCCに接続してある。
4つの磁気カプラUP,MN,MP,DNの二次側電源端子間にそれぞれツェナーダイオードDZ1〜DZ4を接続してあり、これら4つのツェナーダイオードDZ1〜DZ4を直列に接続してある。これら4つのツェナーダイオードDZ1〜DZ4は4つの磁気カプラUP,MN,MP,DNの二次側の電源の役割をし、一次側から入力された信号を二次側へ出力することができる。磁気カプラUP,MN,MP,DNの二次側出力端子はそれぞれMOSFETQ1〜Q4のゲート端子に接続してある。
4つのMOSFETQ1〜Q4のうち2つはPチャンネルMOSFETで、他の2つはNチャンネルMOSFETである。本実施例においては、MOSFETQ1,Q3がPチャンネルMOSFETであり、MOSFETQ2,Q4がNチャンネルMOSFETである。2つずつ設けたPチャンネルMOSFETQ1,Q3とNチャンネルMOSFETQ2,Q4を交互に設け、隣合うMOSFETQ1〜Q4のソースとドレインとを接続してある。なお、本発明においては、PチャンネルMOSFETとNチャンネルMOSFETとが交互に接続してあればよい。
第一のPチャンネルMOSFETQ1と第一のNチャンネルMOSFETQ2との接続点、及び、第二のPチャンネルMOSFETQ3と第二のNチャンネルMOSFETQ4との接続点とを電極OUTに接続し、第一のNチャンネルMOSFETQ2と第二のPチャンネルMOSFETQ3との接続点を接地GNDしてある。
第一のPチャンネルMOSFETQ1のソースと第一のNチャンネルMOSFETQ2のソースとの間にコンデンサC1を並列に接続するとともに、これらと並列に電流源+Vsを接続してある。また、第二のPチャンネルMOSFETQ3のソースと第二のNチャンネルMOSFETQ4のソースとの間にも同様に、コンデンサC2と電流源−Vsを接続してある。2つのコンデンサC1,C2の接続点並びに2つの電流源+Vs,−Vsの接続点を接地してある。なお、2つのコンデンサC1,C2は4つのMOSFETQ1〜Q4の電位を安定させるために設けてある。
図2に示すように、第一のPチャンネルMOSFETQ1と第二のNチャンネルMOSFETQ4とがオンする場合に、第二のPチャンネルMOSFETQ3と第一のNチャンネルMOSFETQ2とがオフし、第一のPチャンネルMOSFETQ1と第二のNチャンネルMOSFETQ4とがオフした場合に、デッドタイム経過後に第二のPチャンネルMOSFETQ3と第一のNチャンネルMOSFETQ2とがオンして、負荷容量を短絡するように構成してある。
本実施形態に係るブランキング回路は以上のように構成してあり、以下のように作用する。なお、図2にこの実施例における動作波形図を示してある。入力源INから一定の周波数のパルス信号が出力される。先ず、入力源INから第一のEOR回路IC1へロー信号を入力する。また、正の電圧源VCCからのハイ信号を入力する。その結果、第一のEOR回路IC1はハイ信号を出力する。EOR回路IC1の出力信号と第二の磁気カプラMNの出力信号は同じ信号であるため、第一のEOR回路IC1がハイ信号を出力すると、第二の磁気カプラMNの出力信号もハイ信号となる。
第一のEOR回路IC1の出力端子は第四のEOR回路IC4の一方端に接続し、第四のEOR回路IC4の他方端には常にハイ信号を出力する電圧源VCCを接続してあるため、第四のEOR回路IC4の一方端にハイ信号を入力し、ロー信号を出力する。この信号は第三の磁気カプラMPの出力信号と同じ信号であるため、第四のEOR回路IC4がロー信号を出力すると、第三の磁気カプラMPも出力信号もロー信号となる。
続いて、入力源INから第一のEOR回路IC1へハイ信号を入力する。正の電圧源VCCからはハイ信号を入力するため、第一のEOR回路IC1はロー信号を出力する。EOR回路IC1の出力信号と第二の磁気カプラMNの出力信号は同じ信号であるため、第一のEOR回路IC1がロー信号を出力すると、第二の磁気カプラMNの出力信号もロー信号となる。
一方、第四のEOR回路IC4の一方端にロー信号を入力する。第四のEOR回路IC4にロー信号とハイ信号を入力することになるため、第四のEOR回路IC4並びに第三の磁気カプラMPの出力信号はハイ信号となる。
続いて、入力源INから第一のEOR回路IC1へ再びロー信号を入力する。この場合、コンデンサC11が放電を始めるため、第一のEOR回路IC1の他方端からロー信号を入力する。その結果、第一のEOR回路IC1はロー信号を出力し続ける。第一のEOR回路IC1の出力信号と第二の磁気カプラMNの出力信号は同じ信号であるため、第一のEOR回路IC1がロー信号を出力すると、第二の磁気カプラMNの出力信号もロー信号となる。放電が終わると、再び、電圧源VCCからハイ信号を入力するため、第一のEOR回路IC1の出力信号並びに第二の磁気カプラMNの出力信号はハイ信号となる。
一方、第四のEOR回路IC4の一方端にロー信号を入力する。第四のEOR回路IC4にロー信号とハイ信号を入力することになるため、第四のEOR回路IC並びに第三の磁気カプラMPの出力信号はハイ信号である。放電が終わると、再び第一のEOR回路IC1の出力信号はハイ信号となり、第四のEOR回路IC4の出力信号並びに第三の磁気カプラMPの出力信号はロー信号となる。
