JP2009038314A

JP2009038314A - 圧電装置

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Publication number: JP2009038314A
Application number: JP2007203506A
Authority: JP
Inventors: Kazuo Mochizuki; 一夫望月; Kazushi Tatemoto; 一志立本
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2007-08-03
Filing date: 2007-08-03
Publication date: 2009-02-19
Anticipated expiration: 2027-08-03
Also published as: JP5205852B2

Abstract

【課題】変位量を十分に確保できる圧電装置を提供する。
【解決手段】圧電装置１では、積層体２の積層方向に直交する方向に配列されたアクチュエータ部１１，１１間、及びアクチュエータ部１１の配列端に存在する非アクチュエータ部１２にスリット１８が設けられ、アクチュエータ部１１の撓み変位に連動して非アクチュエータ部１２が下方に変位する。このため、非アクチュエータ部１２による撓み変位の拘束力が緩和され、撓み変位の変位量を十分に確保できる。スリット１８は、ＺｒＯ２ペーストパターンをグリーンシートの所定の領域に形成し、グリーンシート間の焼結反応を妨げることによって、積層体２の焼結の際に同時形成される。したがって、加工による圧電体４へのダメージもなく、製造工程の複雑化も回避できる。
【選択図】図１

Description

本発明は、圧電装置に関する。

この種の分野に関連する技術として、例えば特許文献１に記載の圧電素子がある。このような圧電素子は、一般に、圧電体と、内部電極を交互に積層してなる積層体と、積層体の側面に設けられた外部電極とによって構成される。外部電極に電圧が印加されると、圧電体において異極の内部電極同士が重なり合う部分（活性部）を含むアクチュエータ部が変形し、電圧印加量に応じた変位が得られるようになっている。
特開２００６−１７３３４７号公報

近年では、上述したアクチュエータ部を積層体の所定の方向に沿って複数配列し、複数のアクチュエータ部を協働させることによって、変位量の向上や駆動面積の確保を図った圧電装置が開発されている。このような圧電装置において、複数のアクチュエータ部間には、変形に直接寄与しない圧電体が存在する。また、アクチュエータ部の変形の方向が互いに反転する場合もある。そのため、各アクチュエータ部の変形が拘束され、装置全体としての変位量が制限される場合がある。

変位量の制限を回避するため、アクチュエータ部間に溝などの応力緩和部を形成する構造を採ることが考えられる。しかしながら、機械的な手法では、小型化が進む圧電装置に対して十分な加工精度が得られず、アクチュエータ部間に所望の応力緩和部を形成することは、実質的に困難であった。

本発明は、上記課題の解決のためになされたものであり、変位量を十分に確保できる圧電装置を提供することを目的とする。

上記課題の解決のため、本発明に係る圧電装置は、複数の圧電体と、第１電極及び第２電極を含む複数の内部電極とを交互に積層し焼結してなる積層体を備え、積層体内において、第１電極と第２電極とが積層体の積層方向に重なり合う活性部を含んで構成される複数のアクチュエータ部が配列された圧電装置であって、アクチュエータ部間には、積層体の焼結の際に同時形成される応力緩和部が設けられていることを特徴としている。

この圧電装置では、アクチュエータ部間に設けた応力緩和部により、アクチュエータ部の変形の際、当該変形に直接寄与しない圧電体からアクチュエータ部にかかる拘束力を緩和することができる。これにより、アクチュエータ部の変位量を十分に確保できる。また、応力緩和部は、積層体の焼結の際に同時形成される。したがって、機械的な手法によって応力緩和部を形成する場合と異なり、製造工程を複雑化させることなく所望の応力緩和部が得られる。

また、応力緩和部は、圧電体の前駆体である複数のグリーンシートにおいて、互いに対面する所定の領域間の焼結反応を妨げることによって形成されたスリットであることが好ましい。この場合、アクチュエータ部の変形に直接寄与しない圧電体が、アクチュエータ部の変形に伴って変形可能であり、より確実にアクチュエータ部にかかる拘束力を緩和することができる。

