JP2007035805A - 圧電/電歪デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電極1のセル側の端面Sを、電極1を挟持するように隣接する2枚の圧電/電歪層(隣接圧電/電歪層)2のセル側の端面Tよりも、内部側に引っ込んだ位置に配設されるように構成し、かつ、電極1のセル側の端面Sと、隣接圧電/電歪層2、2の電極1に接する側の内表面Vとで形成される電極端面側領域4に、少なくとも電極1のセル側の端面Sを被覆する状態でガラスを含有する絶縁層(ガラス絶縁層)5を配設する。
【選択図】図5
Description
2:圧電/電歪層
4:電極端面側領域
5:ガラス絶縁層
5a:第1のガラス絶縁層
5b:第2のガラス絶縁層
6:緩衝構造部分
10:圧電/電歪素子
20:基板
21:連通孔
30:駆動部
31:側壁
32:天井壁
40:セル
100:圧電/電歪デバイス
S:電極の端面
T:圧電/電歪層(隣接圧電/電歪層)の端面
V:隣接圧電/電歪層の電極に接する側の内表面
d:電極の厚さ
Wg:緩衝構造部分の形成長さ。
Claims (5)
- 連通孔を有する基板と、前記基板上に配設された駆動部とを備え、前記駆動部が、側壁、及び前記側壁とともに前記基板の連通孔から外部に連通するセルを形成するように、隣接する前記側壁の上部間を接続する天井壁から構成されてなり、前記側壁が、膜状の電極と圧電/電歪層とが交互に複数層それぞれ積層された圧電/電歪素子から構成され、前記圧電/電歪素子の電界誘起歪みに基づく伸縮変位により前記セルの容積を変化させることが可能な圧電/電歪デバイスであって、
前記電極の前記セル内壁側の端面が、前記電極を挟持するように隣接する2枚の前記圧電/電歪層(隣接圧電/電歪層)の前記セル内壁側の端面よりも、内部側に引っ込んだ位置に配設されるように構成されてなり、かつ、
前記電極の前記セル内壁側の端面と、前記隣接圧電/電歪層の前記電極に接する側の内表面とで形成される電極端面側領域に、少なくとも前記電極の前記セル内壁側の端面を被覆する状態でガラスを含有する絶縁層(ガラス絶縁層)が配設されてなることを特徴とする圧電/電歪デバイス。 - 前記電極端面側領域を構成する前記隣接圧電/電歪層の前記電極と接する側の内表面が、焼成されたままの状態の表面(焼成面)である請求項1に記載の圧電/電歪デバイス。
- 前記電極端面側領域に配設された前記ガラス絶縁層及び前記電極の端面を含む部分(電極端部)が、前記電極及び前記圧電/電歪層の積層方向に切断された場合、前記ガラス絶縁層の一部である第1のガラス絶縁層、前記電極端部及び前記ガラス絶縁層の他の一部である第2のガラス絶縁層の3層が切断されることになる構造の緩衝構造部分を有してなる請求項1又は2に記載の圧電/電歪デバイス。
- 前記緩衝構造部分が、前記3層のみが切断され、気泡又は空気層が切断されることにはならない構造に形成されてなる請求項3に記載の圧電/電歪デバイス。
- 前記緩衝構造部分の形成長さ(Wg)が、前記電極の厚さ(d)に対して、0<Wg<5dの関係を満たす請求項3又は4に記載の圧電/電歪デバイス。
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