一方、入力源INから第二のEOR回路IC2へロー信号を入力する。また、負の電圧源VCCからのロー信号を入力する。その結果、第二のEOR回路IC2はロー信号を出力する。EOR回路IC2の出力信号と第四の磁気カプラDNの出力信号は同じ信号であるため、第二のEOR回路IC2がロー信号を出力すると、第四の磁気カプラDNの出力信号もロー信号となる。
第二のEOR回路IC2の出力端子は第三のEOR回路IC3の一方端に接続し、第三のEOR回路IC3の他方端には常にハイ信号を出力する電圧源VCCを接続してあるため、第三のEOR回路IC3の一方端にロー信号を入力し、ハイ信号を出力する。この信号は第一の磁気カプラUPの出力信号と同じ信号であるため、第三のEOR回路IC3がハイ信号を出力すると、第一の磁気カプラUPも出力信号もハイ信号となる。
続いて、入力源INから第二のEOR回路IC2へハイ信号を入力する。この場合、コンデンサC11が放電を始めるため、第二のEOR回路IC1の他方端からハイ信号を入力する。その結果、第二のEOR回路IC2はロー信号を出力し続ける。第二のEOR回路IC2の出力信号と第四の磁気カプラDNの出力信号は同じ信号であるため、第二のEOR回路IC2がロー信号を出力すると、第四の磁気カプラDNの出力信号もロー信号となる。放電が終わると、再び電圧源VCCからロー信号を入力するため、第二のEOR回路IC2の出力信号並びに第四の磁気カプラDNの出力信号はハイ信号となる。
一方、第三のEOR回路IC3の一方端にロー信号を入力する。第三のEOR回路IC3にロー信号とハイ信号を入力することになるため、第三のEOR回路IC並びに第一の磁気カプラUPの出力信号はハイ信号である。放電が終わると、再び第二のEOR回路IC2の出力信号はハイ信号となり、第三のEOR回路IC3の出力信号並びに第一の磁気カプラUPの出力信号はロー信号となる。
続いて、入力源INから第二のEOR回路IC2へ再びロー信号を入力する。負の電圧源VCCからはロー信号を入力するため、第二のEOR回路IC2はロー信号を出力し続ける。第二のEOR回路IC2の出力信号と第四の磁気カプラDNの出力信号は同じ信号であるため、第二のEOR回路IC2がロー信号を出力すると、第四の磁気カプラDNの出力信号もロー信号となる。
一方、第三のEOR回路IC3の一方端にロー信号を入力する。第三のEOR回路IC3にロー信号とハイ信号を入力することになるため、第三のEOR回路IC3並びに第一の磁気カプラUPの出力信号はハイ信号となる。
以上のように4つの磁気カプラUP,MN,MP,DNの一次側に信号が出力される。この信号は二次側にそのまま出力され、4つの磁気カプラUP,MN,MP,DNから出力されたハイ信号は、2つのPチャンネルMOSFETQ1,Q3ではオフ信号に、2つのNチャンネルMOSFETQ2,Q4ではオン信号になる。また、4つの磁気カプラUP,MN,MP,DNから出力されたロー信号は、2つのPチャンネルMOSFETQ1,Q3ではオン信号に、2つのNチャンネルMOSFETQ2,Q4ではオフ信号になる。
従って、入力源INからロー信号が入力されると、第一のPチャンネルMOSFETQ1と第二のNチャンネルMOSFETQ4はオフとなり、第一のNチャンネルMOSFETQ2と第二のPチャンネルMOSFETQ3はオンとなる。これにより、電流は接地部分に流れ、負荷容量を短絡することとなる。これにより、描画ビームは曲げられずに、試料に照射する。
入力源INからハイ信号が入力されると、第一のNチャンネルMOSFETQ2と第二のPチャンネルMOSFETQ3はオフとなる。一方、第一のPチャンネルMOSFETQ1と第二のNチャンネルMOSFETQ4はオフの状態が一定期間続きデッドタイムが発生する。その後、第一のNチャンネルMOSFETQ2と第二のPチャンネルMOSFETQ3はオフが続くが、第一のPチャンネルMOSFETQ1と第二のNチャンネルMOSFETQ4はオンとなる。このとき、2つの電流源+Vs,−Vsから2つのMOSFETQ1,Q4を経由して電極OUTに電力が供給され、描画ビームが曲がり、試料から外れた位置に照射することとなる。
入力源INから再びロー信号が入力されると、第一のPチャンネルMOSFETQ1と第二のNチャンネルMOSFETQ4はオフとなる。一方、第一のNチャンネルMOSFETQ2と第二のPチャンネルMOSFETQ3はオフの状態が一定期間続きデッドタイムが発生する。その後、第一のPチャンネルMOSFETQ1と第二のNチャンネルMOSFETQ4はオフが続くが、第一のNチャンネルMOSFETQ2と第二のPチャンネルMOSFETQ3はオンとなり、負荷容量を短絡することとなる。これにより、描画ビームは曲げられずに、試料に照射する。
本実施例は、以上の動作を繰り返すことにより、高圧オペアンプを使用せずに、シンプルな回路構成で低コスト化が図れる上、セトリングタイムの高速化を図ることが可能である上、PチャンネルMOSFETとNチャンネルMOSFETをそれぞれ2つ設け、これらを交互に設けたことにより、消費電流を抑えながらセトリングタイムの高速化を図ることができる。さらに、絶縁素子特に磁気カプラとツェナーダイオードを用いてMOSFETを駆動することにより、補助電源ノイズを電極に伝えることを防ぐことができる。また、フィードバック制御をする必要がなく、さらに負荷容量をMOSFETで放電することにより、さらに、セトリングタイムの高速化を図ることができる。