また、応力緩和部は、ＺｒＯ_２、ＭｇＯ、Ｎｂ_２Ｏ_５、Ｔａ_２Ｏ_５、ＣｅＯ_２、Ｙ_２Ｏの少なくとも一種を含む材料を所定の領域に塗布したグリーンシートを焼結して形成されたことが好ましい。かかる材料を用いることにより、グリーンシートの焼結時において、隣り合うグリーンシートの所定の領域間での焼結反応が十分に妨げられ、応力緩和部としてのスリットがより確実に形成される。

アクチュエータ部は、積層体の積層方向に直交する方向に配列され、アクチュエータ部間及びアクチュエータ部の配列端には、内部電極が存在しない非アクチュエータ部がそれぞれ設けられ、応力緩和部は、非アクチュエータ部に設けられていることが好ましい。この場合、アクチュエータ部が積層体の積層方向に直交して配列されてなる圧電装置において、各アクチュエータ部の変位量を十分に確保できる。また、アクチュエータ部の変形によって生じる応力が隣接する他のアクチュエータ部に伝達しにくくなるため、アクチュエータ部間のクロストークも低減できる。

応力緩和部は、積層体の表面に露出しないように非アクチュエータ部に設けられていることが好ましい。この場合、アクチュエータ部にかかる拘束力を緩和しつつ、積層体の強度を担保できる。

また、アクチュエータ部は、積層体の積層方向に配列され、アクチュエータ部間には、圧電体がそれぞれ設けられ、応力緩和部は、圧電体に設けられていることが好ましい。この場合、アクチュエータ部が積層体の積層方向に配列されてなる圧電装置において、各アクチュエータ部の変位量を十分に確保できる。

また、アクチュエータ部は、積層体の積層方向に撓み変位を発生させることが好ましい。アクチュエータ部が撓み変位を発生させる場合、変形に直接寄与しない圧電体による拘束力を受け易い。したがって、このようなアクチュエータ部間に応力緩和部を適用することにより、好適な変位量を確保できる。

本発明に係る圧電装置によれば、変位量を十分に確保できる。

以下、図面を参照しながら、本発明に係る圧電装置の好適な実施形態について詳細に説明する。

［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態に係る圧電装置の層構造を示す縦断面図である。また、図２は、図１に示した圧電装置の平面図である。図１及び図２に示すように、圧電装置１は、扁平な略直方体形状をなす積層体２と、積層体２の底面に設けられた金属製の矩形の脚部３とを備えて構成されている。圧電装置１は、例えばインクジェットプリンタにおいて、所定の信号に応じてノズルからインク滴を打ち出すマイクロポンプとして用いられるものである。

積層体２は、複数の圧電体４と、複数の内部電極５Ａ，５Ｂとを所定の順序で積層し、これを焼結することによって形成されている。積層体２の寸法は、例えば幅１．２ｍｍ×奥行き１．５ｍｍ×高さ０．２ｍｍとなっている。

圧電体４は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）を主成分とする圧電セラミック材料によって形成されている。圧電体４の厚さは、一層当たり８０μｍ〜１００μｍ程度となっている。また、各圧電体４は、焼結によって境界が視認できない程度に一体化されている。

ＰＺＴの組成としては、例えば下記のものが用いられる。
Ｐｂ０．９９９［（Ｚｎ１／３Ｎｂ２／３）０．１１Ｔｉ０．４２５Ｚｒ０．４６５］Ｏ_３＋０．２ｗｔ％Ｆｅ_２Ｏ_３＋０．２ｗｔ％Ｓｂ_２Ｏ_３

また、ＰＺＴの粉体特性としては、例えばＢＥＴ比表面積が約２．５ｍ２／ｇ、平均粒子径が約０．６μｍのものが用いられる。このようなＰＺＴの焼結温度は、９５０℃程度である。なお、ＰＺＴ系材料の融点は、１３００℃程度である。

内部電極５Ａ，５Ｂは、例えばＡｇ、Ｐｄを主成分とする導電材料によって形成されている。内部電極５Ａの幅寸法は、内部電極５Ｂの幅寸法よりも大きくなっており、内部電極５Ａ，５Ｂは、互いの中心を合わせた状態で、圧電体４を挟んで交互に一対ずつ積層されている。これにより、内部電極５Ａ，５Ｂは、積層体２の積層方向に重なり合うこととなる。内部電極５Ａ同士、及び内部電極５Ｂ同士は、図示しない貫通電極を介して外部端子にそれぞれ接続可能となっている。

