JP2006344796A - 圧電素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 圧電素子1では、変位層2の他端面2bに変位拘束層3が積層されていると共に、変位拘束層3が有する電極9等、及び変位層2において変位伝達面4とは反対側に位置する電極9等のヤング率が、変位層2において変位伝達面4側に位置する電極5,7,12等のヤング率より高くなっている。これは、電極5,7,12等がAg(ヤング率8.27×1010Pa)を主成分とする導電性材料により形成されているのに対し、電極9等がAg及びPd(ヤング率11.3×1010Pa)を主成分とする導電性材料により形成されているからである。従って、変位層2が変位するに際して、変位伝達面4とは反対側への変位層2の変位を抑制することができ、変位伝達面4側への変位層の変位を大きくすることが可能になる。
【選択図】 図2
Description
Claims (6)
- 圧電体と、前記圧電体を挟んで対向する第1の内部電極とを有し、前記第1の内部電極が対向する方向における一端面を変位伝達面とする変位層を備え、
前記変位層において、前記変位伝達面とは反対側に位置する前記第1の内部電極のヤング率は、前記変位伝達面側に位置する前記第1の内部電極のヤング率より高いことを特徴とする圧電素子。 - 前記第1の内部電極は銀を含んでおり、
銀及びパラジウムの合計質量に対するパラジウムの質量比率は、前記変位層において、前記変位伝達面とは反対側に位置する前記第1の内部電極のほうが、前記変位伝達面側に位置する前記第1の内部電極より高いことを特徴とする請求項1記載の圧電素子。 - 対向する前記第1の内部電極は個別電極及びコモン電極であり、前記個別電極は略同一平面上に複数形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の圧電素子。
- 前記第1の内部電極が対向する方向における前記変位層の他端面には、変位拘束層が積層されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の圧電素子。
- 前記変位拘束層は第2の外部電極を有し、
前記第2の外部電極のヤング率は、前記変位層において、前記変位伝達面側に位置する前記第1の内部電極のヤング率より高いことを特徴とする請求項4記載の圧電素子。 - 圧電体と、前記圧電体を挟んで対向する第1の内部電極とを有し、前記第1の内部電極が対向する方向における一端面を変位伝達面とする変位層と、
第2の内部電極を有し、前記第1の内部電極が対向する方向における前記変位層の他端面に積層された変位拘束層と、を備え、
前記第2の内部電極のヤング率は、前記第1の内部電極のヤング率より高いことを特徴とする圧電素子。
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