JP2009030043A - 粘接着剤組成物、粘接着シートおよび半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ベンジル(メタ)アクリレートから導かれる構造単位を20〜95重量%含有するアクリル共重合体(A)と、エポキシ系熱硬化性樹脂(B)と、熱硬化剤(C)とを含有することを特徴とする粘接着剤組成物からなる粘接着剤層が、基材上に形成されてなる粘接着シート。
【選択図】なし
Description
ところで、近年、半導体装置に対する要求物性は、非常に厳しいものとなっている。たとえば、半導体パッケージの品質保証期間の試験では厳しい湿熱環境下におけるパッケージ信頼性が求められる。しかし、半導体チップ自体が薄型化した結果、チップの強度が低下し、厳しい湿熱環境下におけるパッケージ信頼性は十分なものとは言えなくなってきた。
て、例えば特許文献3にはエネルギー線硬化型粘着成分と、エポキシ樹脂と、フェノール系樹脂とから形成されている粘接着層を有する粘着テープが開示されている。
[1]ベンジル(メタ)アクリレートから導かれる構造単位を20〜95重量%含有するアクリル共重合体(A)と、エポキシ系熱硬化性樹脂(B)と、熱硬化剤(C)とを含有する粘接着剤組成物。
に剥離可能に形成されてなる粘接着シート。
[4]上記[3]に記載の粘接着シートの粘接着剤層に半導体ウエハを貼着する工程と、該半導体ウエハをダイシングする工程と、ダイシングされた半導体ウエハを、前記粘接着剤層の少なくとも一部を半導体ウエハに固着残存させて、該粘接着シートの基材から剥離する工程と、剥離された半導体ウエハをダイパッド部上に、該半導体ウエハに固着残存した粘接着剤層を介して熱圧着する工程とを備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。
<粘接着剤組成物>
本発明に係る粘接着剤組成物(以下、単に「粘接着剤組成物」ともいう。)は、ベンジル(メタ)アクリレートから導かれる構造単位を20〜95重量%含有するアクリル共重合体(A)と、エポキシ系熱硬化性樹脂(B)と、熱硬化剤(C)とを含有する。ベンジル(メタ)アクリレートから導かれる構造単位は、下記式(1)で表される。
本発明に係る粘接着剤組成物は、各種物性を改良するために、後述するほかの成分を含んでいてもよい。以下、これら各成分について具体的に説明する。
本発明に係る粘接着剤組成物中のアクリル共重合体(A)は、ベンジル(メタ)アクリレートから導かれる構造単位を20〜95重量%含有する。ベンジル(メタ)アクリレートは疎水性の高いベンジル基を有するため吸湿性が低いので、ベンジル(メタ)アクリレートから導かれる構造単位にはアクリル共重合体全体としての吸湿性を下げる働きがある。また、ベンジル(メタ)アクリレートを共重合させると、アクリル共重合体と本発明の
粘接着剤組成物を構成するほかの成分との混合性が良くなる。
これらは1種単独で、又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。
前記「その他のモノマー」としては、エポキシ系熱硬化性樹脂との相溶性がよい点で、メチルアクリレートなどの前記(メタ)アクリル酸アルキルエステルが好ましい。
エポキシ系熱硬化性樹脂としては、従来公知の種々のエポキシ樹脂を用いることができる。
これらは1種単独で、又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。
(C)熱硬化剤
熱硬化剤(C)は、エポキシ系熱硬化性樹脂(B)に対する熱硬化剤として機能する。好ましい熱硬化剤(C)としては、1分子中にエポキシ基と反応しうる官能基を2個以上有する化合物が挙げられ、その官能基としてはフェノール性水酸基、アルコール性水酸基、アミノ基、カルボキシル基および酸無水物基などが挙げられる。これらのうち好ましいのはフェノール性水酸基、アミノ基および酸無水物基であり、より好ましくはフェノール性水酸基およびアミノ基である。
粘接着剤組成物中の熱硬化剤(C)の含量は、エポキシ系熱硬化性樹脂(B)100重量部に対して、好ましくは0.1〜500重量部であり、より好ましくは1〜200重量部である。熱硬化剤(C)の量が過小であると、粘接着剤組成物の硬化性が不足して粘接着剤層の接着性が得られないことがあり、過剰であると粘接着剤組成物の吸湿率が高まりパッケージの信頼性が低下することがある。
硬化促進剤(D)は、粘接着剤組成物の硬化速度を調整するために用いられる。好ましい硬化促進剤としては、エポキシ基とフェノール性水酸基やアミン等との反応を促進し得る化合物が挙げられ、具体的には、トリエチレンジアミン、ベンジルジメチルアミン、トリエタノールアミン、ジメチルアミノエタノール、トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール等の3級アミン類、2−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール類、トリブチルホスフィン、ジフェニルホスフィン、トリフェニルホスフィン等の有機ホスフィン類、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、トリフェニルホスフィンテトラフェニルボレートなどのテトラフェニルボロン塩等が挙げられる。