なお、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載されている内容が本発明の技術的範囲に属する。
本発明によれば、上記構成により、高圧オペアンプを使用せずに、シンプルな回路構成で低コスト化が図れる上、セトリングタイムの高速化を図ることが可能である。また、従来の発明と異なり、PチャンネルMOSFETとNチャンネルMOSFETをそれぞれ2つ設け、これらを交互に設けたことにより、消費電流を抑えながらセトリングタイムの高速化を図ることができる。さらに、絶縁素子特に磁気カプラとツェナーダイオードを用いてMOSFETを駆動することにより、補助電源ノイズを電極に伝えることを防ぐことができる。また、フィードバック制御をする必要がなく、さらに負荷容量をMOSFETで放電することにより、さらに、セトリングタイムの高速化を図ることが可能であり、産業上利用可能である。
IN 入力源
UP,MN,MP,DN 磁気カプラ
VCC 電圧源
IC1〜IC4 EOR回路
C1,C2,C11,C12 コンデンサ
DZ1〜DZ4 ツェナーダイオード
Q1,Q3,Q11,Q13 PチャンネルMOSFET
Q2,Q4,Q12,Q14 NチャンネルMOSFET
+V,+Vs,−Vs 電流源
OUT 電極
UP,MN,MP,DN 磁気カプラ
VCC 電圧源
IC1〜IC4 EOR回路
C1,C2,C11,C12 コンデンサ
DZ1〜DZ4 ツェナーダイオード
Q1,Q3,Q11,Q13 PチャンネルMOSFET
Q2,Q4,Q12,Q14 NチャンネルMOSFET
+V,+Vs,−Vs 電流源
OUT 電極
Claims (5)
- PチャンネルMOSFETとNチャンネルMOSFETをそれぞれ2つ設け、これらを交互に設け、隣合う前記MOSFETのソースとドレインとを接続し、第一の前記PチャンネルMOSFETと第一の前記NチャンネルMOSFETとの接続点、及び、第二の前記PチャンネルMOSFETと第二の前記NチャンネルMOSFETとの接続点とを電極に接続してあり、前記第一のPチャンネルMOSFETと前記第二のNチャンネルMOSFETとがオンする場合に、前記第二のPチャンネルMOSFETと前記第一のNチャンネルMOSFETとがオフし、前記第一のPチャンネルMOSFETと前記第二のNチャンネルMOSFETとがオフした場合に、デッドタイム経過後に前記第二のPチャンネルMOSFETと前記第一のNチャンネルMOSFETとがオンして、負荷容量を短絡するように構成してあることを特徴とするブランキング回路。
- 前記PチャンネルMOSFET及びNチャンネルMOSFETのゲート端子に絶縁素子を接続して前記PチャンネルMOSFET及びNチャンネルMOSFETを駆動するように構成してあることを特徴とする請求項1記載のブランキング回路。
- 前記絶縁素子として磁気カプラを用いていることを特徴とする請求項2記載のブランキング回路。
- 前記磁気カプラの二次側の電源としてツェナーダイオードを用いていることを特徴とする請求項3記載のブランキング回路。
- 前記絶縁素子の一次側にEORゲート回路を接続し、このEORゲート回路を用いて、前記PチャンネルMOSFET及びNチャンネルMOSFETのオンのタイミングを図るように構成してあることを特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載のブランキング回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007202749A JP2009038706A (ja) | 2007-08-03 | 2007-08-03 | ブランキング回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007202749A JP2009038706A (ja) | 2007-08-03 | 2007-08-03 | ブランキング回路 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009038706A true JP2009038706A (ja) | 2009-02-19 |
Family
ID=40440228
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007202749A Pending JP2009038706A (ja) | 2007-08-03 | 2007-08-03 | ブランキング回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009038706A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011165667A (ja) * | 2010-02-12 | 2011-08-25 | Carl Zeiss Nts Gmbh | 粒子ビームシステム |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5710237A (en) * | 1980-06-23 | 1982-01-19 | Toshiba Corp | Electron beam exposing apparatus |