積層体２において、内部電極５Ａ，５Ｂが積層方向に重なり合っている部分は、内部電極５Ａ，５Ｂに電圧が印加されたときに圧電体４が変位する活性部Ｐ１となっている。一方、内部電極５Ａ，５Ｂが積層方向に重なり合っていない部分（活性部Ｐ１の両側部分）は、内部電極５Ａ，５Ｂに電圧が印加されたときに圧電体４が変位しない不活性部Ｑ１となっている。

このような活性部Ｐ１と不活性部Ｑ１の協働により、圧電装置１のアクチュエータ部１１が構成される。アクチュエータ部１１では、電圧印加時において、活性部Ｐ１の圧電体４が面内方向に縮むように変位し、全体として下方に向かう撓み変位が発生する（図４参照）。積層体２では、かかるアクチュエータ部１１が所定の方向に沿って３つ配列されている。

また、積層体２において、アクチュエータ部１１，１１間、及び積層体２のアクチュエータ部１１の配列端には、圧電体４のみが積層されることによって構成された非アクチュエータ部１２がそれぞれ設けられている。非アクチュエータ部１２には、積層方向から見て内部電極５Ａ，５Ｂが存在していない。したがって、非アクチュエータ部１２は、電圧印加時における撓み変位の発生には直接寄与しない部分となっている。

非アクチュエータ部１２には、スリット（応力緩和部）Ｓがそれぞれ設けられている。スリット１８は、圧電体４の前駆体である複数のグリーンシート１４（図３参照）において、互いに対面する所定の領域間の焼結反応を妨げることによって、積層体２の焼結の際に同時形成される。スリット１８の幅は、例えば脚部３の幅とほぼ等幅になっている。また、スリット１８の縁部は、図２に示すように、積層体２の側面よりも所定の幅だけ内側に位置している。すなわち、スリット１８は、積層体２の表面には露出せず、積層体２の内部にのみ存在した状態となっている。

続いて、上述した圧電装置１の製造方法について説明する。

図３は、圧電装置１の製造の際に作製されるグリーン積層体を示す分解斜視図である。同図に示すように、まず、ＰＺＴを主成分とするセラミック粉体に有機バインダ樹脂及び有機溶剤等を混合してなるグリーンシート用ペーストを準備する。次に、例えばドクターブレード法を用いることにより、キャリアフィルム（図示しない）上にグリーンシート用ペーストを塗布し、圧電体４を形成するための複数枚のグリーンシート１４を形成する。

また、例えばＡｇ：Ｐｄ＝８５：１５の比率で構成された導電材料に有機バインダ樹脂及び有機溶剤等を混合してなる電極パターン用ペーストを準備する。そして、例えばスクリーン印刷を用いることにより、電極パターン用ペーストをグリーンシート１４上に印刷し、内部電極５Ａ，５Ｂに相当する電極パターン１５Ａ，１５Ｂを別々のグリーンシート１４上にそれぞれ形成する。

さらに、例えばＺｒＯ_２を含むセラミック粉体に有機バインダ樹脂及び有機溶剤等を混合してなるＺｒＯ_２ペーストを準備する。そして、例えばスクリーンを用いることにより、電極パターン１５Ｂが印刷された一のグリーンシート１４において、電極パターン１５Ｂ，１５Ｂ間の領域で、かつ上下のグリーンシート１４における電極パターン１５Ａ，１５Ｂと重なり合わない領域にＺｒＯ_２ペーストパターン１６を形成する。

このとき、ＺｒＯ_２ペーストパターン１６の縁部は、グリーンシート１４の端、及び隣接する電極パターン１５Ｂとは接触しないように形成する。なお、ペーストパターンの形成には、上述したＺｒＯ_２の他、ＭｇＯ、Ｎｂ_２Ｏ_５、Ｔａ_２Ｏ_５、ＣｅＯ_２、Ｙ_２Ｏの少なくとも一種を含む材料を用いることができる。

電極パターン１５Ａ，１５Ｂ及びＺｒＯ_２ペーストパターン１６の形成の後、電極パターン１５Ａが形成されたグリーンシート１４、電極パターン１５Ｂが形成されたグリーンシート１４、及び電極パターン１５ＢとＺｒＯ_２ペーストパターン１６とが形成されたグリーンシート１４を所定の順序で積層する。また、パターン形成の無いグリーンシート１４を保護層として最外層に積層する。これにより、グリーン積層体１７が形成される。