これらの中でも接着性向上の点からイミダゾール類が好ましい。
硬化促進剤(D)を使用する場合、粘接着剤組成物中の硬化促進剤(D)の含量は、エポキシ系熱硬化性樹脂(B)100重量部に対して通常0.001〜100重量部であることが好ましく、0.01〜50重量部がより好ましく、0.1〜10重量部がさらに好ましい。
カップリング剤は、粘接着剤組成物の被着体に対する接着性、密着性を向上させるために用いられる。また、カップリング剤を使用することで、粘接着剤組成物を硬化して得られる硬化物の耐熱性を損なうことなく、その耐水性を向上させることができる。カップリング剤(E)としては、上記アクリル共重合体(A)およびエポキシ系熱硬化性樹脂(B)等が有する官能基と反応する基を有する化合物が好ましく使用される。
このようなカップリング剤としてはγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ−(メタクリロプロピル)トリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−6−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−6−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、ビス(3−トリエトキシシリルプロピル)テトラスルファン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、イミダゾールシラン等が挙げられる。
カップリング剤(E)を使用する場合、粘接着剤組成物中のカップリング剤(E)の含量は、アクリル共重合体(A)とエポキシ系熱硬化性樹脂(B)との合計100重量部に対して通常0.1〜20重量部、好ましくは0.2〜10重量部、より好ましくは0.3〜5重量部である。0.1重量部未満であると効果が得られない可能性があり、20重量部を超えるとアウトガスの原因となる可能性がある。
粘接着剤組成物の初期接着力および凝集力を調節するために、架橋剤(F)を添加することもできる。架橋剤(F)としては有機多価イソシアナート化合物、有機多価イミン化合物等が挙げられる。
族多価イソシアナート化合物、脂環族多価イソシアナート化合物およびこれらの多価イソシアナート化合物の三量体、ならびにこれら多価イソシアナート化合物とポリオール化合物とを反応させて得られる末端イソシアナートウレタンプレポリマー等が挙げられる。
架橋剤(F)を使用する場合、粘接着剤組成物中の架橋剤(F)の含量は、アクリル共重合体(A)100重量部に対して通常0.01〜10重量部であり、好ましくは0.1〜5重量部であり、より好ましくは0.5〜3重量部である。
本発明の粘接着剤組成物には、エネルギー線重合性化合物(G)が配合されてもよい。エネルギー線重合性化合物(G)をエネルギー線照射によって硬化させることで、粘接着剤層の粘着力を低下させることができるため、ICチップをボンディング工程へ移送する際の基材と粘接着剤層との層間剥離を容易に行えるようになる。なお、通常、基材と粘接着剤層間よりも粘接着剤層とチップ間のほうが粘着力が大きいので、この際にICチップが粘接着剤層から剥離することはない。
このエネルギー線重合性化合物(G)としては、具体的には、ジシクロペンタジエンジメトキシジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートあるいは1,4−ブチレングリコールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、オリゴエステルアクリレート、ウレタンアクリレート系オリゴマー、エポキシ変性アクリレート、ポリエーテルアクリレート、イタコン酸オリゴマーなどのアクリレート系化合物が挙げられる。
これらは1種単独で、又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。
せることがある。
本発明の粘着剤組成物は、その使用に際して、紫外線等のエネルギー線を照射して、接着力を低下させることがある。この際、該組成物中に光重合開始剤(H)を添加することで、重合硬化時間ならびに光線照射量を少なくすることができる。
ロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ベンジルジフェニルサルファイド、テトラメチルチウラムモノサルファイド、アゾビスイソブチロニトリル、ジアセチル、β-クロールア
ンスラキノンなどが挙げられる。
光重合開始剤(H)の配合割合は、理論的には、粘接着剤中に存在する不飽和結合量やその反応性および使用される光重合開始剤の反応性に基づいて決定されるべきであるが、複雑な混合物系においては必ずしも容易ではない。