JPS5922325A (ja) * | 1982-07-29 | 1984-02-04 | Toshiba Corp | 電子ビ−ム描画装置 |
JPS61147524A (ja) * | 1984-12-21 | 1986-07-05 | Toshiba Corp | 電子ビ−ム露光装置のブランキング回路 |
JPH11133368A (ja) * | 1997-10-30 | 1999-05-21 | Minolta Co Ltd | 固体走査型光書込み装置 |
JPH11338401A (ja) * | 1998-05-28 | 1999-12-10 | Denso Corp | マトリクス型表示装置の駆動回路 |
-
2007
- 2007-08-03 JP JP2007202749A patent/JP2009038706A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5710237A (en) * | 1980-06-23 | 1982-01-19 | Toshiba Corp | Electron beam exposing apparatus |
JPS5922325A (ja) * | 1982-07-29 | 1984-02-04 | Toshiba Corp | 電子ビ−ム描画装置 |
JPS61147524A (ja) * | 1984-12-21 | 1986-07-05 | Toshiba Corp | 電子ビ−ム露光装置のブランキング回路 |
JPH11133368A (ja) * | 1997-10-30 | 1999-05-21 | Minolta Co Ltd | 固体走査型光書込み装置 |
JPH11338401A (ja) * | 1998-05-28 | 1999-12-10 | Denso Corp | マトリクス型表示装置の駆動回路 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011165667A (ja) * | 2010-02-12 | 2011-08-25 | Carl Zeiss Nts Gmbh | 粒子ビームシステム |
EP2360712A3 (en) * | 2010-02-12 | 2017-01-04 | Carl Zeiss NTS GmbH | Particle beam system |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007166444A (ja) | 過電流検出回路及びスイッチング回路 | |
KR20140031764A (ko) | 레벨 쉬프트 디바이스 | |
CN104135237B (zh) | 栅极驱动电路 | |
JP2007124574A (ja) | D級増幅器およびそれを用いた赤外線データ受信装置 | |
JP3833199B2 (ja) | 相補信号発生回路 | |
KR100535346B1 (ko) | 반도체 집적회로장치 | |
JP2012147552A (ja) | Dc−dcコンバータ | |
US7466168B1 (en) | Floating gate drive circuits | |
US20090212862A1 (en) | Op-amp circuit and op-amp circuit driving method | |
US9312848B2 (en) | Glitch suppression in an amplifier | |
JP4953968B2 (ja) | ブランキング回路 | |
JP2009038706A (ja) | ブランキング回路 | |
JP4253318B2 (ja) | スイッチング手段駆動回路、スイッチング手段の駆動方法、電源装置、及びスイッチング回路 | |
JP2014150654A (ja) | ゲート駆動回路 | |
US20020005748A1 (en) | H-bridge driver | |
JP2011223711A (ja) | 電流検出回路および電動パワーステアリング用制御装置 | |
JP4458353B2 (ja) | ハイサイド駆動回路 | |
US7564673B2 (en) | Control circuit for converters | |
JP5369987B2 (ja) | ゲート駆動回路 | |
JP2010212888A (ja) | 半導体素子の駆動装置 | |
JP2012010448A (ja) | Dc−dcコンバータ | |
JP2010183241A (ja) | Btl回路 | |
JP2002315310A (ja) | Dc/dcコンバータおよびそのノイズ低減方法 | |
JPH11205109A (ja) | ドライブ回路 | |
EP3082310B1 (en) | Driving module and driving method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120626 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120821 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120911 |