次に、グリーン積層体１７をセッターに載置し、約４００℃の温度下で１０時間程度の脱バインダ処理を行う。そして、脱バインダ後のグリーン積層体１７をこう鉢炉内に入れ、例えば９５０℃〜１０００℃の温度下で２時間程度の焼成を行う。これにより、グリーンシート１４、電極パターン１５Ａ，１５Ｂ、及びＺｒＯ_２ペーストパターン１６がそれぞれ焼結され、焼結体としての積層体２が得られる。

ところで、上述したＺｒＯ_２ペーストパターン１６は、グリーンシート１４とは異なる組成系の材料で形成されている。そのため、グリーンシート１４とＺｒＯ_２ペーストパターン１６とが接触する領域では、焼結反応が妨げられ、上下のグリーンシート１４，１４が一体化しない。したがって、グリーン積層体１７の焼結の際、ＺｒＯ_２ペーストパターン１６が介在する領域がそのままスリット１８となり、当該部分において、上下のグリーンシート１４，１４が互いに分離された状態となる。

この後、圧電体４の厚み方向の電界強度が約２ｋＶ／ｍｍとなるように、例えば１２００℃の温度下で３分間程度の分極処理を行い、スリット１８の位置に対応させて積層体２の底面に脚部３をそれぞれ接着固定すると、図１及び図２に示した圧電装置１が完成する。

以上説明したように、圧電装置１では、積層体２の積層方向に直交する方向に配列されたアクチュエータ部１１，１１間、及びアクチュエータ部１１の配列端に存在する非アクチュエータ部１２にスリット１８が設けられている。ここで、圧電装置１では、外部から電圧が印加されると、アクチュエータ部１１において活性部Ｐ１の圧電体４が面内方向に縮むように変位し、図４に示すように、全体として下方に向かう撓み変位が発生する。

スリット１８が形成されていない場合、撓み変位の発生に直接寄与しない非アクチュエータ部１２に拘束され、アクチュエータ部１１で発生する撓み変位の変位量が制限されてしまうことが考えられる。これに対し、圧電装置１では、非アクチュエータ部１２に設けたスリット１８により、アクチュエータ部１１の撓み変位に連動して非アクチュエータ部１２が下方に変位するようになっている。このため、非アクチュエータ部１２による撓み変位の拘束力が緩和され、アクチュエータ部１１による撓み変位の変位量を十分に確保することができる。

また、スリット１８の形成によって非アクチュエータ部１２が変位することで、アクチュエータ部１１が撓み変位する際に圧電体４に生じる応力が非アクチュエータ部１２において緩和される。この結果、隣接する他のアクチュエータ部１１への応力の伝達が抑制され、アクチュエータ部１１を個々に駆動させるような場合であっても、アクチュエータ部１１，１１間のクロストークを低減できる。

このようなスリット１８は、例えばＺｒＯ_２ペーストパターン１６をグリーンシート１４の所定の領域に形成し、グリーンシート１４，１４間の焼結反応を妨げることによって、積層体２の焼結の際に同時形成される。したがって、機械的な手法によって非アクチュエータ部１２に溝などの応力緩和部を形成する場合とは異なり、加工による圧電体４へのダメージもなく、製造工程の複雑化も回避できる。

［第２実施形態］
続いて、本発明の第２実施形態について説明する。図５は、本発明の第２実施形態に係る圧電装置の層構造を示す縦断面図である。

図５に示すように、圧電装置２０は、略直方体形状をなす積層体を備えている。圧電装置２０は、例えば自動車に搭載される内燃機関の燃料噴射装置に用いられるものである。圧電装置２０は、アクチュエータ部２４の配列方向が積層体２１の積層方向に配列されている点で、第１実施形態と異なっている。各構成要素の材料等は、第１実施形態と同様である。

積層体２１は、第１実施形態と同様に、複数の圧電体２２と、複数の内部電極２３Ａ，２３Ｂとを所定の順序で積層し、これを焼結することによって形成されている。内部電極２３Ａの一端は、積層体２１の一方の側面２１ａに露出し、内部電極２３Ａの他端は、積層体２１の他方の側面２１ｂよりも内側に位置している。また、内部電極２３Ｂの一端は、積層体２１の他方の側面２１ｂに露出し、内部電極２３Ｂの他端は、積層体２１の一方の側面２１ａよりも内側に位置している。