無機充填材(I)を粘接着剤組成物に配合することにより、熱膨張係数を調整することが可能となる。金属や有機樹脂からなる基板と異なる熱膨張係数を有するICチップに対し、介挿される粘接着剤層の硬化後の熱膨張係数を最適化することでパッケージの信頼性を向上させることができる。また、粘接着剤層の硬化後の吸湿率を低減させることも可能となる。
本発明においては、これらのなかでも、シリカ粉末、アルミナ粉末の使用が好ましい。
無機充填材(I)の使用量は、粘接着剤組成物全体に対して、通常0〜80重量%の範囲で調整が可能である。
本発明に係る粘接着剤組成物には、上記の成分の他に、必要に応じて各種添加剤が配合されてもよい。
上記のような成分からなる粘接着剤組成物は感圧接着性と加熱硬化性とを有し、未硬化状態では各種被着体を一時的に保持する機能を有する。そして熱硬化を経て最終的には耐衝撃性の高い硬化物を与えることができ、しかも剪断強度と剥離強度とのバランスにも優れ、厳しい湿熱環境にさらされても充分な接着物性を保持し得る。
本発明によれば、上記粘接着剤組成物を用いた粘接着シートが提供される。
本発明に係る粘接着シート(以下、単に「粘接着シート」ともいう)は、基材上に、上記粘接着剤組成物からなる粘接着剤層が形成されてなり、テープ状、ラベル状などあらゆる形状をとり得る。
粘接着シートの基材としては、たとえばポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレン酢酸ビニル共重合体フィルム、アイオノマー樹脂フィルム、エチレン・(メタ)アクリル酸共重合体フィルム、エチレン・(メタ)アクリル酸エステル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリイミドフィルム等の透明フィルムが挙げられる。
また、上記の透明フィルムの他、これらを着色した不透明フィルム、フッ素樹脂フィルム等を用いることもできる。ただし、本発明の粘接着シートを使用するに際して、基材面側から紫外線等のエネルギー線照射を行う場合は、基材は使用するエネルギー線に対して透明であることが好ましい。
また、粘接着剤層の厚みは、通常は1〜500μm、好ましくは5〜300μm、より好ましくは10〜150μm程度である。
本発明に係る粘接着シートは、上記のような基材と粘接着剤組成物とから製造される。
粘接着シートの製造方法は、特に限定はされない。基材上に、粘接着剤層を構成する粘接着剤組成物を塗布乾燥することで製造してもよく、また粘接着剤層を剥離フィルム上に設け、これを上記基材に転写することで製造してもよい。なお、粘接着シートの使用前に、粘接着剤層を保護するために、粘接着剤層の上面に剥離フィルムを積層しておいてもよい。また、粘接着剤層の表面外周部には、リングフレーム等の他の治具を固定するために別途感圧性接着剤層が設けられていてもよい。
本発明によれば、上記粘接着シートを用いた半導体装置の製造方法も提供される。
本発明に係る半導体装置の製造方法においては、まず、本発明に係る粘接着シートをダイシング装置上に、リングフレームにより固定し、シリコンウエハの一方の面を粘接着シートの粘接着剤層上に載置し、軽く押圧し、ウエハを固定する。
次いで粘接着剤層を介してICチップをダイパッド部に載置する。ダイパッド部はICチップを載置する前に加熱するか載置直後に加熱される。加熱温度は、通常は80〜200℃、好ましくは100〜180℃であり、加熱時間は、通常は0.1秒〜5分、好ましくは0.5秒〜3分であり、チップマウント圧力は、通常1kPa〜200MPaである。
(1)半導体チップの製造
#2000研磨したシリコンウエハ(150mm径, 厚さ150μm)の研磨面に、実施
例および比較例の、粘接着剤層が基材上に形成されてなる粘接着シートの貼付を、テープマウンター(リンテック社製, Adwill RAD2500)により行い、ウエハダイシング用リングフレームに固定した。
次いで、ダイシング装置(株式会社ディスコ製、DFD651)を使用して、8mm×8mmのチップサイズに上記のシリコンウエハをダイシングした。ダイシングの際の切り込み量については、基材を20μm切り込むようにした。
基板として銅箔張り積層板(三菱ガス化学株式会社製CCL-HL830)の銅箔(18μm厚
)に回路パターンが形成され、パターン上にソルダーレジスト(太陽インキ製PSR4000 AUS5)を有している基板(株式会社ちの技研製)を用いた。
に基板を封止し(封止装置 アピックヤマダ株式会社製MPC-06M Trial Press)、175℃5時間でモールド樹脂を硬化させた。
に貼付して、ダイシング装置(株式会社ディスコ製、DFD651)を使用して12mm×12mmサイズにダイシングすることで信頼性評価用の半導体パッケージを得た。
得られた半導体パッケージを85℃、60%RH条件下に168時間放置し、吸湿させた
後、最高温度260℃、加熱時間1分間のIRリフロー(リフロー炉:相模理工製WL-15-20DNX型)を3回行った際に、ICチップの粘接着層からの浮き・剥がれの有無、パッケー
