JP2007188948A - 圧電素子及び圧電素子の製造方法。 - Google Patents
圧電素子及び圧電素子の製造方法。 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】
圧電素子2は、圧電体層7と、この圧電体層7の変位を液体対象物に伝えるための変位伝達層6とを有している。変位伝達層6はSiO2を含有している。変位伝達層6に含有されるSiO2は、変位伝達層6の圧電セラミックに固溶せずに粒界に析出して、変位伝達層6の粒子間の隙間を埋めることになる。
【選択図】 図2
Description
Claims (4)
- 圧電体層と、前記圧電体層の変位を伝えるための変位伝達層とを有する圧電素子であって、
前記変位伝達層はSiO2を含有していることを特徴とする圧電素子。 - 前記変位伝達層は、前記SiO2を0.03質量%〜3.00質量%含有していることを特徴とする請求項1記載の圧電素子。
- 前記圧電体層は、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とするセラミックからなり、
前記変位伝達層は、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とするセラミックに前記SiO2を添加してなる材料からなっていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の圧電素子。 - 圧電体層と、前記圧電体層の変位を伝えるための変位伝達層とを有する圧電素子の製造方法であって、
前記圧電体層を形成するための第1圧電体ペーストを用意する工程と、
圧電材料にSiO2を添加してなり、前記変位伝達層を形成するための第2圧電体ペーストを用意する工程と、
前記第1圧電体ペーストを用いて圧電体層用グリーンシートを形成する工程と、
前記第2圧電体ペーストを用いて変位伝達層用グリーンシートを形成する工程と、
前記圧電体層用グリーンシートと前記変位伝達層用グリーンシートとを積層して、グリーン積層体を形成する工程と、
前記グリーン積層体を焼成する工程と
を含むことを特徴とする圧電素子の製造方法。
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2006
- 2006-01-11 JP JP2006003754A patent/JP2007188948A/ja active Pending
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