内部電極２３Ａ，２３Ｂは、圧電体２２を挟むようにして、内部電極２３Ａ−内部電極２３Ｂ−内部電極２３Ａ、を一つの組として積層され、この内部電極の組と、これに隣接する圧電体２２とが一つのアクチュエータ部２４を構成している。アクチュエータ部２４では、活性部Ｐ２と不活性部Ｑ２との協働により、内部電極２３Ａ，２３Ｂに電圧が印加されたときに撓み変位が発生する。この圧電装置２０では、上下に隣接するアクチュエータ部２４Ａ，２４Ｂにおいて、活性部Ｐ２と不活性部Ｑ２との配置が互いに反転しており、上方に向かう撓み変位と、下方に向かう撓み変位とが交互に発生する（図７参照）。

また、アクチュエータ部２４，２４間に存在する圧電体２２には、スリット（応力緩和部）２５がそれぞれ設けられている。スリット２５は、圧電体２２の前駆体である複数のグリーンシート３１（図６参照）において、互いに対面する所定の領域間の焼結反応を妨げることによって、積層体２１の焼結の際に同時形成される。このスリット２５は、積層体２１において、互い違いに形成されている。

より具体的には、上方に向かう撓み変位を発生させるアクチュエータ部２４Ａと、下方に向かう撓み変位を発生させるアクチュエータ部２４Ｂとの間の圧電体２２には、活性部Ｐ２の位置と対応して延在するスリット２５Ａが形成されており、下方に向かう撓み変位を発生させるアクチュエータ部２４Ｂと、上方に向かう撓み変位を発生させるアクチュエータ部２４Ａとの間の圧電体には、積層体２１の側面２１ａ，２１ｂのそれぞれから中央に向かって延在するスリット２５Ｂが形成されている。

スリット２５Ａは、圧電体２２の中央部分に位置しており、スリット２５Ａの縁部は、積層体２１の側面２１ａ，２１ｂまでは到達していない状態となっている。一方、スリット２５Ｂにおける圧電体２２の中央側の縁部は、積層体２１の積層方向から見てスリット２５Ａと一部重なり合っているが、圧電体２２の中央部分までは到達していない状態となっている。

次に、上述した圧電装置２０の製造方法について説明する。

図６は、圧電装置２０の製造の際に作製されるグリーン積層体を示す分解斜視図である。まず、第１実施形態と同様に、圧電体２２を形成するための複数枚のグリーンシート３１を形成し、内部電極２３Ａ，２３Ｂに相当する電極パターン３２Ａ，３２Ｂを別々のグリーンシート３１上にそれぞれ形成する。また、スリット２５Ａ，２５Ｂに相当するＺｒＯ_２ペーストパターン３３Ａ，３３Ｂを更に別のグリーンシート３１上にそれぞれ形成する。

次に、電極パターン３２Ａが形成されたグリーンシート３１、電極パターン３２Ｂが形成されたグリーンシート３１、ＺｒＯ_２ペーストパターン３３Ａが形成されたグリーンシート３１、及びＺｒＯ_２ペーストパターン３３Ｂが形成されたグリーンシート３１を所定の順序で積層する。また、パターン形成の無いグリーンシート３１を保護層として最外層に積層する。これにより、グリーン積層体３４が形成される。

脱バインダ処理の後、グリーン積層体３４をこう鉢炉内に入れ、例えば９５０℃〜１０００℃の温度下で２時間程度の焼成を行う。これにより、グリーンシート３１、電極パターン３２Ａ，３２Ｂ、及びＺｒＯ_２ペーストパターン３３Ａ，３３Ｂがそれぞれ焼結され、焼結体としての積層体２１が得られる。このとき、ＺｒＯ_２ペーストパターン３３Ａ，３３Ｂが介在する領域がそのままスリット２５Ａ，２５Ｂとなり、当該部分において、上下のグリーンシート３１，３１が互いに分離された状態となる。