ジクラック発生の有無を走査型超音波探傷装置(日立建機ファインテック株式会社製Hye-Focus)および断面観察により評価した。
して、パッケージを25個試験に投入し剥離が発生しなかった個数を数えた。
#2000研磨したシリコンウエハ(150mm径を1/4に分割したもの、厚さ150μm)の研磨面に、実施例および比較例の粘接着シートをラミネーター(大成ラミネーター製ラミネーター)を用いて40℃、0.5m/minの速度で貼り合わせた。その後、粘接
着シートの基材を剥離してそこへ厚さ150μmの銅板(10mm×50mm、トルエンで拭き2時間室温にて乾燥したもの)を同じラミネーターを用いて80℃、0.5m/minの速
度で貼り合わせた。その後175℃で5時間空気下で加熱硬化した。
前の剥離強度)×100(%)を接着強度の湿熱劣化率として求めた。
(A)アクリル共重合体
モノマーとしてのベンジルアクリレート85gおよび2−ヒドロキシエチルアクリレー
ト15gと、重合開始剤としてのα,α'−アゾビスイソブチロニトリル0.2gと、溶剤としてのトルエン60gおよび酢酸エチル60gとを混合し、60℃、24時間窒素雰囲気下で撹拌することでアクリル共重合体(A)−1を得た。また、下記の(A)−2〜(A)−7もアクリル共重合体のモノマーの種類、重量比を以下のように変えた以外は(A)−1を得たのと同様の操作によって得た。すなわち、(A)−2〜(A)−7を得るために用いたモノマーの合計重量はすべて100gである。
(A)−2:メチルアクリレート/ベンジルアクリレート/2−ヒドロキシエチルアクリレート(25重量%/60重量%/15重量%)からなるアクリル共重合体(重量平均分子量約50万)
(A)−3:メチルアクリレート/ベンジルアクリレート/2−ヒドロキシエチルアクリレート(45重量%/40重量%/15重量%)からなるアクリル共重合体(重量平均分子量約50万)
(A)−4:メチルアクリレート/ベンジルアクリレート/2−ヒドロキシエチルアクリレート(55重量%/30重量%/15重量%)からなるアクリル共重合体(重量平均分子量約50万)
(A)−5:メチルアクリレート/2−ヒドロキシエチルアクリレート(85重量%/15重量%)からなるアクリル共重合体(重量平均分子量約50万)
(A)−6:ベンジルアクリレート/2−ヒドロキシエチルアクリレート(98重量%/2重量%)からなるアクリル共重合体(重量平均分子量約50万)
(A)−7:メチルアクリレート/ベンジルアクリレート/2−ヒドロキシエチルアクリレート(70重量%/15重量%/15重量%)からなるアクリル共重合体(重量平均分子量約50万)
(B)エポキシ系熱硬化性樹脂:ビスフェノールAジグリシジルエーテル(ジャパンエポキシレジン株式会社製エピコート828、エポキシ当量189g/eq)
(C)熱硬化剤:ノボラック型フェノール樹脂(昭和高分子株式会社製ショウノールBRG−556、フェノール性水酸基当量104g/eq)
(D)硬化促進剤:イミダゾール(四国化成工業株式会社製キュアゾール2PHZ)
(E)シランカップリング剤(三菱化学株式会社製MKCシリケートMSEP2)
(F)架橋剤:芳香族性ポリイソシアナート(日本ポリウレタン工業株式会社製コロネートL)
(G)エネルギー線重合性化合物:2官能性アクリレート(日本化薬株式会社製KAYARADR−684)
(H)光重合開始剤(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製イルガキュア184)
また、粘接着シートの基材としては、ポリエチレンフィルム(厚さ100μm、表面張力33mN/m)を用いた。
表1に記載の組成の粘接着剤組成物を使用した。粘接着剤組成物は表1に記載の構成成分を混合することにより得た。表中の数値は固形分換算の重量部を示す。
Claims (4)
- ベンジル(メタ)アクリレートから導かれる構造単位を20〜95重量%含有するアクリル共重合体(A)と、エポキシ系熱硬化性樹脂(B)と、熱硬化剤(C)とを含有する粘接着剤組成物。
- 前記アクリル共重合体(A)が、水酸基を有する(メタ)アクリル酸エステルから導かれる構造単位を3〜50重量%含有することを特徴とする請求項1に記載の粘接着剤組成物。
- 請求項1または2に記載の粘接着剤組成物からなる粘接着剤層が、基材上に剥離可能に形成されてなる粘接着シート。
- 請求項3に記載の粘接着シートの粘接着剤層に半導体ウエハを貼着する工程と、
該半導体ウエハをダイシングする工程と、
ダイシングされた半導体ウエハを、前記粘接着剤層の少なくとも一部を半導体ウエハに固着残存させて、該粘接着シートの基材から剥離する工程と、
剥離された半導体ウエハをダイパッド部上に、該半導体ウエハに固着残存した粘接着剤層を介して熱圧着する工程と
を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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