JP5704187B2 - 圧電素子 - Google Patents
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- 圧電体と、
前記圧電体の表面に設けられ、前記圧電体を活性化する活性部と、外部配線に接続される接続部とを有し、前記活性部と前記接続部とが一体的に形成された表面電極とを備え、
前記接続部が、前記圧電体に埋まるとともに前記圧電体の側に突出する凸部を有し、
前記表面電極の前記活性部および前記接続部が前記圧電体に埋まっている、圧電素子。 - 前記接続部が、前記圧電体とは反対の側にも突出している、請求項1に記載の圧電素子。
- 圧電体と、
前記圧電体の表面に設けられ、前記圧電体を活性化する活性部と、外部配線に接続される接続部とを有する表面電極と、
を備える圧電素子の製造方法であって、
前記圧電体となるべきグリーンシートの表面に、前記表面電極となるべき電極パターンを形成する電極形成工程と、
前記電極パターンが形成された前記グリーンシートを、その厚さ方向に沿ってプレスするプレス工程と、
前記プレス工程においてプレスされた前記グリーンシートを焼成する工程とを含み、
前記電極形成工程において、前記接続部となる箇所の電極パターンの厚さを、前記活性部となる箇所の電極パターンの厚さよりも厚くし、
前記プレス工程において、前記活性部となる箇所の電極パターンと前記接続部となる箇所の電極パターンとが前記グリーンシートに埋まる、圧電素子の製造方法。 - 前記電極形成工程の際、前記接続部となる箇所の電極パターンの厚さを、パターン形成を複数回繰り返して厚くする、請求項3に記載の圧電素子の製造方法。
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JP2013085638A JP5704187B2 (ja) | 2013-04-16 | 2013-04-16 | 圧電素子 |
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JP2013085638A JP5704187B2 (ja) | 2013-04-16 | 2013-04-16 | 圧電素子 |
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