この後、第１実施形態と同様の分極処理を行うと、図５に示した圧電装置２０が完成する。

以上説明したように、圧電装置２０では、積層体２１の積層方向に配列されたアクチュエータ部２４，２４間に存在する圧電体２２にスリット２５が設けられている。スリット２５が形成されていない場合、電圧の印加によってアクチュエータ部２４を駆動させる際、上方に撓み変位を発生させるアクチュエータ部２４Ａと、下方に撓み変位を発生させるアクチュエータ部２４Ｂとが互いに拘束し合い、アクチュエータ部２４全体で発生する撓み変位の変位量が制限されてしまうことが考えられる。

これに対し、圧電装置２０では、図７に示すように、スリット２５によってアクチュエータ部２４Ａ，２４Ｂ間の圧電体２２、及びアクチュエータ部２４Ｂ，２４Ａ間の圧電体２２が分離されている分、アクチュエータ２４Ａ，２４Ｂ間の撓み変位の拘束力が緩和される。したがって、アクチュエータ部２４全体での撓み変位の変位量を十分に確保することができる。

このようなスリット２５は、例えばＺｒＯ_２ペーストパターン３３Ａ，３３Ｂをグリーンシート３１の所定の領域に形成し、グリーンシート３１，３１間の焼結反応を妨げることによって、積層体２１の焼結の際に同時形成される。したがって、機械的な手法によって圧電体２２に応力緩和部を形成する場合とは異なり、加工によるダメージもなく、製造工程の複雑化も回避できる。

本発明の第１実施形態に係る圧電装置の層構造を示す縦断面図である。図１に示した圧電装置の平面図である。図１に示した圧電装置の製造の際に作製されるグリーン積層体を示す分解斜視図である。図１に示した圧電装置の駆動の様子を示した縦断面図である。本発明の第２実施形態に係る圧電装置の層構造を示す縦断面図である。図５に示した圧電装置の製造の際に作製されるグリーン積層体を示す分解斜視図である。図５に示した圧電装置の駆動の様子を示した縦断面図である。

符号の説明

１，２０…圧電装置、２，２１…積層体、４，２２…圧電体、５Ａ，５Ｂ，２３Ａ，２３Ｂ…内部電極、１１，２４…アクチュエータ部、１２…非アクチュエータ部、１４，３４…グリーンシート、１８，２５…スリット（応力緩和部）、Ｐ１，Ｐ２…活性部、Ｑ１，Ｑ２…不活性部。

Claims

複数の圧電体と、第１電極及び第２電極を含む複数の内部電極とを交互に積層し焼結してなる積層体を備え、
前記積層体内において、前記第１電極と前記第２電極とが前記積層体の積層方向に重なり合う活性部を含んで構成される複数のアクチュエータ部が配列された圧電装置であって、
前記アクチュエータ部間には、前記積層体の焼結の際に同時形成される応力緩和部が設けられていることを特徴とする圧電装置。
前記応力緩和部は、前記圧電体の前駆体である複数のグリーンシートにおいて、互いに対面する所定の領域間の焼結反応を妨げることによって形成されたスリットであることを特徴とする請求項１記載の圧電装置。
前記応力緩和部は、ＺｒＯ_２、ＭｇＯ、Ｎｂ_２Ｏ_５、Ｔａ_２Ｏ_５、ＣｅＯ_２、Ｙ_２Ｏの少なくとも一種を含む材料を前記所定の領域に塗布した前記グリーンシートを焼結して形成されたことを特徴とする請求項２記載の圧電装置。
前記アクチュエータ部は、前記積層体の積層方向に直交する方向に配列され、
前記アクチュエータ部間及び前記アクチュエータ部の配列端には、前記内部電極が存在しない非アクチュエータ部がそれぞれ設けられ、
前記応力緩和部は、前記非アクチュエータ部に設けられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の圧電装置。
前記応力緩和部は、前記積層体の表面に露出しないように前記非アクチュエータ部に設けられていることを特徴とする請求項４記載の圧電装置。
前記アクチュエータ部は、前記積層体の積層方向に配列され、
前記アクチュエータ部間には、前記圧電体がそれぞれ設けられ、
前記応力緩和部は、前記圧電体に設けられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の圧電装置。
前記アクチュエータ部は、前記積層体の積層方向に撓み変位を発生させることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項記載の圧電装置。